晶体硅生产一般工艺流程
光伏晶硅提纯工艺流程
光伏晶硅提纯工艺流程
提纯流程
1. 原料准备：将硅矿石经过破碎、粉碎和磁选等处理，得到纯度较高的硅原料（通常为二氧化硅SiO2）。
2. 硅的还原：通过化学反应将硅源还原为纯硅。
最常用的方法是将硅原料与碳（通常是石油焦）在高温下进行反应，生成硅和一氧化碳。
这个过程通常在电弧炉或高温炉中进行。
3. 熔融硅的提纯：将还原的硅融化，通过物理和化学方法进一步提炼纯度。
常用的方法是通过等离子体熔融炉或石墨炉加热硅，通过碘化氢或氯化氢等气体将杂质硼、磷等有害元素从熔融硅中去除。
4. 拉棒：将提纯后的熔融硅通过石墨棒的引导，缓慢冷却并拉伸成单晶棒。
拉棒的过程中，会在棒的底部形成一个小的晶体种子，这个种子会沿着棒的方向逐渐生长，形成整个晶硅棒。
5. 切割晶棒：将拉出的晶硅棒切割成薄片，即光伏晶硅片。
切割通常使用钻石线锯或切割盘进行。
6. 清洗和检测：切割后的晶硅片被洗净以去除表面的沉积物和杂质，并经过严格的质量检测，包括电学性能、外观质量和尺寸等方面的检测。
晶体硅生产工艺流程
晶体硅生产工艺流程英文回答：Crystalline Silicon Production Process.The production of crystalline silicon is a complex and energy-intensive process that involves several key steps. Here is a detailed overview of the process:1. Raw Material Preparation: The first step is to purify the raw materials. Silicon is typically obtained from quartzite, which is primarily composed of silicon dioxide (SiO2). The quartzite is crushed and then reacted with carbon in an electric arc furnace to produce silicon metal.2. Crystal Growth: The next step is to grow silicon crystals. The silicon metal is melted in a crucible and then slowly cooled, allowing the silicon atoms to form a crystalline structure. The resulting silicon crystal isknown as an ingot.3. Wafer Production: The ingot is then sliced into thin wafers using a wire saw. The wafers are typically 150-200 micrometers thick.4. Surface Treatment: The wafers are then cleaned and etched to remove any impurities and prepare the surface for further processing.5. Doping: The wafers are then doped with impurities to create specific electrical properties. This process involves adding small amounts of boron or phosphorus to the silicon lattice, which alters its conductivity.6. Metallization: The wafers are then metallized, which involves depositing a thin layer of metal on the surface of the wafer. This layer is used to collect the electrical current generated by the solar cell.7. Anti-Reflection Coating: An anti-reflection coating is applied to the metallized surface to reduce lightreflection and improve light absorption.8. Cell Interconnection: The individual solar cells are then interconnected using solder or conductive paste to create a solar module.中文回答：晶体硅生产工艺流程。
晶体硅太阳能电池的制造工艺流程
晶体硅太阳能电池的制造工艺流程一、硅材料的准备首先，需要获取高纯度的硅材料作为太阳能电池的基础材料。
常用的硅材料有硅硷、多晶硅和单晶硅。
这些材料一般通过熔炼、洗涤和纯化等工艺步骤进行准备，以确保材料的纯度和质量符合要求。
二、硅片的制备在准备好的硅材料中，首先需要将硅材料熔化并形成硅棒。
硅棒可以采用单晶硅棒或多晶硅棒，通过将硅材料放入熔炉中进行熔化并慢慢降温，以获得纯度高的硅棒。
接下来，通过使用切割机将硅棒切割成很薄的硅片。
这些硅片称为硅片，硅片的厚度通常为几十微米到几百微米。
三、电池片的制备在硅片制备好后，需要对硅片进行一系列的加工工艺，以形成能够转化太阳能的电池片。
首先，通过在硅片表面涂上磷化剂，然后将硅片放入磷化炉中进行磷化反应，使硅片表面形成一层钙钛矿薄膜。
这一步骤的目的是增加太阳能的吸收能力。
接着，需要在硅片上涂覆一层导电膜。
最常用的导电膜是铝或铝合金，在硅片表面蒸镀一层铝膜。
该层铝膜将形成电场，使得硅片的上下两面形成正负两极。
最后，通过将硅片放入扫描激光器中进行图案化处理，将电池片分成多个小的电池单元，形成电池片。
四、组装在制造完电池片后，还需要将电池片组装成最终的太阳能电池模块。
电池片通过焊接或粘贴在玻璃基板上，并加上前电极和后电极，形成电池模块。
同时，还需将电池模块封装起来，以保护电池片并增加光的吸收。
最后，经过严格的测试和质量检查，太阳能电池模块将会被装配成太阳能电池板，并投入市场使用。
总结起来，晶体硅太阳能电池的制造工艺流程主要包括硅材料的准备、硅片的制备、电池片的制备和组装。
这些步骤涉及到多种物理、化学和加工工艺，需要高技术水平和严格的质量控制。
不断的研发和创新使得晶体硅太阳能电池在效率和可靠性方面得到了不断的提升。
晶体硅太阳能电池生产工艺流程图
晶体硅太阳能电池生产工艺流程图电池片工艺流程说明：(1)清洗、制绒：首先用化学碱（或酸）腐蚀硅片，以去除硅片表面机械损伤层，并进行硅片表面织构化，形成金字塔结构的绒面从而减少光反射。
现在常用的硅片的厚度在 180 μm 左右。
去除硅片表面损伤层是太阳能电池制造的第一道常规工序。
(2)甩干：清洗后的硅片使用离心甩干机进行甩干。
(3)扩散、刻蚀：多数厂家都选用 P型硅片来制作太阳能电池，一般用 POCl3液态源作为扩散源。
扩散设备可用横向石英管或链式扩散炉,进行磷扩散形成 P-N结。
扩散的最高温度可达到 850- 900℃。
这种方法制出的 PN结均匀性好，方块电阻的不均匀性小于 10％，少子寿命大于 10 微秒。
扩散过程遵从如下反应式：4POCl3＋3O2（过量）→ 2P2O5＋2Cl 2（气） 2P2O5＋5Si → 5SiO2 + 4P 腐蚀磷硅玻璃和等离子刻蚀边缘电流通路，用化学方法除去扩散生成的副产物。
SiO2与HF生成可溶于水的 SiF 62-，从而使硅表面的磷硅玻璃（掺 P2O5的SiO2）溶解，化学反应为：SiO2＋6HF → H2（SiF 6）＋ 2HO(4) 减反射膜沉积：采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)技术在电池表面沉积一层氮化硅减反射膜，不仅可以减少光的反射，而且由于在制备SiNx 减反射膜过程中有大量的氢原子进入，因此也起到了很好的表面钝化和体钝化的效果。
这是因为对于具有大量晶界的多晶硅材料而言，晶界的悬挂键被饱和，降低了复合中心的原因。
由于表面钝化和体钝化作用明显，就可以降低对制作太阳能电池材料的要求。
由于增强了对光的吸收，氢原子对太阳能电池起到很好的表面和体内钝化作用，从而提高了电池的短路电流和开路电压。
(5)印刷、烧结：为了从电池上获取电流，一般在电池的正、背两面制作电极。
晶体硅生产工艺流程
晶体硅生产工艺流程英文回答：Crystalline Silicon Production Process Flow.The crystalline silicon production process involves the following steps:1. Raw Material Preparation: Silicon dioxide (SiO2) and carbon (C) are the primary raw materials used incrystalline silicon production. SiO2 is typically obtained from quartz sand, while C is derived from coal or coke.2. Silicon Reduction: SiO2 and C are heated in an electric arc furnace at temperatures exceeding 1,800 °C. This reaction produces molten silicon (Si) and carbon monoxide (CO). The silicon melt is then tapped from the furnace and cooled.3. Polysilicon Production: The molten silicon undergoespurification to remove impurities. This is achieved through a process known as the Siemens process, which employs the chemical reaction between Si and HCl to formtrichlorosilane (SiHCl3). SiHCl3 is subsequently purified and reduced with hydrogen (H2) to produce polycrystalline silicon (poly-Si).4. Ingot Casting: Poly-Si is melted and cast into large cylindrical ingots. The casting process involvesdirectional solidification to minimize defects and control the crystal structure of the silicon.5. Wafer Slicing: The silicon ingots are sliced intothin wafers using diamond-coated saws. The wafers are typically 125–200 micrometers thick and form the starting material for solar cell fabrication.6. Surface Texturing: The wafers undergo surface texturing to enhance light absorption and reduce reflection. This involves etching the wafer surface to create a roughor textured surface.7. Cleaning and Passivation: The textured wafers are cleaned to remove contaminants and then passivated to prevent surface recombination and improve electrical performance.8. Doping: The wafers are doped with impurities to create either n-type or p-type semiconductors. This process involves introducing atoms with either an extra electron (for n-type) or a missing electron (for p-type).9. Metallization: Electrical contacts are formed on the front and back surfaces of the wafers through a process called metallization. This involves depositing thin layers of metal, typically aluminum or silver, to create electrodes for current collection.10. Solar Cell Assembly: The processed wafers are interconnected and assembled into solar cells or panels. This involves connecting the individual cells in series or parallel to achieve the desired electrical characteristics and encapsulating them in a protective housing.中文回答：晶体硅生产工艺流程。
晶体硅太阳电池生产工艺流程
晶体硅太阳电池生产工艺流程1、工业硅冶炼：石英（硅石）的主要成分是二氧化硅，工业上制取单质硅采用碳还原法。
原理是SiO2+2C=2CO↑+Si2、硅的提纯：改良西门子法是用氯和氢合成氯化氢（或外购氯化氢），氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三氯氢硅，然后对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生产高纯多晶硅。
国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生产电子级与太阳能级多晶硅。
（1）石英砂在电弧炉中冶炼提纯到98%并生成工业硅，其化学反应SiO2+2C=2CO↑+Si （2）为了满足高纯度的需要，必须进一步提纯。
把工业硅粉碎并用无水氯化氢(HCl)与之反应在一个流化床反应器中，生成拟溶解的三氯氢硅(SiHCl3)。
其化学反应Si+HCl→SiHCl3+H2↑，反应温度为300度，该反应是放热的。
同时形成气态混合物(Н2，НС1，SiНС13，SiC14，Si)。
（3）第二步骤中产生的气态混合物还需要进一步提纯，需要分离：过滤硅粉，冷凝SiНС13，SiC14，而气态Н2，НС1返回到反应中或排放到大气中。
然后分离冷凝物SiНС13，SiC14，净化三氯氢硅（多级精馏）。
（4）净化后的三氯氢硅采用高温还原工艺，以高纯的SiHCl3在H2气氛中还原沉积而生成多晶硅。
其化学反应SiHCl3+H2→Si+HCl。
3、多晶硅铸锭与直拉单晶参观内容。
4、制硅片参观内容。
三氯氢硅氢还原工序详解：经氯硅烷分离提纯工序精制的三氯氢硅，送入本工序的三氯氢硅汽化器，被热水加热汽化；从还原尾气干法分离工序返回的循环氢气流经氢气缓冲罐后，也通入汽化器内，与三氯氢硅蒸汽形成一定比例的混合气体。
从三氯氢硅汽化器来的三氯氢硅与氢气的混合气体，送入还原炉内。
在还原炉内通电的炽热硅芯/硅棒的表面，三氯氢硅发生氢还原反应，生成硅沉积下来，使硅芯/硅棒的直径逐渐变大，直至达到规定的尺寸。
氢还原反应同时生成二氯二氢硅、四氯化硅、氯化氢和氢气，与未反应的三氯氢硅和氢气一起送出还原炉，经还原尾气冷却器用循环冷却水冷却后，直接送往还原尾气干法分离工序。
tc saw生产工艺流程
tc saw生产工艺流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
文档下载后可定制随意修改，请根据实际需要进行相应的调整和使用，谢谢!并且，本店铺为大家提供各种各样类型的实用资料，如教育随笔、日记赏析、句子摘抄、古诗大全、经典美文、话题作文、工作总结、词语解析、文案摘录、其他资料等等，如想了解不同资料格式和写法，敬请关注!Download tips: This document is carefully compiled by theeditor. I hope that after you download them,they can help yousolve practical problems. The document can be customized andmodified after downloading,please adjust and use it according toactual needs, thank you!In addition, our shop provides you with various types ofpractical materials,such as educational essays, diaryappreciation,sentence excerpts,ancient poems,classic articles,topic composition,work summary,word parsing,copy excerpts,other materials and so on,want to know different data formats andwriting methods,please pay attention!TC saw（晶体硅切割片）生产工艺流程如下：1. 原料准备：a. 采购高纯度多晶硅棒作为切割原料。
单晶硅的工艺流程是什么
单晶硅的工艺流程是什么单晶硅，作为集成电路和光伏等领域的重要材料，在现代科技领域发挥着不可替代的作用。
其生产工艺是一个复杂而精密的过程，需要经过多道工序才能最终得到高纯度的单晶硅材料。
以下将介绍单晶硅的工艺流程。
首先，单晶硅的生产从硅矿石提炼开始。
硅矿石经过矿选、碎矿、磨矿等步骤，得到高硅含量的矿石。
接着，将高硅含量的矿石与还原剂（通常是木炭）放入电炉中，通过高温熔炼还原法来提取出冶炼硅。
这一步骤主要是将矿石中的氧化硅还原为金属硅。
随后，得到的冶炼硅被进一步精炼成氧化硅。
通常采用气相沉积法（CVD）或者熔融法进行精炼，通过控制温度、气氛和其他条件，使得硅材料的杂质得到进一步去除，提高材料的纯度。
接下来，通过将精炼后的氧化硅和还原剂（如氢气）放入石英坩埚中，经过高温熔炼，制备出硅单晶。
将坩埚缓慢冷却，在适当的条件下，硅单晶开始逐渐生长，形成长而细长的单晶柱。
这一步骤需要非常精确的温度控制和晶体生长条件，以确保单晶硅的质量和完整性。
接着，从硅单晶柱中切割出硅片。
这一步骤需要使用钻石刀具和精密设备，通过切割和抛光，将硅单晶柱切割成薄薄的硅片。
硅片的厚度通常在几微米到数十微米之间，可以根据不同的需求进行定制。
最后，对硅片进行表面处理和清洗，去除表面污染和杂质。
随后进行掺杂、扩散、电镀等工艺步骤，将硅片制备成高纯度、定制化的单晶硅片，供集成电路、光伏等行业使用。
综上所述，单晶硅的生产工艺包括硅矿石提炼、冶炼硅提取制备氧化硅、硅单晶生长、切片、表面处理等关键步骤。
这一精密而复杂的工艺流程确保了单晶硅材料的高纯度和品质，从而为现代科技领域的发展提供了可靠的材料基础。
1。
晶体硅太阳能电池的制造工艺流程
提高太阳能电池的转换效率和降低成本是太阳能电池技术发展的主流。
晶体硅太阳能电池的制造工艺流程说明如下:
（1）切片：采用多线切割,将硅棒切割成正方形的硅片.
（2）清洗：用常规的硅片清洗方法清洗,然后用酸（或碱）溶液将硅片表面切割损伤层除去30－50um。
（3）制备绒面:用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面.
(4) 磷扩散：采用涂布源(或液态源，或固态氮化磷片状源）进行扩散,制成PN＋结，结深一般为0.3－0。
5um.
（5）周边刻蚀：扩散时在硅片周边表面形成的扩散层,会使电池上下电极短路,用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层。
(6）去除背面PN＋结。
常用湿法腐蚀或磨片法除去背面PN＋结.
（7）制作上下电极:用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺。
先制作下电极，然后制作上电极.铝浆印刷是大量采用的工艺方法。
（8）制作减反射膜：为了减少入反射损失，要在硅片表面上覆盖一层减反射膜。
制作减反射膜的材料有MgF2 ，SiO2 ，Al2O3，SiO ，Si3N4 ，TiO2 ，Ta2O5等。
工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法，溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等.
（9）烧结：将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。
（10）测试分档：按规定参数规范，测试分类.
由此可见,太阳能电池芯片的制造采用的工艺方法与半导体器件基本相同，生产的工艺设备也基本相同,但工艺加工精度远低于集成电路芯片的制造要求，这为太阳能电池的规模生产提供了有利条件。
生产硅工艺流程
生产硅工艺流程
《生产硅工艺流程》
硅是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子、光伏等领域。
生产硅的工艺流程经过多个步骤，包括硅矿石的提取和精炼，最终得到高纯度的硅晶体。
以下是生产硅的工艺流程简要概述：
1. 提取硅矿石：硅矿石通常采用石英砂和石英石作为主要原料。
在提取硅矿石的过程中，首先需要将原料进行破碎、研磨，然后通过浮选或重选等方法将硅矿石中的杂质去除，得到较为纯净的硅矿石。
2. 炼制冶炼：炼制硅矿石的目的是提取出硅的金属形态。
炼制冶炼一般分为直接法和间接法两种主要方式，其中直接法主要通过高温还原硅矿石，间接法主要通过对硅气的氧化还原反应进行提纯。
3. 多晶硅生产：炼制冶炼得到的硅材料需要通过进一步的提纯工艺，得到多晶硅。
多晶硅生产一般采用气相法或溶液法进行，其中气相法主要包括气相氯化、气相氧化等工艺，而溶液法主要包括硅溶液晶体生长、凝胶法等工艺。
4. 单晶硅生产：多晶硅再经过单晶择取、单晶生长、切片等工序，最终得到单晶硅。
单晶硅是光电半导体领域中最为重要的材料之一，具有优异的电学性能和光学性能。
总体来说，生产硅的工艺流程涉及多个环节，需要经过严格的
控制和提纯才能得到高质量的硅产品。
随着半导体产业的不断发展，生产硅的工艺流程也在不断优化和创新，以满足不同领域对于硅材料的需求。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
晶体硅生产一般工艺流程 链接：/baike/1728.html
原文地址：/baike/1728.html
Powered by TCPDF ()
页面 4 / 4
晶体硅生产一般工艺流程 链接：/baike/1728.html
晶体硅生产一般工艺流程
⑴ 清洗 清洗的目的： 1去除硅片表面的机械损伤层。 2对硅片的表面进行凹凸面(金字塔绒面)处理,增加光在太阳电池片表面的折射次数,利于太阳能电池片对光的吸收,以 达到电池片对太阳能价值的最大利用率。 3清除表面硅酸钠、氧化物、油污以及金属离子杂质。 化学清理原理： HF去除硅片表面氧化层： HCl去除硅片表面金属杂质：盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与溶解片子表面可能沾污的杂质，铝、镁 等活泼金属及其它氧化物。但不能溶解铜、银、金等不活泼的金属以及二氧化硅等难溶物质。 安全提示：NaOH、HCl、HF都是强腐蚀性的化学药品，其固体颗粒、溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、呼吸 道，所以操作人员要按照规定穿戴防护服、防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套。一旦有化学试剂伤害了员工的身体 ，马上用纯水冲洗30分钟，送医院就医。 ⑵制绒 制绒的目的：减少光的反射率，提高短路电流(Isc)，最终提高电池的光电转换效率。 制绒的原理 利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀形成角锥体 密布的表面形貌 ，就称为表面织构化。角锥体四面全是由〈111〉面包围形成。 反应为：Si+2NaOH+H2O →Na2SiO3 +2H2 ↑ 影响绒面的因素： NaOH浓度 无水乙醇或异丙醇浓度 制绒槽内硅酸钠的累计量 制绒腐蚀的温度 制绒腐蚀时间的长短 槽体密封程度、乙醇或异丙醇的挥发程度 ⑶扩散 扩散的目的：在p型晶体硅上进行N型扩散，形成PN结，它是半导体器件工作的“心脏”; 扩散方法：
页面 2 / 4
ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ
晶体硅生产一般工艺流程 链接：/baike/1728.html
好的物理形貌 。 1.母体分子CF4在高能量的电子的碰撞作用下分解成多种中性基团或离子。 2.其次，这些活性粒子由于扩散或者在电场作用下到达SiO2表面，并在表面上发生化学反应。 3.生产过程中，CF4中掺入O2，这样有利于提高Si和SiO2的刻蚀速率。 刻蚀影响因素：刻蚀时间和射频功率 硅片作为晶体硅太阳能电池的基础材料，其质量对电池性能有很重要影响，下面以单晶硅片举例说明 一、少子寿命对电池性能的影响 少子寿命是指半导体材料在外界注入(光或电)停止后，少数载流子从最大值衰减到无注入时的初值之间的平均时间 。少子寿命值越大，相应的材料质量越好 二、早期光致衰减对电池性能的影响 1.早期光致衰减机理 光照或电流注入导致硅片中的硼和氧形成硼氧复合体，从而使少子寿命降低，但经过退火处理，少子寿命又可恢复 2.危害 一方面会引起组件功率在使用的最初几天内发生较大幅度的下降，使标称功率和实际功率不符 另一方面，如果同一组件内各个电池片光致衰减不一致，会造成原本分选时电性能一致的电池片，经过光照后，电 性能存在很大偏差，引起组件曲线异常和热斑现象，导致组件早期失效 热斑电池的温度与周电池的温度相差较大，过热区域可引起EVA加快老化变黄，使该区域透光率下降，从而使热斑 进一步恶化，导致组件的早期失效。 3.解决办法 1)改善硅单晶质量 A.利用磁控直拉硅单晶工艺 此工艺不仅能控制单晶中的氧浓度，也使硅单晶纵向、径向电阻率均匀性得到改善，但需配置磁场设备并提供激磁 电源，增加成本和工艺难度; B.使用掺磷的N型硅片 从目前产业化的丝网印刷P型电池工艺来看，N型电池在转换效率和制造成本上还没有优势，一些关键工艺有待解 决 C.用稼代替硼作为P型掺杂剂 2)电池片光照预衰减 三、位错对电池性能的影响 硅片中存在着极高的位错密度，成为少数载流子的强复合中心，最终导致电池和组件性能的严重下降。
页面 1 / 4
晶体硅生产一般工艺流程 链接：/baike/1728.html
1.三氯氧磷(POCl3)液态源扩散 2.喷涂磷酸水溶液后链式扩散 3.丝网印刷磷浆料后链式扩散 本公司采用第一种方法 POCl3磷扩散原理： 1. POCl3在高温下(>600℃)分解生成五氯化磷(PCl5)和五氧化二磷(P2O5)，其反应式如下： 2.生成的P2O5在扩散温度下与硅反应，生成二氧化硅(SiO2)和磷原子，其反应式如下： 3由上面反应式可以看出，POCl3热分解时，如果没有外来的氧(O2)参与其分解是不充分的，生成的PCl5是不易分 解的，并且对硅有腐蚀作用，破坏硅片的表面状态。但在有外来O2存在的情况下，PCl5会进一步分解成P2O5并放出 氯气(Cl2)。 4.生成的P2O5又进一步与硅作用，生成SiO2和磷原子，由此可见，在磷扩散时，为了促使POCl3充分的分解和避免 PCl5对硅片表面的腐蚀作用，必须在通氮气的同时通入一定流量的氧气 。 5. 在有氧气的存在时，POCl3热分解的反应式为： 4POCL3+5O2→2P2O5+6CL2 6. POCl3分解产生的P2O5淀积在硅片表面，P2O5与硅反应生成SiO2和磷原子，并在硅片表面形成一层含P2O5的SIO 2(磷硅玻璃)，然后磷原子再向硅中进行扩散 。 影响扩散的因素： 1.管内气体中杂质源浓度的大小决定着硅片N型区域磷浓度的大小。 2．表面的杂质源达到一定程度时，将对N型区域的磷浓度改变影响不大。 3.扩散温度和扩散时间对扩散结深影响较大。 4.N型区域磷浓度和扩散结深共同决定着方块电阻的大小。 安全操作：所有的石英器具都必须轻拿轻放。源瓶更换的标准操作过程。依次关闭进气阀门、出气阀门，拔出连接 管道，更换源瓶，连接管道，打开出气阀门、进气阀门。 ⑷周边刻蚀 周边刻腐目的： 1.去除硅片周边的n层，防止短路。 2.工艺方法有等离子刻蚀和激光划边。 3.我们采用等离子刻蚀机把周边n层刻蚀掉。 刻蚀方法：等离子刻蚀和湿法刻蚀。本公司采用等离子刻蚀。 等离子体刻蚀原理： 等离子体刻蚀是采用高频辉光放电反应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻 蚀的部位，在那里与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性生成物而被去除。它的优势在于快速的刻蚀速率同时可获得良