热式气体质量流量计选型
MF5000 系列气体质量流量计 说明书
© 2011 Siargo Ltd.使用说明书(VA.3)SIARGO MEMS FLOW SENSOR PRODUCTS气体质量流量计MF5000系列1注意事项MF 5000系列气体质量流量计目录使用需知注意事项目录一、概述二、产品分类形式及选型说明三、产品结构与工作原理四、技术指标五、安装说明六、功能说明七、检定八、安全、维护及故障排除九、运输及储存十、开箱及检查十一、客户服务及技术支持附录：应用说明112334556778888 2选型方式按照如下规则确定：MF5000系列气体质量流量计是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统（MEMS ）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表。
主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装、维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
执行标准为：Q/77453766-11-2009。
参照执行标准: ISO14511；GB/T 20727-2006。
00000360号。
采用微机电系统芯片加工技术和大规模集成电路的生产技术及材料生长技术，传感器的尺寸缩小到了微米量级，使该流量计的灵敏度大大提高。
在单个芯片上实现了多传感器集成，使该流量计的量程比（范围度）大大提高。
传感器零点稳定度较之传统的热式质量流量计有极大的改善。
结合二次仪表的微电脑智能技术，使流量计重复性好，实现了计量准确可靠。
技术进步带来的结构简化，使流量计较之传统的机械式仪表，压力损失大幅度减小，极大地降低了能源消耗。
采用LCD 显示瞬时流量和累积流量，清晰直观，读数方便。
产品融合了电磁兼容设计技术，具有更高抗干扰能力。
流量计带有RS485通讯模块，配合上位计算机网络可实现集中管理。
JZL型热式气体质量流量计选型指南.
JZL 型热式气体质量流量计选型指南热式气体质量流量计是用于测量和控制气体质量流量的新型仪表。
可应用于石油、化工、钢铁冶金、电力、轻工、医药、环保等工业部门的空气、氧气、氮气、氩气、氦气、烃类气体、天然气、煤气、烟道气的监测。
该产品可替代孔板，文丘里管，阿牛巴，涡街等流量计。
其特点是可靠性高，重复性好，压损小，无可动部件，量程比宽，响应速度快，测量精度高，无须温压补偿。
特别在大管径，低流速，流量范围变化大及特小流量测量方面具有明显优势。
鉴与以上特点，它也可以方便的作为流量开关使用。
对于密度值很小，雷诺数也较小的氢气流量测量，选用该表比选用孔板，涡轮，涡街流量计都更加优越。
它是一个非常合适的氢气流量计。
此外，我公司开发了可用于测量高炉煤气的流量传感器。
它克服了采用恒温差原理的热式气体质量流量计测量煤气流量时因煤气中含水、油和杂质而造成的很大的零点漂移，导致无法测量的弊端。
它也可以用于测量湿气体的质量流量，如矿井下送风，排风系统中的风量（速）的实时检测。
该流量计结构型式灵活多样，分插入式和管道式二种，非常适合不同用户的选用，尤其是插入式质量流量计使管径大、压力低的流量（速）测量变得简单易行。
工作原理热式气体质量流量计是利用热传导技术为基础，实现气体质量流量的测量。
流量计的测量探头带有两个铂电阻传感元件（见图1），它们被置于流体中，其中一个通过加热功率Ｐ，使其温度升至Ｔ1；另一个不加热，用于监测介质温度，设为Ｔ2。
于是两个传感元件之间产生温差△Ｔ=Ｔ1－Ｔ2。
在流量为零时，△Ｔ最大，随着质量流量Ｑ的增大，传感元件Ｔ1的热量被带走，Ｔ1下降，△Ｔ减小。
故上述加热功率Ｐ、温差△Ｔ与质量流量Ｑ之间将会产生一定的关系。
可用下式表示：Ｐ/△Ｔ＝Ｋ1＋Ｋ2Ｆ（Ｑ）Ｋ3 ·······（1 ）上式中Ｋ1、Ｋ2、Ｋ3是与气体物理性质有关的常数。
从上式可看出通过测量加热功率Ｐ，温差△Ｔ的变化即可求得质量流量Ｑ。
常用流量计选型及比较
常用流量计之间的比较流量测量是四大重要过程参数之一（其他的是温度、压力和物位）。
差压流量计（DP）这是最普通的流量技术，包括孔板、文丘里管和音速喷嘴。
DP流量计可用于测量大多数液体、气体和蒸汽的流速。
DP流量计没有移动部分，应用广泛，易于使用。
但堵塞后，它会产生压力损失，影响精确度。
流量测量的精确度取决于压力表的精确度。
容积流量计（PD）PD流量计用于测量液体或气体的体积流速，它将流体引入计量空间内，并计算转动次数。
叶轮、齿轮、活塞或孔板等用以分流流体。
PD 流量计的精确度较高，是测量粘性液体的几种方法之一。
但是它也会产生不可恢复的压力误差，以及需装有移动部件。
涡轮流量计当流体流经涡轮流量计时，流体使转子旋转。
转子的旋转速度与流体的速度相关。
通过转子感受到的流体平均流速,推导出流量或总量。
涡轮流量计可精确地测量洁净的液体和气体。
像PD流量计，涡轮流量计也会产生不可恢复的压力误差，也需要移动部件。
电磁流量计具有传导性的流体在流经电磁场时，通过测量电压可得到流体的速度。
电磁流量计没有移动部件，不受流体的影响。
在满管时测量导电性液体精确度很高。
电磁流量计可用于测量浆状流体的流速。
超声流量计传播时间法和多普勒效应法是超声流量计常采用的方法，用以测量流体的平均速度。
像其他速度测量计一样，是测量体积流量的仪表。
它是无阻碍流量计，如果超声变送器安装在管道外测，就无须插入。
它适用于几乎所有的液体，包括浆体，精确度高。
但管道的污浊会影响精确度。
涡街流量计是在流体中安放一根非流线型游涡发生体,游涡的速度与流体的速度成一定比例，从而计算出体积流量。
涡街流量计适用与测量液体、气体或蒸汽。
它没有移动部件，也没有污垢问题。
涡街流量计会产生噪音，而且要求流体具有较高的流速，以产生旋涡。
热式质量流量计通过测量流体的温度的升高或热传感器降低来测量流体速度。
热式质量流量计没有移动部件或孔，能精确测量气体的流量。
热质量流量计是少数能测量质量流量的技术之一，也是少数用于测量大口径气体流量的技术。
热式气体质量流量计使用说明书
□Nm3/h
□Nm3/min
流量积算仪出厂已设定，不许用户设置任何改动。改动请与厂家联系 。
1、 显示窗口，上窗口八位累计下四位瞬时流量 2、 测量状态下按键 5 秒进入设置菜单（在设置状态下按键 5 秒进
入下一组参数或返回）在设置状态下移动修改位 3、 在测量状态下按键 5 秒累计值清零，在设置状态下增加参数值
或改变设置类型/翻页功能 4、 在设置状态下，减小参数值或改变设置类型 5、 在设置状态下，启动修改状态或存入修改参数值 密码 1111 对应菜单参数 标定点 1-8 点为，非线性 标定点 9-16 点为，非线性 通讯地址出厂设为 1 通讯速率：19200、9600、4800、2400，出厂设为 9600 模拟输出：4-20MA、0-10MA、0-20MA，出厂设为 4-20MA 输出下限：0-9999，一般为 0 输出上限：0-9999，可对应量程的任何一段 小数点位：个 十 百 千位
技术指标：
测量范围：（0.05-141）NM/H(标准状态 20℃、 不含液体的洁净气体 精度：±1.0% 压力：小于 4.0MPA 温度：-20-350℃ 液晶显示：累积流量、瞬时流量 信号输出：4~20MA 0~10MA 或 0-20MA 供电电源：24VDC 探杆直径：19mm 供货结构：插入式、管段式 电气接口：M20*1.5 或 1/2NPT 防爆等级：ExdⅡCT4 质保期：产品正常使用期的一年内
单位 联系人 类序
1 被
2 测 气3 体
4 工 艺5 条6 件7
8 9 10 11 流 12 量 计 安 13 装 条 件 14
15 订 16
项
目
介质
介质 组份名称
组份 百分比%含量
含油、湿、尘量(%)
气体热式质量流量计的选择是怎样的
气体热式质量流量计的选择是怎样的摘要气体热式质量流量计是应用广泛的流量测量仪器之一。
本文将介绍气体热式质量流量计的优点、特点、适用范围及选择方法。
希望能够帮助读者更好地理解如何选购气体热式质量流量计。
什么是气体热式质量流量计气体热式质量流量计是基于热传导定律原理，通过测量气体流经传感器的温度变化，进而计算气体质量流量。
相比于一般的体积流量计，气体热式质量流量计具有多项优点。
例如不受压力、温度、密度等参数变化的影响，测量精度高等特点。
气体热式质量流量计的适用范围气体热式质量流量计适用于多种气体的流量测量，其中包括但不限于空气、氢气、氧气、氮气、天然气等。
同时，气体热式质量流量计还可以适用于多种流量范围，从0.1-1ml/min到10000slm都可以实现高精度的测量。
气体热式质量流量计的优点1. 精度高气体热式质量流量计具有卓越的测量精度，可达到±1.0%FS的误差范围。
这对于一些特殊的流量测量应用非常关键。
2. 适用范围广气体热式质量流量计适用于多种气体流量测量，包括多种气体类型及流量范围。
3. 抗干扰气体热式质量流量计不受温度、压力、密度等参数变化的影响，因此精度稳定性高。
4. 体积小重量轻相比于一般的流量计，气体热式质量流量计体积、重量小，易于安装、调节、维保等操作，成本也相对较低。
气体热式质量流量计的选择方法1. 测量介质在选择气体热式质量流量计时应首先确定测量介质类型，根据具体应用来选择最为合适的型号。
比如说，在测量天然气流量的时候，应该选择能够适应天然气流量测量的型号。
2. 测量流量范围气体热式质量流量计适用的流量范围非常广泛，不同型号的热式质量流量计可测量不同范围的流量。
在选择时需要参考具体应用的流量要求，选型合适的热式质量流量计。
3. 环境温度和压力变化范围对于一些特殊应用领域，温度、压力变化较大，此时需要考虑热式质量流量计的抗干扰能力以及温度、压力变化范围的匹配性。
选型时应选择具有更好稳定性、扩散性的型号。
气体流量计的选型
气体流量计的选型一、概述流量计的正确选型是保证流量计充分发挥最佳计量性能的主要环节。
一个流量计的性能再好，质量再可靠，若选型不正确，也无法使流量计发挥最佳计量性能。
因此，在选用流量计时，要掌握产品的选型方法，根据使用场合、介质条件和流量范围度等重要参数正确选择流量计。
二、流量计类型的选择2.1气体涡轮流量计适合于介质工况条件较好，要求流量范围度不大于20:1，始动流量较低，没有强烈的磁场影响及在短时间内没有大幅度流量波动且频繁的场合。
可测量天然气、城市煤气、压缩空气、氮气、烷类及工业用惰性气体等。
可选型号有：CQ 型、CQ-B型、CQ-S型。
2.2旋进旋涡流量计适用于工况条件较差，介质压力在（5kpa～30kpa）以上的（不同规格流量计，其最低使用压力不一样）、流量范围度不大于15:1，用气量较大、较稳定且对始动流量无特殊要求、使用环境不存在有强烈振动、适用介质不存在明显压力波动的场合。
可测量天然气、各种煤气、压缩空气、氮气、氧气、烷类、工业用惰性气体以及有轻微腐蚀性气体（流量继续经特殊工艺处理）等。
可选型号有CX型、CX-B型、CX-S型。
2.3气体罗茨流量计适用于介质条件好，要求流量范围度宽（大于20:1），且具有极低始动流量的场合。
可测量天然气、压缩空气、氮气、烷类及工业用惰性气体等。
可选型号有CR型、CR-B型、LLQ型、LLQ-B型、LLQ-S型。
以上为三种主要气体流量计的适应场合，用户应根据介质条件、工作条件、使用环境等因素，正确选择流量计类型。
三、流量计规格的确定选择好流量计类型之后，还应正确选择流量计的型号规格。
3.1 主要考虑因素3.1.1工况流量范围不同规格的流量计，均有其不同的工况流量范围，即：当介质流量低于下限流量时，因为流速太低，可能无法检测流速，或者说无法保证计量精度；而当介质流量高于上限流量时，不但会发生计量误差，也会影响流量计的使用寿命。
因此在流量计选型时，必须考虑使用的流量是否处于所选流量计的工况流量范围内。
化工装置几种常用流量计的原理及选型 流量计工作原理
化工装置几种常用流量计的原理及选型流量计工作原理流量仪表是过程自动化仪表与装置中的大类仪表之一，它被广泛应用于冶金、电力、化工、石油、交通、环境保护及人民日常生活等国民经济各个领域。
在过程自动化仪表与装置中，流量仪表有两大功用：作为过程自动化掌控系统的检测仪表和测量物料数量的总量表。
本文简单介绍了化工装置几种常用流量计的原理及选型与使用阅历。
1、电磁流量计电磁流量计是基于法拉第电磁感应原理研制出的一种测量导电液体体积流量的仪表，依据法拉第电磁感应定律，导电体在磁场中作切割磁力线运动时，导体中产生感应电压，该电动势的大小与导体在磁场中做垂直于磁场运动的速度成正比，由此再依据管径，介质的不同，转换成流量。
电磁流量计无节流部件，因此压力损失小，该仪表测量流体流量时，不受流体温度、压力、密度、粘度及流体组份的影响，适合于对有悬浮物固体粒子的污水、煤浆的测量，特别适合于对腐蚀性介质的测量。
选型与使用时应注意：电磁流量计所测液体应具有测量所需的电导率，并要求电导率分布大体上均匀，不能用于测量电导率很低的液体，如石油制品和有机溶剂等。
电磁流量计的测量精度是建立在液体充分管道的情形下，目前在管道中有空气的情况下测量问题尚未得到很好解决，因此电磁流量计不能测量气体、蒸汽和含有较多较大气泡的液体。
同时应注意不同温度及腐蚀性介质应选用不同内衬材料和电极材料。
电磁流量计虽可以在任意管道上安装，但电磁流量计测量电极的轴线必需保持水平方向，且与管道中心线相互垂直。
为避开在管内无液体时显现指针不在零位的错觉，电磁流量计的变送器应安装于任何时候均充分液体的地方，同时，该流量计的信号较为微弱，因而在使用时应注意外来干扰对其测量精度和影响，变送器应安装于阔别一切磁源的地方，不允许有振动。
2、涡轮番量计涡轮番量计是一种速度式流量仪表，由于具有测量精度高，反应速度快，测量范围广，价格低廉，安装便利等优点，被广泛应用于化工生产中。
涡轮番量计由涡轮、轴承、前置放大器、显示仪表构成。
热式气体质量流量计选项注意事项 气体质量流量计如何操作
热式气体质量流量计选项注意事项气体质量流量计如何操作热式气体质量流量计是用于测量和掌控气体质量流量的仪表，区分于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。
一、应用领域：1、半导体制热式气体质量流量计是用于测量和掌控气体质量流量的仪表，区分于其它气体流量计，不需要进行压力和温度修正，直接测量气体的质量流量。
一、应用领域：1、半导体制造行业；2、分析仪器设备行业；3、各种形式的真空镀膜设备；4、环境检测与分析设备；5、化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业；6、特种材料表面处理装置与燃烧；7、混气配气系统和泄露探测系统等。
二、选型注意事项：1.通过的介质。
热式气体流量计适用于各种气体，包括特别气体和腐蚀性气体。
以腐蚀性气体为例：腐蚀性气体通过流量计的时候假如流量计没有经过特别处理过，会由于腐蚀性气体的特性，造成密封元件等方面的故障，从而影响到了流量计的正常使用，因此相关特性的介质在选型的时候需特别关注密封材料等信息，如全金属密封，耐氨橡胶等密封材质。
另外像氢气、甲烷等可燃性气体需注意气体浓度过高所造成的爆点问题等等。
2.量程范围（或者称之为流量范围）。
在流量计选型的时候，首先要确定所需流量计的量程问题，以HORIBAMETRON（堀场汇博隆）公司产品为例：公司产品以氮气（N2）来标定,如用其他气体时需要进行换算，非氮气介质时是以氮气与该气体转换系数来换算以确定标定流量。
3.压力范围。
HORIBAMETRON流量计耐压范围是3MPa,压差范围为（0.05—0.3）MPa。
3MPa以内无需任何补偿可直接安装使用；需注意的是有些行业需要在高压状态下工作，要明确压力范围是否充分。
4.接口通径。
选择接口时需针对管路情形进行选择，就目前而言以Ф3mm～Ф10mm,1/4″Swagelok（或VCR），软管接头Ф4mm～Ф10mm等为主。
5.供电电压和掌控。
以HORIBAMETRON流量计而言，供电电压有±15V和24V两种。