氮化镓半导体材料

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氮化镓研究报告

氮化镓研究报告

氮化镓研究报告1. 引言氮化镓(GaN)是一种具有广泛应用前景的半导体材料。

它具有优异的电特性和物理特性,使其在电子、光电子、光学、化学和生物医学等领域有着广泛的应用。

本报告旨在对氮化镓的研究现状进行综述,并就其在不同领域的应用进行展望。

2. 氮化镓的物性特征氮化镓具有以下一些重要的物性特征:2.1 宽带隙和高饱和漂移速度氮化镓的能隙大约为3.4电子伏特,远大于传统半导体材料如硅和锗。

这使得氮化镓具有能够在可见光和紫外线范围内提供高效率的发光和吸收能力。

此外,氮化镓的高电子饱和漂移速度使其在高频电子器件中表现出优异的性能。

2.2 较高的热导率和耐高温性氮化镓具有较高的热导率和良好的耐高温性,这使得它在高功率电子器件领域具有潜在应用,如功率放大器、太阳能电池等。

2.3 较高的电子迁移率和寿命氮化镓具有较高的电子迁移率和长寿命,这使其在高速电子器件和高均匀性LED器件中具有很大优势。

3. 氮化镓的研究进展3.1 氮化镓的制备方法氮化镓的制备方法有分子束外延法、金属有机化学气相沉积法和氢气氧化镓法等。

这些方法各有优劣,其中分子束外延法是制备高质量氮化镓晶体的首选方法。

3.2 氮化镓的缺陷与改进措施氮化镓晶体中常常存在一些缺陷,如位错、堆垛层错和晶格失配等。

研究人员通过控制生长条件、改变晶体结构和表面修饰等方法,成功地降低了晶体的缺陷密度,提高了氮化镓器件的性能。

3.3 氮化镓在电子器件中的应用氮化镓在电子器件中有着广泛的应用,如高电子迁移率晶体管(HEMT)、谐振器、射频功率放大器等。

近年来,氮化镓在功率电子领域的应用也取得了巨大的进展。

3.4 氮化镓在光电子领域的应用氮化镓具有优异的发光特性,因此在光电子领域有着广泛的应用。

氮化镓LED 在照明、显示和通信等领域有着重要的地位。

此外,基于氮化镓的激光器、探测器和光伏器件等也得到了广泛研究。

4. 氮化镓的应用展望由于氮化镓的优异性能和广泛的应用领域,对其未来的应用展望非常乐观。

氮化镓最高掺杂浓度

氮化镓最高掺杂浓度

氮化镓最高掺杂浓度氮化镓是一种重要的半导体材料,其在电子领域具有广泛的应用。

在研究和开发过程中,掺杂是一种常见的方法,可以改变材料的电子性质和导电性能。

然而,掺杂浓度的选择和控制是一个关键的问题,对于氮化镓材料的性能和应用有着重要的影响。

氮化镓是一种III-V族化合物半导体材料,由镓和氮两种元素组成。

通过将其他元素掺杂到氮化镓晶格中,可以改变材料的导电性能和光学特性。

掺杂的作用是通过引入额外的电子或空穴来改变材料的载流子浓度,从而调节材料的电导率和导电类型。

在氮化镓材料中,最高掺杂浓度是指在掺杂过程中可以达到的最大掺杂浓度。

由于氮化镓材料的晶格结构和电子能带结构的特殊性,其最高掺杂浓度相对较低。

通常情况下,最高掺杂浓度在10^18-10^20 cm^-3之间。

这一限制主要来自氮化镓材料的热稳定性和电子结构的特殊性。

氮化镓材料的最高掺杂浓度受到多种因素的影响。

首先,晶格杂质和缺陷对掺杂浓度的限制较大。

杂质和缺陷会影响材料的载流子迁移率和寿命,从而限制了最高掺杂浓度的提高。

其次,氮化镓材料的热稳定性也是一个重要的因素。

高浓度的掺杂会引入更多的缺陷和应力,导致材料的热稳定性降低。

此外,掺杂元素的选择和掺杂方法的优化也会对最高掺杂浓度产生影响。

尽管最高掺杂浓度有限,但氮化镓材料仍然具有许多重要的应用。

例如,在高功率电子器件中,氮化镓材料可以用于制作高电导率的电极和导线。

此外,氮化镓材料还广泛应用于光电子器件领域,如LED和激光二极管。

在这些应用中,虽然最高掺杂浓度有限,但仍然可以通过优化掺杂方法和结构设计来实现所需的电子性能。

氮化镓材料的最高掺杂浓度受到多种因素的限制,包括晶格杂质、缺陷、热稳定性和掺杂方法等。

尽管有限,最高掺杂浓度仍然可以满足许多重要应用的需求。

未来的研究和开发将继续探索新的掺杂方法和材料结构,以进一步提高氮化镓材料的电子性能和应用价值。

氮化镓 芯片

氮化镓 芯片

氮化镓芯片氮化镓芯片是一种新型的半导体材料,具有高电子迁移率、较宽的能隙等优势,因而在电子设备领域具有广泛的应用前景。

本文将从氮化镓芯片的原理、特性以及应用三个方面进行介绍,希望能对读者增加对氮化镓芯片的了解。

一、氮化镓芯片的原理氮化镓是由镓和氮两种元素组成的化合物半导体材料,其晶体具有非常高的晶格匹配度和结晶度。

这使得氮化镓芯片具有较高的电子迁移率和着色中心密度,从而实现了高速、高功率和高频率的性能。

此外,氮化镓芯片还具有较宽的能隙(3.4eV),使其在紫外光、蓝光和绿光领域有着重要的应用。

二、氮化镓芯片的特性1. 高电子迁移率:氮化镓芯片具有比传统硅芯片更高的电子迁移率,能够实现更高的集成度和更高的频率响应,从而提高芯片的性能。

2. 宽能隙:氮化镓芯片的能隙较宽,使其在紫外光和蓝光领域具有广泛的应用,如LED照明、激光器以及高速通信等。

3. 高功率密度:由于氮化镓材料具有较高的能隙和较高的饱和电子漂移速度,因此能够实现更高的功率密度,使其在功率放大器等领域中有着重要的应用。

4. 耐高温性能:氮化镓芯片具有较好的耐高温性能,能够在高温环境下稳定运行,适用于一些特殊的工作环境。

三、氮化镓芯片的应用1. LED照明:由于氮化镓芯片具有宽能隙和高饱和电流密度,因此在LED照明领域有着广泛的应用。

氮化镓芯片能够发出蓝光,并通过荧光粉转换成其他颜色的光,如红光和绿光,实现全彩LED照明。

2. 激光器:氮化镓芯片在激光器领域也有重要的应用。

由于其能隙宽,可以实现蓝光和紫外光的激光发射,被广泛应用于以太网通信、显示器、激光打印机等领域。

3. 无线通信:氮化镓芯片具有高频率响应和高功率密度的特点,因此在无线通信领域有着广泛应用。

氮化镓芯片可以实现高功率放大以及高频率的信号处理,提高通信设备的性能。

4. 太阳能电池:由于氮化镓具有较宽的能隙,能够吸收来自太阳的可见光和紫外光,因此在太阳能电池领域也有应用前景。

通过将氮化镓芯片作为光伏材料,能够实现高效率的太阳能电池。

第三代宽禁半导体材料GaN(氮化镓)研究分析

第三代宽禁半导体材料GaN(氮化镓)研究分析

广州创亚企业管理顾问有限公司第三代宽禁半导体材料GaN (氮化镓)研究分析目录contents一、5G应用的关键材料(一)认识第三代半导体材料1、半导体材料的由来2、第一代半导体材料3、第二代半导体材料4、第三代半导体材料(二)第三代半导体材料的特点1、碳化硅(SiC)2、氮化镓(GaN)二、氮化镓(GaN)(一)GaN技术的发展历史(二)GaN的优点1、GaN 在电力电子领域:高效率、低损耗与高频率2、GaN 在微波射频领域:高效率、大带宽与高功率3、与第二代半导体材料GaAs更具优势三、GaN市场(一)市场空间1、0~900V的低压市场空间宏大2、GaN RF 市场即将大放异彩(二)射频是主战场1、GaN 是射频器件的合适材料2、5G应用的关键技术3、GaN 电力电子器件典型应用:快充电源四、GaN产业链(一)GaN工艺与流程(二)芯片制造过程1、流程2、GaN衬底3、GaN外延片4、GaN外延使用不同衬底的区别5、GaN器件设计与制造由于地球的矿藏多半是化合物,所以最早得到利用的半导体材料都是化合物,例如方铅矿(PbS)很早就用于无线电检波,氧化亚铜(Cu2O)用作固体整流器,闪锌矿(ZnS)是熟知的固体发光材料,碳化硅(SiC)的整流检波作用也较早被利用。

硒(Se)是最早发现并被利用的元素半导体,曾是固体整流器和光电池的重要材料。

元素半导体锗(Ge)放大作用的发现开辟了半导体历史新的一页,从此电子设备开始实现晶体管化。

中国的半导体研究和生产是从1957年首次制备出高纯度(99.999999%~99.9999999%)的锗开始的。

采用元素半导体硅(Si)以后,不仅使晶体管的类型和品种增加、性能提高,而且迎来了大规模和超大规模集成电路的时代。

以砷化镓(GaAs)为代表的Ⅲ-Ⅴ族化合物的发现促进了微波器件和光电器件的迅速发展。

2、第一代半导体材料第一代半导体材料主要是指硅(Si)、锗(Ge)元素半导体。

氮化镓的发展趋势

氮化镓的发展趋势

氮化镓的发展趋势
氮化镓(GaN)是一种具有广泛应用潜力的新型半导体材料。

其发展趋势主要体现在以下几个方面:
1. 增强功率半导体器件:氮化镓具有较大的能隙和较高的饱和漂移速度,使其在高功率应用中具有优势。

因此,氮化镓功率器件正在不断发展,用于实现高效率、高功率的功率放大器、开关和变频器等应用。

2. LED照明:氮化镓是制造高亮度LED的关键材料。

随着LED照明市场的迅速增长,氮化镓LED的需求也在不断增加。

未来,氮化镓LED的发展趋势将主要集中在提高亮度、效率和可靠性上。

3. 光电子器件:由于氮化镓具有宽带隙和较高的电子迁移率,使其在光电子器件领域具有广泛的应用前景。

例如,氮化镓激光器、光电二极管和太阳能电池等器件,正在不断开发和改进。

4. 5G通信:随着5G通信技术的快速发展,对高频电子器件的需求也在不断增加。

氮化镓材料由于其优良的高频特性,在5G射频器件领域有望取得重要突破。

5. 汽车电子:随着电动汽车的普及和自动驾驶技术的发展,对高效、高可靠的功率电子器件的需求也在快速增长。

氮化镓功率器件在车载电子中的应用前景广阔。

总的来说,氮化镓的发展趋势将集中在高功率器件、LED照明、光电子器件、5G通信和汽车电子等领域。

随着相关技术的不断进步和市场需求的增长,氮化镓有望在未来得到更广泛的应用。

氮化镓半导体材料研究与应用现状

氮化镓半导体材料研究与应用现状

氮化镓半导体材料研究与应用现状一、本文概述Overview of this article随着科技的飞速发展,半导体材料作为现代电子技术的基石,其重要性日益凸显。

氮化镓,作为一种具有优异物理和化学性能的半导体材料,近年来在科研和工业界引起了广泛关注。

本文旨在全面综述氮化镓半导体材料的研究现状以及其在各领域的应用情况,以期为读者提供一个清晰、系统的认识。

With the rapid development of technology, the importance of semiconductor materials as the cornerstone of modern electronic technology is becoming increasingly prominent. Gallium nitride, as a semiconductor material with excellent physical and chemical properties, has attracted widespread attention in scientific research and industry in recent years. This article aims to comprehensively review the research status and applications of gallium nitride semiconductor materials in various fields, in order to provide readers with a clear and systematic understanding.我们将从氮化镓的基本性质出发,介绍其晶体结构、能带结构、电子迁移率等关键参数,为后续的应用研究提供理论基础。

接着,我们将回顾氮化镓材料的发展历程,包括制备技术、掺杂技术等方面的进步。

氮化镓半导体国内应用研究

氮化镓半导体国内应用研究

氮化镓半导体国内应用研究摘要:氮化镓(GaN)材料因具有宽禁带宽度、高击穿场强等综合优势,被认为是继硅之后最重要的半导体材料之一。

本文在对氮化镓半导体现有主要应用领域进行分析的基础上,针对国内市场现状和产业布局进行讨论,并提出氮化镓(GaN)半导体国内从业企业的发展态势及突破方向。

关键词:氮化镓;GaN;半导体一、氮化镓半导体材料特性半导体材料到目前经历了3个发展阶段。

第一代是硅和锗等基础功能材料;第二代开始进入由两种以上元素组成的化合物半导体材料(以砷化镓和磷化铟等为代表);第三代则是氮化镓和碳化硅等宽频化合物半导体材料。

其中氮化镓因具有广泛的应用性,被认为是继硅之后最重要的半导体材料之一。

我国是镓的主产区之一,拥有大量镓矿储备,因此,氮化镓材料的开采和制造更加方便,从国际环境来看,我国使用氮化镓更加安全【1】。

基于 GaN 材料制备的功率器件拥有更高的功率输出密度和更高的能量转换效率,可实现系统小型化、轻量化,有效降低电力电子装置的体积和重量,将氮化镓应用在高功率和高速元件中,同时可带来更高的功率和效率【1】。

二、氮化镓半导体主要应用领域氮化镓材料自20世纪90年代以来应用于发光二极管等器件中。

到本世纪初,市场上陆续推出了多款可广泛应用于通信电源和民用供电行业的氮化镓功率器件。

因其具有更高的临界电场强度、更低的开态电阻、更快的开关频率,可以实现更高的系统效率,更适合于高温度、高电压、低电阻率、损耗小、高频率的应用场合【2】。

GaN的优势在高频领域,目前主要集中在1000V以下,例如通信基站、消费电子等;SiC的优势在高温和1200V以上的高压电力领域,包括智能电网、光伏逆变器、高铁、新能源汽车、工业电机等;在中低频中低功率领域,GaN和SiC都可以应用,与传统Si基器件进行竞争【3】。

(一)通信领域目前已经有部分通信电源厂家将氮化镓半导体材料应用于高性能电源模块中。

其中,将GaN功率放大器应用于5G大功率基站中可解决5G移动网络中面积小但数据流量请求相对集中的问题。

氮化镓晶体的结构特性

氮化镓晶体的结构特性

氮化镓晶体的结构特性氮化镓(Gallium Nitride,简称GaN)晶体是一种具有重要应用价值的半导体材料。

它在光电子、电力电子和微波电子等领域显示出了出色的性能。

深入了解氮化镓晶体的结构特性,有助于我们更好地理解其优异的性能和广阔的应用前景。

1. 晶体结构氮化镓晶体的结构特性对其电子特性和光学性质具有重要影响。

氮化镓晶体属于六方晶系,其晶格参数较为特殊。

晶体呈现出六方最密堆积结构,其中镓原子和氮原子交替排列,形成类似于蜂窝状的结构。

这种排列方式使得氮化镓晶体具有较好的晶体质量和良好的热稳定性。

2. 布里渊区布里渊区是描述晶体结构特性的概念。

对于氮化镓晶体来说,其布里渊区较为独特。

布里渊区是指晶体中允许的电子能级和晶格的关系,决定了晶体中电子和光子的行为。

氮化镓晶体的布里渊区相对于其他材料来说较大,这意味着它有更多的电子能级可以使用,从而使其具有更好的电子迁移率和更广的带宽。

3. 带隙带隙是指材料中能量电子能级和禁带之间能量差的范围。

对于氮化镓晶体来说,其带隙较宽,约为3.4电子伏特,这使得它具有优异的光学特性。

宽带隙意味着氮化镓晶体能够在可见光和紫外光范围内有效吸收和发射光线,因此在光电子领域具有广泛的应用前景,如LED、激光器等。

4. 晶体缺陷晶体缺陷是指晶格中存在的缺陷点或断裂面,对材料的性能和稳定性有一定影响。

对于氮化镓晶体而言,晶体缺陷的形成与其生长过程密切相关。

晶体缺陷可以通过合适的生长方法和材料处理技术进行控制和修复,以提高氮化镓晶体的质量和性能。

总结回顾:氮化镓晶体的结构特性对其性能和应用具有重要影响。

其六方最密堆积结构和布里渊区的特点使其具有良好的晶体质量和较高的热稳定性。

宽带隙使其在光电子领域具有广泛的应用前景。

然而,晶体缺陷仍然是制约其质量和性能的因素之一,需要通过适当的技术手段进行控制和修复。

个人观点和理解:作为一名文章写手,我对氮化镓晶体的结构特性感到十分着迷。

它的特殊结构使其在光电子和电力电子领域具有巨大的潜力。

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氮化镓半导体研究
一.物理背景
自20世纪60年代,发光二极管(Light Emitting Diode,LED)的发展非常迅速,它具有体积小、耐冲击、寿命长、可靠度高与低电压低电流操作等优良的特性,适用于在各种环境的使用,而且符合未来环保节能的社会发展趋势。

初期的以砷化镓(GaAs)、铝铟磷镓(AIGalnP)材料为基础之发光二极管,实现了红光至黄绿光波段的电激发光。

近年来,以氮化镓(GaN)为代表的新一代半导体材料技术上氮化镓半导体材料具有禁带宽度大、击穿电场高、电子饱和漂移速度高、介电常数小、抗辐射能力强和良好的化学稳定性等独特的特性,在光显示、光存储、光探测等光电子器件和高温、高频大功率电子等微电子器件领域有广阔的应用前景,其中最引人瞩目的是作为发光材料的应用,由于氮化镓能与氮化铟(INN)和氮化铝(AIN)形成三元或四元化合物,如此借着改变IlI族元素的比例,便能使发光波长涵盖红外光到紫外光的范围,另外将发蓝光的氮化镓基发光二极管配以可激发出黄绿光的荧光粉,从而混合发出白光,应用前景非常广泛,除了应用于指示灯、灯饰、手电筒等普通市场,氮化镓基发光二极管还应用于手机及手提电脑背光源、交通灯、户外全彩显示屏等市场,但氮化镓基发光二极管最有前景的应用还是在普通照明市场。

二.GaN的应用
高效节能、长寿命的半导体照明产品正在引领照明业的绿色变革。

随着第三代半导体材料氮化镓的突破和蓝、绿发光二极管的问世,世界各国纷纷投入巨资推出国家级半导体照明计划。

GaN属宽禁带半导体,直接带隙3.4eV,在长寿命、低能耗、短长半导体发光二极管(LED)、激光二极管(LD)、紫外探测器以及高温微电子器件等方面有广阔的应用前景,GaN器件的广泛应用将预示着光电信息乃至光子信息时代的来临,因此,以GaN为代表的第三代半导体材料被誉为信息产业新的发动机。

GaN基半导体材料,包括GaN、A1N和InN,都是直隙半导体材料,因而有很高的量子效率。

用GaN、A1N和InN这三种材料按不同组份生成的固溶体,其禁带宽度可在O.7eV到6.2eV之间变化。

这样,用这些固溶体制造发光器件,是光电集成材料和器件发展的方向,其主要应用领域包括:
(1)当前在国内外非常受人瞩目的半导体照明是一种新型的高效、节能和环保光源,将取代目前使用的大部分传统光源,被称为21世纪照明光源的革命,而GaN基高效率、高亮度发光二极管(LED)的研制是实现半导体照明的核心技术和基础。

以LED为代表的半导体光源,
具有节能、长寿命、免维护、环保等优点,目前己被广泛的应用于大屏幕平板显示和交通信号灯以及显示指示灯,并逐渐向通用照明领域发展,目前实验室水平的白光LED发光强度已经达到131 lm/w。

(2)CD、DVD的光存储密度与作为读写器件的半导体激光器的波长的平方成反比,目前流行的CD、DVD的激光读写头分别采用波长为
780nm、650nm的AIGaAs/AIGalnP材料,存储容量分别为700MB,4.7GB。

若用波长为410rim的InGaN/GaN蓝光激光器代替,光盘的存储容量将高达27GB,将会成为光存储和处理的主流技术。

(3)适合制作紫外探测器件。

当在强可见光和红外辐射背景中探测紫外信号时,要尽量避免或减少紫外信号以外的背景信号干扰。

以GaN做成的紫外探测器,克服了Si探测器在紫外波段探测效率低、需要复杂的滤光系统等弱点。

而氮化物特别是AIGaN,可以制成日光盲紫外探测器,其截止波长为200.356nm。

在这个范围的探测器可以用于火焰探测、燃烧诊断、光谱学和紫外监视,AIGaN探测器还有重要的军事用途,可用于导弹制导和导弹预警防御系统。

(4)由于GaN基材料有禁带宽度大、击穿电压高、电子饱和速率高、热稳定性好、抗腐蚀性强等优点,被广泛用于制作高电子迁移率晶体管、双极晶体管、场效应晶体管等微电子器件,适合在高温、大功率及恶劣环境下工作⋯11。

高温、高频、高功率微波器件是无线通信、国防等领域急需的电子器件,如果目前使用的微波功率管的输出功率密度提高一个数量级,微波器件的工作温度提高到300℃,将解决航天航空用电子装备和民用移动通信系统的一系列难题。

三.GaN的制备方法
3.1
由于GaN体单晶非常难以获得,即便是已有一些研究报道对GaN体单晶生长取得了一定进展,但它们的质量还无法达到作衬底的要求。

因此现今对GaN的研究都集中在以异质材料(如A1203、SiC、Si等)为衬底的外延生长薄膜上。

随着异质外延技术的进步,现在已经可以在特定的衬底材料上外延生长获得质量优良的GaN外延层,这也使得GaN材料体系的应用得到了迅速发展,异质外延技术成为了制备GaN薄膜的主要方法。

3.1生长工艺
GaN的外延生长一般有以下几种工艺:金属有机化学气相沉积(Metal OrganicChemical Vapor Deposition),分子束外延(Molecular Beam Epitaxy),卤化物气相外延(Hydride Vapor Phase Epitaxy),此外还有比较新颖的横向外延过生长(LateralEpitaxially Overgrown)以及悬空外延(PE)等工艺。

其中MOCVD和MBE是制各GaN及其相关多层结构薄膜的两大主流技术,它们各有独自的特点。

然而从实用商品化技术方
面考虑,MOCVD方法由于其设备相对简单、造价相对较低、生长速度快等特点成为了外延生长GaN最主流的方法。

本文所研究的GaN均采用MOCVD方法制备,因此这里只以其为例作简要介绍。

3.2金属有机化学气相沉积法(MOCVD)
MOCVD又称MOVPE(金属有机气相外延)。

MOCVD法用III族元素的有机
化合物和V族元素的氢化物作为原材料,通过氢气或氮气等载运气体带入反应室在高温加热的衬底上外延成化合物单晶薄膜。

反应时的关键是避免有机分子中的C沉积下来污染样品。

MOCVD生长的优点是:(1)金属有机分子一般为液体,可以通过精确控制流过金属有机分子液体的气体流量来控制金属有机分子的量,控制形成的化合物的组分,易于通过精确控制多种气体流量来制备多组元化合物:(2)易于掺杂,MOCVD从气相可实现原位掺杂;(3)易于通过改变气体制备界面陡峭的异质结或多层不同组分的化合物;(4)可以通过改变III族源气体流量在O.05~1.0um/min的大范围内控制化合物的生长速度。

此外,MOCVD 方法具有产量大、生长周期短的特点,到目前为止,它是唯一实现产业化生产GaN基器件的制备方法。

3.2
ZnO和GaN具有相近的晶格结构,二者都具有六方纤锌矿结构,口轴和c 轴晶向的失配率分别仅为1.9%和O.4%,所以ZnO的一个重要应用就是作为GaN薄膜生长的缓冲层.同时ZnO纳米材料也是研究的热点之但当用氨气作为GaN生长的反应气体时,高温下ZnO会在氨气气氛中挥发,所以应用ZnO作缓冲层时一般在较低温度下生长GaN薄膜.实验中在900℃下通过氨化ZnO/GaO。

薄膜合成出六方纤锌矿结构的GaN纳米线,以此来制作合成GaN纳米线。

.反应的过程可由方程式(1)~
(3)给出:
NH3一N2+H2 (1)
Ga203+H2一Ga20(g)+H20(g) (2)
Ga20+NH3一GaN+H20(g) (3)
结论:利用射频磁控溅射和高温氨化法在Si衬底上生长出GaN纳米线,生长过程中ZnO层的挥发起到了辅助的作用.XRD测量结果显示所制备的纳米线为六方纤锌矿结构,扫描电镜观测和能谱测试表明ZnO已全部挥发,借助ZnO的挥发作用而生成的汽相Ga。

O与NH。

反应生成了GaN 纳米线,附着在未反应的Ga。

O。

层的上面.利用透射电镜和选区电子衍射分析了所生成的GaN纳米线的形貌和结构,初步分析了利用此种方法合成GaN纳米线的生长机制.
四.总结
本文简单介绍了半导体行业GaN材料的物理背景,简单的制作方法,和应用前景,通过这些资料的收集,这对我们来说也是课外学习的收
获。

我们也相信通过这学期《半导体物理材料》课程的学习,能丰富我们的专业知识,让我们对自己将来的科研研究有个新的认识。

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