真空泵介绍
真空泵的工作原理
真空泵的工作原理引言概述：真空泵是一种用于抽取气体并产生真空的设备。
它在许多领域中起着重要作用，如科学研究、工业生产和医疗设备等。
本文将详细介绍真空泵的工作原理，包括其基本原理、工作过程和常见类型。
一、真空泵的基本原理：1.1 分子撞击抽气原理：真空泵通过在泵腔内部产生高速运动的转子或活塞，使气体分子与转子或活塞相撞，从而产生气体分子的动量传递，将气体抽出。
1.2 压缩抽气原理：真空泵通过减小泵腔的体积，使气体分子被压缩，从而增加气体分子的密度和压力，进而将气体抽出。
1.3 扩散抽气原理：真空泵通过在气体分子之间施加电场或磁场，使气体分子产生扩散运动，从而将气体抽出。
二、真空泵的工作过程：2.1 吸入气体：真空泵在工作过程中，通过进气口吸入气体。
气体进入泵腔后，根据不同的抽气原理，经过一系列的过程进行抽气。
2.2 压缩气体：在泵腔内部，真空泵通过转子或活塞的运动，将气体分子进行压缩，使气体的密度和压力增加。
2.3 排出气体：经过压缩后，气体被排出泵腔，进入排气管道或容器中。
排出的气体可以被进一步处理或利用。
三、真空泵的常见类型：3.1 机械泵：机械泵是真空泵的一种常见类型，它通过机械运动产生抽气效果。
常见的机械泵包括旋片泵、涡旋泵和螺杆泵等。
3.2 扩散泵：扩散泵利用扩散抽气原理，通过施加电场或磁场使气体分子扩散，从而实现抽气效果。
3.3 分子泵：分子泵利用分子撞击抽气原理，通过高速旋转的转子或活塞，将气体分子与转子或活塞相撞，从而实现抽气效果。
四、真空泵的应用领域：4.1 科学研究：真空泵在科学研究中广泛应用，如物理实验、化学实验和生物实验等。
它可以提供高真空环境，满足实验的需求。
4.2 工业生产：真空泵在工业生产中用于抽取气体，如真空冷冻、真空干燥和真空包装等。
它可以提供稳定的真空环境，提高生产效率。
4.3 医疗设备：真空泵在医疗设备中起着重要作用，如医用吸引器和血液透析机等。
它可以提供强力的吸引力，帮助医疗操作和治疗。
真空泵和工作原理的介绍
真空泵是指利用机械、物理、化学或者物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或者设备。
通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
由于真空应用部门所涉及的工作压力的围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能彻底合用于所有的工作压力围，只能根据不同的工作压力围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。
为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了不少种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才干满足生产和科学研究过程的要求。
常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。
近年来，伴有着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。
真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构： 1)、立式结构：进、排气口水平设置，装配和连接管路都比较方便。
但泵的重心较高，在高速运转时稳定性差，故这种型式多用于小泵； 2)、卧式结构：泵的进气口在上，排气口在下。
有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。
此时，排气口可以从左或者右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或者接旁通阀。
这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。
普通大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。
这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。
但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。
主动轴通过联轴器与机电联接。
汽车真空泵分类与用途
汽车真空泵分类与用途在汽车系统中，真空泵扮演着非常重要的角色。
本文将详细介绍汽车真空泵的分类和用途，主要包括旋片式真空泵、活塞式真空泵和膜片式真空泵。
一、旋片式真空泵旋片式真空泵是一种利用偏心轮和泵体壁面构成的密封间隙，在泵体旋转过程中实现气体吸入与排出的泵。
其特点是结构简单、紧凑，使用方便，适用于较高真空度的场合。
然而，旋片式真空泵的转速较高，容易发热，因此需要良好的润滑和冷却系统。
应用场景：旋片式真空泵在汽车刹车系统中广泛应用，用于抽取刹车系统中的空气，确保刹车系统的正常运行。
二、活塞式真空泵活塞式真空泵是利用活塞在气缸内往复运动来增加和减少气体的体积，从而实现气体的吸入和排出。
活塞式真空泵具有较高的抽气速率和较大的抽气量，适用于较大规模的气体输送。
但是，活塞式真空泵的结构较为复杂，需要定期维护和检修。
应用场景：活塞式真空泵在汽车悬挂系统中应用较为广泛，用于抽取悬挂系统中的空气，保证悬挂系统的正常运行。
三、膜片式真空泵膜片式真空泵是利用膜片在泵体上的往复运动，使泵体内的气体体积发生变化而实现气体吸入与排出的。
膜片式真空泵具有体积小、重量轻、维护方便等特点，因此在现代汽车中得到了广泛应用。
应用场景：膜片式真空泵在汽车空调系统中占据重要地位，它不仅用于抽取空调系统中的空气，还为空调系统的正常运行提供必要的真空度。
此外，膜片式真空泵在汽车刹车系统和悬挂系统中也有广泛应用。
四、维护与保养为了确保汽车真空泵的正常运行和使用寿命，车主们需要注意以下维护和保养事项：1.定期检查真空泵的润滑和冷却系统，确保良好的运行状态。
2.定期清理真空泵的吸入口和过滤器，防止杂物堵塞影响性能。
3.检查真空泵的密封件是否完好，如有磨损及时更换。
4.定期更换真空泵的润滑油，保持润滑状态。
5.在日常使用中，注意观察真空泵的运行状态，如有异常声音或振动应及时检修。
五、结论汽车真空泵作为汽车的重要组成部分，对于保证汽车的正常运行和安全性具有重要意义。
真空泵的原理和操作方法
真空泵的原理和操作方法真空泵是一种能够将封闭容器内部产生的气体抽出，使容器内部形成真空状态的装置。
其原理主要包括排气原理和密封原理。
排气原理：真空泵通常采用机械排气原理，即通过机械运动产生局部真空使气体被抽出。
下面将分别介绍四种常见的真空泵类型及其排气原理。
1. 旋片泵：旋片泵的主要排气原理是靠偏转叶片的相互溜槽上下轴向滑动，使气体从进气口流入旋转腔，再由不断变大的腔体吸入顶部水平排气孔，产生真空。
2. 逸散泵：逸散泵采用涡轮运动原理，通过高速旋转的叶片将气体吸入真空泵腔体，并通过轴向排气口轻松将气体排出。
3. 涡街泵：涡街泵是一种通过离心力将气体靠近离心轴外移动并被压缩的泵。
气体首先被吸入中心处旋风状腔体，在转动时通过压缩并被排出。
4. 标准移动式泵：标准移动式泵是一种通过移动滑块来实现气体密封进入真空泵的排气原理。
当滑块左侧气室在向右运动过程中，气体被吸入，并在滑块的右侧形成盖住排气口的密封。
除了以上四种常用排气原理外，还有其他一些真空泵类型，如回转叶片泵、箍清泵、罗茨泵等，每种泵都有不同的排气原理。
密封原理：真空泵密封原理可以分为动密封和静密封两种。
1. 动密封：动密封主要采用密封环、密封腔体以及滑动连接等方式。
这些动密封件通常由合金材料制成，具有较高的耐磨性和耐腐蚀性，能够在高速运动中保持密封性能。
2. 静密封：静密封主要靠紧固件如螺纹和垫圈等来实现密封效果。
这些紧固件通常由密封材料如橡胶、硅胶等制成，能够在低温和高温环境中保持密封性能。
真空泵的操作方法：1. 准备工作：在操作真空泵之前，需先将其安装在固定位置，并检查泵体及连接管路是否完好，确保安全可靠。
同时，还需检查泵油是否达到要求，机械部分是否正常运转。
2. 启动与停止：启动真空泵前需先打开泵的排气阀门，并且确认泵与被抽容器已连通。
然后逐步打开泵的进气阀门，待真空度达到要求后，再打开排气阀门，进行正式排气。
停止泵的操作则相反，先关闭排气阀门，再关闭进气阀门。
2024年真空泵培训课件
真空泵培训课件一、引言真空泵是一种广泛应用于各个领域的设备，其主要功能是抽取或压缩气体，使容器内形成真空状态。
为了更好地了解和使用真空泵，本课件将详细介绍真空泵的原理、分类、应用、操作方法及维护保养等内容。
二、真空泵的原理与分类1.真空泵原理真空泵的工作原理是通过机械或物理方法，将容器内的气体抽出或压缩，从而降低容器内的气压。
根据工作原理的不同，真空泵可分为两大类：容积式真空泵和速度式真空泵。
（1）容积式真空泵：通过改变泵腔的体积，使气体在泵腔内产生周期性的膨胀和压缩，从而达到抽气或压缩气体的目的。
常见的容积式真空泵有旋片式真空泵、滑阀式真空泵等。
（2）速度式真空泵：通过高速旋转的叶轮或叶片，使气体产生离心力，从而将气体甩出泵腔，达到抽气或压缩气体的目的。
常见的速度式真空泵有罗茨泵、涡旋泵等。
2.真空泵分类（1）旋片式真空泵：具有结构简单、体积小、重量轻、噪音低等特点，广泛应用于实验室、医疗、食品等领域。
（2）滑阀式真空泵：具有抽气速率高、抗水蒸气能力强等特点，适用于化工、制药等行业。
（3）罗茨泵：具有抽气速率高、无油压缩、维修方便等特点，适用于电子、半导体、真空镀膜等领域。
（4）涡旋泵：具有抽气速率高、结构紧凑、无油压缩等特点，适用于分析仪器、真空干燥等领域。
三、真空泵的应用1.实验室：用于真空过滤、真空干燥、真空蒸馏等实验操作。
2.医疗：用于真空采血、真空包装、真空敷料等。
3.食品：用于真空包装、真空冷却、真空干燥等。
4.化工：用于真空蒸馏、真空吸料、真空输送等。
5.电子：用于真空镀膜、真空焊接、真空封装等。
6.半导体：用于真空刻蚀、真空沉积、真空吸附等。
7.分析仪器：用于真空采样、真空分析等。
四、真空泵的操作方法1.开机操作（1）检查真空泵及附件是否完好，连接管道是否牢固。
（2）打开电源开关，启动真空泵。
（3）观察真空泵的运行状态，确保正常工作。
2.关机操作（1）关闭真空泵的电源开关。
（2）关闭真空泵的进气阀门。
真空泵工作原理
真空泵工作原理一、引言真空泵是一种将气体从封闭容器中抽取出来，从而产生真空的设备。
它在不少领域都有广泛的应用，例如化学实验室、制药工业、电子创造等。
本文将详细介绍真空泵的工作原理及其相关知识。
二、真空泵的分类根据工作原理，真空泵可以分为以下几类：1. 正压泵：通过压缩气体将气体排出，如活塞泵、螺杆泵等。
2. 份子泵：利用高速旋转的转子将气体份子抛出，如份子转子泵。
3. 扩散泵：通过扩散气体份子的方式将气体排出，如油扩散泵、水银扩散泵等。
4. 离心泵：通过离心力将气体抛出，如离心泵、涡轮份子泵等。
三、真空泵的工作原理以油封真空泵为例，介绍其工作原理：1. 油封：真空泵的主要部件之一是油封，用于密封泵腔，防止气体泄漏。
油封通常由油箱、油封壳、油封盖等组成。
2. 泵腔：真空泵的泵腔内部有一个转子和一个固定的外壳。
转子上有多个叶片，当转子旋转时，叶片与外壳之间形成密封的工作腔。
3. 工作过程：当真空泵启动时，泵腔内部是充满气体的。
转子的旋转使得泵腔的体积逐渐变小，气体被压缩并排出泵腔。
同时，油封壳内部的油会形成一层薄膜，起到密封作用。
4. 油循环：为了保持油封的密封性能，真空泵通常会通过油循环系统，不断将油封中的油进行循环，以冷却和润滑油封。
油循环系统包括油箱、油管、油泵等组件。
5. 气体排放：被抽取的气体通过排气口排出泵腔，进而形成真空。
四、真空泵的性能参数1. 抽速：真空泵的抽速是指单位时间内泵出的气体体积。
抽速越大，泵出气体的速度越快，真空度越高。
2. 极限真空度：真空泵能够达到的最低真空度。
通常用帕斯卡（Pa）或者毫巴（mbar）表示。
3. 压缩比：真空泵的压缩比是指泵出气体的压力与进气气体的压力之比。
压缩比越大，泵出的气体压力越低。
4. 噪音：真空泵的噪音是指在工作过程中产生的声音。
低噪音的真空泵对于某些噪音敏感的应用场景非常重要。
五、真空泵的应用领域真空泵在许多领域都有广泛的应用，包括但不限于以下几个方面：1. 科学研究：真空泵在物理学、化学、生物学等科学研究中扮演着重要角色，用于制备高纯度材料、研究气体份子等。
真空泵工作原理
真空泵工作原理一、引言真空泵是一种用于抽取气体并产生真空的设备。
它在各种工业领域中广泛应用，如化学工程、电子制造、医疗设备等。
本文将详细介绍真空泵的工作原理。
二、真空泵的分类根据工作原理和结构特点，真空泵可以分为以下几类：1. 机械泵：机械泵利用机械运动产生真空，常见的有旋片泵、齿轮泵、涡轮分子泵等。
2. 涡轮分子泵：涡轮分子泵通过高速旋转的叶轮将气体排出，适用于高真空环境。
3. 漩涡泵：漩涡泵利用离心力将气体抽出，适用于低真空环境。
4. 气体扩散泵：气体扩散泵通过气体分子的扩散将气体排出，适用于超高真空环境。
三、机械泵的工作原理机械泵是最常见的真空泵之一，下面以旋片泵为例，介绍其工作原理：1. 真空泵的结构：旋片泵由主轴、旋片、固定片和泵腔组成。
主轴通过电机驱动旋转，旋片和固定片通过离心力紧密贴合在一起，形成密封的泵腔。
2. 吸气过程：当旋片泵启动时，主轴开始旋转，泵腔内形成真空。
气体通过进气口进入泵腔，并被旋转的旋片抓住。
随着旋转，气体被推向泵腔的出口。
3. 排气过程：当气体被推向泵腔的出口时，由于泵腔的密封性，气体无法返回。
同时，出口处连接着排气管道，气体被抽出泵腔并排入排气管道中。
4. 循环过程：随着旋转的持续进行，泵腔内的气体逐渐减少，真空度逐渐提高。
当达到所需真空度时，旋片泵停止工作。
四、机械泵的性能参数1. 抽速：机械泵的抽速是指单位时间内泵出的气体体积。
抽速越大，泵出气体的能力越强。
2. 极限真空度：机械泵的极限真空度是指泵出气体后所能达到的最低压力。
极限真空度越低，泵出的气体越少。
3. 泵头压力：机械泵的泵头压力是指泵腔内气体的压力。
泵头压力越低，真空度越高。
五、机械泵的应用领域机械泵广泛应用于以下领域：1. 化学工程：机械泵用于真空蒸馏、真空干燥等化学工艺。
2. 电子制造：机械泵用于半导体制造、真空包装等电子行业。
3. 医疗设备：机械泵用于医疗设备中的真空抽吸、真空封装等。
六、总结真空泵是一种用于产生真空的设备，根据工作原理和结构特点可以分为不同类型的泵。
各种真空泵的详细介绍
各种真空泵的详细介绍真空泵是一种用于将物体内的气体抽出，形成真空环境的装置。
根据不同的工作原理和应用场景，真空泵可以分为很多不同类型。
下面将详细介绍几种常见的真空泵。
1.机械泵机械泵是真空系统中常见的一种泵，它通过机械运动将气体抽出。
机械泵的工作原理主要分为离心力泵和吸收泵两种类型。
离心力泵通过高速旋转的叶片产生离心力，将气体抽出。
吸收泵则利用内部连续排列的叶片，使气体在叶片间连续收缩和膨胀，从而抽出气体。
机械泵广泛应用于实验室、工业和医疗设备等领域。
2.分子泵分子泵是一种工作在高真空范围内的泵，主要用于抽出稀薄气体。
分子泵通过分子碰撞的方式，将气体分子引导到泵的出口，达到抽出气体的目的。
分子泵通常具有高抽气速率和低抽气压力的特点，适用于高真空要求的场合，如半导体制造、光学仪器等。
3.鼓风泵鼓风泵也称为根式泵，是一种广泛使用的真空泵。
它通过齿轮传动和内部腔体的吸入和排出，实现气体的抽出。
鼓风泵具有结构简单、体积小、噪音低的特点，适用于实验室、化工、食品等行业。
鼓风泵还可以与其他真空泵配合使用，提高系统的抽气速率和抽气效果。
4.旋片泵旋片泵是一种离心泵的变种，利用旋转的叶轮来抽出气体。
它通过离心力将气体推向泵的出口，并通过连接管道排出系统。
旋片泵通常用于高真空抽气系统，如电子显微镜、质谱仪和光谱仪等。
旋片泵具有体积小、噪音低、维护方便等特点。
5.涡轮分子泵涡轮分子泵是一种利用离心力和分子阻尼的真空泵。
它由一个高速旋转的涡轮和静止的固定轮组成，通过旋转涡轮来抽出气体。
涡轮分子泵主要用于高真空要求的场合，如核磁共振仪、电子束物理仪器等。
涡轮分子泵具有高抽气速率、高真空和低振动噪音的特点。
以上所述的只是一些常见的真空泵类型，实际上还有其他类型的真空泵，如液环泵、吸附泵、离心泵等。
每种真空泵都有自己的工作原理和应用场景，选择合适的泵对于实现高效的真空系统至关重要。
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真空泵型号
我们这台PECVD所用的泵型号：爱德华GV600-EH42 00 本泵由上泵和下泵两部分组成。上泵是罗茨泵，下泵 是三级爪型一级罗茨结构。 它利用了在低压下罗茨泵抽气比较有效，在较高压强 下爪型干式真空泵比较有效的特点，将这两种泵各 自的优势匹配起来，组成干式真空泵，其结果性能 比较优良。
罗茨泵的抽气过程
如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a）， 下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔 与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到 90°位置时（图中c），下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵 外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时 （图中d），上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图 e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。Biblioteka 爪型干式真空泵吸排气的过程
S 具体抽气过程分四个冲程：第一个冲程如 图（a）所示，开始转子对在初始位置，S 腔的体积最小，而且和吸气口接通，S腔所 处的容积不断增加，被抽气体进入S腔，体 积较大的T腔则处于不断缩小状态。第二个 冲程：随着转子对的不断运动，如图（b） 所示。S腔正在不断加大，吸入的气体也越 来越多，T腔正不断缩小，当和排气口刚好 接通时开始排气。第三冲程：如图(c)所示， 转子对继续运动，使T腔变的最小，气体得 到最大限度压缩，S腔变的最大，吸气排气 快要结束。第四冲程：如图(d)所示，S腔 和T腔合为一体，泵腔不再吸排气，进、排 气口都自行关闭。这就是爪式真空泵抽气 工作的全过程。
本地上泵变频调速设定值 表示本地模式是上泵正常运行频率
远程变频节能设定值 表示在远程节能模式下下限频率
远程非节能模式上限设定值 表示远程控压模式下频率上限
下泵状态监控 即下泵热保护开关状态 远程节能模式切换按钮 切换远程节能模式和远程控压模式
IO监控界面系统
本界面用于工程调试人员便于调试使用
系统状态监控界面系统
水气路原理图
安装说明
1. 泵必须安装在环境清洁、无灰尘或灰尘很少及其它不易沾污介 质的场所。泵的吸气口应根据使用情况安装附设装置。 2. 泵的工作环境温度5~40℃。 3. 泵可根据使用情况，安放在水泥基础或钢架基础上。 4. 进、排气管应该保证密封，即使微小泄露都会影响真空度。 5. 管路长度原则上尽可能短，少用接头和弯头。管路直径不应小 于泵的口径。 6. 在泵的进、排气管道上，最好安装上阀门，以达到停车后泵腔 内仍保持真空。 7. 工作时，控制冷却水温度在20~22℃之间即可，注意水温应不 超25℃，以免产生尘垢。 8. 由于真空泵很可能用于腐蚀性的环境，泵的可靠性将取决于正 确的安装和保养。当安装真空管路时，建议安装保养用的附件， 如在进气管路和氮气吹扫管路上安装开关阀等。 9. 处于安全需要，请确保进气和排气管路上附件的材料和密封性 能与工艺气体相匹配。
本界面为系统这个信号及传感器的反馈
实时报警监控界面系统
历史报警监控界面系统
开机操作介绍
1. 在将电源开启前，请先确认电机转向。 2. 确认水路，气路各个阀是否打开，空压、制程气体及冷却 水供应是否充足。 3. 请确认设备接地是否有接上。 4. 请将系统设备控制机柜总空气开关向上扳至ON的位置。 5. 请将系统设备之控制仪器上的电源开关全部都扳至ON的位 置，并检查各控制仪器是 否都正常。 6. 点选操作画面的警报显示按钮，观察是否有异常警报讯号 显示，若有请参考(故障状 况排除)。 7. 若无异常，则开机完成，进入人机界面程控操作。
真空泵性能的几个重要参数
1．抽气速率 (s；单位：m3· -1；L· -1) s s 当泵装有标准试验罩并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流 量与在试验罩上指定位置测得的平衡压力之比。简称泵的抽速。即在 一定的压力、温度下，真空泵在单位时间内从被抽容器中抽走的气体 体积。 2．极限压力（极限真空）（单位：Pa） 泵装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情 况下，趋向稳定的最低压力。即真空泵的入口端经过充分抽气后所能 达到的最低的稳定的压力。 3．起动压力 泵无损坏起动并有抽气作用的压力 4．抽气量（Q单位：Pa· 3· -1；Pa· S-1） m S L· 流经泵入口的气体流量。 5．压缩比 泵对给定气体的出口压力与入口压力之比。 其中泵的抽气速率和极限压力两个参量是在实际应用中选配真空泵 的最重要的参量。
技术指标
1150L/S
爪型干式真空泵
爪型干式真空泵的优点: 1. 转子对悬浮在泵腔内，转子对间与泵腔间均无摩擦； 2. 可直排大气独立工作，并可在高压下长期连续工作； 3. 能够完全抽出可凝性气体（如水蒸气、酒精和汽油等）； 4. 能抽出腐蚀性、剧毒性、放射性和易燃易爆气体； 5. 能做气体传输泵使用，压缩比良好，可达到10~105； 6. 能够抽除气体携带的金属粉尘和矿物颗粒。
关机操作介绍
1. 关闭正在旋转的的泵体（先关罗茨泵后关干泵）。
2. 关闭分空气开关； 3. 关闭总空气开关：
常见故障及解决方法
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 报警或现象 水流量报警 下泵温度报警 下泵温度报警停机 氮气流量计无示数 无法启动 机组卡死 电机超温 下泵过流保护 变频器过载保护 急停报警 说明 检查水冷回路是否接好、各个水 阀是否打开、水流量计是否上电 检查水冷系统是否正常 检查水冷系统是否正常 检查各个气阀是否打开、检查流 量计是否上电 检查电源或与厂家联系 请与厂家联系 检查供电是否正常， 泵是否有卡 碰现象，噪音是否变大。 检查供电是否正常， 泵是否有卡 碰现象，噪音是否变大。 检查供电是否正常， 泵是否有卡 碰现象，噪音是否变大。 检查急停按钮
爪型干式真空泵的工作原理
在爪型干式真空泵的泵腔内，平行放置着一对转轴，即主动轴 和从动轴。这一对转轴靠连接在轴端的由电机驱动的啮合齿轮 保持同步运转。爪型干式真空泵正是利用连接在两轴上的成对 的爪型转子之间、转子与泵腔内壁之间以及转子与隔板之间以 及转子与隔板之间进行有间隙、无摩擦的啮合所形成的密闭腔 的容积的大小变化来完成吸排气过程。
PECVD真空泵介绍
机械真空泵简介
[简介]: 真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、 改善和维持真空的装置。真空泵可以定义为：利用机 械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽 气而获得真空的器件或设 备。随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很 多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万 升。极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高 真空范围。
罗茨泵的工作原理
罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵内有两个形 状对称的8字形转子，两个转子彼此朝相反方向旋转，由 轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触，转子与泵腔 壁也无接触，其间通常有0.15~1.0mm的间隙，泵腔靠间 隙来密封。 由于罗茨泵泵腔内无摩擦，转子可高速运转，一般为 1500~3000r/min,而且不必用油润滑，可实现无油清洁的 抽气过程。泵的润滑部位仅限于轴承和齿轮，以及动密 封处。泵没有往复运动部件，故可实现良好的动平衡。 因而，罗茨泵运转平稳，转速高，尺寸小，可获得大的 抽速。
日常维护
真空泵注油 1.真空泵发运时并没有加油，油和泵分开发运。同样， 建议客户在退回之前也将油排放掉。 2.确认真空泵已停机，打开侧盖，使用漏斗并配上软 管为 DGS 齿轮箱、耦合腔和 DG 齿轮箱、进气腔加油， 油位达到油位视窗的一半即可，为了确保加油量的准 确性，等待几分钟，直到油扩散到内部各个表面，将 加油塞重新盖好。 3. 根据建议的数量为泵组加油。
DG齿轮箱 SHC629 U20 1.9L 进气腔 1.2L 3.5L 6.5L DGS齿轮箱 耦合腔 总量 3.1L 10L
界面介绍
远程节能 用于固定 频率的节能控制 远程控压 用于真空 度调节 本地 用于本地调试
当有报警时，屏幕显示报警项 远程真空度过程显示值 表示当前工作真空度 远程真空度设定显示值 表示需要调节到得真空度
T
罗茨泵介绍
罗茨真空泵（简称罗茨泵） 是一种旋转式变容真空泵。 它是由罗茨鼓风机演变而来 的。根据罗茨真空泵工作范 围的不同，又分为直排大 气的低真空罗茨泵；中真 空罗茨泵（又称机械增压泵） 和高真空多级罗茨泵。 很明显我们这台是高真空多 级罗茨泵。
罗茨泵的优点
一般来说，罗茨泵具有以下特点： 1. 在较宽的压力范围内有较大的抽速； 2. 转子之间、转子与泵腔壁之间有间隙，泵内运动件无摩擦、 不必润滑,泵腔内无油； 3. 转子形状对称，动平衡性良好，运动平稳，选择高精度的 齿轮传动，运动时噪声低； 4. 结构紧凑，占地面积小，通常选卧室结构，泵腔内气体垂 直流动，有利于被抽的灰尘或冷凝物的排除； 5. 选择适宜的转子型线和精细的研磨加工，可获得较高的容 积效率； 6. 运转维护费用低；
如图所示为罗茨泵的抽速随真空度变化的曲线，可以看出，在真空度较低时。泵达到最 大抽速，在真空度较高时，抽速急剧下降，当真空度继续上升到最高值时，抽速甚至下 降到零。但是，这种泵在抽速急剧下降以前，有一段抽速基本稳定的范围，在这个范围 内允许真空度有较大的变化，但抽速颗保持基本不变。在真空度较低时，仍可获得稳定 的大抽速，这就是罗茨真空泵的一大优点，它有效地弥补了油封机械泵和油扩散泵在该 压强范围内抽速显著下降或不能工作的缺点。