工程复合材料
复合材料工程
复合材料工程
复合材料工程是一门涉及多种材料的工程学科，它将不同类型的材料组合在一起，以产生具有优越性能的新材料。
复合材料通常由两种或两种以上的材料组成，其中一种是增强材料，另一种是基体材料。
增强材料通常是提供强度和刚度的材料，如玻璃纤维、碳纤维或聚合物纤维，而基体材料则是提供支撑和保护的材料，如树脂或金属。
复合材料工程在航空航天、汽车制造、建筑和体育用品等领域都有广泛的应用。
它的应用范围越来越广泛，因为它可以提供比传统材料更轻、更强、更耐腐蚀的性能。
在航空航天领域，复合材料被广泛应用于飞机机身、翼梁和动力系统中，以减轻飞机的重量并提高其性能。
在汽车制造领域，复合材料被用于制造车身和发动机零部件，以提高汽车的燃油效率和安全性能。
复合材料的制造过程包括预浸料、层压和固化等步骤。
预浸料是将增强材料浸
渍在树脂中，以便在层压过程中形成坚固的结合。
层压是将预浸料层叠在一起，并施加高温和高压，使其固化成为坚固的复合材料。
这种制造方法可以生产出具有复杂形状和优异性能的复合材料制品。
复合材料工程的发展离不开材料科学和工程技术的支持。
材料科学的发展为复
合材料提供了更多的材料选择和设计方法，工程技术的进步则为复合材料的制造和加工提供了更高的效率和更好的质量控制。
这些都为复合材料在各个领域的应用奠定了坚实的基础。
总的来说，复合材料工程是一门非常重要的工程学科，它的应用范围越来越广泛，对于提高产品性能、降低能耗、减轻重量都起到了重要的作用。
随着材料科学和工程技术的不断发展，相信复合材料工程将会在未来发挥更加重要的作用，为人类社会的发展做出更大的贡献。
国家工程复合材料检测报告
国家工程复合材料检测报告
复合材料是一种由两种或更多种不同材料组合而成的材料，具有优越的性能和广泛的应用领域。
在国家工程项目中，复合材料的使用越来越广泛，因此对复合材料进行检测和评估显得尤为重要。
国家工程复合材料检测报告是对复合材料进行全面检测和评估的文件，它是确保复合材料质量和性能符合国家标准和工程项目要求的重要依据。
在复合材料检测报告中，通常包括以下内容：
首先，报告会对复合材料的材料组成、制备工艺、结构特点等进行详细描述。
这些信息对于了解复合材料的基本情况和特性至关重要。
其次，报告会对复合材料的力学性能、热学性能、耐腐蚀性能等进行全面测试和评估。
通过对这些性能的检测，可以判断复合材料的可靠性和耐久性，保证其在工程项目中的安全可靠性。
另外，报告还会对复合材料的表面质量、尺寸精度、外观检查等进行详细描述和评价。
这些内容对于保证复合材料的外观美观和尺寸精准度至关重要。
此外，报告还会对复合材料的环境适应性、使用寿命、维护保养等方面进行评估，以保证复合材料在不同环境下的稳定性和可靠性。
综合以上内容，国家工程复合材料检测报告是对复合材料进行全面评估和检测的重要文件，它为复合材料的生产、应用和工程项目提供了重要的依据和保障。
只有通过严格的检测和评估，复合材料才能在国家工程项目中发挥其优越的性能和作用。
高考专业选择：大有前途的材料类专业(复合材料与工程)
高考专业选择：大有前途的材料类专业(复合材料与工程)复合材料与工程是一个大有前途的专业选择。
随着科技的不断发展，复合材料在各个行业中得到了广泛的应用。
这个专业培养的是复合材料领域的专业人才，他们可以在材料科学、机械工程、航空航天、汽车工程、能源等领域找到就业机会。
复合材料是由两种或两种以上的不同材料组成的材料，具有优良的综合性能，如高强度、高刚度、低密度、耐腐蚀等特点。
它可以替代传统的材料，提高产品的性能和质量。
因此，复合材料在航空航天、汽车制造、建筑工程、电子产品等领域有着广泛的应用前景。
选择复合材料与工程专业可以享受到以下好处：1. 就业前景广阔：随着科技的发展，复合材料在各个行业中的应用越来越广泛，特别是在航空航天、汽车制造、能源、环境保护等领域，需求量大。
毕业生可以在各种制造行业和研究机构找到丰富的就业机会。
2. 薪资待遇较高：由于复合材料技术的复杂性和应用广泛性，复合材料专业的毕业生往往能够获得较高的薪资待遇。
特别是在高技术产业和研发领域，薪资普遍偏高。
3. 学科门类较广：复合材料与工程专业涵盖了材料科学、机械工程、化学工程等多个学科门类，培养了学生的综合素质和跨学科的能力。
这使得毕业生具备更广阔的发展空间。
4. 创新潜力大：复合材料是一个较新的材料领域，目前仍然存在很多的研究和开发空间。
毕业生可以通过创新研究、新材料的开发和应用等方式，为材料科学做出突破性的贡献。
总之，选择复合材料与工程专业是一个具有前景和发展潜力的选择。
这个专业培养了具备综合素质和跨学科能力的专业人才，他们可以在各个行业中找到稳定的职业发展机会，为社会和经济发展做出贡献。
复合材料模板施工工程(3篇)
第1篇一、工程背景随着建筑行业的快速发展，复合材料模板因其具有重量轻、易周转、施工速度快、稳定性好等优点，被广泛应用于各类建筑工程中。
本文以某住宅小区项目为例，介绍复合材料模板施工工程的相关内容。
二、工程概况1. 工程名称：某住宅小区项目2. 工程地点：某市某区3. 工程规模：总建筑面积约12万平方米4. 结构形式：框架剪力墙结构5. 施工周期：预计18个月三、复合材料模板施工工艺1. 施工准备（1）材料准备：根据施工图纸及设计要求，选择合适的复合材料模板，如铝合金模板、钢模板等。
（2）人员准备：组织施工队伍，进行技术交底，确保施工人员掌握施工工艺及安全操作规程。
（3）施工设备准备：准备模板支撑体系、脚手架、电动工具等施工设备。
2. 施工步骤（1）模板安装1）根据施工图纸，在施工现场绘制模板安装图。
2）按照安装图，将模板逐一安装到位。
3）调整模板垂直度、水平度，确保模板安装牢固。
（2）模板加固1）在模板四周设置支撑体系，确保模板在施工过程中稳定。
2）在支撑体系上设置水平撑、剪刀撑等，增强模板的稳定性。
3）在模板内部设置拉筋，防止模板在浇筑混凝土过程中变形。
（3）模板拆除1）混凝土强度达到设计要求后，进行模板拆除。
2）拆除模板时，注意保护模板及支撑体系，避免损坏。
3. 施工质量控制（1）模板安装质量：确保模板安装牢固、垂直、水平，无翘曲、变形等现象。
（2）模板加固质量：支撑体系牢固可靠，剪刀撑、水平撑等设置合理。
（3）混凝土浇筑质量：严格按照施工规范进行混凝土浇筑，确保混凝土强度、密实度等符合设计要求。
四、施工注意事项1. 施工过程中，严格遵循施工规范及操作规程，确保施工安全。
2. 加强施工过程中的质量监控，及时发现并解决质量问题。
3. 优化施工方案，提高施工效率。
4. 加强与监理单位的沟通与协作，确保工程顺利进行。
五、总结复合材料模板施工工程在建筑行业中具有广泛的应用前景。
通过本文的介绍，希望能够为类似工程提供一定的参考和借鉴。
复合材料在土木工程中的发展与应用
复合材料在土木工程中的发展与应用随着科技的不断进步，复合材料作为一种新型材料，被广泛应用于土木工程领域。
复合材料是由两种或以上的材料组合而成，并具有其各自优点的一种材料。
其优点包括轻质、高强度、高刚性、抗腐蚀、耐磨损、耐高温等。
因此，复合材料已经在土木工程领域中发挥着越来越重要的作用。
复合材料的种类非常多，其制造工艺也是千差万别。
常见的复合材料包括碳纤维复合材料、玻璃纤维复合材料、石墨烯复合材料等等。
这些复合材料在不同的土木工程领域中发挥着特殊的作用。
在建筑领域，玻璃纤维复合材料被广泛用于隔音板、墙板等材料制造中。
其具有轻质、强度高、隔音好、防潮等优点，能够有效地改善建筑物的隔音性能，提升建筑物的质量。
在桥梁的建设计划中，碳纤维复合材料具有良好的强度和刚性。
对于复杂的桥梁结构，这种复合材料的使用能够有效地减轻载荷，并增加桥梁的承受能力。
此外，复合材料还可以用于加固老化桥梁的结构，延长其使用寿命。
以美国为例，在美国国家科学基金会（NSF）支持下，美国弗吉尼亚大学进行了为期3年的研究，利用玻璃纤维增强塑料（GFRP）复合材料承担桥梁荷载，取得不俗的成果。
此外，复合材料还广泛应用于地下管道、隧道、隔离栏等土木工程领域中。
在隧道、地下管道中使用复合材料制造的管道能够有效地提高其气密性和防渗性，强度高、抗腐蚀性能强，在地下环境中表现出较好的机械性能。
隔离栏的制造也可以使用复合材料，其具有卓越的抗撞击性和防腐蚀性能，能够很好地适应复杂的海洋环境。
总之，复合材料在土木工程领域中的应用前景广阔。
以其轻、强、耐腐蚀等特性，复合材料可以替代传统材料并在许多需求高强度、耐久性、耐磨性和抗震性的工程项目中发挥重要作用。
我们期待着未来复合材料可以实现更广泛的应用，让我们的城市更加安全、美好。
复合材料屋面工程施工方案
复合材料屋面工程施工方案一、项目概述复合材料屋面工程是一种新型的建筑材料应用方案，其优点包括轻质、耐候性好、施工方便等，因此在现代建筑领域得到了广泛的应用。
本施工方案旨在详细介绍复合材料屋面工程的施工步骤、安全措施以及质量要求，以确保工程按照标准高效地进行。
二、施工步骤1. 材料准备在施工前，必须确保所有所需的复合材料已经准备就绪。
材料应该经过验收，并按照工程要求进行分类和堆放。
2. 屋面清洁清洁屋面是确保施工质量的关键一步。
首先，对原有屋面表面进行清理，去除杂物和异物。
然后，进行彻底的清洗，确保没有油脂、尘埃等影响粘接效果的物质。
3. 苫铺防水层铺设防水层是屋面工程的重要环节。
首先在屋面上铺设防水膜，覆盖全部屋面面积，同时注意边角部位需要进行加固处理。
然后进行热风焊接，确保防水层与屋面牢固结合。
4. 复合材料铺设将准备好的复合材料铺设在屋面上，注意与防水层的贴合。
根据设计要求，进行必要的修剪和拼接，确保屋面整体的美观和平整。
5. 排水系统安装根据设计要求，在屋面上安装排水系统。
合理设置排水管道的坡度，确保水能够顺利排出。
6. 安全固定为确保屋面的稳固和安全，对复合材料进行固定。
采用合适的螺栓、膨胀螺栓或钢丝等进行固定，同时要注意安全防护措施，避免高处作业的风险。
7. 保护处理在施工完毕后，需对新铺设的复合材料屋面进行保护处理。
避免日晒、雨淋等对屋面的损害，保持屋面的完好和美观。
三、安全措施1. 施工人员需佩戴符合要求的安全帽、安全鞋等防护用品，并遵守相关的安全操作规范。
2. 在高处施工时，要确保搭建牢固的脚手架和安全防护网，防止人员坠落。
3. 对施工现场进行合理的划分和隔离，确保其他工作人员和外来人员的安全。
4. 使用安全可靠的吊装设备进行材料的运输和安装，严禁超负荷作业。
5. 定期检查施工现场，清理杂物，防止滑倒和其他意外事故的发生。
四、质量要求1. 复合材料应符合国家或行业的相关标准和规定，确保质量稳定可靠。
工程力学中如何处理复合材料问题？
工程力学中如何处理复合材料问题？在现代工程领域，复合材料因其优异的性能而得到广泛应用。
然而，处理复合材料问题并非易事，需要综合考虑多个方面的因素。
复合材料是由两种或两种以上具有不同物理和化学性质的材料组合而成，其性能往往优于单一材料。
常见的复合材料包括纤维增强复合材料（如碳纤维增强复合材料、玻璃纤维增强复合材料）、层合复合材料等。
在工程力学中处理复合材料问题，首先要对复合材料的力学性能有深入的了解。
这包括强度、刚度、韧性、疲劳性能等。
与传统的单一材料不同，复合材料的力学性能通常具有各向异性的特点，也就是说，在不同的方向上，其性能可能会有很大的差异。
例如，碳纤维增强复合材料在纤维方向上具有很高的强度和刚度，但在垂直于纤维的方向上性能则相对较弱。
因此，在设计和分析时，必须准确考虑材料的方向性。
为了准确描述复合材料的力学性能，需要建立合适的本构模型。
本构模型是描述材料应力与应变关系的数学表达式。
对于复合材料，常用的本构模型有宏观力学模型和微观力学模型。
宏观力学模型将复合材料视为均匀的等效材料，通过实验测定其宏观性能参数来建立本构关系。
这种方法相对简单，但精度可能有限。
微观力学模型则考虑复合材料的微观结构，通过分析纤维、基体和界面的相互作用来预测材料的性能。
虽然微观力学模型更准确，但计算复杂度较高。
在实际应用中，还需要考虑复合材料的制造工艺对其性能的影响。
不同的制造工艺（如手糊成型、注塑成型、缠绕成型等）会导致复合材料内部的纤维分布、孔隙率等微观结构的差异，从而影响其力学性能。
因此，在处理复合材料问题时，需要与制造工艺相结合，通过优化工艺参数来提高材料的性能。
复合材料的失效模式也是工程力学中需要重点关注的问题。
与单一材料的简单失效模式（如屈服、断裂）不同，复合材料的失效往往更为复杂，可能包括纤维断裂、基体开裂、界面脱粘等多种形式。
为了准确预测复合材料的失效，需要建立合理的失效准则。
目前，常用的失效准则有最大应力准则、最大应变准则、蔡吴准则等。
复合材料在建筑工程中的应用
复合材料在建筑工程中的应用哎呀，说起复合材料在建筑工程中的应用，那可真是一个让人兴奋的话题！就拿我前段时间去参观的一个新建小区来说吧。
一走进那个小区，我就被那些造型独特又美观的建筑给吸引住了。
其中有一栋楼，它的外立面使用了一种新型的复合材料，看起来就像是一层薄薄的金属铠甲，但又有着独特的纹理和光泽。
这种复合材料可不是普通的材料哦，它具有出色的耐腐蚀性。
在我们日常生活中，建筑外立面经常会受到雨水、空气中的化学物质等的侵蚀。
但这种新型复合材料就像一个坚强的卫士，能够抵御住这些侵蚀，让建筑始终保持崭新的面貌。
还有啊，在一些桥梁的建设中，复合材料也大放异彩。
我记得有一次路过一座新建的小桥，那桥身轻盈而坚固。
原来，建造这座桥的时候，使用了一种高强度的纤维增强复合材料。
这种材料不仅重量轻，而且强度高，大大减轻了桥身的自重，同时还增加了桥梁的承载能力。
想象一下，如果还是用传统的材料，那桥可能就会显得笨重，而且维护成本也会很高。
但有了这种复合材料，就像是给桥梁穿上了一件超级战衣，既能轻松应对车辆和行人的通行压力，又能在岁月的洗礼中保持良好的状态。
另外，在室内装修方面，复合材料也有不少出色的表现。
比如说，有些家庭的卫生间会使用一种防水性能特别好的复合材料板材。
有一次我去朋友家做客，他家的卫生间用了这种板材，哪怕是洗澡的时候水溅得到处都是，也完全不用担心会渗透到墙壁里面去，导致发霉或者损坏。
再来说说保温隔热方面，复合材料也功不可没。
有一回冬天，我去一个采用了新型复合材料保温层的商场，一进去就感觉到特别温暖，和外面的寒冷形成了鲜明的对比。
这种复合材料的保温效果超级棒，大大降低了能源的消耗，既环保又省钱。
在建筑的屋顶上，复合材料也能发挥大作用。
有些屋顶使用了一种具有良好耐候性的复合材料瓦片，不管是烈日暴晒还是狂风暴雨，都能稳稳地守护着房屋。
总之，复合材料在建筑工程中的应用真的是无处不在，它们就像是建筑领域的魔法材料，不断为我们创造出更美观、更坚固、更舒适、更环保的建筑。
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2、化合物蒸镀
分解现象：常用化合物蒸发材料蒸镀薄膜 时，一些化合物会在高温下分解，从而造 成其中的高蒸气压组分的降低。
解决方法：控制蒸发源温度和向反应室内 加热反应气体以补充气体组分的损失。
四、蒸镀特点与用途
蒸镀只用于镀制对结合强度要求不高的某 些功能膜; 例如用作电极的导电膜，光学镜 头用的增透膜等。
安全在于心细，事故出在麻痹。20.1 0.242 0.10.2 417:1 0:581 7:10: 58Oct ober 24, 2020
踏实肯干，努力奋斗。2020年10月2 4日下 午5时1 0分20. 10.24 20.10 .24
追求至善凭技术开拓市场，凭管理增 创效益 ，凭服 务树立 形象。 2020年 10月2 4日星 期六下 午5时1 0分58 秒17:1 0:582 0.10. 24
基本过程：用真空抽气系统对密闭的钟罩 进行抽气，当真空罩内的气体压强足够低 时，通过蒸发源对蒸发料进行加热到一定 温度，使蒸发料气化后沉积于基片表面， 形成薄膜。
2、真空度
为什么镀膜时镀膜室内要具有一定的真空度？
一方面原因：真空环境可防止工件和薄膜本身的污 染和氧化，便于得到洁净致密的各种薄膜。
和蒸发方式。蒸发温度过低时，镀膜材料蒸发速率 过低，薄膜生长速率低；而过高的蒸发温度，不仅 会造成蒸发速率过高而产生的蒸发原子相互碰撞、 散射等现象，还可能产生由于镀料中含有气体迅速 膨胀而形成镀料飞溅。 蒸发温度一般为将镀料加热到使其平衡蒸气压达到 几Pa时的温度。
二、蒸发源和蒸发方式
1、电阻蒸发源（盛放镀料的器皿）： 电阻蒸发源材料要求：
人生得意须尽欢，莫使金樽空对月。 17:10: 5817: 10:58 17:10 10/24 /2 全，常 把弓弦 绷。20 .10.24 17:10 :5817 :10Oc t-202 4-Oct- 20
加强交通建设管理，确保工程建设质 量。17 :10:5 817:1 0:581 7:10Saturda y, October 24, 2020
离子镀膜
概念：离子镀膜简称离子镀，是在真空条 件下利用气体放电，使被气化的物质部分 离子化，并在这些荷能粒子轰击基体表面 的同时沉积于其上并形成薄膜的一种气相 沉积方法。
优点：离子镀兼具蒸镀的沉积速率高和溅 射镀的沉积粒子能量高的特点，并且特别 具有膜层和基体结合力强，绕射性好，可 镀材料广泛等优点。
专注今天，好好努力，剩下的交给时 间。20 .10.24 20.10 .2417 :1017 :10:5 817:1 0:58Oct-20
牢记安全之责，善谋安全之策，力务 安全之 实。20 20年1 0月24 日星期 六5时1 0分58 秒Satu rday, October 24, 2020
相信相信得力量。20.10.242020年 10月24 日星期 六5时 10分5 8秒20. 10.24
蒸镀用于镀制合金膜时在保证合金成分这 点上，要比溅射困难得多，但在镀制纯金 属时，蒸镀可以表现出镀膜速率快的优势。
溅射镀膜
概念：带有几十电子伏以上动能的荷能粒 子轰击固体材料时，材料表面的原子或分 子会获得足够的能量而脱离固体的束缚逸 出到气相中，这一现象称为溅射。溅射到 气相中的原子再沉积到固体表面，使之沉 积成膜，称为溅射镀膜。
化学气相沉积（ CVD）
化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition, CVD)是通过气相物质的化学反应在基材表面上沉 积固态薄膜的一种工艺方法。
CVD的基本步骤与PVD不同的是：沉积粒子来源 于化合物的气相分解反应。
CVD的实现必须提供气化反应物，这些物质在室 温下可以是气态、液态或固态，通过加热等方式 使它们气化后导入反应室。
a） 高熔点，低蒸汽压 b） 不与蒸发料发生相互溶解或化学反应 c） 易被液态的蒸发材料润湿。
常用材料：钨、钼、钽 加热方式：利用大电流通过时产生的焦耳热直接加热镀
膜材料使其蒸发，可用于蒸发温度小于1500℃的许多金 属和一些化合物。
优缺点：结构简单，方便使用;蒸发源与镀料相互接触，
易对镀料造成污染或与其反应，且无法进行高熔点材料的 蒸发镀膜。
一、溅射镀膜的原理
1、溅射现象
溅射原理：
溅射完全是 动能的交换 过程，是发 生了级联碰 撞的结果。
2、溅射速率和溅射能量
概念：一个入射离子所溅射出的原子个数称 为溅射速率或溅射产额，单位（原子个数/离 子）。
影响溅射速率的因素： （1）入射离子能量和种类 （2）靶材 （3）离子的入射角及靶材温度等 溅射原子的能量：热蒸发原子10-1ev，溅射
第五章 薄膜制备技术(2)
气相沉积技术就是通过气相材料 或使材料气化后，沉积于固体材料或 制品（基片）表面并形成薄膜，从而 使基片获得特殊表面性能的一种新技 术。
薄膜的制备方法
薄膜的制备方法可分为：液相法和气相法 气相沉积技术分为：物理气相沉积和化学气相沉积。 物理气相沉积：（PVD)
(1)真空蒸镀 (2)溅射镀膜 (3)离子镀膜 化学气相沉积：(CVD) (1)常压、低压CVD (2)等离子辅助CVD (3)激光（电子束）辅助CVD (4)有机金属化合物CVD
物理气相沉积（ PVD）
蒸发镀膜
概念：把待镀膜的基片或工件置于真空室内， 通过对镀膜材料加热使其气化而沉积于基体 或工件表面并形成薄膜的工艺过程，称为真 空蒸发镀膜，简称蒸发镀膜或蒸镀。
1、蒸发镀膜的装置与过程
基本设备：主要是附有真空抽气系统的真 空室和蒸发镀膜材料加热系统，安装基片 或工件的基片架和一些辅助装置组成。
另一方面原因：真空镀膜时，为了使蒸发料形成的 气体原子不受真空罩内的残余气体分子碰撞引起散 射而直接到达基片表面。
注意：一般蒸镀真空度为（10-2～10-5）Pa。这里 强调的真空度指的是蒸发镀膜前真空罩的起始气压。
3、蒸发温度
蒸发温度是如何影响到蒸镀过程的？
加热温度 的高低直接影响到镀膜材料的蒸发速率
体气压 b 沉积薄膜气
体含量低，膜 层质量好
磁控溅射原理图
4、合金溅射和反应溅射
合金溅射产生的问题：由于溅射速率不同 导致溅射初期成分不均匀。但对薄膜成分 影响不大
反应溅射：化合物靶材溅射时，部分化合 物分子的化学键被击断后部分逃逸，造成 薄膜成分与靶材化合物成分有一定偏离。 采用单质靶材并在放电气体中通入一定的 活性气体来获得化合物来制取各种化合物 薄膜。
与电子束蒸 发源加热原 理相同
性能优于电 子束蒸发源
价格昂贵
三、合金与化合物的蒸镀
1、合金蒸镀 分馏现象：合金中的各组分在同样的温度下有不
同的蒸气压，组成合金后，在同样温度下合金液 中各组分的蒸气压差异仍然存在，产生分馏现象。 解决方法：
（1）多源蒸发 （2）瞬时蒸发 （3）反应蒸发 （4）高能量密度蒸发
SiH4 ~3500C a-Si(H)+2H2 W(CO)6 激光束 W+6CO
CVD的化学反应温度一般在800-1200℃，较高 的反应温度限制了基片材料的选择，并给薄膜和 薄膜基片复合体结构和性能带来不利的影响，如 基体材料的相变及由高温冷却到室温时产生的热 应力等。
为降低CVD的温度，开发出一些新型CVD技术。 如等离子体辅助化学气相沉积(PACVD)、电子束 辅助化学气相沉积(EACVD)、激光束化学气相沉 积(LACVD)和金属有机化合物化学气相沉积 (MOCVD)等。
化学气相沉积反应举例
热分解反应 氧化还原反应 化学合成反应 化学输运反应 等离子增强反应 其他能源增强增强反应
Cd(CH3)2 +H2S 4750CCdS+2CH4 SiH4 +2O2 325~4750CSiO2 +2H2O
3SiH4 +4NH3 7500CSiN4 +12H2 W(s)+3I2 (g) ~ 134000 0 000CC WI6 (g)
金属有机化合物是一类含有碳-氢金属键的物质， 在室温下呈液态，并有较低的热分解温度。通过 载气把气化的金属有机化合物输运到反应室中， 被加热的基片对金属有机化合物的热分解产生催 化作用，从而在其上产生薄膜。
MOCVD的优点是沉积温度低、薄膜均匀性、基 材适用性广等优点。
其缺点是沉积速率低、金属有机化合物在较大的 毒性，因而采用这种方法设备的气密性和可靠性。
电子束辅助化学气相沉积(EACVD)和 激光束化学气相沉积(LACVD)
采用电子束或激光束对基片进行轰击和照射， 也可以使基片获得能量，从而促进和改善反应 的进行。
尤其是经过聚焦的电子束和激光束可以实现基 片表面的局部生成薄膜，这对于微电子和微加
工领域有着重要作用。
金属有机化合物化学气相沉积 （MOCVD）
原子能量（1-10）ev。
二、气体的辉光放电示意图
三、溅射镀膜的工艺方法
1、二极直流溅射镀膜 优点：装置简单，操
作方便。 缺点：沉积速率低，
只能溅射金属等导电 材料。
2、射频溅射镀膜
可以溅射介 质靶材
小阴极溅射 大阳极基片
3、三极溅射与磁控溅射
三极溅射原理 图
三极溅射优点： a 降低溅射气
一、离子镀膜的原理和装置
离子轰击，确切说应该既 有离子又有原子的粒子轰 击。
粒子中不但有氩粒子，还 有镀料粒子。
离子镀设备要在真空、气 体放电的条件下完成镀膜 和离子轰击过程。
离子镀设备要由：真空室、 蒸发源、高压电源、放置 工件的阴极等部分组成。
二、离子镀膜层的特点 1、离子轰击对基片和膜/基界面的作用 2、离子轰击对薄膜生长的作用 3、绕射性
严格把控质量关，让生产更加有保障 。2020 年10 月下午5 时10 分20.10 .2417 :10Oc tober 24, 2020
作业标准记得牢，驾轻就熟除烦恼。 2020年 10月2 4日星 期六5 时10分5 8秒17 :10:5 824 October 2020