半导体激光器的线宽压窄及频率连续调谐

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半导体激光器的工作原理及应用

半导体激光器的工作原理及应用

半导体激光器的工作原理及应用摘要:半导体激光器产生激光的机理,即必须建立特定激光能态间的粒子数反转,并有合适的光学谐振腔。

由于半导体材料物质结构的特异性和其中电子运动的特殊性,一方面产生激光的具体过程有许多特殊之处,另一方面所产生的激光光束也有独特的优势,使其在社会各方面广泛应用。

从同质结到异质结,从信息型到功率型,激光的优越性也愈发明显,光谱范围宽,相干性增强,是半导体激光器开启了激光应用发展的新纪元。

关键词:受激辐射;光场;同质结;异质结;大功率半导体激光器The working principle of semiconductor lasers and applications ABSTRACT: The machanism of lasing by semiconductor laser,which requires set up specially designated reverse of beam of particles among energy stages,and appropriate optical syntonic coelenteronAs the specificity of structure from semiconductor and moving electrons.something interesting happens.On the one hand,the specific process in producing lase,on the other hand,the beam of light has unique advantages。

As the reasons above,we can easily found it all quartersof the society.From homojunction to heterojunction,from informatics to power,the advantages of laser are in evidence,the wide spectrum,the semiconductor open the epoch in the process of laser. Key worlds: stimulated radiation; optical field; homojunction; heterojunction; high-power semiconductor laser 0 前言半导体激光器是指以半导体材料为工作物质的激光器,又称半导体激光二极管(LD),是20世纪60年代发展起来的一种激光器。

硅光子芯片外腔窄线宽半导体激光器

硅光子芯片外腔窄线宽半导体激光器
2 SPCSL基本结构和工作原理
2.1 基本结构 SPCSL主要由两部分组成,包括半导体增益
芯片或反射式半导体光放大器(SOA)和 SPC外 腔谐 振 器,二 者 通 过 模 斑 转 换 器 (SSC)高 效 耦 合 实现准单片集成。通常增加谐振腔长度可以有效 压窄线宽,但是这将导致纵模激射数量增多,纵模 间增益差减小,多模振动变得显著,使获得稳定单 模振荡和极窄光谱线宽变得困难。在 SPCSL激 光器中,通 常 选 择 高 Q 值 因 子 的 微 环 谐 振 器 (MRR)作为选频和锁模元件,因为 MRR具有较
Δλ
=λ2 c
FSRring1·FSRring2 FSRring1 +FSRring2

(1)
其中,c为 真 空 中 的 光 速,λ为 波 长,FSRring1和 FSRring2分别为两 MRR的自 由 光 谱 范 围,由 公 式 (2)给出:
波长的调谐主要利用游标效应和波导材料的 热光效应来实现。热光效应即材料的有效折射率 随着温度的改变而改变,折射率的改变进而引起 光场的变化[19]。因此,可通过在微环上放置热电 极来改变材料的温度,并控制热电极的电流来改 变波导折射率,使 MRR透射光谱与纵模发生偏 移,进行波长调谐。但由于热光调谐的热积累和 消散需要一定的时间,所以高速调制仍是需要解 决的问题。图 2(a)给出了集成 MRR和环形镜 (LR)的 SPC外腔结构,图 2(b)和 2(c)表示波长 选择和波 长 调 谐 原 理,其 波 长 调 谐 范 围 Δλ与 MRR的自由光谱范围相关,可用公式(1)表示为:
目前,窄线宽半导体激光器的研究方案众多, 包括基于衍射光栅、标准具等分立元件的外腔结 构、集成取样光栅或表面光栅的单片集成结构以 及硅基 光 子 芯 片 (SPC)外 腔 的 准 单 片 集 成 结 构[614]。尽管分布反馈(DFB)和分布布拉格反射 (DBR)式单片集成激光器具有集成度高、结构紧 凑和功耗低等优点,但其线宽严重受限于谐振腔 长度及损耗等因素[15];衍射光栅外腔激光器虽然 线宽性能优异、调谐范围广,但其体积较大、封装

846nm半导体激光器线宽压窄的研究

846nm半导体激光器线宽压窄的研究

文章编号 :6 30 9 (0 7 0 —0 20 17 —2 12 0 )60 4 —4
8 6a 半 导体 激 光 器 线 宽压 窄 的研 究 4 m
苏 展 何 世 均 , ,沈 乃潋 2 于 ,
3北 京大学 信息科学技术学院 , . 北京 10 8 ) 0 0 1

(. 1河南 省 自动化工程 技术研究 中心 , 郑州 4 0 0 ; . 5 0 8 2 中国科学院物理研究所 , 北京 10 8 ; 00 0
( . nnA tm t nE gneigadT c nlg eerhC ne, hnzo 5 0 8 h a 1Hea uo ai nier n eh ooyR sac e tr Z eghu4 0 0 ,C i ; o n n
2 I s t t o h s s hn s A a e y o c n e , e ig1 0 8 , hn ; .n t ue f yi iee cd m f i c s B in 0 0 0 C ia i P cC Se j
3 Sho o l t n sE g er ga dC m ue c ne eigU i r t, e i 0 0 1 C ia .c ol f e r i n i ei n o p tr i c,P k nv s y B in 10 8 , h ) E coc n n S : sn l a r w i e wi h t a l x e n lc v t e d a k s mio u t ru e n f e u n y ta t A i g e n ro ln dt un be e t r a a iy f e b c e c nd c o s d i r q e c d u ln u i hti r p s d.I s c n tu td wih ls rb s ,ls rt b o b i g bl elg s p o o e ti o s r c e t a e a e a e u e,c li ton s s e olma i y t m,a d n o tc lg a i g.Vi h u r nta d t mp r t r e iec nto ,I ssl c e h d fs mio u — p ia r tn a t ec r e n e e a u eprc s o r l ti ee t d t e mo eo e c nd c t rls ru e n t e fe b c fg a i g.Th tu t e o xt r a a iy ma st e s e ta i e wi t o a e s d i h e d a k o r tn e sr c ur fe e n c v t ke h p c r lln d h l o u p tl tt e n r o d.Thu i l o g t d n lmo e a r w p c r lln dt nd sa l fo t u i o b a r we gh sasnge l n iu i a d ,n ro s e ta i e wi h a t b e fe u n y e t r a a iy s mio d c o a e sr aie r q e c x e n c v t e c n u t rls ri e lz d,a d iss e t a i ewi t sc mpr s e o b l n t p c r lln d h i o e s d t e l s h n 1 Hz. e st a M Ke r s:a e e hn lg y wo d l rt c oo y;e t r a a iy s mio d c o a e ;e e na a iy o tc lg a i e d s x e n lc vt e c n u t r ls r xtr l c v t p ia r tng f e — ba k;sn l o g t di a d c i g e l n iu n lmo e;n ro ln d h a r w i e wi t

激光的线宽和调谐特性

激光的线宽和调谐特性

激光的线宽和调谐特性
在许多激光光谱实验中,对激光的线宽和调谐特性都有一定的要求,例如做超高分辨无多普勒增宽(Doppler-free)的光谱实验,激光线宽必须小于跃迁谱线饱和拉姆凹陷(Lamb dip)的宽度,同时要求有非常高的激光频率稳定度和功率稳定度,才有可能做出信噪比很高的测量结果。

实现激光单频的方案要根据激光介质跃迁谱线的分布和重叠情况来决定。

如果相邻跃迁谱线分离得很远,可以采用对特定波长反射的多层介质膜反射镜作为激光的谐振腔镜,选出所需要的激光振荡频率并加以输出,而对不需要的跃迁谱线,则由于透射损耗的增大而不能起振。

这种方法大多是在原子激光器中采用,例如,He一Ne激光器就是采用不同的介质膜输出镜来实现632.8nm或3.39 5m波长的激光输出。

如果激光介质跃迁谱线靠得很近,如C仪和Co 等气体分子激光,或者激光介质的跃迁谱线占有很宽的波长范围,如染料激光器和钦宝石激光器(Ti3+:sapphire laser,掺钦蓝宝石激光器)等.在这些激光器中,可以采用宽波段的反射愉出镜,加上腔内的选频元件,如棱镜、光栅或双折射滤光片等来选择激光输出频率,实现单频振荡。

这里所谓的“单频”
是指激光输出线宽相对较窄(或者说激光振荡在单根跃迁谱线上),但还不一定是单模激光输出。

要实现激光的单模振荡,还要在腔内加上不同自由光谱区的标准具,使激光器工作在单纵模状态上。

更多信息详见:激光雕刻机精雕机木工雕刻机/
哈尔滨市道外区富兴工业车库门厂车库门。

窄线宽可调谐半导体激光器

窄线宽可调谐半导体激光器

第32卷 第2期南开大学学报(自然科学)V ol.32 №21999年6月A cta Scientiar um N atur alium U niv er sitatis N ank aiensisJun.1999窄线宽可调谐半导体激光器*a 吕福云 刘玉洁 袁树忠 魏振兴 李 加 张光寅(南开大学物理科学学院,天津,300071)(教育部光学信息技术科学开放研究实验室,天津,300071)摘 要 研究了一种利用光栅弱耦合外腔改善可见光半导体激光器性能的方法,并对650nm 半导体激光器进行了实验,外腔镜由一个闪耀光栅构成,通过转动光栅角度,获得了窄线宽单模激光输出,谱线宽度0.1pm,线宽压窄比达9800,边模抑制比>20,并且在约20nm 的荧光谱宽基础上得到约5nm 波长的连续调谐范围. 关键词:弱耦合;可调谐半导体激光器;窄线宽0 引 言目前普遍采用内腔和外腔两类调谐技术.而外腔调谐是较为广泛采用的一种方法,它在现有普通半导体激光器的基础上,通过外腔选模压窄线宽,得到较好的输出特性,且具有灵活可行和调谐效果好的特点.以前国内外外腔调谐的研究大多集中在光纤通信窗口,即研究1350~1560nm 附近的波长调谐技术,且获得了较理想的结果[1,2].本文把外腔调谐技术推广到研究可见光波段的半导体激光器,实验中采用了650nm 的半导体激光器,它在原子吸收监测系统及喇曼谱仪等技术中具有很强的应用背景.图1 半导体激光器外腔调谐示意图Fig 1Scheme of the external -cavity semiconductor laser 常见外腔调谐技术包括两种方式,即强耦合和弱耦合方式.前者指通过对半导体激光器出光端面镀增透(AR)膜等手段,使得外腔镜的反射率大于出光端面的反射率,从而使外腔反馈占主要地位;后者则不对激光器出光端面镀增透膜,使内腔反馈仍占较为主要的地位.两种情况都能有效地压窄激光线宽,而强耦合情形的调谐范围更大,弱耦合情形则更为灵活方便.1 实验装置和调谐原理外腔调谐的装置结构如图1所示.半导体激光器的输出光经透镜组准直后获得水平的平行光,入射到光栅外腔上,经光栅分光,将一级衍射反馈回激光器有源区,与有源区内光场相互作用,造成各纵模间的增益差,增益较大,满足激光激发条件的纵模起振激发,而增益较小的模式就被损耗掉.通过改变光栅外腔反馈光的波长,就可获得不同波长的激光输出,从而实现波长调谐.此外,由于半导体激光器的谱线宽度满足[3]a 收稿日期:1998-10-05*攀登计划B 项目$M c =12P S c =12P (l /ac )其中,l 是激光器腔长.从上式可见,腔长是影响激光线宽的关键因素之一.加外腔相当于较大幅度地增加外腔长度,所以能有效地压窄线宽.而且,外腔反馈加强了受激辐射,抑制自发辐射,这也是压窄激光线宽的一个原因.光栅的零级衍射作为外腔激光输出.可用功率计测量输出激光强度,用光谱仪测量其光谱特性和波长,激光线宽由扫描干涉仪进行测量.实验中,光源选用650nm 的半导体激光器,谱线宽度约为0.98nm,输出功率约为5mW ,荧光谱宽约为20nm.未镀增透膜,因而构成弱耦合外腔系统.外腔镜选用一个闪耀光栅,提供外腔光反馈,通过转动光栅角度还能实现波长选择.2 实验结果实验中用Spectr al-Physics 公司的470-03型共焦扫描干涉仪测量外腔激光的输出线宽.该扫描干涉仪的自由光谱区(FSR)宽度为2GHz,仪器带宽10MHz.图2是外腔长度为16.4cm 时的测量结果.这时扫描干涉仪所加的锯齿波电压为10V,可对输出激光扫描两个级次,对应于图2(a)中的两个峰.两峰之间的距离$T 对应扫描干涉仪的自由光谱区,即2GHz.如图2(b)所示,将其中一个峰进行展宽,可以看出,此时的激光光谱很纯,处于明显的单模运转状态.从该图可较为准确地测量出半强宽$T ′,与$T 进行比较,可计算出激光线宽.(a)一个扫描周期内两个纵模 (b)改变扫描电压后为一个纵模tw o longitudinal modes in o ne period one mode w hile chang ing the scanning v oltag e图2 线宽测量结果Fig 2 Measurement result of the linewidth$M =$T ′$TFSR 这样计算出的输出激光线宽为$M =71MHz,对应的光谱宽度为$K =K M$M 约为0.1pm,而未加外腔时的光谱宽度$K 0≈0.98nm ,所以已经有效地压窄了激光线宽,线宽压窄比为D =$K 0$K≈9800光谱仪的测量结果表明输出激光具有良好的光谱特性.实验采用了Anritsu 公司的M S9001B/B1型光谱分析仪.图3(b)给出在中心波长附近的光谱测量结果,图3(a)为未加外腔时该半导体激光器的输出光谱.没加外腔时,光谱特性很差,表现为多模振荡,而每个模式的功率都不大,存在严重的模式竞争,导致波长不稳定,谱线宽度很大.与之相比,加上外腔后,处于单模运转状态,波长稳定,边模抑制比也很理想,・80・ 南开大学学报(自然科学版)第32卷光谱特性大为改善,且单个模式的功率增大,说明大部分能量已集中分配到一个纵模上.转动光栅角度,可得到不同波长的激光输出.用光谱仪测得波长连续可调谐范围约为5.28nm ,中心波长在659nm 附近.在该范围内均可得到光谱特性良好的激光输出.(a)L D 发射光谱特性 (b)外腔激光器的光谱特性spectrum o f LD spectr um of ex ter nal-cavit y laser图3 中心波长附近的光谱特性Fig 3 Spectrum of external -cavity laser near the center wavelength参考文献 1 K o hr oh K o bay ashi ,I kuo M ito .Sing le frequency and tunable la ser diode .J Lightw av e T echnol ,1988,6(11):1623 2 李天培.光纤通信用波长调谐和单频激光管.光通信研究,1990,53(1):1 3 陈徐宗,姚继良,李义民等.用于高分辨率光谱研究的窄线宽半导体激光器及其特性研究.光学学报,1996,16(10):1383NARROW-LINE W AVELENGT H T U NABLESEM ICONDU CT OR L ASERL Fuyun,Liu Yujie,Yuan Shuzhong,Wei Zhenx ing ,Li Jia,Zhang Guang yin(D ep ar tment of Phy sics ,N ankai U niv er sity ,T ianj in ,300071)(Op tical I nf ormation S cience L aboratory ,SE C ,T ianj in ,300071)ABSTRACTA method using a w eak -feedback g rating ex ter nal cavity for improv e the output characteristics of visible lig ht semico nductor laser is studied and pr oved to be practical.T his ex periment is conducted on 650nm semico ndutor laser.A blazed grating is used as the external cavity mirr or to narr ow the linew idth and select frequency .T hro ug h turning the g rating ,laser o utput w ith single longitudinal mode and linew idth as nar row as 0.1pm is obtained.The linew idth r eductio n ratio is 9800.The tuning r ange is 5nm out of 20nm fluo rescent spectrum appr oxim ately ,and the side mo de suppression ratio is ideal .Key words :wea k -feedback coupling ;tunable semico nductor la ser s ;nar ro w linew idth ・81・ 第2期吕福云等:窄线宽可调谐半导体激光器。

闪耀光栅外腔反馈压窄半导体激光器线宽技术的研究

闪耀光栅外腔反馈压窄半导体激光器线宽技术的研究

第32卷第6期2006年11月光学技术OPT ICAL T ECHN IQ UEVol.32No.6N ov.2006文章编号:1002-1582(2006)06-0869-02闪耀光栅外腔反馈压窄半导体激光器线宽技术的研究X江鹏飞,周燕,谢福增(中国科学院半导体研究所,北京100083)摘要:在讨论半导体激光线宽压窄理论的基础上,利用闪耀光栅作为外部反馈元件,介绍了由中心波长为949. 6nm、原始线宽为112T Hz的单管半导体激光器构成的反馈外腔,它能够很好的改善半导体激光器的性能。

实验得到了中心波长稳定的、单纵模的高质量激光输出,边模抑制比大于30dB,线宽优于112M Hz($K<3.6@10-6nm)。

实验证实了强反馈能够很好地改善外腔半导体激光器的动态特性。

关键词:外腔半导体激光器;外腔反馈;强反馈;窄线宽中图分类号:T N24文献标识码:AStudy of blaze grating feedback externa-l cavitysemiconductor laser with narow-linewidthJIAN G Peng-fei,ZH OU Yan,XIE Fu-zeng(Institute of Semiconductors,Chinese A cademy of Sciences,Beijing100083,China) Abstract:Based on t he discussion of linewidth-narrow ing of t he semiconductor laser,ex periment al results of ex ternal cav ity semico nductor laser wit h narrow-linew idt h ar e reported.W ith a blaze g rating offering ex ternal feedback,strong coupled ex ter nal cav ity fo r a commercial semiconductor laser can improve the output char acteristics of949.6nm semiconductor laser.I ts side mode suppression rat io is more than30dB,and spectrum linew idth is narrow er than3.6@10-6nm.T he exper iment show s that the strong feedback can improve the dynamical character istics of an external cav ity semiconductor laser.Key words:externa-l cavit y semiconductor laser;external feedback;stro ng-feedback;narrow linewidth1引言在半导体激光器的诸多应用中,半导体激光的线宽是一个非常重要的指标。

外腔用半导体激光管基本原理及应用

外腔用半导体激光管基本原理及应用

外腔用半导体激光器基本原理及应用1. 外腔用半导体激光器的概念早期普通FP腔结构的半导体激光管腔长一般在800μm—1500μm, 后反射面的反射率接近全反射,出射端面的反射率一般在百分之几十以内。

由于谐振腔的精细度不够高,而自由光谱范围又很宽,造成普通FP腔半导体激光器的线宽比较宽,甚至会出现多模运转,所以通常不能直接用在原子分子精密光谱,光频标,冷原子操控,原子干涉仪等研究领域。

后续出现了DFB/DBR等激光器,因为内置光栅的原因,线宽得到了一定的压窄,可以达到2MHz甚至更小,基本可以应用到上述领域中。

但随着对研究精度的提高,MHz级别的线宽已经不能满足更高要求的实验需求了,于是通过在激光管外再增加一些光反馈元件,使得激光管的后反射面和光反馈元件之间形成一个外腔,这样的激光器称为外腔半导体激光器(ECDL)。

由于外腔对激光器的模式选择作用,可以大幅度压窄半导体激光器的线宽到KHz级别,同时通过外腔光学元件的调谐作用,使得激光波长可以精确调谐。

由于外腔半导体激光器具有易于调谐、谱线宽度窄、维护简单等特点,成为精密光谱研究中一个重要的工具。

当然外腔用半导体激光器也有结构稳定性和紧凑度不如DFB激光器的情况,但更窄的线宽以及更高的功率依然是它的最大优势所在。

两种典型的外腔半导体激光管结构(Littrow结构和Littman结构)2. 外腔用半导体激光管的线宽压窄原理设入射光的波长为λ0 ,为了使1级光形成外腔反射,必须满足以下方程组:从激光管出来的光谱范围较大,波长成分较多,但只有满足第一个方程的波长成分才会发生一级闪耀反射回去,同时腔长必须满足第二个方程,反射回去的光才能形成谐振放大。

零级出射光里的波长成分主要是一级反射光的波长,其它波长成分因为没有放大过程会大幅衰减,表现出来的光谱特性就是极窄的线宽。

3. 主要应用外腔用半导体激光器因为它极窄的线宽和较高的光功率,在冷原子,原子分子精密光谱研究领域具有广泛的用途,目前主要应用在原子冷却,光频标,原子干涉仪,激光陀螺,高精度原子钟和光钟。

半导体激光器的线宽

半导体激光器的线宽

半导体激光器的线宽1.引言1.1 概述半导体激光器是一种重要的光电子器件,广泛应用于通信、医学、仪器仪表等领域。

而激光的线宽是衡量激光光谱纯度和频率稳定性的重要指标之一。

在半导体激光器中产生的激光不是单一频率的,而是由多个频率组成的光谱。

这个光谱宽度被称为激光的线宽。

一般来说,较窄的线宽代表着更单色和更稳定的激光光源。

半导体激光器的线宽受到多种因素的影响。

首先,半导体材料的本征特性会对激光器的线宽产生影响。

例如,激光器中的电子与空穴之间的相互作用会导致能级的展宽,从而增大激光器的线宽。

其次,激光器的工作状态也会对线宽造成影响。

激光器的线宽可以通过改变工作温度、注入电流等方式进行调节。

一般来说,激光器在较高的温度下工作,其线宽会较宽。

而当激光器工作在阈值以上的电流范围内时,线宽会更宽。

最后,激光器的结构参数也会对线宽产生影响。

例如,激光腔长度的改变可以影响激光的谐振模式,从而影响线宽的大小。

综上所述,半导体激光器的线宽是一个复杂而重要的问题,涉及到材料特性、工作状态和结构参数等多个方面的因素。

了解和控制激光器的线宽对于提高激光器的性能,以及满足不同应用领域对激光器的要求具有重要意义。

在接下来的部分中,本文将从半导体激光器的原理以及线宽影响因素两个方面展开讨论,以期更全面地了解和探究这一问题。

1.2文章结构文章结构部分的内容可以如下所示:本文将按照以下结构来组织讨论半导体激光器的线宽问题。

首先,在引言部分,将对半导体激光器的概念和应用进行简要介绍,并解释本文的目的和意义。

接下来,在正文部分,将详细探讨半导体激光器的原理,包括其工作原理、组成结构和工作模式。

同时,也会分析半导体激光器的线宽受到的影响因素,如材料特性、光学腔结构等。

在结论部分,将对半导体激光器的线宽问题进行总结,并展望半导体激光器线宽研究的未来发展方向。

通过以上结构安排,本文将系统全面地介绍半导体激光器的线宽问题。

读者可以逐步了解半导体激光器的基本原理,并了解其线宽问题。

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( b) 工作在 CFP 腔光学弱反馈情况下。 图 2 激光器 CLD1 和 CLD2 的拍频信号
在激光器 CLD1 被锁定于 CFP 腔后, 将锯齿波 电压加在 PZT - C 上扫描 CFP 腔长, 改变 CFP 腔共 振频率, 我们实现了激光器在 CFP 腔光学弱反馈条 件下锁定频率的连续调谐。为了获得较宽的频率连 续调谐范围, 应该使反馈光的相位( U) 在 PZT - C 扫 描过 程中始 终保持 在锁定 区域内[ 6] , 因此在 扫描 PZT- C 的同时, 我们也将同一锯齿波电压信号施加 在 PZT- U上, 并使两电压信号比例适当, 保持反馈
王波等 半导 体激光器的线宽压窄及频率连续调谐
# 83 #
度以及 CFP 腔长我们将 激光器的中心频 率调谐至
Rb 原子的 D2 吸收线上。扫描 CFP 腔长, 可以使半
导体激光器的频率在 Rb 原子共振吸收线附近连续
调谐, 实测最大调谐范围为 1. 2 GHz。我们采用波片
棱镜系统改变输入到 CFP 腔的功率大小, 首次测量
# 84 #
量子光学学 报
10( 2) 2004
束。M2 镜片固定在压电陶瓷 PZT - U上, 调节 PZT - U上的电压可以改变 CFP 腔反馈光束的位相, 使 其与激光器位相匹配。B1 光束从球面镜中心穿过 进入到 CFP 腔内, 并使其传播方向与 CFP 腔轴线成 一个微小角度( 1b左右) 。光线在 CFP 腔内以如图 1 所示的 V 形 简并方式往返传播。当腔与激 光频率 共振时, 腔内透射的光束 B 被反馈回激光器, 反馈 光又使激光频率与 CFP 腔保持共振( 由于 F - P 腔 的 Q 值远高于激光器谐振腔的 Q 值, 因此激光器线 宽被压窄) 。CFP 腔前镜表面的直接反射光被光阑 A 挡住, 以免影响激光器的稳定运转。CFP 腔的前 球面镜距半导体激光器的距离 Ld 约为 300 mm, CFP 腔长及其两腔镜的曲率半径均为 100 mm, 腔的自由 光谱区为 750 MHz。两腔镜的反射率均为 96. 4% 。 为保证激光频率的稳定性, 最重要的是要使 CFP 腔 长具有足够的机械稳定性。我们采用热膨胀系数小 的殷钢制作成圆筒状 CFP 腔体。两腔镜密封于 CFP 腔腔体内, 同时, 激光器和 CFP 腔用绝热材 料制成 的密封罩罩住, 以减小温度和气流对腔稳定性的影 响, 使 CFP 腔长在较长时间内保持稳定。CFP 腔后 球面镜与压电陶瓷 PZT- C 粘合, 在 PZT- C 上施加 电压可进行腔长扫描。CFP 腔透射的光信号由探测 器 D1 探测, 输入到示波器中用于监视激光器频率 与 CFP 腔是否共振。
由此可知激光器 CLD1 自由运转时线宽为 $MU 10 MHz。图 2( b) 是激光器 CLD1 也工作在 CFP 腔光学 弱反馈状态下谱仪给出的拍频信号, 由此可知每台 激光器在 CFP 腔光学弱反馈状态下线宽被压窄到 $Mc U45 kHz。
激光器 CLD2 工作在 CFP 腔光学弱反馈情况下, 而激光器 CLD1( a) 自由运转;
摘要: 我们利用共焦 F- P 腔光学 弱反 馈技术, 实 现了 单模 GaAlAs 半导 体激 光器线 宽压 窄、频率 锁定及 连续 调
谐。其线宽从自由运转时的 10 MHz 被压窄到 45 kHz, 并可将频率锁定于共焦 F- P 腔。实验证明, 在弱 反馈情况
下, 激光器的频率连续调谐范围与共焦 F- P 腔的光强反馈量近似成正比 , 实现了在铷原子 D2 线附近 1. 2 GHz 的 频率连续调谐。
的变化, 从而使半导体激光线宽 $M较肖洛- 汤斯极 限[ 10] $Ms 增加 ( 1+ A2) 倍[ 11] , 即: $M= $Ms( 1+ A2)
其中 A= $$nncd, $nc 和 $nd 分别是折射率实部和虚部 的变化量。通常情况下, GaAlAs 半导体激光器的线
宽是 10 MHz~ 20 MHz。激光通过共焦 F- P 腔透射
Fd 为半导体激光管谐振腔的精细度。可以看到 CFP
腔腔长越长、精细度越高, 越有利于激光器线宽的压 窄。
图 1 实验装置图
2 实验装置及结果
实验装置如图 1 所示, 我们在实验中使用 HL 7851G 型 GaAlAs 半导体激光器, 电流阈值为 37 mA, 其输出的激光是单 模线偏振光。最大输出功 率为 40 mW, 我们的工作点选择在 15 mW~ 20 mW 之间。 电流源采用美国 Newport 公司生产的 Model505 型低 噪声恒流源, 电流起伏 小于 2 LA 。温度由 美国 ILX Lightwave 公司生产的 LDT - 5910B 型高精度控温仪
馈可使激光器线宽压窄到 1 MHz 以下, 但频率连续 调谐范围较小( 几百兆赫兹) [ 3] 。近年来发展起来的 共焦腔反馈的方法可极大地压窄半导体激光器的线 宽。几个研究组[ 5~ 7] 的研究表明, 利用共焦 F- P 腔 ( CFP 腔) 光学反馈方法可以将半导体激光器线宽压 窄到几十 kHz 到几 kHz 之间, 频率连续调谐范围通 常在 500 MHz 左右[ 5] , 如果 采用 电 流- 反 馈 相位 ( PZT - U) - CFP 腔长( PZT - C) 同步扫描技术[ 6] , 可 以使频率连续调谐范围达 10 GHz 左右。
后, 可以有效地将其位相噪声压缩, 并过滤掉频率中
的起伏分量。理论给出的共焦 F - P 腔反馈作用的
半导体激光器线宽极限是[ 7] :
$Mc =
$Ms
B
Lp Gld
F CFP Fd
2, 其
中 B为激光器功率模式耦 合因子, Lp 为 CFP 腔腔
长, Gld 为激光腔光学长度, FCFP 为 CFP 腔精细度,
实验中, 我们首先调整 M1、M2 两反射镜将 B1 光束匹配到 CFP 腔内, 并使 CFP 腔的反馈光耦合到 激光器中。再调节加在 PZT - C 和 PZT - U 上的电 压, 并观测探测器 D1 输出的 CFP 腔透射光信号, 当 该信号最大时, 可确定激光器已锁定在 CFP 腔的共 振频率上。我们用一台与激光器 CLD1 结构相同的 激光器 CLD2 与之拍频测量激光器线宽[ 6] 。如图 1 所示, 两束激光通过一个 50% 的分束器 BS2 后叠加 在一起, 用光电雪崩二极管( FND100) D2 探测两激光 之间的拍频信号, 然后 输入到谱仪( HP - 8590L ) 中 进行信号分析。图 2 是实验 结果, 激光 器 CLD2 工 作在 CFP 腔光学弱反馈状态下, 图 2( a) 是 激光器 CLD1 自由运转时( 即无反馈) 谱仪显示的拍频信号,
了弱 反 馈量
反馈量=
CFP 腔反射光功率 激光器输出光功率
与激光
器频率连续调谐范围的关系。我们的实验表明, 在
光学弱反馈条件下( 10- 3 ~ 10- 4 ) , 激光器频率连续
调谐范围与反馈量近似成正比。
1 理论分析
半导体激光器中的自发辐射效应会引起激光相 位和强度的起伏, 而这一起伏又会引起载流子密度 的变化, 进一步导致半导体激光介质折射率和增益
王波等 半导 体激光器的线宽压窄及频率连续调谐
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相位 U与 CFP 腔长同步变化, 实现了激光器在铷原 子 D2 线附近频率连续调谐。我们采用波片棱镜系 统来改变反馈量, 研究了反馈量与激光器频率连续 调谐范围的关系。频率连续调谐范围由饱和吸收装 置( SAS1) 测得的饱和吸收谱来确定, 反馈量用反馈 光功率与激光器输出光功率的比来表示。图 3 是反 馈量为 1. 55 @ 10- 3 时无多普勒背景的铷原 子饱和 吸收光谱( 信号 A) 。谱线对应于87Rb 原子 D2 线中 的 52S1/ 2 F = 2- 52P 3/ 2 Fc = 1、2、3 跃迁。图中除了 Fc = 1、2、3 三条超精 细线外, 还有三 条分别对 应 52S 1/ 2 F = 2- 52P3/ 2 Fc = 1、2、3 跃迁过程中的三条 交叉线。52S1/ 2 F = 2- 52 P3/ 2 Fc = 1 和 52 S1/ 2 F = 2- 52P 3/ 2 Fc = 3 之间的频率间隔为 423. 6 MHz[ 12] , 由此可以 推断整 个谱线 频率连 续调谐 范围达 900 MHz 左右。信号 B 是探测器 D1 探测到的 CFP 腔的 透射信号, 近似为一条直线, 说明激光器 与 CFP 腔 在扫描过程中保持共振。我们在不同的光学反馈量 情况下测量了激光器的频率连续调谐范围。测量结 果如图 4, 从图中可以看出, 激光器频率连续调谐范 围与反馈量近似成正比。在反馈量为 2. 06 @ 10- 3 时, 激光器频率连续调谐范围最大达1. 2 GHz。再增 大反馈量, 激光器频率将发生跳模现象, 不能稳定工 作在87 Rb 原子的 D2 吸收线。
量子光学学报 10( 2) : 82~ 86, 2004 A cta Sinica Quantum Optica
文章编号: 1007- 4( 2004) 02- 0082- 05 XXXX
半导体激光器的线宽压窄及频率连续调谐
王 波, 姚景芹, 武海斌, 沈 云+ , 谢常德, 王 海*
( 量子光学与光量子器件国家重点实验室, 山西大学光电研究所, 山西 太原 030006)
关键词: 窄线宽半导体激光器; 共焦 F- P 腔; 反馈量; 频率调谐范围
中图分类号: O431
文献标识码: A
0 引言
单模半导体激光器具有频率可调谐、结构简单 和易于运转等优点, 受到广泛关注。然而, 自由运转 的单模半导体激光器线宽达几十 MHz, 不适合用于 高分辨率光谱、激光冷却和原子的量子相干效应等 研究。最近发展起来的外部光学反馈[ 1~ 7] 和快速电 反馈技术[ 8] 可以压窄半导体激光器线宽, 极大地降 低了半导体激光器的相位噪声, 使之成为光与原子 相互作用研究的一个重要光源[ 9] 。外部光学反馈技 术包括: 光栅反馈[ 1, 2] 、平面镜反馈[ 3] , 光纤反馈[ 4] , 共焦 F - P 腔反馈[ 5~ 7] 等。其中光栅反馈和平面镜 反馈的激光器具有结构简单, 运转方便等优点。光 栅反馈可使半导体激光器线宽压窄到 1 MHz 左右, 频率连续调谐范围达 5 GHz~ 10 GHz[ 1] 。平面镜反
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