4晶体中的缺陷和扩散
固体物理学§12 晶体中的缺陷与扩散

固体物理
固体物理学
晶粒间界
固体从蒸汽、溶液或熔体中结晶出来时,只有在一定条 件下,例如有籽晶存在时,才能形成单晶,而大多数固体属 于多晶体。多晶是由许多小晶粒组成。这些小晶粒本身可以 近似看作单晶,且在多晶体内做杂乱排列。多晶体中晶粒与 晶粒的交界区域称为晶粒间界.
14
固体物理
固体物理学
• 晶界结构和性质与相邻晶粒的取向差有关,当取向差小 于10˚时,晶界称为小角晶界;当取向大于10˚时晶界称为 大角度晶界。实际的多晶材料一般都是大角度晶界,但 晶粒内部的亚晶界则是小角晶界。最简单的小角晶界是 对称倾斜晶界。
n D2n t
—— Fick第二定律
• 方程的解与初始条件和边界条件有关。
固体物理
固体物理学
1)恒定源扩散
N
初始条件:
0
n
x,
0
{
n0
N
0
x 0 x
x>
• 约束条件: n x,t dx N 0
nx,t
N
x2
Dt
exp
4Dt
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2)保持表面浓度不变
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固体物理学
第十二章 晶体中的缺陷与扩散
晶体缺陷(晶格的不完整性):晶体中任何对完整周 期性结构的偏离就是晶体的缺陷。
按缺陷的几何形状和涉及范围将缺陷分为:点缺陷、 线缺陷和面缺陷。
1.点缺陷
点缺陷是在格点附近一个或几个晶格常量范围内的一 种晶格缺陷, 如空位、填隙原子、杂质等。
1
固体物理
固体物理学
F E
b
8
固体物理
固体物理学
9
固体物理
固体物理学
电子材料物理第二章晶体中的缺陷与扩散

2.2.2扩散的宏观规律
菲克第一定律说明了与杂质扩散有关的因素,下面结合硅 器件平面工艺的实际,在得出菲克第二定律的基础上,推 导杂质在不同初始条件和边界条件下浓度分布.在硅器件 平面工艺中,由于杂质扩散浓度一般不深,它所形成的pn 结看成是平行平面,故可把扩散流近似看做沿垂直于这一 平面方向(x方向)进行,于是式(2.1)简化为
由菲克第二定律:
C t
D
2C
2
用分离变量法求得方程的通解为
c X (x)T (c) [ Asin x B cos x]exp( 2 Dt )
为方程特征值,A和B为待定常数
其边界初始条件为:
① c=0,0<x<h (h为样品厚度)
② c= c0,x=0 , h,t>0 扩散开始的瞬间 ③ c= c,0 t=0
有限表面源扩散是指在扩散过程中杂质源限
定于扩散前淀积于硅片表面极薄层内的杂质 总量Q没有补充或减少,依靠这些有限的杂质 向硅片内进行的扩散。
N D 2 N (x)
t
x 2
0,在x ,t 0
(扩散方程)
初始条件:N
(x,0)
Q
Ns, 在0
x
,t
0
2)点缺陷的准化学反应和质量作用定律
以某种化学反应式的形式描述晶格中点缺陷的形成过程-----准 化学反应.
书写准化学反应式的规则(以MO为例) 1)MO晶体中子晶格M的格点数等于子晶格O的格点数. 2)反应过程中,MO两种晶格的格点数同增/同减. 3)反应式两边质量守恒(空格点质量为0) 4)如果晶体中存在填隙原子,应在反应式中引入填隙空格点 5)电中性规则(正负电荷相等)
材料科学基础 第4章 点缺陷和扩散

化、烧结等都产生了重要的影响。
30
二、离子晶体中的空位及间隙原子
肖脱基缺陷:为了保持晶体的电的中性,空位只能 以与晶体相同的正离子:负离子的空位比率小组的 方式产生。这些电中性的正离子-负离子-空位丛簇 称为。 弗兰克缺陷:以空位/间隙对形式存在的缺陷群。
29
关于空位的总结
空位是热力学上稳定的点缺陷,一定的温度对应一定的 平衡浓度,偏高或偏低都不稳定。
不同金属的空位形成能是不同的,一般高熔点金属的形 成能大于低熔点金属的形成能。
空位浓度、空位形成能和加热温度之间的关系密切。在 相同的条件下,空位形成能越大,则空位浓度越低;加 热温度越高,则空位浓度越大。 C平=exp[-Ev/kT+Sc/k]
23
空位迁移也要克服一定的“势垒”,也即空位迁移能Qfv。 迁移速率为: j=zexp(Sc/k)exp(-Qfv/kT)
金属熔点越高,空位形成能和迁移能越大。所以,在相 同条件下,高熔点金属形成的空位数比低熔点金属少。
24
5.材料中空位的实际意义
空位迁移是许多材料加工工艺的基础。
晶体中原子的扩散就是依靠空位迁移而实现的。 在常温下空位迁移所引起的原子热振动动能显著提高,再加上高 温下空位浓度的增多,因此高温下原子的扩散速度十分迅速。
53扩散分类1根据?c?t分类稳态扩散和非稳态扩散2根据?c?x分类?c?x0自扩散在纯金属和均匀合金中进行?c?x?0互扩散上坡扩散和下坡扩散3根据扩散途径分类体扩散晶界扩散表面扩散短程扩散沿位错进行的扩散4根据合金组织分类单相扩散多相扩散54二扩散的物理描述fick第一扩散定律影响原子移动的速率即扩散速率的因素
《材料科学基础》课件之第四章----04晶体缺陷

41
刃位错:插入半原子面,位错上方,原子间距变小, 产生压应变,下方原子间距变大,拉应变。过渡处 切应变,滑移面处有最大切应力,正应力为0。x NhomakorabeaGb
2 (1 )
y(3x2 (x2
y2) y2 )2
y
Gb
2 (1
)
y(x2 y2) (x2 y2)2
z ( x y )
x
xy
Gb
2 (1 )
21
刃位错b与位错线 垂直
螺位错b与位错线 平行
bb
l
l
正
负
b
b
右旋
左旋
任意一根位错线上各点b相同,同一位错只有一个b。
有大小的晶向指数表示
b a [uvw] 模 n
b a u2 v2 w2 n
22
Burgers矢量合成与分解:如果几条位错线在晶体内
部相交(交点称为节点),则指向节点的各位错的伯氏矢量 之和,必然等于离开节点的各位错的伯氏矢量之和 。
不可能中断于晶体内部(表面露头,终止与 晶界和相界,与其他位错相交,位错环)
半原子面及周围区域统称为位错
18
2. 螺位错
晶体在大于屈服值的切应力作用下,以某晶面为滑移面发生滑移。由于位错线周围 的一组原子面形成了一个连续的螺旋形坡面,故称为螺位错。
几何特征:位错线与原子滑移方向相平行;位错线周围原子的配置是螺旋状的。
d
34
六、位错应变能
位错原子偏移正常位置,产生畸变应力, 处于高能量状态,但偏移量很小,晶格为弹 性应变。
位错心部应变较大,超出弹性范围, 但这部分能量所占比例较小, <10%,可以近似忽略。
35
1. 理论基础:连续弹性介质模型
固体物理-第4章-晶体中的缺陷和扩散-4

(成对出现)
4、杂质原子 在材料制备中,有控制地在晶体中引入杂质原子
A、杂质原子取代基质原子而占据格点位置,称替代式杂质。
(二者相接近或前者大一些)
B、杂质原子占据格点间的间隙位置,称填隙式杂质。
(杂质原子比基质原子小)
点缺陷的运动 1、空位的运动
空位运动势场示意图
原子结合成晶体的源动力:原子间的吸引力. 理想晶体的生长
问题4:当初如何提出位错概念?位错滑移如何理解?
Ax A d
a
x a 2
xa 2
弹性形变
范性形变 原子不能回到原来位置,易到A
即发生滑移
Ax A
d a
?有问题
最初认为: 滑移是相邻两晶面整体的相对刚性滑移
则可计算:使其滑移的最小切应力: c
第四章 晶体中的缺陷和扩散
原子绝对严格按晶格的周期性排列的晶体不存在
缺陷举例: 如晶体表面、晶粒间界、人为掺杂等
如金刚石
空位
点缺陷 填隙原子 (0维)
杂质原子
刃位错
线缺陷
晶体缺陷的基本类型 (1维)
(按维度或尺寸分类)
螺位错
大角晶界
晶粒间界
面缺陷
小角晶界
(2维) 堆垛间界(层错)
问题1:点缺陷的定义、分类、运动及其对晶体性能影响?
若某一晶面A丢失,则原子面排列: ABCABCBCABC………..
问题7:一定温度下,系统达统计平衡时,
热缺陷(空位.间隙原子)数目?
热力学平衡条件
平衡状态下晶体内的热缺陷数目
系统自由能F U TS 最小
F n T
0
热缺陷的数目
1、肖脱基缺陷(或空位)浓度
4. 晶体缺陷

螺型位错的滑移:在图示的晶体上施加一切应力,当应力足够大 时,有使晶体的左右部分发生上下移动的趋势。假如晶体中有一 螺型位错,显然位错在晶体中向后发生移动,移动过的区间右边 晶体向下移动一柏氏矢量。因此,①螺位错也是在外加切应力的 作用下发生运动;②位错移动的方向总是和位错线垂直;③运动 位错扫过的区域晶体的两部分发生了柏氏矢量大小的相对运动 (滑移);④位错移过部分在表面留下部分台阶,全部移出晶体 的表面上产生柏氏矢量大小的完整台阶。这四点同刃型位错。
第二节 位错的基本概念
一.位错概念的引入
★1926年 Frank计算了理论剪切强度,与实际剪切 强度相比,相差3~4个数量级,当时无法解释, 此矛盾持续了很长时间 。
★1934年 Taylor在晶体中引入位错概念,将位错与 晶体结构、晶体的滑移联系起来解释了这种差异 。
★ 1939年 Burgers提出柏氏矢量b以表征位错的特征, 阐述了位错弹性应力场理论。
例题
Cu晶体的空位形成能uv=0.9ev/atom或 1.44*10-19J/atom材料常数A取作1,k=1.38*10-23. 计算:
1)在500℃下,每立方米中的空位数目; 2)500 ℃下的平衡空位浓度 。
解:首先确定1m3体积内原子Cu原子总数 (已知Cu的摩尔质量MCu=63.54g/mol,500 ℃
螺型位错
τb
晶体的局部滑移
螺型位错的原子组态
混合型位错: 晶体的局部滑移
τ∧ b
混合型位错的原子组态
线缺陷:在三维空间的一个方向上的尺寸很大(晶粒数量级),
另外两个方向上的尺寸很小(原子尺寸大小)的晶体缺陷。其 具体形式就是晶体中的位错Dislocation
一、位错的原子模型
晶体中的缺陷和扩散1晶格缺陷的主要类型

2. Frenkel 缺陷:由热激发而形成的成对的间隙原子与空位.
Frenkel 缺陷: 空位——间隙原子对
形成一个 Frenkel 缺陷要比形成一个空位所需的能量多 些,因而也更难些。 空位和 Frenkel 缺陷的成因都是由于晶格原子的热振动, 因此这两种点缺陷也称为热缺陷。 3. 杂质原子 当晶体中的杂质以原子状态在晶体中形成点缺陷时,称为杂质原子。 • 替位式杂质(代位式杂质):硅、锗单晶体是 4 价的半导体材料,在没有杂质纯净的情况下, 它们的导电性能很差,如果在高纯的硅、锗单晶体中有控制地掺入微量的 3 价杂质 B、Al、 Ga 和 In 等,或微量的 5 价杂质 P、As 和 Sb 等,可以使硅、锗的导电性能有很大的改变。例 如在 105 个硅原子中掺入一个硼(B)原子,就可以使硅的电导率增加 103 倍。实验证明, 这些杂质原子在硅、锗晶体中形成替位式缺陷,代替硅、锗原子所占的位置。
•:在外加应力下位错移动的方向与外加应力垂直的位错称为 (Screw Dislocation) 螺位错。 螺位错在晶体表面表现为一个台阶。此台阶可以作为晶体的生长核,可得到实验验证。
在 Si 单晶中所观察到的 Frank-Read 源
在 SiC 单晶中所观察到的螺位错生长螺线 三、面缺陷
常见的面缺陷: 1.晶粒间界: 自然界极大部分固体不是完美的单晶体,而是由许多小单晶颗粒组成的多晶体。 单晶颗粒之间的界面叫晶粒间界,是一种二维缺陷。间隙原子和空位很容易沿晶粒间界扩散, 因为间界上的点缺陷与线缺陷很多,代位式的扩散十分容易。多晶体有很多应用。例如磁记 录薄膜. 2.层错:晶体中的某个原子层发生堆积错误 fcc 晶体中的正常堆积次序:···ABCABC ··· fcc 晶体中的层错: ···ABCABABC ··· 另外还有挛晶界、小角晶界和层错等. 体缺陷,如:空洞、气泡和包裹物等
晶格缺陷

第四章晶体中的缺陷与扩散晶体缺陷的基本类型热缺陷的统计理论晶体中的扩散离子晶体的点缺陷及导电性4-1晶体缺陷的基本类型晶体缺陷(晶格的不完整性):晶体中任何对完整周期性结构的偏离就是晶体的缺陷。
按缺陷的几何形状和涉及范围将缺陷分为:点缺陷、线缺陷和面缺陷。
一、点缺陷点缺陷是在格点附近一个或几个晶格常量范围内的一种晶格缺陷,如空位、填隙原子、杂质等。
由于空位和填隙原子与温度有直接的关系,或者说与原子的热振动有关,因此称他们为热缺陷。
1.弗仑克尔缺陷和肖特基缺陷弗仑克尔缺陷:当晶格中的原子脱离格点后,移到间隙位置形成填隙原子时,在原来的格点位置处产生一个空位,填隙原子和空位成对出现,这种缺陷称为弗仑克尔缺陷。
肖特基缺陷:当晶体中的原子脱离格点位置后不在晶体内部形成填隙原子,而是占据晶体表面的一个正常位置,并在原来的格点位置产生一个空位,这种缺陷称为肖特基缺陷。
2.杂质原子在材料制备中,有控制地在晶体中引入杂质原子,若杂质原子取代基质原子而占据格点位置,则成为替位式杂质。
当外来的杂质原子比晶体本身的原子小时,这些比较小的外来原子很可能存在于间隙位置,称它们为填隙式杂质。
填隙式杂质的引入往往使晶体的晶格常量增大。
3.色心能吸收可见光的晶体缺陷称为色心。
完善的晶体是无色透明的,众多的色心缺陷能使晶体呈现一定颜色,典型的色心是F心。
把碱卤晶体在碱金属的蒸气中加热,然后使之聚冷到室温,则原来透明的晶体就出现了颜色,这个过程称为增色过程,这些晶体在可见光区各有一个吸收带称为F带,而把产生这个带的吸收中心叫做F心。
4.极化子电子吸引邻近的正离子,使之内移。
排斥邻近的负离子,使之外移,从而产生极化。
电子所在处出现了趋于束缚这电子的势能阱,这种束缚作用称为电子的“自陷”作用。
产生的电子束缚态称为自陷态,同杂质所引进的局部能态有区别,自陷态永远追随着电子从晶格中一处移到另一处,这样一个携带着周围的晶格畸变而运动的电子,可看作一个准粒子(电子+晶格的畸变),称为极化子。
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lnD
lnD(T)
lnD0
Q RT
0
1/T
tg Q R
Q Rtg
二、扩散的微观机制
d
圆柱体高:d
d
底面面积:dS=1
1 > 2
由面1向面2流动的净原子流密度:
ja
1 6
1
2
1 n1 n2d
6
1 d2
6
dn dx
:原子在相邻两次跳跃的时间间隔
原因:有些影响扩散过程的因素未考虑
对于原子的自扩散和晶体中替位式杂质或缺位式杂 质的异扩散,一般可以认为是通过空位机制扩散的。
一些元素在Pb中的扩散系数的实验值(285ºC)
元素
Pb
Sn
Fe
Ag
Au
D0 (10-4 m2/s)
4.3
4
5.7 10-2 7.5 10-2 3.5 10-1
Q (kcal/mol) 28.0
空位和Frenkel缺陷的成因都是由于晶格原子的热 振动,因此这两种点缺陷也称为热缺陷。
3. 杂质原子 当晶体中的杂质以原子状态在晶体中形成点缺陷时,
称为杂质原子。
• 替位式杂质(代位式杂质)
• 填隙式杂质 • 缺位式杂质
K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- CKa2++ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl- K+ Cl-
于是有 SkBlnW1
在N+n1个原子位置中出现n1个空位,其微观状态数为:
W1 CN n1n1
Nn1!
N!n1!
Fn 1 u 1kB T ln W 1n 1 u 1kB T lnN N !n n 1 1 !!
达到平衡时
F 0
n1
利用Stirling公式,当x很大时,有:
d dx
lnx!
4. 色心 色心的产生
如将NaCl晶体放在Na金属蒸气中加热,然后再骤冷 至室温,就可在NaCl晶体中产生色心。
Na+ Cl- Cl- Na+ Na+ Cl- Cl- Na+ Na+ Cl- Cl- Na+
Na+ Cl- Cl- Na+
Na+ -e
Cl- Na+ Na+ Cl- Cl- Na+
Na+ Cl- Cl- Na+ Na+ Cl- Cl- Na+ Na+ Cl- Cl- Na+
x
d
切变角: x d
<< 1
F
切应力: G G x
d
G:切变模量
问题:当 x 为多大时,会发生范性形变?
初略估算:x d ,为一分数
精细的理论计算: 1 30
一般金属:G ~105 kg/cm2
c理论:103 ~104 kg/cm2
金属临界切应力的实验值c实验 ~1 kg/cm2 , 比理论值低 3 ~ 4个数量级。
用X射线或 射线辐照、用中子或电子轰击晶体。
二、线缺陷 • 刃位错:
• 螺位错:
F E
B
A
三、面缺陷 常见的面缺陷:晶粒间界、挛晶界、小角晶界
和层错等 层错:晶体中的某个原子层发生堆积错误 fcc晶体中的正常堆积次序:···ABCABC ··· fcc晶体中的层错: ···ABCABABC ···
二、热缺陷的运动 1. 空位的运动
E1 E1:空位运动所需越过的势垒
空位运动的频率:
1
10
exp
E1 kBT
1: 空位越过势垒向邻近位置运动的频率
10:空位试图越过势垒的频率(原子振动频率)
或
1
10
exp
E1 kBT
1:空位每跳一步所需等待的时间 10 =1/10:原子的振动周期
金属滑移机制的假说:
滑移不是在整个晶面同时发生的,而是先在某个局 部区域发生滑移,然后滑移区域逐渐扩大,直至整个晶 面出现宏观滑移。
滑移过程是滑移区不断扩大的过程,而位错线正是 滑移区的边界线,所以,滑移过程就表现为位错在滑移 面上的运动过程。
由于位错本身是动力学的非稳定平衡,因此,在外 力的作用下非常容易发生运动。
2. 间隙原子的运动
2
20
exp
E2 kBT
E2: 间隙原子运动所需克服的势垒 20:间隙原子试图越过势垒的频率(间隙原子振动频率)
2
20
exp
E2 kBT
2: 间隙原子每跳一步所需等待的时间
20:间隙原子的振动周期
§4.3 晶体中原子的扩散
晶体中原子扩散的本质是原子无规的布朗运动 一、扩散的宏观规律 1. 扩散定律
实际上,影响扩散系数的因素很多,如晶体的其他 缺陷:位错、层错、晶粒间界等都对扩散过程有影响。 而各种影响因素主要都是通过影响扩散激活能Q表现出 来的。所以,在研究原子的扩散过程中,扩散激活能是 一个非常重要的物理量。
§4.4 离子导电性
一、AX型离子晶体中的点缺陷
空位
正离子空位 (-) 负离子空位 (+)
ja Dn —— Fick第一定律
D:扩散系数 负号表示扩散方向与浓度梯度方向相反,即扩散总是从浓 度高的地方向浓度低的地方扩散。
扩散过程必须满足连续性方程:
nt jaDn
若扩散系数与浓度无关,有
n D2n t
—— Fick第二定律
例1: 将一定量N的 扩散物质涂在一半无限大晶体的 一端面上,厚度为,在温度T下,使其从晶体 表面向内部扩散,求扩散物质在晶体中的分布。
理论计算表明,使位错滑移所需的临界切应力约为 10 kg/cm2的数量级,相当接近于金属临界切应力的实验 值。
几乎所有晶体中都存在位错,正是由于这些位错的 运动导致金属在很低的外加切应力的作用下就出现滑移。 因此,晶体中位错的存在是造成金属强度大大低于理论 值的最主要原因。 不含位错的金属晶须的确具有相当接近于理论值的强度。
体缺陷,如:空洞、气泡和包裹物等
§4.2 热缺陷
一、热缺陷的平衡数目 由热力学可知,在等温过程中,当热缺陷数目达到
平衡时,系统的自由能取极小值:
F n
T
0
1. 空位的平衡数目
晶体中原子总数:N 形成一个空位所需能量:u1 晶体中所形成的空位数: n1 (N>> n1 )
由于晶体中出现空位,系统自由能的改变:
1:原子每跳一步所需等待的时间
n1/N :在扩散原子周围出现空位的概率
扩散系数的表达式:
D1 6a 1 2n N 11 6a20expu1k BTE1
与
D
D0
exp
Q RT
比较
D0
1 6
a 2 0
Q N 0 u1 E1
u1小,E1小,扩散激活能Q低,扩散就越快。
估算:a ~ 3 10-10 m,0 ~ 1012 s-1 D0理论 ~ 10-8 m2/s D0实验 ~ 10-4 m2/s
Na--Al2O3 在300 ºC时 1 (cm)-1 RbCu4Cl3I2 在25 ºC时 =0.44 (cm)-1
固体电解质:如 YSZ (yttria stabilized zirconia) 在1000 ºC 时 10-1 (cm)-1
§4.5 位错
一、金属的范性形变
双原子链刚性滑移模型
间隙离子
正填隙(+) 负填隙(-)
二、离子在外电场中的运动 = 0时,离子晶体中的点缺陷作无规的布朗运动,
所以,不产生宏观电流。
0时,离子晶体中带电的点缺陷在外电场的作用 下发生定向迁移,从而产生宏观电流。
以正填隙离子为例
U(x)
设其电荷为q,外电场: i
离子在电场中受的力:F=q, 附加电势能:U(x)=-qx
第四章 晶体中的缺陷和扩散
§4.1 晶格缺陷的主要类型
一、点缺陷 点缺陷:定域在格点附近一个或几个晶格常数范围内 偏离晶格周期性的结构称为点缺陷
1. 空位(Schottky缺陷)
2. Frenkel缺陷
Frenkel缺陷: 空位——间隙原子对
形成一个Frenkel缺陷要比形成一个空位所需的能 量多些,因而也更难些。
解为:
nx,tn01
2
x
2 Dt
x Dt
erf(x) 2 xe2d —— 误差函数(概率积分)
0
2. 扩散系数与温度的关系
扩散系数与温度有密切关系,温度越高,扩散就越快。 实验发现,若温度变化范围不太宽,那么,扩散系数 与温度的关系为
D(T)D0expRQT
F U T S
U n1u1
S kBlnW, W:系统可能出现的微观状态数
晶体中没有空位时,系统原有的微观状态数为W0, 由于出现空位,系统的微观状态数增加W1, 假设W0和W1相互独立,
有:W= W0 W1
S S 0 S k B ln W k B ln W 0 k B ln W 1
0
x2
tg 1 4Dt
D 1
4ttg
例2:一半无限大晶体,若保持扩散物质在晶体一表面 上的浓度n0不变,在一定温度下,经过一段时间 的扩散,求扩散物质在晶体中的分布。
扩散方程:
n t
D
2n x2
初始条件和边界条件分别为:
{ n(x, 0) = 0 , x > 0 n(0, t) = n0 , t 0
0
离子运动需越过的势垒:
向左:
E
1 2
qa
E
向右:
E
1 2
q
a
a
x
qa/2
离子越过势垒的频率
向右
160
exp
E
kB12Tqa