空气洁净度等级

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空气洁净度等级标准及规范相关

空气洁净度等级标准及规范相关

空气洁净标准和规*在经济和科技发达的国家和地区都有自己的标准,都规定了有关的 洁净度等级。

例如:美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。

我国于 1984 年颁布《洁净厂房 设计规*》(GBJ73-84) ,1996 年该规*进行较大的修改, 1990 年颁布《洁净室施工及验收规*》 (JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。

目前,该规*在重新修订中。

GBJ73-84 规定的洁净度等级 每立方米(升)空气中》0.5μm 尘粒数《35*100 (〈3.5〉 《35*1000 (〈35〉 《35*10000 (〈350〉 《35*100000 (〈3500〉等于或者大于相应粒径的最大允许浓度(粒/m 3)0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1μm 5μm 2 ISO2 ISO3 10000ISO5 ISO6ISO7 3516757 351675721,洁净室或者洁净区内空气悬浮粒子洁净等级 还有著名的美国联邦标准(Fed.St.209 系列) 可以参考;2,ISO1644 的 ISO5 相当于 Fed.St.209 系列的 100 级(≥0.5μm 粒子,≤3.5 颗/升,或者 100 颗 /ft 3 ,或者 3530 颗/m 3)3,洁净度等级在 100 级以下者(1000,10000 级等)通常用 0.5μm 粒径考核的居多; 4,随着微电子技术的发展,洁净度等级相应提高,洁净室检测粒径也越来越小(见表),对 粒子检测仪器的要求固然也越来越高, 对洁净室设计和施工方而言, 在验收时, 可能不止用《250 (〈0.25〉 《2500 (〈2.5〉 《25000 (〈25〉等级100 1000 10000100000 每立方米(升)空气中》5μm 尘粒数3517 35168 351676 832 8318 83176 100000 100000029 293 2925 23651 23651410176 1017638317638292511831764 29251 ISO9ISO1 ISO4 ISO8 2365 1018 1000 237 352 100 102 24 35 83 10 10 4 8一个粒径(如0.5μm)而要用到更多的粒径,如0.3 μm 0.2μm 甚至0.1μm。

空气洁净度

空气洁净度

5级对应100级、6级对应1000级hhnec at 2007-12-12 12:44:16空气洁净度的划分知识1.空气洁净度和级别空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。

通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高,含尘浓度高则空气洁净度低。

按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级,就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。

洁净度标准的制定。

以前有关国家都各自制定自己的标准,但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行,仅单位制及命名方法有所变换或改变。

在命名上基本可分为两类:一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名,这种命名方法以美国FS-209A~E版为代表,其规定粒径为0.5μm,以空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名,如标准中的100级,表示空气中≥0.5μm粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名,即每立方英尺的空气中≥0.5μm粒径的粒子数量为100个,(我们平时使用的是国际单位,即通常所指的是每立方米的空气中所含≥0.5μm粒径的粒子数量,因为1立方米≈35.2立方英尺,所以我们看到标准中100级对应≥0.5μm粒径的粒子数量不是100个,而是3520个,就是这个道理)。

二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示,按指数n命名空气洁净度的等级,这种命名方法以日本JISB9920为代表,其规定粒径为0.1μm,以空气中≥0.1μm粒径的粒子浓度(采用国标单位制)10npc/m3命名为n级,如该标准2级,其表示≥0.1μm粒径的粒子浓度为100pc/m3,即102pc/m3。

俄罗斯的标准亦基本上采用此种命名方法。

现在国际标准ISO14644-1已发布实施,美国标准FS-2009E亦于2001年11月宣布停止使用。

按国际标准,空气中悬浮粒子洁净度等级以序数N命名,各种被考虑粒径D的最大允许浓度Cn可用公式确定:Cn=10n(0.1/D)2.08式中:Cn--被考虑粒径的空气悬浮粒子最大允许浓度,pc/m3。

1-5级洁净度环境要求标准

1-5级洁净度环境要求标准

1-5级洁净度环境要求标准一至五级洁净度环境要求标准洁净度环境要求标准是用于衡量和评估工作场所或各类实验室环境的清洁程度的指标。

根据不同的应用领域和实际需求,洁净度环境要求标准被划分为不同的级别,如一级至五级。

本文将就一至五级洁净度环境要求标准进行论述。

一级洁净度环境要求标准一级洁净度环境标准是最高等级的要求,主要用于特殊领域,如微电子制造、光学仪器制造等需要极高洁净度环境的行业。

一级洁净度要求环境中无可见的污染物,如灰尘、油渍等。

空气中的粒子浓度应小于0.1个/升,空气微生物浓度应小于10个/升。

土壤、水源等环境也需符合极高的洁净度要求。

二级洁净度环境要求标准二级洁净度环境标准适用于一些对洁净度要求较高的行业,如制药、食品加工等。

二级洁净度要求环境中无可见污染物,且空气中的粒子浓度应小于0.5个/升,空气微生物浓度应小于100个/升。

土壤、水源等环境也需保持相对较高的洁净度。

三级洁净度环境要求标准三级洁净度环境标准适用于一些对洁净度要求较为一般的行业,如电子组装、实验室环境等。

三级洁净度要求环境中可允许轻微可见污染物存在,但需保持较低水平。

空气中的粒子浓度应小于1个/升,空气微生物浓度应小于1000个/升。

土壤、水源等环境需保持适当的洁净度。

四级洁净度环境要求标准四级洁净度环境标准适用于一些对洁净度要求较低的行业,如办公室、公共场所等。

四级洁净度要求环境中允许存在少量可见污染物,但需保持在一定范围之内。

空气中的粒子浓度应小于3个/升,空气微生物浓度应小于5000个/升。

土壤、水源等环境需保持基本的洁净度。

五级洁净度环境要求标准五级洁净度环境标准适用于对洁净度要求相对较低的行业,如一般家庭环境、公共厕所等。

五级洁净度要求环境中可存在少量可见污染物,但需保持在可接受的范围内。

空气中的粒子浓度应小于5个/升,空气微生物浓度应小于1万个/升。

土壤、水源等环境需保持基本的洁净度。

总结一至五级洁净度环境要求标准在实际应用中起到了重要的作用,不同行业根据自身的需求选择相应的洁净度标准,并严格遵守。

洁净室等级从低到高的标准

洁净室等级从低到高的标准

洁净室是一种特殊的生产环境,用于控制空气中的微粒和微生物数量,以确保对特定产品的生产或处理过程不会受到污染。

洁净室等级通常按照国际标准或行业规范进行分类,不同的等级适用于不同的生产场景和需要。

以下将从低到高的顺序,详细介绍洁净室等级的标准。

一、ISO 14644-1国际标准1. ISO 8级别:该级别要求每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.5微米,液滴颗粒物不得大于5微米。

这种级别适用于一些普通的办公室、车间等环境。

2. ISO 7级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.5微米,液滴颗粒物不得大于5微米。

这个级别适用于一些对环境要求较高的生产场所,如电子元件生产线等。

3. ISO 6级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

此级别适用于一些对洁净度要求很高的生产场所,如制药厂等。

4. ISO 5级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

这个级别适用于一些对微生物污染要求极高的场所,如生物实验室等。

5. ISO 4级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

这个级别适用于一些对微生物污染要求极高的场所,如医院手术室等。

6. ISO 3级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

这个级别适用于一些对微生物污染要求非常严格的场所,如生物制药厂等。

7. ISO 2级别:每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

在这个级别下,洁净室内的空气质量已经接近于绝对洁净的水平,适用于一些对微生物污染要求极为严格的场所,如超洁净手术室等。

8. ISO 1级别:这是最高等级的洁净室标准,要求每立方米空气中的固体颗粒物直径不得大于0.1微米,液滴颗粒物不得大于0.5微米。

这种级别适用于一些对微生物污染要求极其苛刻的场所,如微电子芯片生产工艺中的洁净室等。

洁净区abcd级别

洁净区abcd级别

洁净区abcd级别洁净区abcd级别是指在微电子、生命科学、制药、化学、航空航天和精密机械制造等领域,设置的可控制的洁净环境。

abcd级别分别代表不同的颗粒数量和空气洁净度。

其中,a级别最为严格。

以下是有关abcd级别的一些详细解释:1. a级别洁净区a级别洁净区是最高级别的洁净区之一,要求空气中每立方米的颗粒数不能超过0.12万个,空气颗粒的大小不得超过0.2微米。

这个级别的洁净区常常用在制药和电子半导体等高科技领域。

2. b级别洁净区b级别洁净区的颗粒数不能超过0.35万个,最小的颗粒大小为0.5微米。

这个级别的洁净区适用于微电子和医疗设备制造等行业。

3. c级别洁净区c级别洁净区的颗粒数不能超过2.5万个,最小的颗粒大小为5微米。

这个级别的洁净区适用于一些化学、制药和食品工业。

4. d级别洁净区d级别洁净区要求空气中每立方米的颗粒数不得超过50万个,最小的颗粒大小为100微米。

这个级别的洁净区通常用于低风险的一些工业领域,如电器生产等。

洁净区abcd级别的设立,可以有效过滤掉对产品质量稳定性和可靠性产生影响的微粒和细菌等。

通过建立严格的空气洁净度要求和必要的洁净控制措施,可以为各行业提供可靠的洁净环境,保证产品的质量和稳定性,同时也能保证工业和医疗行业的安全和健康。

在洁净区abcd级别的控制过程中,主要有几个环节需要注意:1. 设计和选择,生产厂家需要选择适合产品的洁净级别,同时根据洁净区需求来设计和布局洁净区。

2. 洁净区建设,需要对洁净区进行严格的规划和建设,包括空调系统设计、空气流动方式、过滤设备的安装以及洁净区人员的培训等。

3. 风险管理,需要制定并实施来自洁净区内部和外部的风险管理措施,以确保洁净区的稳定性和安全性。

4. 不断提高和改进,洁净区abcd级别需要不断改进和提高,以适应不断变化的产品和新的技术要求。

总之,在洁净区abcd级别的管理过程中,需要注重规划、设计、建设、管理和改进。

1-5级洁净度环境要求标准

1-5级洁净度环境要求标准

1-5级洁净度环境要求标准一、尘埃数量1级:洁净室内每立方米空气中直径大于0.5µm的尘埃粒子数不超过3500000个。

2级:洁净室内每立方米空气中直径大于0.5µm的尘埃粒子数不超过3500000个。

3级:洁净室内每立方米空气中直径大于0.5µm的尘埃粒子数不超过1800000个。

4级:洁净室内每立方米空气中直径大于0.5µm的尘埃粒子数不超过1800000个。

5级:洁净室内每立方米空气中直径大于0.5µm的尘埃粒子数不超过900000个。

二、微生物含量1级:洁净室内微生物(包括细菌、霉菌和酵母菌)含量不得超过国家规定标准。

2级:洁净室内微生物(包括细菌、霉菌和酵母菌)含量不得超过国家规定标准。

3级:洁净室内微生物(包括细菌、霉菌和酵母菌)含量不得超过国家规定标准。

4级:洁净室内微生物(包括细菌、霉菌和酵母菌)含量不得超过国家规定标准。

5级:洁净室内微生物(包括细菌、霉菌和酵母菌)含量不得超过国家规定标准。

三、空气流速1级:洁净室内空气流速应保持稳定,无明显的涡流和死角,流速控制在0.2-0.5m/s之间。

2级:洁净室内空气流速应保持稳定,无明显的涡流和死角,流速控制在0.2-0.5m/s之间。

3级:洁净室内空气流速应保持稳定,无明显的涡流和死角,流速控制在0.3-0.6m/s之间。

4级:洁净室内空气流速应保持稳定,无明显的涡流和死角,流速控制在0.4-0.7m/s之间。

5级:洁净室内空气流速应保持稳定,无明显的涡流和死角,流速控制在0.5-1.0m/s之间。

四、压差1级:洁净室内应保持一定的压差,一般应在10-30Pa之间。

相邻不同级别洁净室之间,高级别洁净室的压力高于低级别洁净室的压力。

对于同一洁净度级别的不同功能区域,通常应保持相同的压力,或至少相差不应超过5Pa。

在有特殊要求的情况下,如制药行业,不同洁净室之间的压差可能会更大。

同时,要确保门的密封性能良好,以维持洁净室的压差稳定。

洁净度等级标准

洁净度等级标准
空气洁净度分级标准:GB/T16292-1996(中国标准)
粒径
数值洁净度级别
尘埃最大允许数/立方米
微生物最大允许数
≥0.5um
≥5um
浮游菌/立方米
沉降菌/皿
100级
3,500
0
5
1
10,000级
350,000
2,000
100
3
100,000级
3,500,000
20,000
500
10
300,000级
35 200
8 320
293
ISO Class 7
352 000
83 200
2 930
ISO Class 8
3 520 000
832 000
29 300
ISO Class 9
35 200 000
8 320 000
293 000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平。
根据粒子径,可以划分为常规粒子(0.1um~5.0um)、超微粒子(<0.1um)和宏粒子(>5.0um)。
空气洁净度分级标准:ISO14644-1(国际标准)
空气洁净度等级(N)
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每m3空气粒子)
0.1 um
0.2 um
0.3 um
0.5um
1um
5 um
ISO Class 1
AS1386
AFNORX44101
VDI2083
14644-1
JACA24
1
1

0
2
2
1
M1.5
C
0.035

洁净度等级标准有几级

洁净度等级标准有几级

洁净度等级标准有几级洁净度等级标准是指对于不同场所和环境下的洁净度要求所制定的一系列标准。

根据国家标准和行业规范,洁净度等级通常分为几个级别,主要包括一级洁净度、二级洁净度、三级洁净度、四级洁净度和五级洁净度。

下面将对这几个级别的洁净度标准进行详细介绍。

一级洁净度是指在这个级别下,洁净度要求非常高,环境中的微粒物质浓度非常低。

这个级别通常适用于对环境洁净度要求极高的场所,例如在一些高科技制造业中的洁净室、手术室等。

在这样的环境中,微粒物质的浓度要求非常低,一般要求在每立方米空气中的微粒物质数量在0.1微米以上的颗粒不得超过35个。

这个级别的洁净度标准要求非常严格,需要采取各种高效的洁净设备和控制措施来保证环境的洁净度。

二级洁净度标准相对于一级洁净度来说要宽松一些,但仍然要求环境中的微粒物质浓度较低。

这个级别通常适用于一些对洁净度要求较高的场所,例如在一些电子、医药、食品等行业中的生产车间、实验室等。

在这样的环境中,微粒物质的浓度要求相对较低,一般要求在每立方米空气中的微粒物质数量在0.5微米以上的颗粒不得超过3500个。

这个级别的洁净度标准要求较为严格,需要采取一定的洁净设备和控制措施来保证环境的洁净度。

三级洁净度标准相对于二级洁净度来说要更加宽松,但仍然要求环境中的微粒物质浓度在一定范围内。

这个级别通常适用于一些对洁净度要求一般的场所,例如在一些普通工业生产车间、办公室等。

在这样的环境中,微粒物质的浓度要求相对较低,一般要求在每立方米空气中的微粒物质数量在5.0微米以上的颗粒不得超过10000个。

这个级别的洁净度标准要求较为宽松,需要采取一定的洁净设备和控制措施来保证环境的洁净度。

四级洁净度标准相对于三级洁净度来说要更加宽松,适用于对洁净度要求一般的场所,例如在一些一般生产车间、仓库等。

在这样的环境中,微粒物质的浓度要求相对较低,一般要求在每立方米空气中的微粒物质数量在10.0微米以上的颗粒不得超过100000个。

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空气过滤器 2--3 厘米处,可以 2~4 厘米/秒的速度移动,对高效空气过滤器整个断面封头 胶处和安装框架处进行扫描。
当粒子计数器读数为空气口大于或等于 0.5 微米的尘粒超过 3 粒/分·升(或其穿透率大于 0.01‰)即认为该处有明显渗漏,必须进行堵漏。
(二)测试内容 1、总送风量、总回风量、新鲜空气量、排风量等; 2、洁净室压力值; 3、层流洁净室断面风速和气流流向; 4、洁净工作区的洁净度; 5、室内温度、湿度及其控制能力的调整测试; 6、洁净室内噪声。 (三)洁净工作区空气洁净度的测试方法对于粒径大于或等于 0.5 微米的尘粒计数,宜采 用光散射粒子计数法。对于粒径大于或等于 5 微米的尘粒计数。也可采用滤膜显微镜计数 法。光散射粒子计数法:
等级级别
编辑
等级的划分
一般在洁净室内有登记的,采用多种工序操作时,应根据各工序不同的要求,采用不同 的空气洁净度等级,依据工序要求确定等级。
医药工业药生产工序的洁净级别和洁净区的划分,应参照《药品生产质量管理规范》中 制剂和原料药工艺内容及环境区域划分而定。药品生产洁净室的空气洁净度划分为四个等 级。
35,200,000
注:由于涉及测量过程的不确定性,故要求用不超过三个有效的浓度数字来确定等级水平
1.0um
8 83 832 8,320 83,200 832,000 8,320,000
各国洁净度等级近似对照表
5.0um
29 293 2,930 29,300 293,000
个/M≥0.5 um
ISO 1464 4-1(1 999)
237
102
35
ISO Class4
10,000
2,370
1,020
352
ISO Class5
100,000
23,700
10,200
3,520
ISO Class6
1,000,000
237,000
102,000
35,200
ISO Class7
352,000
ISO Class8

3,520,000
ISO Class9
微生物最大 允许数 浮游菌/立方 米
5 100 500 1000
沉降菌/ 皿
1 3 10 15
空气洁净
大于或等于所标粒径的粒子最大浓度限值(个/每立方米空气粒子)
度等级(N)
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
ISO Class1
10
2
ISO Class2
100
24
10
4
ISO Class3
1,000
在满足生产工艺要求的前提下,首先应采用低洁净等级的洁净湿或局部空气净化;其次 可采用局部工作区域空气净化和第等级全市空气净化相结合或采用全面空气净化。
也有的地方按空气过滤的等级 一般通风用过滤器分类—大气尘记数法 GB12218-89 分级 Ⅰ Ⅱ Ⅲ Ⅳ Ⅴ 粒径(μm) ≥5.0
≥1.0 ≥0.5 欧洲现行分类 比重法(%) Arrestance 比色法或计数法(%) Dust-spot Or Particle Efficiency 最易穿透粒径法(%) 美国效率规格 计数法(%)Particle Efficiency 计重法(%) Arrestance .药品生产洁净室(区)的空气洁净度划分为四个级别:
目录
.
1 基本信息
.
▪ 概述
.
▪ 测试
.
2 等级级别
.
▪ 等级的划分
.
▪ 洁净室(区)空气洁净级别表
.
▪ ISO14644-1(国际标准)
.
▪ 各国洁净度等级近似对照表
.
▪ 洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
基本信息
编辑
概述
air cleanliness class 洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等 级标准。
(3)乱流洁净室可按洁净面积小于或等于 50 平方米布置 5 个测点(附图 2)。每增加 20-50 平方米,增加 3--5 个测点。
4、数据整理 (1)每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值, 即为该点的实测数值。 (2)对于大于或等于 0.5 微米的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点最大值,乱流洁净 室取各测点的平均值。 (四)正压值测定应采用精度可达 0.01 毫米水柱的微压计。 三、动态测试。在洁净工作区操作位置选择有代表性测点的气流上风向进行,测试方法 同空态、静态测试。
1
-
3.5
2
10.0
-
35.3
3
100
-
353
4
1,000
-
3,530
5
10,000
-
35,300
6
100,000 -
353,000 7
1,000,000 -
3,530,000 8
US 209E(19 92)
M1 M1.5 M2 M2.5 M3 M3.5 M4 M4.5 M5 M5.5 M6 M6.5
3520000 0
8320000
293000
1、光散射粒子计数器采样量 100 级:每次采样量大于或等于 1 升。l,000 级-l0,000 级:每次采样量大于或等于 0.3 升。100,000 级:每次采样量大于或等于 0.1 升。对于 100 级洁净室,宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时,可采用每次采样量不小 于 1 升的粒子计数器。
洁净室(区)空气洁净级别表
洁净度级别
尘粒最大允许数/立方米 ≥0.5μm 尘粒数
≥5μm 尘粒数
100 级 10,000 级 100,000 级 300,000 级
3,500 350,000 3,500,000 10,500,000
ISO14644-1(国际标准)
0 2,000 20,000 60,000
测试
一、洁净室的空气洁净度,应进行下列测试 (一)空态、静态测试 空态测试:洁净室已竣工,净化空气调节系统已处于正常运行状态,室内没有工艺设备 和生产人员的情况下进行测试。 静态测试:洁净室净化空气调节系统已处于正常运行状态,工艺设备已安装,室内没有 生产人员的情况下进行测试。 (二)动态测试洁净室已处于正常生产状态下进行测试。 洁净室的风量、风速、正压、温度、湿度、噪声的检测,可按一般通用、空气调节的有 关规定执行。 二、空态、静态测试 (一)测试前的准备 1、应对洁净室及其净化空气调节系统进行彻底清洁。 2、采用光散射粒子计数器对高效空气过滤器进行检漏测试。首先测定高效空气过滤器 的上风侧静压箱内(或风管内)粒径大于或等于 0.5 微米的尘粒数应为大于或等于 30,000 粒 /升。如若不够,可引入烟雾,然后开始检漏。将粒子计数器(或检漏装置)的采样口距离高效
2、采样注意事项: (1)采样管必须干净,连接处严禁渗漏。 (2)采样管的长度,应根据仪器的允许长度。当无规定时,不宜大于 1.5 米。 (3)采样管口的流速,宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。 (4)采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。 3、测点布置 (l)检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面 1 米 (2)层流洁净室测点总数不小于 20 点,测点间距为 0.5~2.0 米,粒径大于或等于 0.5 微米的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点仅布置在第一洁净工作区内。
4,000,000 6
JAPAN JAOA(19 89)
2 3 4 5 6 7 8
10,000,00
-
M7
-
-
-
0
洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
-
-
空气洁净度等级 [1] (N) 1 2 3 4(十级) 5(百级) 6(千级) 7(万级) 8(十万级)
9(一百万级)
大于或等于表中粒径的最大浓度限值(pc/m)
空气洁净度等级
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air cleanliness class 洁净空间单位体积空气中,以大于或等于被考虑粒径的粒子最大 浓度限值进行划分的等级标准。用空态和静态方法进行测试。 中文名
空气洁净度等级
外文名
air cleanliness class 测试
空态、静态、动态测试
定义
粒子最大浓度限值划分的等级标准
US 209D(198 8)
EEC cGMP(19 89)
1 10 100 1,000 10,000 100,000
A+B 1,000 C D
FRANCE AFNOR(19 81)
GERMA NY VDI 208 3(1990)
-
-
-
0
-
-
-
1
-
-
-
2
-
-
4,000
3
-
-
-
4
-
-
400,000
5
-
-
0.1um
0.2um
0.3um
0.5um
1um
5um
10
2
100
24
10
4
1000
237
102
35
8
10000
2370
1020
352
83
100000 23700
10200
3520
832
29
1000000 237000 102000 35200
8320
293
352000 83200
2930
3520000 832000 29300
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