扫描电镜操作规程

ZEISS/ SUPRA 55场发射扫描电镜操作规程

一、开机

1、烘烤：超过一个星期完全关机，再开机时要进行烘烤；

2、开总电源；

3、开UPS电源，按UPS机箱后开关至ON，等3秒后至绿灯亮；

4、开冷却水箱，按ON/OFF开关至ON；

5、开空压机，将空压机开关顺时针搬至“1”；

6、按扫描电镜主机箱面板黄灯按钮至“STANDBY”，等2分钟后，

按绿灯“ON”；

7、输入开机密码；

8、启动软件“SmartSEM”；

9、输入用户名；

11、输入用户口令；

12、等系统真空优于5×10-5mbar，枪真空优于5×10-9mbar；

13、加电子枪高压；

14、加灯丝高压；

15、调节亮度、对比度、像散、合轴，使图像最佳。

二、关机

（一）日常关机

1、放气，取样品；

2、关灯丝高压；

3、退出软件“SmartSEM”；

4、退出软件“EMServer”；

5、关电脑；

6、按黄灯，使扫描电镜进入待机状态；

（二）完全关机

1、按红灯；

2、关空压机，搬空压机开关至“0”；

3、关冷却水箱，按开关至OFF，红灯亮后等15分钟；

4、关UPS电源，按ON/OFF开关至OFF，等3秒，关机箱后开关至OFF；

5、关总电源。

2014-1-10