微机电系统技术与智能系统集成
微机电系统的研究与应用前景
微机电系统的研究与应用前景近年来，微机电系统（MEMS）技术在各个领域得到了广泛的应用，其研究和开发已成为当今科技领域的一个热点。
作为一种高新技术，MEMS系统的研究与应用前景十分广阔，不仅有助于推动信息技术的发展，也对于医疗、环境、能源等领域的发展有着重要的促进作用。
一、MEMS概述MEMS是微型电子机械系统的缩写，也可以称为微机电系统。
它是一种将微电子技术与机械技术相结合的新型技术，它可以制造出微型零部件，如传感器、执行器、微型结构等。
这些微型零部件可以集成到同一芯片上，形成微型系统。
MEMS技术可以利用批量化制造的方式来降低成本，同时还可以提高生产效率，从而实现大规模集成电路制造的梦想。
MEMS 系统具有小尺寸、低功耗、低成本、高稳定性等特点，因此在信息技术领域、医疗、环境、能源等各个领域都有着广泛的应用。
二、MEMS在信息技术领域的应用MEMS技术在信息技术领域有着广泛的应用，其中最重要的是传感器技术。
通过MEMS制造的传感器可以测量各种各样的物理量，如温度、压力、湿度、光强度等。
这些传感器可以集成到智能手机、平板电脑、笔记本电脑等各种便携式设备中，从而实现对设备环境的实时监控。
另外，MEMS加速度传感器也是目前智能手机、平板电脑等设备中最为广泛使用的传感器之一。
通过它们可以探测设备的移动和位置变化，从而实现一系列的交互功能，例如屏幕自动旋转、拍照时的自动对焦等。
MEMS技术与人工智能（AI）的结合也是一个非常重要的方向。
由于MEMS技术可以制造出大量高精度的传感器，这些传感器可以感知环境，收集信息，为AI算法提供数据支持。
目前，许多人工智能应用和设备都采用了MEMS传感器技术，例如智能家居设备、智能汽车、工业4.0等。
三、MEMS在医疗领域的应用MEMS技术在医疗领域也有着广泛的应用。
例如，MEMS技术可以用于制造生物芯片，这些生物芯片可以测量人体内的生物分子，例如蛋白质、DNA等。
这些生物芯片可以用于药物筛选、医学诊断、疫苗研发等领域，对于提高医疗水平和缓解人们的疾病负担有着积极的影响。
微机电系统_MEMS_技术及在引信中的应用
微机电系统(M EM S )技术及在引信中的应用刘 靖 石庚辰(北京理工大学引信技术国防重点实验室 100081)摘 要 对微机电系统技术的现状及其发展进行了介绍,并探讨了微机电系统技术在引信中的应用。
关键词 微机电系统 微机械 微系统 引信分类号 TJ 430 前言随着微米纳米级测量技术和各种微细加工手段的出现,人类已经具备了探索微观世界所必须的基本知识和物质手段,在此基础上,1958年诞生的第一块集成电路,1960年出现的硅平面工艺和外延技术;1981年第一台扫描隧道显微镜(STM )的发明,1987～1988年世界上第一个微电机的转动成功分别标志着微观领域中的电子革命和机械制造业革命的开始。
过去37年的电子革命以生动的事实阐述了微观领域小型化、大批量、低成本制造能力的实际内涵。
处理速度超过70年代大型计算机的个人计算机此刻正摆在办公桌上,帮助我们处理繁杂的日常事物;大容量的光盘数据存储装置将人类在漫长的历史长河中创造的灿烂文明以多媒体数据的方式永久地保存了下来;由于全球定位系统(GPS )和小型通讯装置的出现,使我们可以置身于地球表面任何地点而不必担心迷失方向。
与微电子革命相呼应,微机电系统技术也正在以微观领域制造技术独有的小型、灵活、廉价、批量制造的优势逐渐地然而又是深刻地改变着我们的生产和生活方式。
本文将对微机电系统技术的现状及其发展进行介绍,并对微机电系统技术在引信中的应用进行探讨。
1 微机电系统技术的基本概念及特点微机电系统(M icroelectrom echan ical System s —美国惯用词)又名微机械(M icrom a 2ch ine —日本惯用词)和微系统(M icro system s -欧洲惯用词),以下对这三个名词不再加以区分。
其含义有两方面:一方面是指微机电系统本身在线度与体积上很小,一般将特征尺寸在1～100Λm 的微机电系统称为微米级系统,而将特征尺寸在1～100nm 的微机电系统称为纳米级系统,例如:微型压力传感器小到可以放在注射针头内送进血管测量血液的流动情况,能在手术过程中放在心脏内监测血压;微机电系统另一方面的含义是指利用该技术手段所能实现的加工和运动精度进入了微米甚至纳米量级,例如:美国劳伦斯国家实验室加工出的直径1m 的透镜,其尺寸精度达到7nm 、表面粗糙度为5∼。
微机电系统工程专业学什么
微机电系统工程专业学什么微机电系统工程（Microelectromechanical Systems Engineering，简称MEMS Engineering）是一门结合了微电子技术、机械工程和材料科学的交叉学科，旨在研究和应用微型机电系统的设计、制造和集成。
在现代科技的发展中，MEMS Engineering 具有广泛的应用前景，涉及到诸多领域，如生物医学、航空航天、消费电子等。
学术基础微机电系统工程专业的学生首先需要打好学术基础，包括电子技术、机械工程和材料科学等方面的基础知识。
学生需要学习电路原理、信号处理、传感器原理、控制理论等相关课程，以便理解和应用于微机电系统的设计和制造。
此外，学生还需要掌握机械设计原理、工程材料学、微纳米技术等方面的知识，以便进行微机电系统的设计和制造工作。
设计与制造微机电系统工程专业的学生需要学习微机电系统的设计和制造技术。
他们将学习CAD（计算机辅助设计）工具的使用，以进行微机电系统设计的建模和仿真。
学生还需要学习MEMS制造工艺，包括光刻、薄膜沉积、离子蚀刻等等。
此外，学生还需要学习微机电系统的封装和测试技术，以确保其性能和可靠性。
传感器与其应用微机电系统工程专业的学生还需学习各种传感器的原理、特性和应用。
他们将学习加速度计、陀螺仪、压力传感器、温度传感器等各种微机电传感器的工作原理，以及其在生物医学、环境监测、机器人等领域的应用。
此外，学生还需要学习传感器接口电路的设计和应用，以能够与传感器进行有效的数据交互。
控制与系统集成微机电系统工程专业的学生还需要学习控制理论和系统集成技术。
他们将学习反馈控制、系统建模与仿真等相关知识，以能够设计和实现对微机电系统的控制。
此外，学生还需要学习系统集成技术，将微机电系统与其他电子设备和系统进行集成，以实现更复杂的功能。
应用与发展微机电系统工程专业的学生还需学习微机电系统在各种应用领域的具体应用和发展趋势。
他们将了解生物医学领域的微机电系统应用、无人机和智能车等领域的应用，并关注最新的技术和趋势。
机电一体化与机械制造智能化技术的融合分析
机电一体化与机械制造智能化技术的融合分析摘要：在新时期,机械制造行业只有不断提高自身智能化水平,与机电一体化进行有效融合,才能够满足行业持续发展需求。
本文将围绕机械制造的智能化技术与机电一体化的融合进行分析。
关键词：机电一体化；机械制造；智能化技术；融合一、智能化与机电一体化结合的意义在工业机器人制造、数控方面以及计算机系统集成制造等方面，都是机电一体化发展的重要表现。
同时，使用智能化技术是企业的终极目的，企业要在机械制造方面，不断地提升自动化程度，提升工作效率，更好地满足顾客的个人需求。
同时，机械制造业的发展离不开机电一体化技术，而智能化技术则是提高其核心能力的途径。
将智能化技术和机电一体化技术结合到机械制造领域，对当今机械制造行业的发展具有重要的现实意。
二、机械制造智能化技术与机电一体化融合应用1.应用数据分析与智能决策在整个机械制造中的数据控制，需要将数据分析与单元联系在一起。
当前，在数控中嫁娶了接口拓展结构和网络信息拓展接口，通过接口的传导，实现在数控加工的信息化管理。
以智能化技术的应用来讲，在数控加工的过程中进行集中单元对走刀路径进行预设，通过可视化技术能够了解走刀路径是否合理，工作人员能够对走刀路径进行调整，从而让数控加工更加合理。
在模拟中，智能决策能够其数据进行记录，为之后的机械制造中加工环节提供大数据分析，了解大数据的优势，对相关加工的方式进行数据筛选和记录，如果在后期想进行相同的加工工艺时，就可以直接使用之前记录的数据进行。
想要完成这类数据的分析就需要立足于智能化技术，通过大数据技术对其进行的工艺进行分析统计，进一步提高生产效率，而数据分析的开展是需要利用智能决策技术。
当前，在智能化技术的应用中，数控加工已经设置了动态捕捉摄像，将画面传输到系统，系统对当前的加工状态进行识别，从而实现智能化的自主决策。
2.动态反馈技术与智能调节构建智能化系统，能够在复杂的加工环境下进行最科学、合理的判断，并根据相关要求，选择最适合的加工工艺。
微型机电系统技术及应用研究
微型机电系统技术及应用研究一、微型机电系统技术的概述微型机电系统（MEMS）是一种结合微电子技术和机械工程学的新型领域，其通过微型化的设计和制造技术，将传统机械结构和微电子器件相结合，形成了微小的机电一体化系统。
微型机电系统技术是一门综合性技术，涵盖了微电子、纳米技术、微流体技术、光学技术、机电一体化技术等多个学科的知识。
它主要应用于机械传感器、微型电子器件、模拟信号处理器、微型加速度计等领域。
二、微型机电系统技术的工艺流程（一）MEMS芯片的设计MEMS芯片的设计过程是从需求分析、系统设计、器件设计、工艺设计、布图设计等方面入手进行的。
需要建立实体模型、分析模型，进行仿真和测试，并不断优化和改进设计。
（二）MEMS芯片的制造MEMS芯片的制造过程一般包括深度反相模法、LIGA工艺、光刻、涂覆、光阻显影、等离子刻蚀、熔合碳化硅、薄膜沉积、蚀刻等多个步骤。
（三）MEMS芯片的封装MEMS芯片的封装是保护器件、连接器件与外部电路的必要措施。
封装过程可以分为晶圆封装和单晶封装两种方式，包括封装底座、焊接、固定器件等多个步骤。
三、微型机电系统技术的应用研究（一）机械传感器微型机械传感器是MEMS技术应用最为广泛的领域，目前已广泛用于医疗、环境、军事、交通等领域。
例如，在医疗领域中，MEMS传感器可用于实时监测病人的脉搏、血压和呼吸等生命体征，为医护人员提供即时的信息。
（二）微型电子器件微型电子器件是MEMS技术的另一个重要应用方向，包括MEMS振荡器、MEMS电容器等。
这些器件的微型化和集成化将会使一些电子设备大幅度缩小，例如手机和手表等。
（三）模拟信号处理器模拟信号处理器是利用MEMS技术构建的一种新型信号处理器，可以将模拟信号进行转换、增强和分析等处理，广泛应用于工业自动化、环境监测、生命科学等领域。
（四）微型加速度计微型加速度计是MEMS技术在工业领域中的应用之一，可以实现对工业设备振动、冲击等数据的监测和控制，对于提高设备的精度和可靠性有非常重要的作用。
微机电系统的应用及其未来发展
微机电系统的应用及其未来发展微机电系统(MEMS)是用微电子技术来制造微米级器件的技术，其特点在于具有微小体积、低成本和高性能等特点，可以广泛应用于人工智能、生物医学、石油勘探、机器人和环境监测等领域。
目前，随着技术的不断发展和应用的不断推广，MEMS已经成为未来技术的发展趋势。
一、MEMS的应用1.人工智能领域MEMS在人工智能领域的应用主要体现在机器人技术中，通过MEMS技术，可以制造出小型化、高精度的感知器件，从而将机器人的实时环境感知和时空定位能力进一步提高。
此外，MEMS还可以制造出高灵敏度的惯性感测器件，如加速度计和陀螺仪等，这些感测器件对于机器人的行动控制和路径规划有着重要的意义。
2.生物医学领域MEMS在生物医学领域的应用十分广泛，例如可以利用MEMS 技术制造出微型传感器，监测人体内的生理参数，如体温、心率、血压等。
同时还可以制造出微型输送器，实现药物的定向输送和递送，有效提高了药物的疗效和减轻了不良反应。
此外，利用MEMS技术还可以制造出微型探针，检测人体内的病变组织和癌细胞，有着广阔的应用前景。
3.石油勘探领域MEMS在石油勘探领域的应用主要体现在测井和地震勘探技术中，通过制造出微小型的传感器和振动器件，可以实现高精度的地层特征探测和分析。
与此同时，MEMS传感器还可以实现地震勘探过程中的震源定位和大气噪声分析等，提高了勘探效率和减少了勘探成本。
4.环境监测领域MEMS在环境监测领域的应用主要集中在大气和水质的监测中，通过利用MEMS技术制造出高灵敏度的传感器，可以实现细颗粒物和有害气体的检测和分析。
同时MEMS技术还可以制造出微型的水质传感器，监测水中的污染物，实现满足环保标准对水质要求。
二、MEMS的未来发展趋势1.高度集成化随着集成电路技术的不断发展，MEMS将趋向于实现高度集成化，通过多层次、多功能集成，可以将MEMS的应用推向更高的层次。
同时，基于微纳加工技术，根据不同的应用需求，可以实现不同功能的MEMS器件的大规模制造和快速生产，促进其在更多领域的应用。
微机电系统MEMS简介
陀螺仪
总结词
用于测量或维持方向的传感器
详细描述
陀螺仪是一种基于角动量守恒原理的传感器，用于测量或维持方向。它通过测量物体旋转轴的方向变 化来工作，通常由高速旋转的陀螺仪转子组成。陀螺仪广泛应用于导航、姿态控制、游戏控制等领域 ，如智能手机、无人机和导弹制导系统等。
压力传感器
总结词
用于测量流体或气体压力的传感器
MEMS市场应用领域
消费电子
汽车电子
医疗健康
工业自动化
MEMS传感器在消费电子产品 中的应用广泛，如智能手机、 平板电脑、可穿戴设备等。这 些设备中的传感器用于运动检 测、加速度计、陀螺仪、气压 计等。
随着汽车智能化的发展， MEMS传感器在汽车领域的应 用也越来越广泛，如车辆稳定 性控制、安全气囊、发动机控 制等。
MEMS材料
单晶硅
单晶硅是MEMS制造中最常用的材料 之一，具有高强度、高刚度和良好的 化学稳定性。
多晶硅
多晶硅在MEMS制造中常用于制造柔 性结构，具有较好的塑性和韧性。
玻璃
玻璃在MEMS制造中常用于制造光学 器件，具有较高的透光性和稳定性。
聚合物
聚合物在MEMS制造中常用于制造生 物传感器和柔性器件，具有较好的生 物相容性和可塑性。
集成化
未来的MEMS系统将更加集 成化，能够将多个MEMS器 件集成在一个芯片上，实现 更高效、更低成本的应用。
03
CATALOGUE
MEMS传感器与器件
加速度传感器
总结词
用于测量 物体运动状态的传感器
详细描述
加速度传感器是一种常用的MEMS传感器，主要用于测量物体运动状态的加速度。它通常由质量块和弹性支撑结 构组成，通过测量质量块因加速度产生的惯性力来计算加速度值。加速度传感器广泛应用于汽车安全气囊系统、 手机和平板电脑的姿态控制、运动检测等领域。
微纳米机电系统与传感技术的研究进展
微纳米机电系统与传感技术的研究进展微纳米机电系统（MEMS）和传感技术近年来在科学研究和产业应用中取得了令人瞩目的进展。
随着技术的发展和创新，微纳米尺度的器件和传感器正在引领着人类社会的变革。
本文将就微纳米机电系统和传感技术的研究进展进行讨论。
1. 简介微纳米机电系统是将从微米到纳米尺度的机电子系统集成在一起的新型技术体系。
通过将微机械、纳米技术、电子技术和计算机技术相结合，实现了传感器的微型化、多功能化和高性能化。
随着纳米技术、生物技术和信息技术的快速发展，微纳米机电系统已经广泛应用于生物医学、环境监测、无人机和智能手机等领域。
2. 生物医学应用微纳米机电系统在生物医学领域的应用是研究的热点之一。
通过微纳米传感器的精准测量和监测，可以实时监测人体生理状态、疾病进展和药物治疗效果。
例如，微纳米机电系统可以用于监测血糖、血压、心率等生理参数，为疾病的早期诊断和预防提供有力支持。
此外，微纳米机电系统还可以应用于肿瘤诊断和治疗，通过纳米机器人的精准定位和药物释放，实现对肿瘤的靶向治疗。
3. 环境监测技术微纳米机电系统的另一大应用领域是环境监测技术。
随着环境污染和气候变化等问题的日益突出，对于环境监测技术的需求也越来越高。
微纳米传感器的微型化和高灵敏度使其成为环境监测领域的重要工具。
通过微纳米传感器可以监测大气污染物、水质污染、土壤污染等环境参数，实现环境污染的实时监测和预警。
4. 无人机技术随着无人机技术的快速发展，微纳米机电系统在无人机领域的应用也日益普及。
微纳米传感器和微型驱动器的结合，使得无人机具有更高的精准控制和感知能力。
微纳米机电系统可以应用于无人机的姿态控制、导航定位、目标识别等方面，实现无人机的自主飞行和智能遥测。
5. 智能手机技术在智能手机技术的发展中，微纳米机电系统的应用也越来越广泛。
微纳米传感器的微型化和低功耗使其成为智能手机中各种传感功能的关键。
例如，加速度传感器用于手机的倾斜和运动检测，陀螺仪用于手机的姿态感知，压力传感器用于手机的指纹识别等。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
三、MEMS在生化、医学上的应用
微型加速度传感器在侵彻武器引信中的应用
侵彻武器概念与作用 美国在90年代初期开始研究硬目标灵巧引信（ETSF） 要求 •大量程、高g值——测量量程在几万g到十几万g •很好的抗过载能力——硅材料内部缺陷少 典型产品
美国ENDEVCO公司，90年代，20万g，压阻式加速度微 传感器，7270A
发展方向——血管内手术、颅内手术及细胞手术
MEMS Examples
BoschMAP engine control pressure sensor
Motorola airbag accelerometer
Ford ISAAC two-chip accelerometer
MEMS with rotary bearing surfaces and interlocking gears (Sandia National Laboratories)
World’s smallest helicopter is constructed from parts made using LIGA process. With a length of 24 millimeters and a weight of 0.4 grams the helicopter takes off at 40,000 rpm. With a diameter of only 1.9 millimeters the electromagnetic motors can reach an incredible revolution speed of nearly half a million rpm on the one hand, and a considerable torque of 7.5 µ Nm on the other hand.
Si Micro-maching process
MEMS fall into three general classifications; Bulk micromachining, Surface micromachining, High-aspect-ratio micromachining (HARM).
军事意义 •减少人员伤亡 •完成一些士兵难以进行的侦察 任务 •提高武器作战的消费比、降低 军费开支 •已成为信息战的重要组成部分 代表产品：美国，翼展12.7cm，重量50g，推力 0.127N，飞行速度57-114km/h，飞行距离60-120km， 25g甲烷/h
MEMS系统的代表——微型军用机器人
MEMS + Intelligent system 智能微系统
微机电系统（MEMS）用于信息的采集、处理、 计算、以及环境和宏观系统的控制，可以增加智 能化系统的行为能力、功用及效果。 MEMS技术与微电子智能技术相互融合、将传感 器、执行器、信号采集、数据处理、控制电路一 体化混合集成在一块三维基片上，以构成一能完 成一种或多种功能的智能微系统，导致了智能化 MEMS概念的出现。
JPL-Developed Microgyros
Its dimensions are 4 by 4 millimeters, its weight is less than one gram
Silicon Sensing Systems Japan Ltd. Rate Gyroscope
The materials of MEMS （Silicon）
Systems (MEMS) ������ ( US) – Implies ―electrical component or functionality‖ – Implies ―mechanical component or functionality‖ Microsystems or Microsystems Technology (MST) ������ ( Europe) – ―Very small systems‖ – ―Systems made of small components‖
作用： 替代器官植入 体内量微手术 微量检测 医学成像 MEMS的优势：微型特别适合体内、细胞尺度的作用 产品形式特点：具体开发，形式多样
人工器官植入
心脏起搏器/人工心脏
1960年第一个起博器，双稳态多谐振荡器电路 原理：刺激心房和心室的心肌 2007年移植人工心脏成活 原来与现在工作模式 耳蜗植入/ MEMS替代有缺陷的视网膜
Outline
Concept MEMS Intelligent system Combined MEMS and intelligent system (example） Development Tendency
What is MEMS?
Micro-electro-mechanical
MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机 特点——小、轻、廉价、功能强
作用
低空侦察、通信 近敌电子干扰 携高能炸药攻击敌雷达和通信中枢 战场毁伤评估和生化武器的探测 城市作战，侦察、探测、查找敌对分子、窃听 边境巡逻、毒品禁运 通信中继 环境研究 自然灾害的监视与支援 大型牧场和城区监视等
MEMS系统的代表——微型无人驾驶飞机
微型惯性测量组合MIMU
（Intertial Measurement Uint-IMU） 工作原理 陀螺仪测量姿态和转动的角速度，保持对加速度对 准的方向进行跟踪；加速度计测量加速度的变化 典型用途 提供运动物体姿态、位置和速度的信息，各种航 空航天平台及飞行器的制导系统 代表产品 美国德雷珀实验室，尺寸2cm×2cm×0.5cm，质 量约5g，陀螺的漂移不稳定性10°/h，加速度计 精度为250μg 作为微执行器的特点 寿命、可靠性高（无转动的部件） 成本低 体积和重量小
激光微型投影仪三星(Sumsung)公司
使用固体激光器和MEMS微镜技术。激光投影仪图像清晰鲜 艳，而其提供自动调焦功能。
爬进静脉的微型机器人
以色列理工大学
该机器人使用MEMS技术制造，由磁场驱动，运动速度 可以达到9mm/s，不需要自身供电。该机器人还可以停 泊在病人体内，其微臂能够吸引到血管壁上，并能经受 血压的冲击。
二、MEMS在汽车上的应用
传感器对汽车的作用： 汽车是传感器第二大市场，每台车40到上百个传感器 汽车发展趋势（智能化）需要更多传感器，特别是安全方面
MEMS传感器在汽车应用中的优势：成本、性能、可靠、轻
应用位置： 安全气囊、ABS制动、测速、防撞、发动机燃烧状态、减振等 主要应用产品：MEMS加速度传感器、 MEMS压力传感器
压力传感器在汽车中的应用
主要用途
•发动机控制和传动系统。例如：流量绝对压力测量，气压 测量，排气回流测量，燃料压力测量。 •悬挂/制动和牵引控制系统。例如：轮胎压力监测，主动 悬挂液压测量。 •驾驶与乘座环境控制系统。例如：座椅腰部支撑压力测量， 空调控制压力传感器
加速度传感器在汽车中的应用
No specific bias on functionality or manufacturing method
Micromachines
������
(Japan)
微机电系统
(China)
Scale sizes for microsystems
一、MEMS在军事上的应用
武器制导和个人导航芯片上的惯性导航组合 超小型、超低功率无线通信（RF MEMS）的机电信号处理 军备跟踪、环境监控、安全勘测的无人值导分布式传感器 系统 小型分析仪器、推进和燃烧控制的集成微流量系统 武器安全、保险和引信 有条件保养的嵌入式传感器和执行器 高密度、低功耗的大规模数据存储器件 敌友识别系统、显示和光纤开关的集成微光学机械器件 飞机分布式空气动力学控制和自适应光学的主动、共形表 面
Si PROPERTIES
Why Use Silicon?
Microfabrication Technology of MEMS
Three kinds of technology
Ultra-precision fabrication based on the traditional technology and special fabrication technology; Micromachine process technology based on the IC fabrication technology; Some micromachine fabrication technology on developing with better future. Such as LIGA, etc..
Ultra-precision fabrication based on the traditional technology and special fabrication technology;
MEMS fabrication technology IC process
The fabrication process of MEMS based on the IC is borrowed from the process of Integrated Circuit. IC process: wafer process: Single silicon produced, Cutting, Grind-polishing, cleaning etc.. IC fabrication process: film deposition, Photolithography, expose, doping, etch, dicing and packing etc..