LCD培训教材无尘室的原理
无尘室培训教材
屋外
外衣衣柜 内务柜
管理区域
无尘衣衣架 无尘鞋鞋柜
无尘衣更衣室 准洁净区域
川奇光电科技（扬州）有限公司
洁净室
洁净区域
TRANSCEND OPTRONICS（YANGZHOU）CO., LTD
洁净室管理教育训练
4.人员训练与资格考核
4.1 凡需进入无尘室工作人员，无论本公司或公司外部人士，除外宾外(客户、VIP等) 任何人员皆需经洁净室训练或资格考核及格，方可进出无尘室 。 4.2 人员需经资格考核及格后，无尘室管制室方可发放无尘衣 。
18.1 各区无尘衣物清洗每周一次 。 18.2 原则上避免施工人员自备无尘衣物，统一由公司提供 。 18.3 无尘衣物管理单位应将发放给予公司同仁之无尘衣物加以编号管理 。 18.4 无尘衣磨 / 破损严重或修补超过三次应予以丢弃 。
19.稽核改善与奖惩
19.1 品保单位应定期检测无尘室环境状况并依追踪改善情形 。 19.2 制造单位或相关单位应全力配合品保单位之稽核行动，不可刁难或拒绝配合 。
川奇光电科技（扬州）有限公司
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洁净室管理教育训练
9.纪律管理
9.1 Class10,000区人员至Class100,000区作业后，若需重回Class10,000区者需经 AIR SHOWER吹送后方可重回Class10,000区；而穿著Class100,000区无尘衣 人员绝对禁止至Class10,000区 。 9.2 不得坐于地板上，并严禁仅贴机台、墙壁、工作桌 。 9.3 面对Cassette或机台时禁止讲话、较大之肢体动作，并严禁快速走动或追逐 (警急警报响时除外)，保持慢速走动 。 9.4 除新人训练、公事交接外，应避免两人以上交谈 。 9.5 Cassette或 Tray 不可置于地面，除Cassette待清洗区外 。 9.6 禁止勾肩搭背、触摸其它人员或两人同坐一张无尘椅 。 9.7 无尘室内绝对禁止拍照录像，如有必要需经厂长同意 。 9.8 除非具合格之人员，否则严禁操作任何机台 。
无尘车间工作原理_理论说明以及概述
无尘车间工作原理理论说明以及概述“1. 引言”1.1 概述无尘车间是一种在特定的工业环境中采用空气过滤技术和清洁技术来控制粒子扩散的关键设施。
它在许多行业中广泛应用，如电子制造、医药生产和食品加工等领域。
无尘车间可以有效地防止微小颗粒物进入生产过程或产品中，从而提高产品质量并降低损失。
本文将对无尘车间的工作原理进行详细说明，并介绍相关的理论知识和实践操作指南。
1.2 文章结构本文分为五个主要部分：引言、无尘车间工作原理、理论说明、实践操作指南和结论。
首先，引言部分将对文章进行整体概述，并简要介绍各部分的内容。
接下来，我们将详细介绍无尘车间的工作原理，包括定义与背景以及应用领域等方面。
然后，我们将深入探讨空气过滤技术原理、清洁技术与设备选型原则以及控制粒子扩散与清除方法介绍等相关理论知识。
随后，我们将给出实践操作指南，包括设备与环境要求、操作步骤与注意事项以及故障排除与维护建议。
最后，我们将总结本文的主要观点和研究结果，并展望无尘车间未来的发展方向。
1.3 目的本文旨在全面介绍无尘车间的工作原理、相关理论知识和实践操作指南。
通过对无尘车间工作原理的详细说明，读者能够深入了解无尘车间的定义、背景和应用领域。
同时，通过对空气过滤技术原理、清洁技术与设备选型原则等理论知识的阐述，读者可以更好地理解无尘车间实现粒子控制和清洁环境的方法。
此外，针对实践操作指南部分，我们将提供一系列设备选型、操作步骤和维护建议等实用信息，有助于读者在实际工作中正确运用无尘车间技术。
以上是“1. 引言”部分内容的详细说明，请根据需要进一步修改完善。
2. 无尘车间工作原理2.1 定义和背景无尘车间是一种通过控制空气中的颗粒物浓度来实现高洁净度环境的特殊场所。
其主要原理是利用高效过滤器和空气循环系统将外界进入车间的空气经过过滤处理，并通过恒定的负压进行排放，以保持车间内的无尘状态。
这种无尘状态非常重要，因为在许多行业，如电子、医疗、制药等领域，微小颗粒物的存在可能会对产品质量产生严重影响。
《无尘室基础知识》课件
在电子领域，无尘室是制造半导体、液晶显示面板、太阳能电池等高精密度产品的必备环境。在制药和生物医学 领域，无尘室用于生产药品、医疗器械和进行临床试验等。在航空航天领域，无尘室用于制造飞机零部件和卫星 等高精密度产品。此外，无尘室还应用于食品、化妆品等行业，保证产品的质量和安全性。
02
无尘室的构造与设备
不同洁净度等级的应用场景
低洁净度等级
适用于一般工业和实验室环境， 如电子、制药、食品等行业。
高洁净度等级
适用于高精度、高可靠性要求的领 域，如半导体、平板显示、生物医 疗等。
特殊洁净度等级
根据特定工艺需求，定制化设计的 洁净室，以满足特定环境要求。
洁净度等级的测试与评估
测试方法
采用粒子计数器等仪器对室内空气中 的颗粒物浓度进行测量，以评估洁净 度等级是否达标。
无尘室的结构一般采用框架结构或钢结构，以确保稳定 性和密闭性。
墙面和地面
墙面和地面通常采用防尘、防静电、抗菌的材料，以减少尘 埃的产生和附着。
门窗
无尘室的门窗应严密、平滑，并具有良好的气密性，以确保 空气的纯净度。
无尘室的空气净化系统
空气过滤
无尘室的空气净化系统通常采用初效、中效、高效过滤器逐级过滤，以去除空气中的尘埃和微生 物。
维持无尘环境。
空气过滤
定期检查并更换空气过滤器，确 保空气洁净度符合要求，防止尘
埃颗粒进入无尘室。
无尘室的定期检查与保养
设备检查
对无尘室内的设备进行定期检查，确保其正常运 行，如有故障及时维修或更换。
管道维护
定期对无尘室的管道进行检查和维护，防止管道 泄漏对无尘环境造成影响。
照明系统
检查和维护无尘室的照明系统，确保照明亮度符 合要求，防止光源污染。
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p
2.所有生产物料必须通过货淋室吹吸尘处理后方可进入.
p 洁净化的对象:1.举凡无尘室的设备,治具,备品,空气,纯水,无尘 衣,GAS(气体)等,所有东西均应为对象.
p
2.必须视我们肉眼看不出的微小异物,不纯物为对象.
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无尘室四原则
p 第一原则:不带入无尘室
p 1.不从天花板,HEPA Filter,Frame处泄露.
p 压力差&压力差异表一般产品>5Pa，特定产品有特定要求。
p 气流量:每小时更换空间20次
p 清洁度:生产场地应保持卫生干净,由人事部和生产部进行.
p 所有设施应干净,整洁,无锈迹、油污
p 噪音:工厂对有噪音的设备应尽量远离工厂或让其在专用房间里使用, 以便隔绝.
p 通风照明:光线明亮足够,以不伤眼为主调配光线明亮度.
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2020/11/16
无尘房培训教材
培训大纲
1.无尘室的定义 2.范围和职责 3.无尘室的管理 4.无尘室的四原则 5.无尘室内的监控 6.无尘室注意事项&人员易违反的动作 7.无尘室的清洁 8.无尘室12不&无尘室的12要 9.无尘室的环境要求 10.现场演示操作
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p 2.工作台:要用简单工作台,不能有抽屉,脚板及侧面板等,桌面下端应套 上橡胶套.
p 3.搬运箱或物料箱:搬运箱及物料箱均为防静电胶箱.严禁在车间地板 上拖运搬运箱及物料箱.
p 4.搬运车:构造简单不要使用可折叠式,工作表面材料须有高耐磨性,车 轮轴承必须用充满黄油密封式滚珠轴承,并用耐磨性高橡胶轮胎.
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4、TN-LCD工作原理 对于白底黑字型的液晶显示器，上下偏振片是正交放置的，即偏光轴相互垂直，入射的自然光经面偏 光片后变成平面偏振光。在液晶盒未加电场时，偏振光将顺着分子的扭曲结构扭曲900，振动方向变成和 底偏光片的偏光轴一致，因此可顺利通过底偏光片，这时显示器呈透明状态，处于非显示态。
14、切割 通常一对ITO玻璃可以制作多个液晶盒，为了把液晶注入口露出来， 必须把玻璃适当切割成条（或粒）。
25
15、液晶灌注 一般用专门的液晶灌注机，在真空的状态下将液晶注入液晶盒内。
16、封口 用封口材料（如封口树脂）将灌完液晶的液晶 盒注入口封堵起来。
26
17、分粒 如果是成条灌注，则将其分成单个的液晶盒。
3、曝光 用紫外线通过预先制作好的电极图形（菲林/光模）照射光刻胶表面，使被照部分的光刻胶层发 生反应。
4、显影 用显影液处理玻璃表面，将经过光照分解的光刻胶层除去，保留未曝光部分的光刻胶层。
20
5、坚膜 将玻璃再经一次高温处理，使光刻胶膜更加坚固。
6、酸刻腐蚀 用适当的酸刻液将无光刻胶覆盖的ITO膜腐蚀掉，这样我们就得到了所需要的ITO电极图形。
30
2、温度的影响 一是温度直接影响工艺参数 二是不适当的温度可能造成化学试剂分解、变质，从而使其性能失效。 通常生产环境的温度控制在22°C±3°C
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3、湿度的影响 湿度过大，会造成产品器件的可靠性降低，性能下降。如封边胶、取向剂等无法使用 湿度过低，会对制作过程产生静电或使操作人员感到身体不适 通常湿度控制在55% ±5%
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4、洁净服着装要求 无尘帽裸在无尘服内，头发不外露；口罩需掩盖住鼻孔部 分。 无尘衣拉链需拉至顶位，最低不低于领口一寸。 不将衣袖挽起，不将手臂暴露在外。
无尘室测量原理
无尘室测量原理说起无尘室测量原理，我有一些心得想分享。
大家有没有想过，像那种超精密的芯片制造工厂，里面的环境要求超级严格，一点点灰尘都不能有。
这就引出了无尘室。
可是怎么知道这无尘室是不是真的“无尘”呢？这就涉及到它的测量原理啦。
咱先从日常生活中的灰尘说起。
我们平时能看到阳光照射下有好多小灰粒飘舞，在无尘室里，可不能有这些小灰粒。
无尘室测量的一个关键因素就是尘埃粒子的计数。
这就好比我们数盘子里的苹果一样，得知道有多少个小尘埃。
不过呢，这个苹果可小得不得了。
这时候就有专门的仪器，叫做尘埃粒子计数器。
这个仪器就像一个超级灵敏的鼻子，可以把那些小小的尘埃粒子都嗅出来，而且还能区分不同大小的尘埃。
说到这里，你可能会问，它怎么区分呢？其实它是通过光散射原理的。
打个比方吧，这就像是灯光照到不同大小的石头上，散回来的光不一样。
尘埃粒子大小不同，被光照射后散射光的强度等特性也不一样，测量仪器就能根据这个来判断尘埃粒子的大小和数量。
老实说，我一开始也不明白，为什么非得把灰尘控制到这么小的程度。
后来我就学习了一些微观方面的理论。
像在电子芯片制造这些高精度行业中，哪怕一个极其微小的尘埃落到芯片上，就可能让整个芯片报废。
这就像在蛋糕上撒了一点沙子，这个蛋糕就不能吃是一样的道理。
说到实际应用案例啊，那些生产高端光学镜片或者大规模集成电路的工厂，无尘室测量可是每天的必不可少的工作，根据测量结果调整净化设备的运行，来确保无尘室始终符合生产要求。
但这里也要注意啦，如果测量仪器没有校准准确，那得出的结果肯定就是错的，就好比秤不准称出来的重量也不对一样。
我之前也很困惑，尘埃粒子在不同的气流状态下会不会影响测量结果呢？这个还得深入研究气流理论等相关知识。
在我学习无尘室测量原理的过程中，我发现这里面真的有很多细微之处。
对这个原理的深入理解也让我认识到在微观环境控制上的不容易。
我就在想，未来会不会有更加灵敏和精确的测量方式呢？这也是给我们留下的一个思考方向，希望也能和大家一起讨论。
5S_无尘室管理教育训练(LCD厂)
2
291M
2430× 1200 組 長 桌
液晶條存放室 580× 400
1
櫃 子
354× 240 25
存放櫃 存放櫃 存放櫃 存放櫃 存放櫃
存放櫃 存放櫃 存放櫃 存放櫃
研磨機
辦公室
77M 2
863× 896
產品工作室
212M2 1567× 1353
34
安
製程工作室
700× 700
27
28
資料室
2
18M
（1）為了確保作業標準書徹底執行，應不定期循環檢查。 （2）全員對自己應作的事，應有能力自訂計劃表。 （3）對於有問題的部分，應再加強教育，務使全員徹底瞭
解並遵守。 （4）5S活動首重自主性。所謂自主性，並非做自己想做的
事，而是樂於從事工作，且能自行擬訂行事計劃表， 並根據PDCA的循方式來實施作業。 （5）根據推動經驗，整個5S活動成敗的關鍵點有︰
（7）改善前後的圖片、問題解決的對策及方法，予以書面 化，作為員工的成效追蹤及教育訓練資料。
（8）高階主管及推動委員會定期或不定期進行稽核，對於 實施優良者予以獎勵，不盡完善者，要求限期改善。
四、5S活動的內容
清潔
–定義︰徹底地執行整理、整頓、清掃三樣工作，亦即改
善以上三個階段所發現的問題點。
–實施重點︰
HOOD
定向段 USC 網版印點
200 13 20 14
17 200 16 20
定向段 USC 網版印框
點預烤
框預烤
SPACER COATER
SPACER COUNTER
組合機
200
18
移 載
20
器
19
无尘室
一、无尘室无尘室中不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。
无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘室。
按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。
也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。
当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。
如表所示，每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A级。
目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。
微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
二、无尘室控管之项目1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。
2. 能防止微尘粒子之产生。
3. 温度和湿度之控制。
4. 压力之调节。
5. 有害气体之排除。
6. 结构物与隔间之气密性。
7. 静电之防制。
8. 电磁干扰预防。
9. 安全因素之考虑。
10. 节能之考量。
三、无尘室之分类1.乱流式(Turbulent Flow)：空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。
气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。
此型式适用于无尘室等级1,000-100,000级。
优点：构造简单、系统建造成本，无尘室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高无尘室等级。
缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。
另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。
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培训教材
无尘室的类型Ⅰ
1.紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):
HEPA过滤器
进气口
通过无尘室屋顶的高效 过滤器出口向屋内送风. 通过墙壁的排气口回风.
空气调和器
排气口
HEPA:High Efficiency Particulate Air filter. 以玻璃纤维为主体的制成的高效过滤网
吹出口
HEHPEAP过A滤过网滤网
空气调和器
无尘室的类型Ⅱ
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2. 水平平行式无尘室( Cross flow type
CR):
HEPA过滤网
墙壁吸附口
空气室 点检空间
无尘室的类型Ⅲ
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3. 垂直平行式无尘室( Down flow type CR):
HEPA过滤网 地板(吸附口)
空气调和器
测定日期:2004年6月份(15日-30日)
总结
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➢ 液晶显示器的生产离不开无尘室,为了提高产品 质量,保持和维持无尘室的洁净度是至关重要的.
➢ 保持和维持清洁的无尘室,靠大家的努力来完成.
➢ 遵守无尘室规定.
➢ 养成良好的习惯.
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生活中的辛苦阻挠不了我对生活的热 爱。20. 11.2320 .11.23 Monday , November 23, 2020
电腐蚀现象
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在通电状况下ITO被电解而造成断线的现象
尘粒(与空气中的微量水份结合在一起)
这样尘粒付着状态下通电的话,电 流通过尘粒流向邻近的ITO中,会 造成浅横线不良.
这种状态下继续使用
渐缓短路现象 (在通电状况下渐渐地腐蚀ITO,以至于 最后造成ITO断线→电腐蚀现象)
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无尘室的原理
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无尘室的管理原则
四大原则:
1. 杜绝把灰尘带入无尘室;
2. 减少和防止无尘室中尘粒的产生;
3. 清除无尘室中的灰尘;
4. 监测环境参数.
原则-1
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1. 杜绝把灰尘带入无尘室;
进入无尘室中的有: 空气; 人员; 设备; 材料等.
原则-1
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1. 杜绝把灰尘带入无尘室;
(一). 空气: (1).通过过滤网净化空气: 常用的过滤网:玻璃纤维和玻璃石棉等. 玻璃纤维:能过滤0.3 m的悬浮尘粒,
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无尘室测定数据-3F
无尘度3F无尘室无尘度源自定记录表1000 900 800 700 600 500 400 300 200 100
0 15日 16日 17日 18日 19日 休日 21日 22日 23日 24日 25日 26日 休日 28日 29日 30日
日期
点灯检查区 外观检查区 单个分断区 封孔区 短册区 注入室 洗净室 配向检查
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谢谢大家！
什么是尘粒?
尘粒是微小的灰尘、悬浮的东西.
尘粒越小,其表面积的比例相对增加,并不遵从牛顿 定律运动,按重力垂落.而是在空气中做不规则的运 动,这种运动叫布朗运动.
因是悬浮的东西,而且做不规则的运动,在洁净化技 术、产品制造中是令人头痛的代表物.
总之,尘粒会对产品成品率高低影响至关重要.
如:电腐蚀现象.
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每天都是美好的一天，新的一天开启 。20.11. 2320.1 1.2307:5607:56 :5307:5 6:53No v-20
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相信命运，让自己成长，慢慢的长大 。2020 年11月2 3日星 期一7时 56分53 秒Mon day , November 23, 2020
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爱情，亲情，友情，让人无法割舍。2 0.11.23 2020年 11月23 日星期 一7时5 6分53 秒20.11. 23
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让自己更加强大，更加专业，这才能 让自己 更好。2 020年1 1月上 午7时56 分20.1 1.2307:56November 23, 2020
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这些年的努力就为了得到相应的回报 。2020 年11月2 3日星 期一7时 56分53 秒07:5 6:5323 November 2020
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科学，你是国力的灵魂；同时又是社 会发展 的标志 。上午7 时56分 53秒上 午7时5 6分07:56:5320 .11.23
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题目:无尘室的原理
内容简介: 无尘室的原理; 无尘室方式; 无尘室管理.
关键词:无尘室(Clean Room); 洁净度(Class);
作成:金昌明
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无尘室
➢ 什么是无尘室(Clean Room):
用通俗易懂的语言来描述的话,无尘 室就是在某个空间的空气中尘埃、 微粒子控制在一定数值以下,把压力、 温度、湿度、气流分布及其形状和 速度控制在一定范围内为目的而建 造的屋子.
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无尘室的类型Ⅰ
1. 紊乱式无尘室( Conventional flow type CR):
空气调和器
多孔板进气口
HEPA过滤器
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无尘室的类型Ⅱ
2. 水平平行式无尘室( Cross flow type CR):
• HEPA过 滤网
照明
通过无尘室墙壁的高效 过滤器出口向屋内送风. 通过墙壁的排气口回风.
通过空调系统和净化装置把空气进行调湿、 调温和过滤,然后把净化的空气通过无尘室 的高效过滤器送入到无尘室内,达到洁净等 级的标准.
通常: 温度: 22℃±3 ℃;湿度:55%±5%. 包括:
1. 空气调节系统; 2. 空气净化系统.
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无尘室的类型
按洁净度和气流的状态的组合可 以分为三种方式: 1. 紊乱式无尘室; 2. 水平平行流式无尘室; 3. 垂直平行流式无尘室.
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安全放在第一位，防微杜渐。20.11.23 20.11.2 307:56:5307:5 6:53No vember 23, 2020
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加强自身建设，增强个人的休养。202 0年11 月23日 上午7时 56分20 .11.232 0.11.23
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精益求精，追求卓越，因为相信而伟 大。202 0年11 月23日 星期一 上午7时 56分53 秒07:5 6:5320. 11.23
净度就是80.
大气中 存在物
常见的 粉、尘
空气清 洁装置
微粒子的大小
0.001
0.01 0.1
1
烟尘
大气尘
10 100
云,雾
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粒径: m
1000
病毒
油烟
面粉
干奶粉
头发
HEPA过滤器
静电式空气清净机 一般空气过滤网
电子显微镜下 看得见的粒子
光学显微镜下 看得见的粒子
肉眼看得 见的粒子
尘埃
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无尘室中的空气压力一般要比室外高25 Pa左右.
原则-1
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1. 杜绝把灰尘带入无尘室;
(二). 人员:
进入无尘室的人员必须穿着无尘衣(包括手套、帽 子、鞋、口罩), 用纯水洗手, 再通过风淋室进入无尘 室.
参考资料 : 进退入无尘室手顺书
原则-1
培训教材
1. 杜绝把灰尘带入无尘室;
(三). 设备及材料:
参考资料: 无尘室管理规定
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原则-3
3. 清除无尘室中的灰尘.
➢ 定期打扫无尘室(每周一次大扫除); ➢ 设备、工作台每天要打扫; ➢ 增加换气,特别是易产生灰尘的场所.
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原则-4
4. 监测环境参数.
➢ 定期测定无尘度(每周一次); ➢ 空调系统定期点检;
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无尘室测定数据-1F
Clean Room简称为CR
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洁净度
➢ 什么是洁净度(Class)? 就是指单位体积 ( 通常是立方英尺) 的空
气中含有大于、等于0.5μm直径的尘粒的数 量,也称为无尘度.
1英尺
1英尺
1英尺
1英尺=30.48cm
为0.5μm直径的尘粒.
尘埃的个数,就是洁净度. 例如: 有80个尘粒,那么洁
进入无尘室的设备及材料要经过特殊的清洁方法, 即除尘处理后,才可以进入无尘室.
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原则-2
2. 减少和防止无尘室中尘粒的产生.
➢ 进入无尘室必须穿着无尘衣. ➢ 不得使用容易产生灰尘的材料、设备、备品等. ➢ 使用无尘室用品.(无尘纸、无尘本、圆珠笔等) ➢ 减少没必要的人员的活动、设备的运转. ➢ 制定设备的摆放结构设计方案. ➢ 没必要的物品禁止带入到无尘室. ➢ 无尘室中禁止脱无尘衣. ➢ 无尘室内物品数量限制在最少的限度. ➢ 物品摆放作出规定,减少空气乱流.
甚至达到0.04 m 的悬浮尘粒; 过滤效果:99.99% 玻璃石棉:根据石棉的的直径大小决定; 例:1 m 的石棉过滤1 m 的尘粒.
原则-1
培训教材
1. 杜绝把灰尘带入无尘室;
(一). 空气:
(2).设定室内压力高于室外.
为了防止室外未过滤的空气通过缝隙或入口处进 入到无尘室中,无尘室内要保持一定的静压.
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人生得意须尽欢，莫使金樽空对月。0 7:56:53 07:56:5 307:56 11/23/2 020 7:56:53 AM
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做一枚螺丝钉，那里需要那里上。20. 11.2307 :56:530 7:56No v-2023 -Nov-2 0
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日复一日的努力只为成就美好的明天 。07:56:5307:5 6:5307:56Mon day , November 23, 2020
• 通过无尘室屋顶 的高效过滤器出口 向屋内送风.通过地 板的排气口回风.
• 因通过整个屋顶的 高效过滤器向下送 风,故该类型无尘室 的造价高于其他类 型.