镀膜机操作说明书
南光镀膜机说明书
南光镀膜机说明书该机用于半导体组件及光学件生产和研究是比较理想的设备,在极限真空,防止油污和缩短工作等方面都具有较好的性能,它用于单层光学薄膜和生产也是比较理想的设备.一.工作条件 1.电源总功率约30KW,220V/380V,50HZ 线制为三相四线制.2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2 3.安装环境必须具备良好通风条件.4.水流约1.5L/min.5.气压:0.5MPa二.主要技术性能:(一)真空控制系统 1.半自动/手动旋钮置手动可按常规进行各种泵,阀的启动与停止操作. 2.自动/手动旋钮置自动时通过开机,真空,取件三个按钮的动作可分别执行开机/停机,真空/中止真空,取件/取件关程序.(1)a.当按下开机钮,设备将按下列步骤运行:开机械泵,截放阀延时10秒开预阀,延时30秒开扩散泵.b.当松开开机钮,设备将按下列步骤停机:关扩散泵冷却延时1小时,关预阀延时5秒关机械泵,截放阀.(2).在执行开机程序以后 a按下真空钮设备将按下列步骤运行:开低级阀,低真空信号到,关低阀延时3秒开预阀,再延时3秒开高阀,直至高真空.松开真空钮,设备将回到开机状态.(3)a 在执和行真空程序之后,当按下取件钮,关高阀并延时5秒打开放气阀.b.当松开取件钮,在真空室门已关好之后,设备将自动回到真空程序运行.(4).通过在真空程序执行后,反复使用取件钮,可达到真空,取件的连续过程.(二).工转及比较片转动系统:工转控制采用直流调速器对工件电机进行调速,转速为连续可调.比较片电机控制为点动连续转位控制.(三).烘烤系统:本系统采用三(单)相调功器(移相或过零触发)和进口数显温控仪对工件进行烘烤,温度可控可调,设定好温度后,参照温控仪说明书,采用自整定运行,自整定运行结速后进行恒温控制(第一次自整定温度会出现过冲现象,自整定运行结束后再开机,就不会出现过冲,用户可根据不同的温度要求全部进行自整定1次.)NG-3型电子束蒸发源电源装置包括X-Y磁偏转扫描单元,枪灯丝及束流控制单元,高压自动控制装置,坩埚转动控制装置及手持控制盒.一.工作条件:1.电源:总功率约为10KW,220V/380V,50HZ;三相四线制. 2.接地电阻小于4欧,接地导线截面积大于等于10mm2. 3.安装环境必须具备良好通风条件.二.主要技术性能: 1.X-Y磁偏转扫描单元具有波形可选,频率可调之特点. (1).偏转(或称位移)电流:(在4-7欧负载上) IX=0-1.8A IY=0-±1.5A (2).扫描波形:矩形波,三角形,正玄波任选. (3).扫描电流:IX=IX±0.25A IY=IY±0.5A (4).扫描频率:1-20HZ可调. (5).失偏保护(只对X线圈而言):当IX大于等于0.4A时,电源输出一对常开触点,可用以联锁直流高压或其它用途的控制.2.枪灯丝单元:(1).接上枪灯丝,真空度高于 6.7X10-3Pa时,灯丝变压器原边:U~约等于0~200V I~约等于0~1.5A (2).具有过流,失压保护功能.3.高压控制单元:采用SKQH高压自动控制装置,克服了电子管固有的缺点.(1).直流高压:6KV,8KV,二档.换档时改变变压器抽头即可.(2).最大电流:600毫安.(3).自动控制功能:电子枪打火时能自动降低高压,随后自动迅速恢复原值.4.坩埚转位控制单元提供四位坩埚点动. 三.安装与调试:为保证本电源正常可靠工作,必须严格按以下步骤及要求正确进行安装与调试. (一).系统接线:电源线截面积大于等于2.5平方毫米导线;接地线截面积大于等于10平方毫米导线,先连接至主机,再由主机接大地;HV-高压线用随机所附专用高压线. (二).检查与调试:在保证系统连线正确之后,检查各单元盒内,前后面板,背板上各零件有无松动,脱落及损坏情况(若有即排除),并清除污物(尤其是高压部分)后,可作如下操作:(1).高压控制单元 a.从电源柜端脱开HV-高压电缆,按下遥控盒上高压按钮,本单元开通指示灯亮,相序指示灯亮,若均不亮,则表示本单元三相电源进线相序不正确或缺相.关掉电源,检查三丰电源是否缺相,或调换电源线,直到相序正确,这时开通,相序指示灯均亮,高压表指示为6KV(或所选高压值).历时2分钟,高压单元内无打火现象属正常.缺相或相时保护电路使高压无输出.b电子枪打火时过流灯闪烁,高压控制装置进行自动调节,当电子枪严重短路时自动切断高压,此时须关掉高压电源,排除故障后再重新开启电源.c关掉电源.注意:高压操作须遵守高压操作规程,以免发生人身事故. (2).X-Y磁偏转扫描单元 a.检查偏转线圈接线正确后,按下该单元面板上电源按钮,相应按上指示灯亮.b.分别调节手控盒上X,Y电位器为零,再分别调节X电位器,面板上相应电流表应指示0-1.8A,调节Y电位器,相应电流表指示0-(±1.5A). c.关X电位器至零,关Y电位器至中点(电表指示为零),复位电源按钮,断电源.(如果观察交流扫描波形及幅值,可用示波器直接于X及Y偏转线圈上观察).(3).枪灯丝及束流控制单元:此项工作须在系统接线正确,并保证真空室真空度高于6.7X10-3Pa以上时进行. a.待真空度满足要求后,按下本单元面板上枪灯丝按钮,按钮上面指示灯亮,调节灯丝电流电位器,交流电压表指示枪灯丝变压器原边电压在0-200V连续变化,相应原边交流电流可在0-1.5A左右(视枪前头而定)连续变化. b.调节遥控盒上束流调节电位器,因此时高压尚未启动,故电压表,电流表均无变化,表明失压保护节工作正常. c.回零上述电位器,关电源.至此为止,本系统各单元工作正常.接通HV-高压电缆,便可按镀膜机电子枪操作步骤进行操作.四.说明:本电源为电子束蒸发源的独立供电系统,为确保电子枪及本电源的安全使用,若采用本电源对电子枪独立供电,在使用前必须对电子枪作耐压试验,方法为:当真空度达 6.7X10-3Pa之后,不开枪灯丝,按高压单元的操作顺序,对电子枪施加8KV高压,应稳定2分钟,无打火,击穿视为正常.然后满足电子枪工作的条件:(一)先确定电子枪X偏转磁场的方向-正对枪头:其左面磁极为南极,右面磁极为北极(若方向不对,可调换X偏转电源接线),然后将X偏转位移电流调在IX=0.6A左右. (二).在室温25度以下时,电子枪冷却水压不低于1.5Kg/cm2,并保证水源通畅. (三).电源柜门,机柜门关闭,并在周围树立高压危险标志若本电源与其它设备协同工作,可根据需要加入述各条件的联锁保护环节.。
镀膜机操作说明书
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
镀膜机操作规范-czh
深圳富泰宏精密工业有限公司设备操作规范设备 Desc P/N镀膜机工站名称 Station Name镀膜规范编号.CMOO-0249版次 RevA页次 Page (共1页)1※ 操作步骤1.打开子控制柜的主电源旋钮2.打开中心控制柜主电源旋钮3.打开（外部）主要水阀:（1）Di water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡); （2）Water temperature:18±2.5℃;（3）Water pressure:4㎏/c ㎡(>3㎏/c ㎡)。
4.打开（外部）主要气体供应阀:（1）Ar gun primary:↑及Ar gun secondary:±;（2）N2 gunprimary:↑及N2 gun secondary: ±;（3）C2H2 gun primary:↑及C2H2 gun secondary:5. 将机械帮浦及鲁式帮浦手动开关切至”off ”6. 开启电脑、萤幕、印表机之电源。
7. 待WindosNT 程式执行完出现按钮画面後按Ctrl+Alt+Del 8. 待WindosNT 出现输入密码画面时於”NAME ”格子内确认机台编号,後按”Enter ”或以滑鼠点取”ok ”9. 待电脑自动执行FL 程式後出现输入密码画面时执行镀膜机自动系统启动作业。
※ 关机1. 选择[System OFF],在涡轮冷却并通风约10分钟后系统（设备）旋至SYSTEM OFF 状态2. 关闭（外部）主要空气供给阀3. 关闭（外部）主要气体供给阀4. 关闭（外部）主要水阀5.关闭子控制柜主要电源※ 注意事项1. 关闭其它阀时,设备应处在SYSTEM OFF 状态※ 图示图一 镀膜机核定 品管 工程 制作 李吉长制定日期 2005/05/17发行修订日期。
真空镀膜机安全操作规程(3篇)
第1篇一、前言真空镀膜机是一种精密设备，用于在各种材料表面镀制薄膜，广泛应用于光学、电子、精密仪器等领域。
为确保操作人员的人身安全和设备正常运行，特制定本安全操作规程。
二、适用范围本规程适用于所有真空镀膜机的操作人员。
三、操作前的准备1. 熟悉真空镀膜机的结构、性能、操作方法和注意事项。
2. 检查设备外观，确保无损坏、无松动。
3. 检查电源、水源、气源等是否正常，并确保各连接部件牢固可靠。
4. 检查真空系统是否完好，确保真空度达到要求。
5. 检查设备内是否有残留物质，如有，应清理干净。
四、操作步骤1. 开启设备电源，启动真空泵，确保真空度达到要求。
2. 将工件放置在镀膜腔内，注意工件放置平稳，避免碰撞。
3. 根据镀膜要求，调整温度、压力、功率等参数。
4. 启动工件转动装置，确保工件转动平稳。
5. 启动电子枪，调节束偏转角、阳极电压、束流等参数。
6. 观察设备运行状态，如发现异常，立即停止操作，查找原因并排除故障。
五、注意事项1. 操作人员必须穿戴好防护用品，如防静电手套、防护眼镜等。
2. 操作过程中，严禁触摸高温部件，避免烫伤。
3. 严禁将金属物体带入设备内部，以防损坏设备。
4. 避免在设备附近吸烟、使用明火，防止火灾发生。
5. 操作过程中，注意观察设备运行状态，如发现异常，立即停止操作。
6. 严禁在设备运行过程中进行维修、调整等操作。
六、操作后的维护1. 关闭设备电源，停止真空泵运行。
2. 清理设备内部，清除残留物质。
3. 检查设备各部件是否完好，如有损坏，及时更换。
4. 定期对设备进行保养、维护，确保设备正常运行。
七、紧急情况处理1. 发生火灾时，立即切断电源，使用灭火器进行灭火。
2. 发生触电事故时，立即切断电源，进行急救。
3. 发生设备故障时，立即停止操作，查找原因并排除故障。
八、附则1. 本规程由设备管理部门负责解释。
2. 本规程自发布之日起实施。
通过以上真空镀膜机安全操作规程，可以有效保障操作人员的人身安全和设备正常运行，提高生产效率。
国产镀膜机作业指导书
国产镀膜机作业指导书1. 目的/范围规范镀膜操作工艺，确保安全生产。
2. 定义/缩写词NA3. 参考文件NA4. 职责与权限本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。
文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。
5. 工具及设备国产镀膜机及配件、分光光度计。
6. 作业内容1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。
2镀膜操作步骤：2.1镀膜员工基本要求：每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。
2.2开机：2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。
(重要环节/语言很难描述的环节)2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。
2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源（预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单色仪控制器、工转电源、计时器和照明。
2.3热机2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。
各机台大清洗之后，必须热机。
2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。
2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设备是否处于正常工作状态。
2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。
2.4抽真空前准备：2.4.1北仪：按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
南光：按放气阀对真空室充气（此时系统报警，十秒钟后报警消失，无报警系统镀膜机省略此步骤），充气完毕关放气阀。
电阻式蒸发镀膜机具体操作说明书
电阻式蒸发镀膜机具体操作说明书电阻式蒸发镀膜机技术员培训文件§声明§：此镀膜机为专业领域使用镀膜设备，要由经过专业培训的镀膜技师操作此设备，对于操作人员误操作而造成的机械故障以及泵、腔、电器故障及损坏我司将不予负责。
一、设备开机的具体操作步骤我厂生产镀膜机为手/自动可切换型镀膜设备。
下面先讲一下手动开机和自动开机的具体步骤，《手自动关机待看标题第四项》1、手动开机（预机）（预：预热。
机：设备：）①、首先在开机前检查冷却水、空压机、反应气体、硅油油量、机械泵油、线缆接头是否松动、等等辅助设备。
②、待①所有项以确定，然后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，这时设备已经进入通电待机状态，然后点击触摸屏上的“维持泵”图像按钮，打开维持泵。
带真空达到15Pa时（1.5x10°Pa）再点击触摸屏上的“扩散泵”图像按钮打开“扩散泵”《弯曲线变成红色》待加热90分钟，开机（预机）完成。
2、自动开机（预机）（预：预热。
机：设备：）①、首先在开机前检查冷却水、空压机、反应气体、硅油油量、机械泵油、线缆接头是否松动、等等辅助设备。
②、待①所有项以确定，然后按下电器柜面板上的“电源开”按钮，这时设备已经进入通电待机状态，然后点击触摸屏上的“参数设定”键，按下后会自动弹出一个新的画面，再点击新画面上的“自动开关机”键，紧接着又会弹出一个自动开关机设定画面，然后点击自动开关机设定画面上的“启动自动开机键”?《注1:！要先设定开关机时间再点击按钮》?《时间制式为24 小时制，如时间与当前时间不一致，也可通过左下方“时间调节”来调整时间》，这时已经启动自动开机（预机）,预机需要90分钟，时间一到触摸屏会提示开机完成。
注2?：本人认为自动开机对初学者提供一个比较好的步骤教材，初学者应在“自动”执行的时候看其步骤操作，可在其中学到开关泵、阀门、以及开关以上两点的真空度要求等等。
所以在此本人提醒一下初学要好好学好好看，如因自己学、识程度不够误操作设备出现的故障，我公司将是不会纳入保修之内的。
JSD-300蒸发镀膜机使用说明书
JSD-300型真空镀膜机使用说明书安徽嘉硕真空科技有限公司目录1、概述 (3)2、主要技术性能参数 (3)3、设备安装 (5)4、操作规程 (5)5、使用注意事项、维护与保养 (7)6、设备主要配置 (8)7、技术资料清单 (9)一、概述JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。
设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。
二、主要技术性能参数1.真空室：φ300*H450mm；2.基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）；3.最大可镀工件直径：φ120mm；4.极限真空度：1X10-4Pa;5.抽气时间：大气压~8*10-3Pa小于20min；6.蒸发：电阻式蒸发电极（2对）功率：2KW；7.开启方式：上翻盖结构；8.真空系统：机械泵+分子泵；设备结构介绍：1.真空室钟罩结构，上盖开启。
不锈钢材质，前面配φ100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底板、蒸发源等；2.真空系统采用分子泵+旋片式机械泵。
采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构；3.电气系统电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。
系统示意图如下所示：图1 JSD-300真空镀膜机示意图调节旋纽电控面板 电流表 蒸发开关 膜厚仪探头步进电机插板阀预抽阀门备用接口 分子泵电源前门板总开关电离单元 观察窗挡板 真空室 陶封电极 电机控制器电阻单元真空计膜厚仪 加热温控电源 封板地脚脚轮观察窗 温控仪表三、设备安装3.1、机架平面尺寸：L1200×W700mm。
3.2 、配套设施准备设备安装前，客户应提供如下条件：3.2.1 整机配电要求安装位置附近应有易得的电源插座；供电：交流220V，8KW。
3.2.2 联接地线要求本设备必须进行良好接地。
镀膜设备操作规程
镀膜设备操作规程镀膜设备操作规程一、镀膜线旋转A型架操作1、操作1.1、开机：上下片台旋转A型架的电源取自上下片台相应的急停开关后，当上下片台正常工作时，合上旋转A型架控制箱内的空气开关，上下片台旋转A型架即可得电工作。
1.2、A型架选择：旋动A型架控制柜上的A型架选择旋钮，选择1号架和2号架，则选定的A型架可以工作。
下片台A 型架控制箱，此旋钮只有一个有效位置。
1.3、前进后退：按动A型架控制柜上的相应按钮，1号架或2号架就会相应地向南或向北移动。
松开按钮，A型架会缓慢停止。
当A 型架移动到限位时，A型架会自动停止。
1.4、对位：当A型架运动到限位时，只能退回，不能继续前进。
如果位置不对，将A型架返回，再次无停顿地前行至自然停止即可。
当A型架运动到装卸位时，HEGLA操作屏上相应的A型架到位（rack in position）灯点亮，表明A型架确实到位，可以进行上片操作。
1.5、当上下片台机械手在对A型架进行取片的过程中，不可移动该A型架。
1.6、强行：强行按钮只在维修时使用。
1.7、关机：关闭控制箱中的空气开关；当上下片台关机时，A型架将自动关机。
2、注意事项2.1、A型架运动到装卸位并准备进行装卸时，必须将固定销销上。
2.2、移动A型架时必须注意观察A型架的实际位置，不要使A型架冲出限位。
2.3、在A型架上放置空箱时需要注意：2.3.1 A型架中部，即旋转部位，严禁垫放木块或其他支撑；2.3.2其他位置垫放支撑不得高于固定支撑；2.3.3检查空箱是否按照A型架固定支撑的位置垫放马粪纸；2.3.4移动过程中，必须保持A型架AB面固定，插上插销后方可进行。
二、镀膜线上片台操作1、开机首先将电源柜主电源开关（MAIN SWITCH）旋转到1位，然后按下电源控制启动按钮（CONTROL POWER ON）。
此时电源柜顶部左侧红色指示灯不停地闪，大约一分钟后，红色指示灯熄灭，电源柜顶部右侧和操作控制台的红色和绿色指示灯同时亮，按下复位键（RESET EMO），红色指示灯熄灭，绿色指示灯仍亮，显示进入自动控制状态（如果电源柜顶部右侧和操作控制台的红色指示灯熄灭，而黄色指示灯仍亮，说明进入手动状态）。
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真镀前准备
1、开机前准备操作：
气路——水路——开电源总闸——按下电源控制——开启真空计——开启粗抽泵——开启前置阀——（J1灯亮）开启扩散泵。
(4)换钨丝：钨丝一般情况下6-8次换一次，即每天下班的时候需要换钨丝。
(5)换铝丝：铝丝在确定长度的情况下，需要对折2次，铝丝不能拧紧在一起，也不能太松散，只要4根铝丝靠在一起就行。
(6)精抽阀关掉后，一般需要等10S左右的时间再按下工作室放气——主要这时硅管刚处于高温发红的状态，空气过早的进入会氧化硅管，10S后硅管冷却后再按下工作室放气。
(2)自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，按下控制面板左边的自动按钮。剩余过程会在15Min左右由程序自动完成至开门。
(3)半自动操作：换完钨丝、铝丝、关上门后，在触摸屏上面按住自动按钮不放，几秒钟后，按钮会在自动和半自动之间转换，将按钮调至半自动，然后按下控制面板左边的自动按钮。程序会自动控制到J6灯亮（显示屏上会显示不停闪动的可镀），需手动操作整个蒸发过程，以及剩余操作。
2.镀膜机的腔体在每次真镀上产品前必须对铝屑等杂质进行清扫。腔体的不锈钢挡板需2周左右用烧碱洗一次。挡板清洗后，第一次真镀以前，要手动抽真空半小时左右，以将挡板上的水汽及其它的可挥发杂质除掉。
3.镀膜机的蒸发工艺参数设定：从电压上来说，蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.蒸发3个过程；从时间上来说蒸发过程分为1.预热；2.熔融；3.熔融保持4.蒸发5.蒸发保持等5个阶段。一般来说，电压的设定按照过程要逐渐增大，但是最大为6.0V。电压与各个时间的设定值要需要参照镀出来的产品是否发黄、飞铝等问题来调整。（蒸发与蒸发保持阶段的时间与压力的减小一般不造成真镀后的产品附着力不佳的情况。
4.一般每次还完扩散泵油以及粗抽泵油后，都需对蒸发的参数进行略微的调整。
5.当改变镀的种类如由镀铝改为镀铬时，需要重新设置蒸发的参数。
6.蒸发过程的参数在触摸屏上面可以直接设置，需要密码验证，密码：8031.
二、真镀操作
1.真镀操作流程：
换钨丝——换铝丝——上产品——关门——关前置阀——开启粗抽阀——（至J5灯亮）关粗抽阀——开前置阀——开精抽阀——（至J6灯亮）开蒸发开关——调节蒸发电流——蒸发电流复位——关蒸发开关——关精抽阀——（10S左右后）按下工作室放气——开门。
2.操作说明：
(1)以上过程为手动操作的过程。
2.真镀产品返油是扩散泵油或者水冷不够的问题。
3.真镀产品发黄一般是由粗抽泵的油太脏或者蒸发的电压过高或者蒸发保持时间过长造成的。
4.真镀产品上面有黑点一般是由于真镀腔体内不干净而造成的。
5.真镀产品上面有铝颗粒——即飞铝现象一般是由于熔融电压过大或者熔融保持时间过长造成的。
6.蒸发过程中有掉表——即真空度下降的情况，一般是由于扩散泵油有烧坏的情况、或者漏气以及腔体太脏的原因。
2、操作说明：
1.气路开启：开启楼上空气压缩系统，检查镀膜机后面的气压表到70kg/cm2后，气路检查完毕，而压力不到就进行其它的操作容易导致开前置阀时，虽然显示前置阀开启，但是前置阀却实际为关闭的——阀门的开启与关闭主要靠压缩空气驱动。
2.水路开启：打开楼上冷却塔的扇叶冷凝。
3.电路开启：检查电柜箱的闸刀是否送上（一般情况下是送上的），开启镀膜机右边的电源总闸——调至ON档位，在镀膜机正上面的控制面板上，按下电源控制，开启真空计、按下粗抽泵，开启前置阀，检查水泵是否在工作，水路是否通畅，过几分钟至J1灯亮后开启扩散泵。待扩散泵开启约45Min后可以进行真镀操作。
(7)J5、J6的上限设置详见真空计使用说明。J5上限设置为一般为5.0的0次方，J6的上限设置为一般为5.0的-2次方。J5灯亮即为粗抽转精抽的标志，J6灯亮即为可镀的标志。J6的上限设置越小，镀出来的产品一般越亮。目前镀膜机的设置为4.0的-2次方，实验室镀膜机最小抽真空能力为2.0的-2次方左右。
7.漏气的排查：主要是在粗抽或者精抽时会出现真空度一直抽不上去的现象。一般需要一人盯住真空计上面的真空度，另外一人根据当时工作的泵在其各个接口处滴撒乙醇，乙醇滴到哪个接口时真空度急剧上升则说明该阀门漏气。
镀膜机日常维护：
1.镀膜机的粗抽泵油和扩散泵油一般3个月换一次：都得拆开用乙醇擦洗，然后换新油。
(2)腔体抽成负压完成后，一定要检查前置阀、粗抽泵要处于开启状态。否则会导致扩散泵内的油被烧坏。
(3)镀膜机的水路与气路在关粗抽泵以前不能关掉，水路关掉会导致扩散泵冷却不够而扩散泵油被烧坏；气路关掉会导致各个阀门关不紧而空气进入氧化扩散泵油。
四、镀膜机的日常维护
镀膜机常见问题排查：
1.真镀的产品发蓝一般是扩散泵油有问题。
三、关机准备与关机
关机准备：
关扩散泵——（1h后）关粗抽泵——关前置阀——关真空计——关镀膜机右边的电源总闸——关冷却塔扇叶冷凝——关压缩空气系统。
关机操作说明：
(1)关扩散泵后，为了下次使用的抽真空时间不至于太长，一般将腔体抽成负压，一般操作为关掉扩散泵后，关门、关前置阀、开启粗抽阀、待真空度到100Pa左右后，关粗抽阀、开前置阀。1h后关粗抽泵、前置阀以及剩余操作。