电阻应变式压力传感器设计说明
金属电阻应变式压力传感器

R
(2-5) (2-6)
图2-11 单臂电桥
2.双臂电桥 双臂电桥是指电桥中相对两臂的电阻值可变,且变化值和方向均相同,其余两臂为固定电阻。
将初始电阻值 R 及 R1、R3 电阻变化量 R ( R
可以得出
U0
Ui
R 2R R
Ui
R 2R
由此可得,双臂电桥的灵敏度为
ku
Ui 2
R ),代入式 2-3 中,
1.5 应变式压力传感器的温度误差及补偿
1.温度误差产生的原因
引起温度误差产生的因素主要有以下两个方面。 (1)敏感栅具有一定的温度系数,在没有压力的作用时,敏感栅的尺寸、 形状等参数会随着温度的变化而变化。 (2)由于被测试件材料与敏感栅材料的线膨胀系数(固体物在温度升高 时,物体的各种线度如长度、宽度、厚度、直径等都要增长)不同,使得 金属电阻应变片产生了附加应变,从而造成测量误差。
1.实践目的
(1)了解金属箔式应变片的应变效应。 (2)能够根据需要选择合适的传感器进行压力测量 电路设计。
2.应用描述
由电阻应变式压力传感器制作的电子秤(称重传感器) 已广泛应用于各行各业,它实现了对物料的快速、准 确地称重。特别是随着微处理器的发展,工业生产过 程中自动化程度不断提高,电子秤已成为工业控制中 一种非常重要的装置。
1.7 应用实践——电阻应变式压力传感器在称重中的应用
1.实践过程
(1)差动放大器调零。 (2)电桥调零。 (3)装载过程检测。 (4)卸载过程检测。 (5)画出砝码增加和减少时的曲线,并分析结果产 生的原因。
图2-16 电子秤悬臂梁结构
图2-17 差动电桥
传感器原理与应用
得敏感栅电阻产生了少量不可逆的变化。 在温度恒定、没有机械应变的情况下,粘贴在被测试件上的金属电阻应变片,其
电阻应变片压力传感器实验报告

电阻应变片压力传感器实验报告电阻应变式传感器&压力传感器实验报告电阻应变式传感器&压力传感器——实验报告院系:管理学院姓名:胡阳学号:PB12214074电阻应变式传感器实验内容1、自己设法确认各传感器的受力是拉伸还是压缩力,并用图示说明。
2、利用所提供的元件连接单臂电桥,桥电压由万用表给出,记下零点电压。
3、依次增加砝码,测量单臂电桥的m~U定标曲线。
有了定标曲线后,就作成了一台简易的电子秤。
提示:电子秤的量程约2公斤,请勿加载过重的物体,以免损坏应变片。
4、测量待测物体的质量。
5、连接全桥电路,重复1~3步。
6、比较电路的灵敏度。
7、实验总结数据处理:1.单臂,全桥的定标线(一)单臂电桥-52.6-52.7U/mV-52.9-53.0-53.1-53.20100200300400500m/gLinear Regression for Data1_B:Y = A + B * XParameter Value Error------------------------------------------------------------A -53.17155 0.00501B 0.00107 1.65553E-5------------------------------------------------------------ R SD N P------------------------------------------------------------ 0.99952 0.00692 6 0.0001(二)全桥:0.0530.0520.051U/V0.0490.0480100200300400500600m/gLinear Regression for Data1_B:Y = A + B * XParameter Value Error------------------------------------------------------------A 0.05271 2.06453E-5B -7.33992E-6 5.71108E-8------------------------------------------------------------R SD N P-------------------------------------------------------------0.99985 3.02908E-5 7 0.0001------------------------------------------------------------2、待测物体质量,比较两种电路灵敏度:单臂电桥:U= -53.17155 +0.00107 * m ; 待测物体电压:-52.57mV代入式子求得待测物体质量:m=562.20g全桥电路:U=0.05271 +(-7.33992E-6)* m;待测物体电压:0.0493V代入式子求得待测物体质量:m=464.58g单臂电桥S1=0.00107(mV/g)全桥电路S2=0.00734(mV/g)可知S3S2S1,即全桥电路的灵敏度高,单臂电桥的灵敏度低。
电阻应变式压力传感器原理以及计算

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薄膜电阻应变式压力传感器的研制

薄膜电阻应变式压力传感器的研制引言压力传感器是一种广泛应用于工业自动化、汽车、医疗设备等领域的传感器,用于测量气体或液体的压力变化。
薄膜电阻应变式压力传感器是一种常见的压力传感器类型,其通过测量薄膜电阻在受力情况下的变化来实现对压力的测量。
本文将介绍薄膜电阻应变式压力传感器的原理、制造工艺以及性能评估。
原理薄膜电阻应变式压力传感器基于片状或薄膜状的感应元件,通过将感应元件粘合到金属、陶瓷或聚合物基座上,实现对压力的测量。
当感应元件受到压力作用时,其形状发生变化,导致电阻值发生变化。
通常,感应元件采用电阻应变片(Strain Gauge)或电阻薄膜(Resistive Film)。
电阻应变片是一种由导电材料制成的薄片,当应变作用在片上时,导电材料的电阻值发生变化。
常见的电阻应变片材料有铂、钨、镍合金等。
应变片的电阻变化可以通过电桥电路进行测量,从而得到与压力相关的输出信号。
电桥电路常使用满桥或半桥结构。
电阻薄膜是一种将导电材料以薄膜形式固定在基座上的结构。
当感应元件受到压力作用时,薄膜的形变导致电阻值发生变化。
电阻薄膜的制造工艺相对简单,但其在某些情况下可能受到温度和湿度的影响。
制造工艺薄膜电阻应变式压力传感器的制造工艺包括感应元件的制备、基座的制备以及组装工艺。
感应元件的制备通常采用微加工技术,即在硅片上通过光刻、蒸发、刻蚀等工艺形成感应元件的结构。
在电阻应变片的制备中,首先在硅片上生长薄膜,并形成需要的形状。
然后通过光刻工艺,将薄膜进行刻蚀,形成电阻应变片。
在电阻薄膜的制备中,直接在硅片上蒸发导电材料,并通过光刻工艺形成所需的薄膜形状。
基座的制备可以根据需要选择不同的材料,如金属、陶瓷或聚合物。
基座的制备工艺包括切割、抛光等步骤,以形成适合感应元件的支撑结构。
在组装工艺中,首先将感应元件粘合到基座上,然后连接导线和接头。
最后,进行封装,以保护感应元件,并连接输出信号线和电源线。
性能评估对薄膜电阻应变式压力传感器的性能评估常包括静态性能和动态性能两个方面。
《电阻应变式传感器》课件

03
电阻应变式传感器的测量电路
直流电桥测量电路
优点
简单、可靠、稳定性好。
缺点
对温度变化敏感,需要采取温度 补偿措施。
交流电桥测量电路
优点
对直流电源的稳定性要求较低,可以减小电源波动对测量结 果的影响。
在工业生产过程中,电阻应变式压力传感器被广泛应 用于压力控制、流量控制等场合,如气瓶压力监测、 管道压力监测等。
汽车行业
汽车发动机、气瓶、刹车系统等都需要用到压力传感 器,来监测和控制各种气体和液体的压力。
位移传感器的应用实例
自动化生产线
在自动化生产线上,位移传感器被用来检测和控制系 统中的物体位置,如机器人手臂的定位、传送带的物 体位置检测等。
电阻应变式传感器
目 录
• 电阻应变式传感器简介 • 电阻应变式传感器的类型与特性 • 电阻应变式传感器的测量电路 • 电阻应变式传感器的误差来源与补偿方法 • 电阻应变式传感器的应用实例
01
电阻应变式传感器简介
定义与工作原理
定义
电阻应变式传感器是一种将应变转换为电阻变化的传感器,通过测量电阻的变 化来测量受力状态。
总结词
半导体应变式传感器具有高灵敏度、 低温度系数和良好的线性等优点。
详细描述
半导体应变式传感器利用半导体的压 阻效应,即当半导体受到外力作用时 ,其电阻值会发生变化。这种传感器 常用于测量加速度、压力和振动等物 理量。
陶瓷电阻应变式传感器
总结词
陶瓷电阻应变式传感器具有耐高温、耐 腐蚀、高绝缘性和良好的稳定性等特点 。
说明应变式压力和力传感器的基本原理

说明应变式压力和力传感器的基本原理
应变式压力传感器是一种基于材料的应变效应来测量压力的装置。
其基本原理是根据压力的作用,使传感器内的感应元件(通常为金属片、铂阻、半导体晶体等)产生变形,通过测量这种变形来确定压力的大小。
具体原理如下:
1. 压力作用下的应变效应:当外力作用在物体上时,物体会发生应变,即形状和尺寸发生变化。
应变分为压缩应变和拉伸应变两种,其大小与施加在物体上的压力成正比。
2. 应变测量:应变式压力传感器内部通常有一个弹性敏感元件,例如弹性金属片或细丝。
当外力施加在传感器上时,敏感元件会发生弹性变形,形成压缩或拉伸的应变。
3. 应变电桥:应变式压力传感器通常采用应变电桥来测量应变的大小。
应变电桥是由多个电阻组成的电路,其中包括一个感应元件和额外的参考电阻。
当感应元件发生应变时,感应元件上的电阻值也会发生变化,从而引起电桥电路的不平衡。
4. 输出信号:当应变电桥发生不平衡时,输出信号将产生。
这个不平衡信号可以是电流或电压变化,其大小与应变量呈线性关系。
通过测量不平衡信号的大小,可以确定外加压力的值。
5. 校准和放大:为了提高传感器的灵敏度和精度,通常需要对传感器进行校准和放大。
校准过程将不平衡信号与已知压力值进行比较,以建立压力与信号之间的关系。
放大器可以将传感
器输出信号放大到可测范围内,以便进行后续处理或显示。
综上所述,应变式压力传感器通过测量感应元件的应变量来间接测量压力的大小。
根据感应元件的不同材料和结构,可以设计出不同类型的应变式压力传感器,如压电式、电阻应变式、半导体式等。
电阻应变式压力传感器的原理

电阻应变式压力传感器的原理
电阻应变式压力传感器是一种常见的压力测量装置,其工作原理基于电阻在受力作用下发生应变的特性。
该传感器通常由一个金属薄膜或金属箔片制成,被粘贴或固定在一个特殊的基座上。
金属薄膜上通常有细微的导电电阻线路,这些线路被连接到外部电路上。
当传感器受到压力时,薄膜或箔片发生弯曲或拉伸,导致电阻线路的长度、宽度或电阻值发生变化。
通过测量电阻值的变化,可以间接确定压力的大小。
传感器外部的电路会通过电流的流过测量电阻并采集电阻值,根据电阻值的变化可以计算出压力的数值。
为了提高传感器的灵敏度和精度,常常采用电桥的结构来测量电阻值。
电桥由四个电阻元件组成,其中一个是传感器本身,其余三个用作参考电阻。
传感器和参考电阻之间形成一个电路,应变导致电桥平衡被破坏,使电桥的电压输出不为零。
通过测量电桥的电压输出,可以将其转化为压力值。
电阻应变式压力传感器的工作原理基于电阻值的变化,因此其测量的精度和灵敏度受到传感器材料、结构和外界环境等因素的影响。
为了保证测量的准确性,需要对传感器进行校准,并选择合适的传感器类型和参数。
电阻应变式压力传感器介绍

如图,若将应变片粘贴在单向拉伸试 件上,这时各直线段上的金属丝只感
受沿其轴向拉应变εx,故其各微段电
阻都将增加,但在圆弧段上,沿各微 段轴向(即微段圆弧的切向)的应变却
并非是εx。所产生的电阻变化与直线
段上同长微段的不一样,在θ=90°的 微弧段处最为明显。由于单向位伸时,除了沿轴向(水平方向)产
2.绝缘电阻(敏感栅与基底间电阻值:要求>1010欧姆;
3.应变片的灵敏系数(K)
金属应变丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系, 用灵敏度系数KS表示。当金属丝做成应变片后,其电阻—应变特性, 与金属单丝情况不同。因此,须用实验方法对应变片的电阻—应变
特性重新测定。实验表明,金属应变片的电阻相对变化与应变ε在
在金属丝的弹性范围内,灵敏系数KS 为常数,即 :
R R
Ks
线性关系
通常很小,常用10-6表示之。例如,当 为0.000001时,在工程
中常表示为110-6或m/m。在应变测量中,也常将之称为微应变
(με)。对金属材料而言,当它受力之后所产生的轴向应变最好不要
大于110-3,即1000m/m,否则有可能超过材料的极限强度而
14
800(动态)
450(静态)
13.3
800(动态)
450(静态)
13.3
800(动态)
550(静态)
14
1000(动态)
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9
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800(静态)
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1000(动态)
2.基底材料
基底用于保持敏感栅、引线的几何形状和相对位置,盖片既保持 敏感栅和引线的形状和相对位置,还可保护敏感栅。基底的全长称 为基底长,其宽度称为基底宽。
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传感器与检测技术电阻应变式压力传感器的设计学院:信息技术学院指导老师:蔡杰班级:B1106:佳林学号:0915110629目录一、设计任务分析 (2)二、方案设计 (2)2.1原理简述 (2)2.2应变片检测原理 (3)2.3弹性元件的选择及设计 (4)2.4应变片的选择及设计 (5)三、单元电路的设计 (6)3.1电桥电路的设计 (6)3.2放大电路的设计 (6)3.3移相器的设计 (7)3.4过零比较器的设计 (8)3.5相敏检波电路的设计 (9)3.6低通滤波器的设计 (9)四、误差分析 (10)五、心得体会 (10)六、致 (11)电阻应变式压力传感器的设计一、设计任务分析采用电阻应变片设计一种电阻应变式质量(压力)传感器,具体要求如下:1.正确选取电阻应变片的型号、数量、粘贴方式并连接成交流电桥;2.选取适当形式的弹性元件,完成其机械结构设计、材料选择和受力分析,3.并根据测试极限围进行校核;4.完成传感器的外观与装配设计;5.完成应变电桥输出信号的后续电路(包括放大电路、相敏检波电路、低通滤波电路)的设计和相关电路参数计算,并绘制传感器电路原理图;二、方案设计2.1原理简述电阻应变式传感器为本设计的主要部件,传感器中的弹性元件感受物体的重力并将其转化为应变片的电阻变化,再利用交流全桥测量原理得到一定大小的输出电压,通过电路输出电压和标准重量的线性关系,建立具体的数学模型,在显示表头中将电压(V)改为质量(kg)即可实现对物品质量的称重。
本设计所测质量围是0-10kg,同时也将后续处理电路的电压处理为与之对应的0-10V。
由于采用了交流电桥,所以后续电路包括放大电路,相敏检波电路,移相电路,波形变换电路,低通滤波电路(显示电路本次未设计)。
原理框图如图一所示。
(质量)压力电阻应变片交流电桥5KHZ交流放大器移相器数显表头过零比较器相敏检波低通滤波2.2应变片检测原理电阻应变片(金属丝、箔式或半导体应变片)粘贴在测量压力的弹性元件表面上,当被测压力变化时,弹性元件部应力变形,这个变形应力使应变片的电阻产生变形,根据所测电阻变化的大小来测量未知压力,也实现本次设计未知质量的检测。
设一根电阻丝,电阻率为ρ,长度为l ,截面积为S ,在未受力时的电阻值为R=ρSl----- ①图一 金属丝伸长后几何尺寸变化如图一所示,电阻丝在拉力F 作用下,长度l 增加,截面S 减少,电阻率ρ也相应变化,将引起电阻变化△R ,其值为RR ∆=l l ∆—S S∆+ρρ∆ ----②对于半径r 为的电阻丝,截面面积S=2r π,则有s s ∆=r r ∆2。
令电阻丝的轴向应变为l ∆=ε,径向应变为=∆r r -μεμ-=∆)(l l ,ε由材料力学可知,为电阻丝材料的泊松系数,经整理可得RR∆=(1+2ρρεμ∆+) ----③通常把单位应电所引起的电阻相对变化称为电阻丝的灵敏系数,其表达式为K =ερρμε∆++=∆)21(RR ----④从④可以明显看出,电阻丝灵敏系数K 由两部分组成:受力后由材料的几何尺 受力引起)21(μ+;由材料电阻率变化引起的1)(_ερρ∆。
对于金属丝材料,1)(_ερρ∆项的值比)21(μ+小很多,可以忽略,故μ21+=K 。
大量实验证明在电阻丝拉伸比例极限,电阻的相对变化与应变成正比,即为常数。
通常金属丝的=1.7~3.6。
④可写成RR∆=K ε ----⑤ 2.3弹性元件的选择及设计本次设计对质量的检测是通过对压力的检测实现的,所以弹性元件承受物重也即压力,这就要求弹性元件具有较好的韧性、强度及抗疲劳性,通过查设计手册,决定选取合金结构钢30CrMnSiNi2A ,其抗拉应力是1700Mpa ,屈服强度是1000Mpa ,弹性模量是211Gpa 。
同时本次设计选取弹性元件的形式为等截面梁,其示意图如图二所示图二 等截面梁作用力F 与某一位置处的应变关系可按下式计算:026F =Ebhl ε 式中: ε ——距自由端为0l 处的应变值; l ——梁的长度; E ——梁的材料弹性模量; b ——梁的宽度; h ——梁的厚度。
通过设计,选取l =20mm, 0l =14mm,b=10mm,h=3mm现校核如下:因此,选取是合理的。
2.4应变片的选择及设计从理论学习中知道,箔式应变片具有敏感栅薄而宽,粘贴性能好,传递应变-302-3-66F 61001410= = Mpa=93.3Mpa 1000Mpa bh 1010910l σ⨯⨯⨯⨯⨯⨯<<性能好;散热性好,敏感栅弯头横向效应可以忽略;蠕变,机械滞后小,疲劳寿命长等优点,所以非常适合本次设计的应用。
选择4片箔式应变片(BX120-02AA )阻值为120Ω,其基底尺寸是2.4 2.4⨯(mm mm ⨯)。
同时敏感珊的材料选择铂 因为其灵敏系数达s K =4.6, 且其最高工作温度可以达800多摄氏度,栅长做到0.5mm 。
应变片粘贴在距自由端0l 处,R1和R4粘贴在梁的上方承受正应变,R2和R3则与之对应粘贴在下方承受负应变。
粘贴剂选择环氧树脂粘贴剂。
基底材料选择胶基,厚度为0.03mm-0.05mm 。
引线材料采用直径为0.15-0.18mm 的铬镍金属丝引线。
最后在安装后的应变片和引线上涂上中性凡士林油做防护作用,以保证应变片工作性能稳定可靠。
这样最大应变为:因此是符合的。
且交流电桥的最大输出输入比为:三、单元电路的设计3.1电桥电路的设计为了实现对应变片的温度补偿,因此选择全桥电路作为测量电路,将4片应变片接入电桥。
桥路图如图三所示。
其次,考虑到连线导线分布电容的影响及交流电桥的初始平衡性问题(无称重时电桥输出应为零),应在桥路中采取调零电路。
桥路接法如图三所示,R5和C2即是实现调零用的,取C2=1uF ,R5=1.8k Ω。
电桥输出为o i s i RU =U K =U R ε∆交流电源频率选择为5KHZ,现使桥路最大输出为10mV ,则电压幅值为:7Vi U =≈-30-4-429-3-66F 61001410= = =4.4101510Ebh 211101010910l ε⨯⨯⨯⨯⨯⨯⨯⨯⨯⨯<(课设条件要求)-4s 2K 4.410 4.6o i U RmVV U Rε∆===⨯⨯≈图三 交流电桥3.2放大电路的设计由于传感器输出的电压比较小,因此需对其进行放大使之满足后续电路的处理要求。
鉴于传感器输出可能杂有共模电压,为此,选取具有高共模抑制比的AD620作为放大器来达到净化信号电压和充分节约成本和制造的空间的目的。
电路图如图四所示。
图四 放大电路其放大增益为:outU1AD620AR32671854R41.008kΩVCC 5V VEE-5VVEE 65VCC outU outU1为了将10mV 的电压放大到10V ,需要放大1000倍,为此选择分配级为5020⨯ 这里放大50倍,因此解得R4=1.008k Ω。
3.3移相器的设计因为电桥电路输出的电压对载波信号有一定的超前角,一般为几度到几十度,因此在把载波信号作为相敏检波的参考电压前需对其进行一定的移相处理 图五为0-90°的移相电路。
图五 移相电路若设R12调节后的有效电阻为R ,则移相的推导为:因为ω的数量级为410,所以可以取C3=100uF,这样R (R12)可以设定在50049.4k G 1+R4=Ω电源电压out()()222222111io o i j RCU U j RCU kU U U U R C j RCH j U k R C tg RCωωωωωωφω+-+-=+==+==+=由Ω围,即实现相角在0-90°移动。
上式中10k k=110k +100Ω≈ΩΩ, ()H j 1ω≈。
所以移相电路不改变幅值。
3.4过零比较器的设计在进行相敏检波时,我们更希望参考电压整形为方波,这样便于比较,因此设置一个过零比较器LM339实现这一功能。
电路图如图六所示。
图六 过零比较器3.5相敏检波电路的设计由于采用的交流电压不能实现对压力方向的判别,所以要利用相敏检波的鉴相特性达到这一目的。
电路图如图七所示。
图七 相敏检波电路outU2outU31kΩU1out从图示知道,用JFET 做开关器件,当out U3>0时,其导通,U4A 正极为0电位,信号从负极输入,放大倍数为R11-=-1R8,此时out U1>0;当out U3<0时,JFET 截止,信号从正极输入,放大倍数为1,此时out U1<0。
因此,相敏检波实现了信号的判别,只是与原信号相差一个负号。
3.6低通滤波器的设计由于经过相敏检波后的电压还混有高频载波信号,所以需将其滤掉,又因为相敏检波后输出的电压与原信号差一个负号,所以选择反相一阶有源低通滤波器,这样就可以得到真正反映原信号的直流输出。
低通滤波器截止频率设为40HZ 。
电路图如图八所示。
图八 低通滤波电路若取R10=1k Ω,则由1011=40HZ 2R C 可解得C1=4uF ,另外取R9=50Ω,则此环节实现的放大倍数是R10-=-20R9,则实现了放大倍数的另一级分配,也还原了原始信号的相位。
所以至此,就实现了原始信号的测量处理,即能够通过将质量为0-10kg (也即压力为0-100N )的物体作用于弹性元件(等截面梁)并通过应变片使其电阻发生变化进而使后续相关电路产生对应的0-10V 的电压实现对物体的称重,也即1kg 物体对应1V 的电压。
将低通滤波后产生的直流电压接入数显表头就可直观地看出物体质量的大小四、误差分析outU4out (接表头显示)误差的形成主要来源于温度误差,造成温度误差的原因主要有以下两个:1、敏感栅电阻随温度变化引起误差2、试件材料与应变丝材料的线膨胀系数不同,使应变丝产生附加拉长或压缩,引起电阻变化。
这样的温度误差可以通过桥路进行补偿,如本设计中的全桥电路就很好地实现了温度的补偿其次,电桥还具有非线性误差,由于对金属丝电阻应变片,电桥非线性误可以忽略,所以也不影响本次设计。
最后,对于如同工频等的干扰,我们尽量通过电路的优化除去干扰,如通过高共模抑制比仪放以及低通滤波器进行改进。
因此,从理论上说,本次设计中的误差还是比较好地得到了控制。
五、心得体会我认为,在这学期的传感器学习和实验中,不仅培养了独立思考、动手操作的能力,在各种其它能力上也都有了提高。
更重要的是,在实验课上,我们学会了很多学习的方法。
而这是日后最实用的,真的是受益匪浅。
要面对社会的挑战,只有不断的学习、实践,再学习、再实践。
这对于我们的将来也有很大的帮助。
以后,不管有多苦,我想我们都能变苦为乐,找寻有趣的事情,发现其中珍贵的事情。
就像中国提倡的艰苦奋斗一样,我们都可以在实验结束之后变的更加成熟,会面对需要面对的事情。