高纯管道测试方案
特气管道测试方案
高纯气体管道检测方案工程概况本工程共需要进行测试的管路系统为XX 二次配系统，包含：Special Gas System ，特气种类包括NH3、SiH4、1% PH3/H2、NF3、SF6、CL2、PH2；测试包含内容：保压、氦气检漏、氧份、颗粒、露点Bulk Gas System ，种类包括CDA 、GN2、、GO2、GHe 、、GCO2；测试包含内容：吹扫、保压Bulk Gas System ，种类包括PN2、 PO2、Par 、PHe ；测试包含内容：保压、颗粒1.保压测试a.测试目的确保管路输送系统没有明显的泄漏及管路耐压情况进行判断，以便对管路系统进行氦测漏。
b.测试规则测试时间为24小时，测试压力不能小于设计压力的1.5倍，经温度纠正后的允许压力降为不大于开始压力的1%.压力变化方程式(考虑到温度影响)2121ta P 273.16T 273.16T P P -++⨯= P2=测试结束压力值 (PSIG)P1=测试开始压力值(PSIG)T2=测试结束温度值 (℃)T1=测试开始温度值(℃)Pta=考虑到温度影响的压力变化值c.测试仪器保压计d.测试前准备在图纸上标出要进行压力测试的管路,以及保压计的放置位置。
测试中在管线上拆卸的任何部件都要在图纸以及最后的测试报告中标出。
测试开始之前，仔细的检查管线以确保给系统增压时的安全。
保证所有已经安装的配件的额定承受压力都满足或超过测试的压力。
拆除不满足要求的配件和系统。
注意事项：（1）在管线上拆卸的任何配件都要在图纸以及最后的测试报告中标出。
（2）保证测试范围内所有的阀门（包括调压阀）都处于全开的状态。
（3）保压计应该位于调压阀的进气口一侧，并且经调压阀出去的压力应该大于测试的压力。
（4）系统测试时须含如下内容的标示牌：注意、系统压力测试中、联系人e.测试方法（1）.让保压计与系统的隔离阀处于“关闭”状态。
（2）.将保压计的管线支路压力增加到 20 PSIG。
管道工程材料报验方案
管道工程材料报验方案一、检验目的本报验方案是为了确保管道工程施工材料的质量符合相关标准要求，保证工程的安全和质量。
二、检验范围本报验方案适用于管道工程的各种材料，包括但不限于管道、阀门、法兰、管道支架、管道焊材等。
三、检验内容1. 材料检验前的准备工作（1）材料的出厂合格证书及检测报告；（2）材料的运输记录和保管记录；（3）材料的标识、包装是否完好、齐全；（4）其他相关文件和记录。
2. 管道检验（1）管道材料的规格、尺寸、厚度、外观质量；（2）管道的压力测试报告；（3）管道焊接接头的质量检验；（4）管道衬里和外护套的质量检验。
3. 阀门检验（1）阀门的材质、型号、规格；（2）阀门的密封性能测试；（3）阀门的性能试验报告。
4. 法兰检验（1）法兰的材料、型号、规格；（2）法兰的外观质量、尺寸、螺纹等检验；（3）法兰的密封性能测试。
5. 管道支架检验（1）管道支架的材料、规格、尺寸；（2）管道支架的承载能力性能试验；（3）管道支架的防腐蚀处理。
6. 管道焊材检验（1）焊材的型号、规格、证书；（2）焊材的化学成分分析；（3）焊材的机械性能试验。
7. 其他相关材料检验包括管道的涂料、绝缘材料、防腐蚀材料等的相关检验内容。
四、检验方法1. 对于各类材料，要按照国家相关标准及行业标准进行抽样检验，并进行实验室检测；2. 对于特殊情况的材料需要进行抽检，并委托专业机构进行检测；3. 对于材料的外观质量检验，采用目测和测量仪器等方法进行检验；4. 对于材料的性能试验，采用相应的试验机进行测试。
五、检验标准1. 材料的质量和性能检验要符合国家相关标准和行业标准的要求；2. 对于具体的检验项目，要根据相应的标准进行检验，并严格按照标准要求进行检验。
六、检验记录1. 对于每批次的材料，要编制详细的检验记录，并保存相关数据和检测报告；2. 对于检验不合格的材料要及时进行整改和重测，并记录整改情况。
七、报验责任1. 施工单位要负责对管道工程的材料进行抽样检验，并保证材料的质量符合要求；2. 若有疑问情况需要请第三方专业机构进行检测，相关费用由施工单位承担；3. 施工单位要保证相关报验记录的真实性和完整性。
管道试压专项方案
管道试压专项方案管道试压是指在管道系统安装完毕并且通过水、气、氮或其他介质进行密封后，检测管道系统的密封性能，以确保其安全运行。
管道试压专项方案是管道试压工作的详细操作指导，包括试压计划、安全措施、试压工艺等内容。
以下是一份关于管道试压专项方案的参考：一、试压计划1.试压目的：（1）检测管道系统是否存在漏气、漏水等问题，确保系统的密封性能；（2）验证管道系统的耐压能力，确保系统能够承受正常工作压力；（3）排除施工过程中可能引入的杂质，确保管道系统的清洁度。
2.试压对象：（1）管道系统的全部或部分，包括主干管道、支线管道、设备和配件等；（2）试压的范围、区段和试验压力根据实际情况进行确定。
3.试压压力：（1）试压压力应根据设计要求确定，一般为1.25倍或1.5倍的设计工作压力；（2）试压时应逐渐增加压力，每次增加0.1倍试验压力，每次保持不少于10分钟；（3）保持试压压力持续时间应根据试验要求进行确定。
4.试压介质：（1）水：适用于一般管道系统；（2）气体：适用于防结露、防冻等特殊要求的管道系统；（3）氮气：适用于高纯度气体管道系统。
二、安全措施1.试压前的准备工作：（1）确保试压设备的可靠性和准确性，校准试压仪表，并确保试压仪表与试压介质相容；（2）检查管道系统的密封性能，确认未存在明显漏水、漏气的情况；（3）清理管道系统，将可能引起堵塞和损坏的杂质、油污等清理干净；（4）确保试压区域的安全，设置安全警示标志，并保证无人员进入试压区域。
2.试压期间的安全措施：（1）试压过程应有专人负责，负责监测试压压力和试压时间；（2）应定期检查试压设备，确保设备正常工作；（3）在试压期间应保持管道系统的稳定，防止因管道晃动、温度变化等引起试压失败；（4）试压仪表应放置在安全区域内，保证工作人员的安全。
三、试压工艺1.试压步骤：（1）确定试压范围和试验压力；（2）准备试验介质，清理管道系统；（3）设置试压设备，校准试压仪表；（4）逐渐增加试压压力，每次保持不少于10分钟；（5）保持试压压力一段时间，观察有无压力下降；（6）释放试压介质，恢复管道系统原状。
高纯气体管道吹扫方案
成都京东方光电科技有限公司第4、5代TFT-LCD项目高纯气体管道吹扫方案中国电子系统工程第二建设有限公司测试中心二○○九年二月十一日编制依据:《工业管道的基本识别色、识别符号和安全标识GB7231-2003 》、《工业金属管道工程质量检验评定标准GB50184-93》吹扫范围: CDA管道、吹扫气源:气站（N2）人员安排：时间段确定：2009年1月吹扫流程：一、吹扫原则与要求a．选用氮气吹扫工艺气体介质管道，应保证足够的气量，使吹扫气体流动速度大于正常操作的流速，最小不低于20m/s。
b.高纯气体管道吹扫气源压力一般要求为0.6-0.8MPa，可适当提高压力，但不要高于其管道操作压力。
低压管道和真空管道可视情采用0.15-0.20MPa的气源压力吹扫。
c.管道及系统吹扫，应予先制订吹扫方案。
它通常包括：编制依据、吹扫范围、吹扫气源、吹扫应具备的条件、临时配管、吹扫的方法和要求、操作程序、吹扫的检查验收标准、吹扫中的安全注意事项及吹扫工器具和靶板等物资准备等。
d.应将吹扫管道上安装的所有仪表测量元器件处阀门关闭或拆除，防止吹扫时流动的脏杂物将仪表元器件损坏。
同时，还应对调节阀采取适当的保护措施相近能力的气源连续提供吹扫空气。
吹扫气源的取得是以利用装置提供气源是快速完成系统吹扫的最好方法。
吹扫时可多个吹扫口同时进行，这有利于缩短系统吹扫时间。
二、管道吹扫应具备的条件（准备工作）a.工艺系统管道、设备安装竣工，强度试压合格。
b.吹扫管道中的孔板、转子流量计等已抽出内件后安装复位，压差计、液面计、压力计等根部阀处于关闭状态。
c.禁吹的设备、管道、机泵、阀门等已装好盲板。
d.供吹扫用的临时配管、阀门等施工安装已完成。
e.需吹扫的工艺管道一般暂不保温。
f.具备连续供气条件（采用气站或临时杜瓦罐方式）。
g.吹扫操作人员及安装维修人员已作好安排，并熟悉吹扫方案。
h.绘制好吹扫的示意流程图，图上应标示出吹扫程序、流向、排气口、临时管线、临时阀门等和事先要处理的内容。
气体管路方案书
超纯气体管路及工程施工方案一、供气参数1、气瓶间设在3层共有8路气体，其中包含氮气、氩气、氦气、氢气、液氮、液氩、空气和乙炔。
使用点共有27个，分别分布在2、3、4层。
2、气体管路系统包括：不锈钢自动切换系统，不锈钢管，不锈钢终端减压阀，不锈钢球阀等配件。
上述系统分别分布在气瓶间和使用点。
设计方案：①氮气、氩气、氦气、空气、液氮、液氩以上气体采用不锈钢自动切换系统（1*1)，此系统可实现自动切换，保证气体不间断供应，可同时供应气质、液质、前处理、ICP-MS、原子吸收、原子荧光和4层气相色谱的气体。
管路采用1/4’’ BA级316L不锈钢管，末端配置不锈钢球阀和不锈钢二级减压阀。
不锈钢二级减压阀可端独控制进入仪器的气体压力，使用方便，美观大方；②乙炔乙炔采用不锈钢自动切换系统（1*1)，此系统可实现自动切换，保证气体不间断供应，供应原子吸收室内的仪器。
由于乙炔压力较低，所以主管路采用1/2’’ BA级316L不锈钢管，支管路采用1/4’’ BA级316L不锈钢管，末端配置不锈钢球阀和不锈钢二级减压阀。
不锈钢二级减压阀可单独控制进入仪器的气体压力，使用方便，美观大方。
其中主管路上配置不锈钢回火防止器，用来防止乙炔在使用过程中出现回火，发生危险；③氢气氢气采用不锈钢自动切换系统（1*1)，此系统可实现自动切换，保证气体不间断供应，同时供应气质和4层气相室。
管路采用1/4’’ BA级316L不锈钢管，末端配置不锈钢球阀和不锈钢二级减压阀。
不锈钢二级减压阀可端独控制进入仪器的气体压力，使用方便，美观大方。
其中主管路上配置不锈钢回火防止器，用来防止氢气在使用过程中出现回火，发生危险；④气瓶室和使用点配置可燃气体报警器，气瓶室安装防暴排风扇，乙炔和氢气主管路安装防暴电磁阀。
当可燃气体出现泄漏时，可燃气体报警器进行声光报警，同时联动防暴排风扇和防暴电磁阀，防暴排风扇自动开启，防暴电磁阀关闭。
⑤气瓶室氮气、氩气、氦气、空气、乙炔、氢气六种气体分别安装低压报警装置。
管路打压测试方案
管路打压测试方案
1. 目的
管路打压测试是为了检查管路系统的密封性和承压能力,确保系统在正常工作压力下不会发生泄漏或损坏。
2. 适用范围
本测试方案适用于各种工业管路系统,包括输送气体、液体和粉体的管路。
3.测试准备
3.1 确定被测管路的最大工作压力。
3.2 准备合适的压力源,如压缩空气或液压泵。
3.3 安装压力表、压力开关等测量仪表。
3.4 关闭所有管路上的阀门。
3.5 检查管路系统的完整性,确保没有明显裂缝或损坏。
4. 测试步骤
4.1 缓慢增加压力至设计压力的50%,保持10分钟,检查压力是否下降。
4.2 缓慢增加压力至设计压力的100%,保持30分钟,检查压力是否下降。
4.3 缓慢增加压力至设计压力的150%,保持10分钟,检查压力是否下降。
4.4 如果压力无明显下降,则逐步释放压力至大气压。
5. 判定标准
5.1 在测试过程中,压力无明显下降,表明管路系统密封性良好。
5.2 如果出现压力明显下降,则需查找泄漏点并修复,重新进行测试。
6. 注意事项
6.1 测试时应远离管路系统,防止发生意外伤害。
6.2 测试压力不得超过管路的最大允许工作压力。
6.3 测试完成后,应彻底释放残余压力。
6.4 测试过程中应遵守相关的安全操作规程。
7. 测试记录
测试人员应如实记录测试过程和结果,包括测试日期、管路编号、压力值、持续时间等,以备查阅。
以上是一个管路打压测试的基本方案,具体操作时可根据实际情况进行适当调整。
测试的目的是确保管路系统的安全可靠运行,避免发生泄漏和事故。
高纯气体管道施工工法
高纯气体管道施工工法一、引言高纯气体管道是在工业和实验室等领域中广泛应用的重要设施。
它们用于输送氢气、氮气、氩气等高纯度的气体，因此对管道的施工要求非常严格。
本文将介绍高纯气体管道施工的关键工法和注意事项，希望能为相关从业人员提供帮助。
二、施工准备1. 设计方案：在施工前，需要制定详细的设计方案，包括管道的走向、尺寸和材质等。
设计方案应符合相关标准和规范要求，确保管道的安全性和稳定性。
2. 材料采购：根据设计方案，采购符合高纯度气体管道要求的材料，如不锈钢管道、法兰、阀门等。
在采购过程中，需要注意选择正规厂家生产的产品，以确保材料质量的可靠性。
3. 工具准备：准备必要的工具，如管道切割机、焊接设备、扳手等。
确保工具的完好性和适用性，以提高施工效率和质量。
三、施工工法1. 管道布线：根据设计方案，在施工现场进行管道的布线。
在布线过程中，要注意管道的走向、气体流向和坡度等因素，确保管道的畅通和排水。
2. 管道切割：根据设计方案，使用管道切割机对不锈钢管道进行切割。
切割时要保持切口的平整和垂直度，以便后续的焊接工作。
3. 焊接连接：使用焊接设备将管道进行连接。
在焊接过程中，要注意控制焊接温度和时间，以确保焊接接头的质量和密封性。
4. 安装法兰和阀门：根据设计方案，在管道上安装法兰和阀门。
在安装过程中，要注意法兰和阀门的紧固力度和密封性，以确保管道的安全运行。
5. 检查和测试：在施工完成后，对管道进行检查和测试。
检查包括对焊缝的质量和焊接接头的密封性进行检测，测试包括对管道的压力进行测试。
四、注意事项1. 安全防护：在施工过程中，要加强安全防护意识，佩戴必要的安全防护装备。
对于易燃易爆气体的施工，要采取相应的防火和防爆措施。
2. 质量控制：施工过程中要严格控制质量，确保管道的密封性和可靠性。
对关键环节的施工，如焊接和连接，要加强质量监督和验收。
3. 清洁环境：在施工现场保持清洁，防止杂物、灰尘和有害物质对管道的污染。
气体管道检测方案
XXX科技有限公司（苏州）生产厂房气体管道检测方案中国电子系统工程第二建设有限公司测试中心二○○七年十月九日Ⅰ-检测前的准备经过过滤器除尘后得无油压缩空气或高纯氮气吹扫24小时，流速大于20m/s，并以木槌轻轻敲击待测管路;测试前必须对现场测试介质进行确认，避免误用测试介质，对压缩空气、氩气和氮气系统直接测量，对纯氧和纯氢系统选用高纯氮或高纯氩为替代介质进行测试。
Ⅰ-检测方法学概述1.气体洁净度测试a测试目的确认各气体系统洁净度满足设计要求b测试条件过滤器已安装；空压机正常运转；气体供应充足，测试时管道保证压力在0.3MPa~0.7MPa之间。
c测试方法选取各系统的气源和最不利（远端）的用气点（即系统内管路最长、走向最复杂的用气点）进行测试，或经甲方工程主管指定用气点进行抽样测试。
用尘埃离子计数器连接气体管道采样。
仪器布置示意图如下：充充充充充充充充充尘埃粒子计数器进行在线监测测量，当观察到读数满足要求并稳定一段时间之后，即停止测试。
尘埃粒子测量在连续三个周期e 验收标准 Ⅰ-检测人员调配充充充充充充充充充充充充充充充RS232充充充充充充露点仪进行在线监测测量，一般测半小时才能稳定读数，当观察 到读数满足要求并稳定一段时间之后，即停止测试。
d 测试仪器露点仪 Cermax测试人员：卢军配合人员：气体管道施工班两人 甲方代表：一人检测依据文献使用以下标准和技术指南做参考系统名称 露点(℃)≤-70高纯氢气（H 2） 高纯氮气（N 2） ≤-70 高纯氧气（O 2） ≤-70 高纯氩气（A R ） ≤-70 压缩空气（CDA ） ≤-70 二氧化碳（O 2）≤-701.《设计图纸、说明》4.《洁净室施工及验收规范》（GBJ71-90）偏差及变更检测过程中，所有偏差是将建立专门记录，重大偏差建立专项调查报告并书面提交，并参与分析原因，解决问题，协助变更。
结果数据综合分析所有测定结果将记录在针对不同测试的记录专用纸上。
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高纯气体管道检测方案
目录
一：测试概要二：测试仪器 (1)
(1)
三：系统管路连接方式及检测标准 (2)
四：测试项目及方法 (2)
1.耐压测试 (2)
a)测试目的 (2)
b)测试规则 (2)
c)测试工具 (2)
d)测试前准备 (2)
e)注意事项 (3)
f)测试方法 (3)
2.保压测试 (3)
a)测试目的 (3)
b)测试规则 (3)
c)测试工具 (4)
d)测试方法 (4)
e)测试结束后注意事项 (4)
3．氦检漏测试 (5)
a)测试目的 (5)
b)相关名词及解释 (5)
c)测试仪器 (5)
d)测试前准备 (5)
e)测试方法 (6)
4．水分、氧分、颗粒检测 (7)
a)测试目的和测试标准 (7)
b)测试仪器 (7)
c)测试方法 (7)
五：测试报告 (8)
一：测试概要
设备主管路主要是通特种气体SiH4,需做测试项目有：耐压测试、保压测试、氦检测试、水分测试、氧分测试、颗粒测试。
辅助管路主要是通大宗气体,用于开启气动阀门。
需做测试有：用Snoop对SWG、NPT 接点进行检漏。
二：测试仪器
仪器名称仪器型号产地备注
氦检仪INFICON UL1000FAB德国
水分仪HALO-H20美国
氧分仪DF-550E美国
颗粒仪PMS LPC-101-HP美国
氦检仪水分仪
氧分仪颗粒仪
三：系统管路连接方式及检测标准
四：测试项目及方法
1.耐压测试
a)测试目的
管道在承受高压后衔接点不会外漏，以确保所有人员的安全。
另外管路中的高压可以侦测出焊道上是否有沙孔存在（沙孔会因为过高的压力造成泄露）。
b)测试规则
测试时间为0.5H,测试压力依据系统中材料的最大工作压力而定，避免因压力过大导致材料损坏。
例如系统中压力表最大量程为400Kpa，则通入压力
要小于等于400Kpa。
无压降即为通过。
如有压降需找出漏点重新测试，直到
无压降为止。
c)测试工具
压力表
d)测试前准备
检查系统流程是否与PID图纸流程一致，核对材料型号、方向、标识是否正确。
检查管线材料最大工作压力,避免因测试过程通入压力过高导致阀门损坏。
e)注意事项
1.保证测试范围内所有的阀门（包括调压阀）都处于全开的状态。
f)测试方法
1.将气源用金属管道连接至系统进气端。
2.慢慢打开隔离阀。
3.每次增加10PSIG，缓慢的将系统压力增加到最终测试压力的50%。
观察压力
表10到15分钟，看系统有无泄漏。
如压力表显示系统有泄漏，则减小系统压力并处理漏点。
重复上述操作。
4.确认系统无任何泄漏后，慢慢的增加系统压力到测试值，断开气源，观察压力表
30分钟看系统有无泄漏。
5.在系统的压力稳定并显示无任何压降后，在压力测试报告中记录测试开始时的温
度、时间和压力值。
2.保压测试
a)测试目的
确保管路输送系统没有明显的泄漏，以便对管路系统进行氦测漏。
b)测试规则
测试时间为24小时，测试压力不能小于设计压力的1.15倍，经温度纠正后的允许压力降为不大于开始压力的1%.
压力变化方程式(考虑到温度影响)
P ta=P1⨯
P2=测试结束压力值(PSIG)P1
=
测
试
开
压力值(PSIG)
T2+273.16
-P2 T1+273.16
3
T2=测试结束温度值(℃)
T1=测试开始温度值(℃)
Pta=考虑到温度影响的压力变化值
c)测试工具
压力表
d)测试方法
1.将气源用金属管道连接至系统入口端。
2.慢慢打开隔离阀。
3.每次增加10PSIG，缓慢的将系统压力增加到最终测试压力的50%。
观察压力
表10到15分钟，看系统有无泄漏。
如压力表显示系统有泄漏，则减小系统压力并处理漏点。
重复上述操作。
4.确认系统无任何泄漏后，慢慢的增加系统压力到测试值，断开气源，记录好温度、
时间、压力值，24H后观察压力是否有压降。
5.在系统的压力稳定并显示无任何压降后，在压力测试报告中记录测试开始时的温
度、时间和压力值。
e)测试结束后注意事项
1.在测试报告中记录下测试的参数。
将系统的压力释放，在进行氦测漏之前用高纯
N2对系统进行持续的吹扫0.5H。
2.将压力测试用的管线拆除，用堵头来密封系统并使用新的垫片。
3.如果由温度所引起的压力下降超过了要求，通过关闭测试范围内的系统阀门来
开所有的潜在漏点，观察各个不同隔离部分的压降。
4.在将漏点隔离和修复之后，重复上述测试步骤。
3．氦检漏测试
a)测试目的
利用氦质谱仪感测漏入系统中的微量的氦气来测漏，并根据检测到的氦气的量来确定漏率的大小。
b)相关名词及解释
真空度：处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。
真空度单位：T orr、Pa。
1托=1/760大气压=1毫米汞柱
1托=133.322帕
1帕=7.5×10-3托
漏率：密闭真空空间在外界标准大气压和单位时间内，物质泄漏的速率。
漏率常用单位：Pa.m3/sec、mbar.l/sec、/s
10Pa.m3/sec=1mbar.l/sec=/s
分子泵：通过高速旋转的叶轮，当气体分子与涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。
c)测试仪器
氦质谱检漏仪
d)测试前准备
1.系统成功的的通过了保压检漏。
2.确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。
3.先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。
4.测漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。
5.缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，
直至测漏仪显示的背景漏率低于1×10-9mbar.l/s。
6.对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。
e)测试方法
1.确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。
2.确认系统中的压力为0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。
3.缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。
遵照检漏仪的操作说
明操作，直至达到可以检测的状态。
4.记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1×10-9mbar.l/s以后，才可以
进行喷吹工作。
5.从最靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷枪喷吹到焊道或连接处，
使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到最后一个焊道或连接处。
6.如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测
该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。
7.直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。
所有的接点都喷吹
过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。
8.如果每个接点的氦气漏率都低于1×10-9mbar.l/s，说明该系统的漏率是符合要
求的。
测试人员可以将检测结果记录在检测报告里了。
9.将检漏仪与系统分开。
4．水分、氧分、颗粒检测（三台仪器并联使用）
a)测试目的和测试标准
水分检测的目的主要是为了避免管道内水含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。
氧分检测的目的主要是为了避免管道内氧含量过高时，会发生化学反应，对制程造成影响。
例如，芯片在生产过程中，原本大气中O2会和Si产生化学反应: O2+Si=SiO2,为原始的氧化成，如果管道内的氧含量过高，原始的氧化层会超出原本已经计算好的厚度，如此会严重影响接下来各阶段的制程。
颗粒检测主要是检测管道内微粒子的粒径大小和数量多少。
如果管道内微粒子过多会对Wafer良率影响很大。
检测标准：
b)测试仪器
水分仪
氧分仪
颗粒仪
c)测试方法
1.将吹扫气源连接到系统进气端，所有阀门处于开启状态。
2.连续吹扫2H后用金属管路连接系统出气端至测试仪器进气端。
使气体通入仪器，
10分钟后打开电源，设置仪器各项参数后开始测试。
3.待测试数据达到标准要求后，记录测试数据，关闭进气端和出气端阀门，使管道
内保持正压。
4.测试仪器断电，仪器与设备分离。
五：测试报告
在系统管路测试完成后,根据测试结果,填写测试报告。
《QA报告》
《保压测试报告》
《氦检测试报告》
《水分测试报告》
《氧分测试报告》
《颗粒测试报告》。