几款真空阀简介及运用

几款真空阀简介及运用

电磁真空带充气阀是安装在机械式真空泵上的专用阀门。阀门与泵接在同一电源上，泵的开启与停止直接控制了阀的开启与关闭。当泵停止工作或电源突然中断时，阀能自动将真空系统封闭，并将大气通过泵的进气口充入泵腔，避免泵油返流污染真空系统。

适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。

常闭型气动高真空挡板阀是通过电磁转向阀依靠压缩空气作为阀板启闭动力，在失去电源或压缩空气时，通径DN80以下的阀门将依靠弹簧力自动关闭阀门，DN100以上的阀门通过电磁阀组利用单向阀迅速关闭气缸原有的气源压力达到自动关闭阀门。从而达到真空系统中迅速切断气流之功能。GDQ-J型为角通型式，GDQ-S型为带预抽口的三通型式。

超高真空插板阀是通过手柄以螺杆传动推动钢球架运动，撑开阀板关闭，又靠弹簧力收拢阀板，打开后再退出的真空阀门。阀门适用于超高真空系统中接通或截止气流之用。高真空系统中接通或截止气流之用。适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。

低真空电磁压差充气阀是安装在机械真空泵进气口上一种新型真空阀。其工作原理是机械泵的电源和电磁阀线圈的电源接在同一电路上，当机械真空泵因工作需要突然停电、停止运转时，该阀利用大气压力使阀芯自动关闭，截止和真空系统相连的通道，同时向泵内放大气，防止机械泵油返回真空系统，起到了保护真空系统作用，有利于机械泵再启动。适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。

电磁高真空充气阀是以电磁力为动力，当接通电源时，阀门被关闭，使真空系统与大气隔离；切断电源时，阀门处于开启状态，随之大气由外界引入真空系统。GQC-4A型电磁高真空充气阀具有通电开启和通电关闭两种功能，阀内带有空气过滤器，可用作向真空系统充气。阀门适用的介质为空气及非腐蚀性气体。

电磁高真空挡板阀是靠电磁力和弹簧复位力，用以打开或关闭的阀门，适用于真空系统中用以打开或隔断气流之用。当阀关闭时，允许阀板密封面上侧承受大气压，下侧为真空，在此状态下接通电器控制盒电源后，阀板能正常开启。

适用的工作介质为空气、非腐蚀性及不含颗粒灰尘的气体。

电磁高真空挡板阀连接在高低真空管路上，用来接通或切断真空系统的气流。GDC-Q5型、GDC-5型真空阀适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。

电动高真空蝶阀采用回转型电动、电子调节式阀门驱动装置，可以通过外接电源的切换(用手动转位开关或电脑控制)或外部输入信号，来实现阀门开、关或中间位置的控制，从而达到接通或切断真空管路中气流的目的。阀门的阀板采用夹紧结构，把阀板的密封圈夹紧，除了能用在真空状态下，也能在低压状态下使用。适用的工作介质为空气和非腐蚀性气体。电动高真空蝶阀采用回转型电动、电子调节式阀门驱动装置，可以通过外接电源的切换(用手动转位开关或电脑控制)或外部输入信号，来实现阀门开、关或中间位置的控制，从而达到接通或切断真空管路中气流的目的。适用的工作介质为空气和非腐蚀

性气体。

电、气动高真空挡板阀(又称角阀)采用波纹管密封,以电信号作为阀门开关信号，依靠压缩空气作为阀板启闭动力，在失去电源或压缩空气时，阀门将依靠弹簧自动关闭阀门，作为高真空管路中的启闭机构，本阀具有工作平稳、密封可靠、寿命长等一系列优点，是真空设备的自动化首选阀门之一。电磁真空压差式充气阀，是安装在机械真空泵上的专用阀门。安装于机械真空泵的进气口，并于泵同步开启和关闭。当泵停止工作或电源突然中断时，阀门能依靠大气与真空的压差力使阀板自动关闭，将真空系统封闭，保持其真空度，并将大气通过阀的节流孔充入泵腔内，从而避免泵油逆流污染真空系统。

适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。

GYC-JQ系列高真空电磁压差式充气阀，是安装在机械真空泵上的专用阀门。安装于机械真空泵的进气口，并与泵同步开启和关闭。当泵停止工作或电源突然中断时，阀门能依靠大气与真空的压差力使阀板自动关闭，将真空系统封闭，保持其真空度，并将大气通过阀的节流孔充入泵腔内，从而避免泵油逆流污染真空系统。

用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。

1、要对各类真空阀门的一般结构原理了解清楚。

2、对于同一种真空阀门要通过结构、性能、参数、适用范围、漏气速率、密封件材料，使用方法等综合因素比较后选择其阀门型号。

3、真空阀门的驱动方式有手动、电动、气动三种。采用那种驱动方式的阀门要从真空系统的需要去考虑。

4、在真空室上安装放气阀门，要根据真空室内气体量的多少，需要开启真空室大门的时间长短，选择放气阀门的型号。

5、真空阀门可以单独使用，配置在真空室与真空泵之间或真空室上。是一般的真空系统所必须的元件。但大多数真空阀门是用在真空抽气机组上。

6、超高真空阀门常用在超高真空系统上。

7、电磁真空阀的型式和基本参数我国已有行业标准。

8、真空隔膜阀，由于结构简单、体积小、重量轻、密封性能良好、适用于前级和预抽管道及温度为-25℃～80℃的非腐蚀气体。

9、玻璃真空活塞，(又称考克)多用于真空测量的校准系统和玻璃真空系统。

众所周知,任何一种真空设备包括极高真空设备,都存在着气体通过器壁、微孔从高压力区向低压力区渗透即漏气的现象,绝对不漏的真空设备是不存在的。所谓的“漏”,必须和设备的最大允许漏量相联系。只要将漏气控制在设备允许的范围内,则认为是合理的、经济的。不同的真空设备对漏气量的要求是不同的,因此最大允许漏量也不一样。漏率和升压率是用于检测真空设备密封性的两个重要参数。漏率是在规定条件下处于高压力(或高浓度)下的气体在单位时间内通过漏孔流向低压力端(或低浓度端) 的气体量,分为动态漏率和静态漏率。升压率是通过被抽容器与真空泵隔离后测定随时间的增加而升高的压力值来确定的,是一个静态的概念。

升压率除了气体通过焊缝、密封件、材料本体向设备内部渗透的

漏率外,还包括设备内部各器件本身的吸附气体的解吸和其它物质(如油、脂) 的蒸汽压。因此两个概念是不同的,漏率包含于升压率,其值只是升压率的一部分。实际测量过程中,往往用升压率来检测,并把升压率与被测容积相乘作为漏率。

在一定范围这种转化是允许的、可行的,但超过适用范围,会发生数值严重背离的现象,即升压率达到指标,但转化后的漏率却大得不可思议。

下面以我公司高真空气动挡板阀为例,通过计算结果来说明漏率和升压率的差异,指出主要影响因素,并推而广之。

1、阀门参数

表1 给出了GDQ-J 系列阀门各参数的统计结果。为便于观察各参数的变化趋势,同时给出了变化趋势图(见图1) 。从曲线可看出,阀门密封圈总长和焊缝总长的增幅远小于阀门内表面积和容积的增长。表1 阀门参数表

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图1 阀门参数变化曲线

2、漏率计算

本文论及的漏率主要包括大气通过密封圈和焊缝向真空侧的漏气量,没有把气体通过阀体材料渗入阀体内部的气体计算在内。

2.1、密封圈的漏率计算

漏率计算以Roth 关于单橡胶密封圈的密封过程基本方程为准。式中 C ———气体从环形密封界面流过的总流导