表面工程学填空题复习
表面工程习题
名词解释1、表面重构：在平行基底的表面上，原子的平移对称性与体内显著不同，原子位置作了较大幅度的调整，这种表面结构称为重构。
2、离子镀：在真空料件下，利用气体放电使气体或被蒸发物质部分离化，在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物或其反应物沉积在基底上。
3、表面改性：采用某种工艺手段使材料表面获得与其基体材料的组织结构、性能不同的一种技术。
4、莱宾杰尔效应：受环境介质影响以致表面自由能的减少，从而导致固体材料的塑性、强度降低减小的现象。
5、等离子体:是一种电离度超过0.1%的气体，是离子、电子和中性粒子（原子和分子）所组成的集合体。
6、化学镀：在没有外电流通过的情况下，利用化学法使溶液中的金属离子还原为金属并沉积在金属表面，形成镀层的一种表面加工方法。
7、物理气相沉积：在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子，或离子化为离子，直接沉积到基体表面的方法。
8、阳极氧化：是指在适当的电解液中，以金属为阳极，在外加电流的作用下，使其表面生成氧化膜的方法。
9、真空化学热处理：是在真空条件下加热工件，渗入金属或非金属元素，从而改变材料表面化学产能成分、组织结构和性能的热处理方法。
10、贝尔比层：固体材料经切削加工后，在几微米到几十微米的表层中，可能发生组织结构的剧烈变化，而最外的5-10nm 厚可能形成的一种非晶态层。
11、现代表面技术：为满足某种特定的工程需要，使金属表面或零件表面具有特殊的成分、结够、功能的物理化学方法与工艺。
12、磷化：把金属放入含有Mn\Fe\Zn 的磷酸盐溶液中进行化学处理，使金属表面生成一层不溶于水的磷酸盐保护膜的方法。
13、CVD: 在一定的真空度和温度下，将几中含有构成沉积膜层的材料元素的单质或化合物反应源气体，通过化学反应而生成固态物质幷沉积在基体上的成膜方法。
二、填空题1、CVD 分类，按综合分类为热激发CVD 、低压CVD 、等离子体CVD 、激光（诱导）CVD 、金属有机化合物CVD 等。
表面工程学复习习题集
习题集一一、名词解释：（1）表面工程技术：表面工程技术是指为了满足特定的工程需求，使材料或零件表面具有特殊的成分、结构和性能（或功能）的化学、物理方法与工艺。
（2）洁净表面：尽管材料表层原子结构的周期性不同于体内，但如果其化学成分与体内相同，这种表面就称为洁净表面，它允许有吸附物，但其覆盖率应该非常低。
（3）离子渗氮：是指利用辉光放电现象，将含氮气体介质电离后渗入工件表面从而获得表面渗氮层的工艺。
（3）离子渗镀：利用低真空辉光放电产生的离子轰击工件表面，形成热扩渗层的工艺。
（4）热喷涂：热喷涂是用专用设备把某种固体材料熔化并使其雾化,加速喷射到机件表面,形成一特制薄层,以提高机件耐蚀、耐磨、耐高温等性能的一种工艺方法。
（2）疲劳磨损：在滚动接触过程中，由于交变接触应力的作用而产生表面接触疲劳，使材料表面出现麻点或脱落的现象。
（2）磨粒磨损：由外界硬质颗粒或硬表面的微峰在摩擦副对偶表面相对运动过程中引起表面擦伤与表面材料脱落的现象，称为磨粒磨损。
（5）金属腐蚀：金属材料与环境介质作用而引起的恶化变质或破坏，按腐蚀原理的不同可分为化学腐蚀和电化学腐蚀。
（3）化学腐蚀：是金属在干燥的气体介质中或不导电的液体介质中发生的材料与介质作用引起的恶化变质或破坏即为化学腐蚀，化学腐蚀过程并无电流产生。
（5）电化学腐蚀：是指金属在导电的液态介质中因电化学作用导致的腐蚀，在腐蚀过程中有电流的产生（1）表面淬火技术：采用特定热源将钢铁材料表面快速加热到Ac3(亚共析)或Ac1 (过共析)之上,然后快冷,使之发生马氏体相变,形成表面强化层的工艺过程.（4）热扩渗：将工件放在特殊介质中加热，使介质中某种或几种元素渗入工件表面，形成合金层或渗杂层的工艺，就称为热扩渗技术。
（8）电镀：指在含有欲镀金属的盐类溶液中，在直流电的作用下，以被镀基体金属为阴极，以欲镀金属或其他惰性导体为阳极，通过电解作用，在基体表面上获得结合牢固的金属膜的表面工程技术。
2015表面工程复习题.
《材料表面工程》考试要点一、名词解释表面工程技术：为满足特定的工程需求，使材料或零部件的表面具有特殊成分、结构和性能（或功能）的化学、物理方法洁净表面：材料表层原子结构的周期性不同于体内，但其化学成分与体内相同的表面。
极化：腐蚀电池工作时，阴、阳两极之间有电流通过，使得其电极电位值与初始电位值有一定的偏离，使阴阳两极之间的电位差比初始电位差要小得多，这种现象称为极化现象。
热喷焊技术：采用热源使涂层材料在基体表面重新熔化或部分熔化，实现涂层与基体之间、涂层内颗粒之间的冶金结合，消除孔隙的表面处理技术。
堆焊技术：在零件表面熔敷上一层耐磨、耐蚀、耐热等具有特殊性能合金的技术。
物理气相沉积:在真空条件下，以各种物理方法产生的原子或分子沉积在基材上，形成薄膜或涂层的过程。
磨损：相对运动的物质摩擦过程中不断产生损失或残余变形的现象。
润湿：液体在固体表面上的铺展技术。
等离子体热扩渗：利用低真空中气体辉光放电产生的离子轰击工件表面，形成热扩渗层的工艺过程。
转化膜技术：通过化学或电化学方法，使金属表面形成稳定的化合物膜层而不改变其金属外观的一类技术。
吸附作用：物体表面上的原子或分子力场不饱和，有吸引周围其他物质分子的能力。
表面能：严格意义上指材料表面的内能，它包括原子的动能、原子间的势能以及原子中原子核和电子的动能和势能等。
腐蚀：材料与环境介质作用而引起的恶化变质或破坏。
钝化：由于金属表面状态的改变引起金属表面活性的突然变化，使表面反应速度急剧降低的现象。
表面淬火：采用特定热源将钢铁材料表面快速加热到Ac 3（对亚共析钢）或者Ac 3 （对过共析钢）之上，然后使其快速冷却并发生马氏体相变，形成表面强化层的工艺过程。
喷丸强化：利用高速喷射的细小弹丸在室温下撞击受喷工件的表面，使表层材料在结晶温度下产生弹，塑性变形，并呈现较大的残余压应力，从而提高工件表面强度、疲劳强度和抗应力腐蚀能力的表面工程技术。
热扩渗：将工件放在特殊介质中加热，使介质中某一种或几种元素渗入工件表面，形成合金层（或掺杂层）的工艺。
表面工程
一、名词解释（本大题共5小题，每小题4分，总计20分）1、表面工程学答：表面工程学是指为满足特定的工程需求，使材料或零部件表面具有特殊的成分、结构和性能（或功能）的化学、物理方法与工艺。
其内涵包括以下几方面：1）表面改性技术；2）表面加工技术；3）表面合成材料技术；4）表面加工三维合成技术；5）上述几个要点的组合或综合。
2、贝尔比层答：当外力作用于金属表面时，在距离表面几微米范围内，其显微组织有较大的变化。
如在抛光金属的表面组织中，在离表面约5nm的区域内，点阵发生强烈畸变，形成厚度约1~100nm的晶粒极微小的微晶层，亦称为贝尔比层。
贝尔比层具有粘性液体膜似的非晶态外观，不仅能将表面覆盖的很光滑，而且能流入裂缝或划痕等表面不规则处。
3、标准电极电位答：标准电极电位是以标准氢原子作为参比电极，即氢的标准电极电位值定位0，与氢标准电极比较，电位较高的为正，电位较低者为负。
金属浸在只含有该金属盐的电解溶液中，达到平衡时所具有的电极电位，叫做该金属的平衡电极电位。
当温度为25℃时，金属离子的有效浓度为1mol/L（及活度为1）时测得的平衡电极电位，叫做标准电极电位。
标准电极电位负值较大的金属都易失掉电子被氧化，而标准电极电位正值较大的金属都易得到电子被还原。
4、化学镀答：化学镀是指在没有外电流通过的情况下，利用化学方法使溶液中的金属离子还原为金属并沉积在基体表面，形成镀层的一种表面加工方法。
与电镀相比，化学镀的优点：1）不管零件形状如何复杂，其镀层厚度都很均匀；2）镀层外观良好，晶粒细，无孔，耐蚀性更好；3）无需电解设备及附件；4）能在非金属（塑料、玻璃、陶瓷等）以及半导体上沉积。
其缺点：溶液稳定性差，使用温度高，寿命短。
5、金属化学处理答：金属化学处理是通过化学或电化学手段，使金属表面形成稳定的化合物膜层的方法。
这种经化学处理生成的膜称之为化学转化膜。
化学成膜处理的机理是金属与特定的腐蚀液接触而在一定条件发生化学反应，由于浓度极化作用和阴极极化作用等，使金属表面生成一层附着力良好的，能保护金属不易受水和其他腐蚀介质影响的化合物膜。
表面工程学
名词解释：1、表面工程学：为满足特定的工程要求，使材料或零部件表面具有特殊的成分、结构和性能的化学、物理方法与工艺。
2、理想表面:是一种想象的平面，在无限晶体中插进一个平面，将其分为两部分后所形成的平面，并认为半无限晶体中的原子位置和电子密度都和原来的无线晶体一样。
3、洁净表面：虽然材料表层原子结构的周期性不同于体内，但其化学成分仍与体内相同。
4、清洁表面：一般指零件经过清洗（脱脂、浸蚀等）以后的表面。
5、TLK模型：基本思想是在温度相当于0K时，表面原子结构呈静态。
表面原子层可以认为是理想的平面，其中的原子作完整二维周期性排列，且不存在缺陷和杂质。
当温度从0K升到T时，由于原子的热运动，晶体表面将产生低晶面指数的平台、一定密度的单分子或原子高度的台阶、单分子或原子尺度的扭折以及表面吸附的单原子及表面空位等。
6、固体表面的吸附包括物理吸附和化学吸附。
吸附是固体表面最重要的性质之一。
7、莱宾杰尔效应：因环境介质的影响及表面自由能减少导致固体强度、塑性降低的现象。
8、润湿：液体在固体表面铺展的现象。
9、脱脂的方法：化学脱脂、有机溶剂脱脂、水剂脱脂、电化学脱脂。
10、表面淬火技术：采用特定的热源将钢铁材料表面快速加热到AC3（对亚共析钢）或者AC1（对过共析钢）之上，然后使其快速冷却并发生马氏体变化，形成表面强化层的工艺过程。
11、受控喷丸：是利用高速喷射的细小弹丸在室温下撞击受喷工件的表面，使表层材料在再结晶温度下产生弹、塑性变形，并呈现较大的残余压应力，从而提高工件表面强度、疲劳强度和抗应力腐蚀能力的表面工程技术。
12、热扩渗：将工件放在特殊介质中加热，使介质中某一种或几种元素渗入工件表面，形成合金层（或掺杂层）的工艺。
13、电镀：是指在含有欲镀金属的盐类溶液中，在直流电的作用下，以被镀基体金属为阴极，以欲镀金属或其他惰性导体为阳极，通过电解作用，在基体表面上获得结合牢固的金属膜的表面工程技术。
14、化学镀：在无外加电流的状态下，借助合适的还原剂，使镀液中的金属离子还原成金属，并沉积到零件表面的一种镀覆方法。
材料表面工程技术练习题(答案)
材料表面工程技术练习题（答案）一、解释名词1.喷丸强化技术:利用高速喷射的细小弹丸在室温下撞击受喷工件的表面，使表层材料在再结晶温度下产生弹、塑性变形，并呈现较大的残余压应力，从而提高工件表面强度、疲劳强度和抗压力腐蚀能力的表面工程技术。
2.干法热浸渗:先将经常规方法脱脂除锈清洗后的清洁工件或钢材进行溶剂处理，干燥后再将工件浸入欲渗金属溶液中，保温数分钟后抽出，水冷。
3.粘结底层:某些材料能够在很宽的条件下喷涂并粘结在清洁、光滑的表面上，而且这类涂层表面粗糙度适中，对随后喷涂的其它涂层有良好的粘结作用。
4.溅射镀膜:用高能粒子轰击固体表面，通过能量传递，使固体的原子或分子逸出表面并沉积在基片或工件表面形成薄膜的方法。
(在真空室中，利用荷能粒子轰击材料表面，使其原子获得足够的能量而溅出进入气相，然后在工件表面沉积的过程。
)5.分子束外延:在超高真空环境中，将薄膜诸组分元素的分子束流，直接喷到温度适宜的衬底表面上，在合适的条件下就能沉积出所需要的外延层。
6.激光合金化技术:激光合金化就是利用激光束将一种或多种合金元素快速熔入基体表面，从而使基体表层具有特定的合金成分的技术。
换言之，它是一种利用激光改变金属或合金表面化学成分的技术。
7.物理气相沉积:在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料气化成原子、分子或使其粒子化为离子，直接沉积到基体表面上的方法。
8.真空蒸镀:在真空条件下，用加热蒸发的方法使镀料转化为气相，然后凝聚在基体表面的方法。
9.热喷涂工艺:热喷涂是用专用设备把某种固体材料熔化并使其雾化,加速喷射到机件表面,形成一特制薄层,以提高机件耐蚀、耐磨、耐高温等性能的一种工艺方法。
10.气相沉积:气相沉积技术也是一种在基体上形成一层功能膜的技术，它是利用气相之间的反应，在各种材料或制品表面沉积单层或多层薄膜，从而使材料或制品获得所需的各种优异性能。
气相沉积技术一般可分为两大类:物理气相沉积(pvd)和化学气相沉积(cvd)。
工程材料复习题
一、填空题：1、金属材料一般可分为（黑色）金属和（有色）金属两类。
2、工程材料的性能包括（使用）性能和（工艺）性能。
3、工程材料的使用性能包括（力学）性能、（物理）性能和（化学）性能。
4、疲劳断裂的过程包括（裂纹产生）、（裂纹扩展）和（疲劳断裂）。
5、填出下列力学性能指标的符号：屈服强度（σs）、抗拉强度（σb）、断后伸长率（δ）、断面收缩率（φ）、冲击韧度（αK）。
6、常用的三种硬度表示为（布氏硬度HB）、（洛氏硬度HR）和（维氏硬度HV）。
7、晶体与非晶体的根本区别是（原子排列是否有规律）。
8、金属晶格的基本类型有（体心立方晶格）、（面心立方晶格）和（密排六方晶格）三种。
9、实际金属的晶体缺陷有（点缺陷）、（线缺陷）和（面缺陷）三类。
10、实际晶体中主要存在三类缺陷，其中点缺陷有（空位）和（间隙原子）等；线缺陷有（位错）；面缺陷有（晶界）等。
11、合金相的结构分为（固溶体）和（金属化合物）两大类。
12、在大多数情况下，溶质在溶剂中的溶解度随着温度升高而（增加）。
13、按照溶质原子在溶剂中位置的不同，固溶体分为（置换固溶体）和（间隙固溶体）。
14、固溶体按溶解度大小不同分为（有限固溶体）和（无限固溶体）。
15、金属结晶的过程是一个（晶核形成）和（晶粒长大）的过程。
16、金属结晶的必要条件是（过冷度）。
17、金属结晶时，（冷却速度）越大，过冷度越大，金属的（实际结晶）温度越低。
18、金属的晶粒越细小，其强度、硬度（越高），塑性韧性（越好）。
19、金属结晶时晶粒的大小主要决定于其（形核率）和（晶核的长大速度），一般可通过（增加过冷度法）或（变质处理）来细化晶粒。
20、铁有三种同素异构体，在912℃以下时为（体心立方α-Fe）晶格；在912℃以上，1394℃以下时为（面心立方γ-Fe）晶格；高于1394℃而低于熔点时为（体心立方δ-Fe）晶格。
21、铁碳合金的组织中，属于固溶体的有（F)和( A )，属于化合物的有( Fe3C )，属于机械混合物的有( P ) 和( L d)。
工程力学复习题
《工程力学》试题库一、填空题1、平面汇交力系简化结果是一合力。
2、刚体受不平行但共面的三个力作用而平衡时，这三个力的作用线必定汇交或汇交于一点。
3、只要保持力偶矩的大小和力偶的转向不变，可以同时改变构成力偶的力的大小和力偶臂的长短.4、杆件横截面上内力分量有轴力、剪力、扭矩和弯矩四种。
5、如图所示为低碳钢的应力-应变图,其中称为比例极限，称为屈服极限，称为强度极限。
6、已知一根梁的弯矩方程为，则梁的剪应力方程为-4x+3.7、如图所示一矩形截面，若轴平行与底边,则该截面对轴的惯性矩＿。
8、梁的小变形中，挠度和转角的关系是＿.9、平面汇交力系平衡条件是合力等于零。
10、空间一般力系有6个独立的平衡方程。
11、平面内的两个力偶等效条件是两力偶矩相等,转向相同。
12、杆件横截面上内力分量有轴力、剪力、扭矩和弯矩四种。
13、平面力偶系平衡条件是合力偶矩等于零。
14、平面平行力系有2个独立的平衡方程.15、平面共点力系平衡的解析条件是。
16、在轴向拉伸或轴向压缩直杆中，轴力必定通过杆件横截面的形心.17、力偶的三要素是:力偶的作用面、力偶臂、力偶矩。
18、作用力与反作用力大小相等，方向相反,且作用在不同物体。
19、刚体上两力系等效的条件是：力系的主失和对同一点的主矩分别相等。
20、若将载荷卸除后,试件的变形可全部消失,试件恢复到原有的形状和尺寸，则这种变形称为弹性变形。
21、对于矩形截面梁，出现最大剪应力的处，其正应力为零。
22、产生轴向拉压变形的外力条件是外力的合力作用线与杆件的轴线重合。
23、对于圆形截面梁，。
24、平面共点力系平衡的几何条件是力多边形自行封闭。
25、力对物体的作用效应一般分为内效应和外效应.26、均布载荷作用段上的剪力图曲线是一根斜直线,弯矩图曲线是一根抛物线。
27、低碳钢试件受拉前的长度为，横截面面积为；拉断后的长度为，断裂面的面积为，试写出其延伸率的表达式= 。
28、受扭圆轴横截面上的剪应力的方向与半径垂直。
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1、理想表面实际不存在（是理论分析的基础）。
实际表面存在表面能。
2、表面的不平整性包括粗糙度和波纹度。
前者指较短距离内出现的凹凸不平，后者指一段较长距离内出现一个峰和谷的周期。
3、典型固体表面：理想表面；洁净表面与清洁表面；机械加工过的表面；一般表面（要求进行表面预处理。
）典型固体界面：基于固相晶粒尺寸和微观结构差异形成的界面；基于固相组织或晶体结构差异形成的界面；基于固相宏观成分差异形成的界面（冶金等6种）。
4、TLK模型（当温度为0K时－理想表面;当温度在0K以上时－实际表面）
5、原子的扩散途径除了最基本的体扩散过程外，还有表面扩散、晶界扩散和位错扩散(短路扩散)。
6、固体和液体的表面均处于空间三向不对称状态，故存在表面自由能和表面张力。
7、液体表面自由能和表面张力在数值上是相等的，容易测定。
固体的表面张力很难准确测定。
8、常用表面自由能来描述材料表面能量的变化。
9、固体表面的吸附可分为物理吸附（吸附力：范德华力，弱）和化学吸附（化学键，强）两类。
10、表面能高的更容易润湿。
11、粗糙表面的铺展系数远大于光滑表面的（当cosθ＞0时），当SL/S=0时，铺展（完全润湿）；当SL/S＜0时，不铺展（不完全润湿或完全不润湿）；当SL/S ＞0时，自动展开，Young 方程已不适用。
12、摩擦分为四类：干摩擦；边界润滑摩擦；流体润滑摩擦；滚动摩擦
13、摩擦学三“定律”：
①摩擦力与两接触体之间的表观接触面积无关(第一定律)；
②摩擦力与两接触体之间的法向载荷成正比(第二定律)；
③两个相对运动物体表面的界面滑动摩擦阻力与滑动速度无关(第三定律)。
14、表面工程技术的作业环境基本要求：通风、清洁、安全
15、金属腐蚀的三种主要形式：局部腐蚀、全面腐蚀、在机械力作用下的腐蚀。
15、表面淬火技术的分类：感应加热淬火、火焰淬火、激光淬火、电子束淬火等
表面淬火层的组织（淬硬区、过渡区、心部组织(基材)）与性能（高硬度、压应力）
16、感应加热淬火技术（加热方式：连续加热；同时加热)是应用最广泛的表面淬火技术。
回火温度较低，可自回火。
17、火焰加热表面淬火技术组织特征：过渡区较宽。
18、激光淬火技术：自激冷淬火、自淬火;组织与性能特征：淬硬区、过渡区、心部组织(基材) //单道硬化区域小，硬度大幅度提高、硬度分布不均匀。
19、电阻加热表面淬火技术：电接触加热法电解液加热法（冷却方式均为自淬火）
20、渗氮层 相（表面，）具有高脆性。
21、液体热扩渗分类：盐浴法、热浸法、熔烧法。
热浸锌或铝就是将钢材或工件浸渍到熔融锌液或铝液中，使钢材或工件表面形成锌及锌铁合金层或铝及铝合金层的方法。
22、热浸渗过程：溶解形成合金层；扩散形成固溶体或金属间化合物；包络获得纯金属层(与电镀层相似)
23、热浸渗工艺种类：溶剂法(湿法和干法)、氧化还原法(森吉米尔法)。
24、等离子体种类：高温高压等离子体（核聚变）；低温低压等离子体（热扩渗）；高温低压等离子体（热喷涂）
25、等离子体热扩渗利用的是异常辉光放电区。
一般通过调整气压来控制辉光层厚度：气
压越高，辉光层越薄，亮度越集中。
26、离子渗氮工件为阴极。
离子渗氮的工艺过程：装炉；气体放电；加热、渗氮；保温；出炉。
27、热喷涂涂层形成：涂层材料经加热熔化和加速→撞击基体→扩展→冷却凝固→涂层
28、热喷涂技术应避免完全未熔和过热
29、热喷涂工艺流程：基体表面预处理（清理、粗化、粘结底层）、热喷涂、后处理、精加工等过程。
粘结底层适用于太薄或太硬的基体材料。
涂层的后处理包括封孔处理和致密化处理。
30、多孔隙是热喷涂层的固有缺陷。
31、致密化处理：重熔致密化处理；高温致密化处理；复合工艺处理。
32、等离子喷焊一般采用双电源。
33、热喷焊材料的熔点要求比基体熔点低，有自脱氧造渣性能(自熔性)。
34、堆焊时必定会产生过渡层(成分或/和组织不同)，应避免产生脆性相。
35、 减少堆焊层内应力的方法： (1)焊前预热(2)焊后缓冷(3)堆焊底层
36、在电镀中，过电位主要由电化学极化和浓差极化产生的。
37、化学镀的形式：置换沉积;接触沉积;还原沉积。
38、化学镀镍层是一种非晶态镀层。
化学镀铜溶液为碱性溶液。
39、不同的非金属材料在电镀前的前处理步骤基本相同：粗化（机械和化学粗化）、脱脂、敏化、活化和化学镀
40、氧化膜防护性能较差，需通过用肥皂或重铬酸钾溶液处理，或者进行涂油处理。
41、真空在薄膜技术中的作用：减少杂质；减少散射；有利于蒸发等进行。
42、PVD 种类：真空蒸发镀膜(蒸发镀膜、蒸镀)；真空溅射镀膜(溅射镀膜、溅射)；离子镀膜(离子镀)；分子束外延(MBE)。
43、蒸发系统：真空系统；蒸发源系统；基板系统。
44、薄膜形成机理： 核生长型；单层生长型；混合生长型。
45、真空的作用：有利于蒸发进行。
46、蒸发源分类：电阻法（常用方法）；电子束法；高频法；激光法。
蒸发源形状：主要考虑：湿润性。
47、溅射镀膜：靶材：阴极 (阴极溅射)；基片(工件)：阳极；工作气体：惰性气体(Ar)
48、常用溅射方法——电极结构：二极溅射、三或四极溅射、磁控溅射
绝缘薄膜：射频溅射
49、高温是CVD 法的一个重要特征 50、CVD 法的主要工艺参数：温度；反应物配比；压力
湿法（溶液镀膜法） 电镀 化学镀 阳极氧化法 LB 法 干法 PVD 法 蒸发 溅射 离子镀 镀膜 CVD 法 CVD
低压CVD
等离子CVD。