第四章pn结

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PN结——电容特性优秀课件

PN结——电容特性优秀课件

的电子电流一定;半导体流向金

属的电子电流因电位增加而降低,
故有半导体→金属反向电流(恒
定)。
金属半导体接触I-U特性类似于pn结的伏安特性
I
正向特性
VD
反向特性
肖特基二极管
利用金属—半导体整流接触特性制成的二极管称 为肖特基二极管。
肖特基二极管与pn二极管的比较
相同:单向导电性 不同:
1 反向电流产生机制不同: ➢肖特基二极管为多数载流子工作 ➢pn接面二极管为少数载流子工作 ➢结果:肖特基二极管的饱和电流要 大得多,起始电流也较大。
P
△U变化时,P区 积累的非平衡少 子浓度分布图
3 1
2
电子浓度
1 ΔU=0
2 ΔU<0
x 3 ΔU>0
U ΔU
N
+ +
+ +
....................................
. ..
.
.
P
PN结正向偏置电压越高,积累的非平衡少子越多。
这种电容效应用扩散电容CD表征。
CD Q U
PN结正偏时,由N区扩 散到P区的电子(非平衡少 子),堆积在 P 区内紧靠 PN结的附近,到远离交界 面处,形成一定的浓度梯 度分布曲线。电压增大, 正向(扩散)电流增大。
扩散电容示意图
U ΔU
N
+ +
+ +
....................................
. . .
..
C1 L
Байду номын сангаасDC
R
+ UD –

4-2第四章_PN结-2

4-2第四章_PN结-2

通常的发电系统如火力发电,就是燃烧 石油或煤以其燃烧能来加热水,使之变成蒸汽, 推动发电机发电;原子能发电则是以核裂变放 出的能量代替燃烧石油或煤,而水力发电则是 利用水的落差能使发电机旋转而发电。 太阳能电池发电的原理是全新的,与传 统方法是完全不同,既没有马达旋转部分,也 不会排出气体,是清洁无污染的发电方式。
太阳能电池的结构
单晶硅太阳能电池的典型结构如图所示。
单晶硅太 阳能电池通常是 以p型Si为衬底, 扩散n型杂质,形 成 如 图 (a) 所 示 结 构。为取出电流, p型衬底的整个下 表面涂银并烧结, 以形成银电极, 接通两电极即能 得到电流。
玻璃衬底非晶硅太阳能电池的典型结构如 图所示。
玻 璃衬 底非 晶硅太阳能电池是 先在玻璃衬底上淀 积透明导电薄膜, 然后依次用等离子 体反应沉积p型、I p I 型 和 n 型 三 层 a-Si , 接着再蒸涂金属电 极铝,电池电流从 透明导电薄膜和电 极铝引出。
设入射光垂直pn结面。如果结较浅,光 子将进入pn结区,甚至更深入到半导体内部。 能量大于禁带宽度的光子,由本征吸收在结 的两边产生电子-空穴对。在光激发下多数载 流子浓度一般改变较小,而少数载流子浓度 却变化很大,因此应主要研究光生少数载流 子的运动。
无光照
光照激发
由于pn结势垒区内存在较强的内建电场(自n区指向p区),结两边 的光生少数载流子受该场的作用,各自向相反方向运动:p区的电子穿过p-n结 进入n区;n区的空穴进入p区,使p端电势升高,n端电势降低,于是在p-n结 两端形成了光生电动势,这就是p-n结的光生伏特效应。由于光照在p-n结两端 产生光生电动势,相当于在p-n结两端加正向电压 V,使势垒降低为qVD-qV, 产生正向电流IF.

(完整版)第四章常用半导体--题库

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第四章常用半导体4.1 半导体的基本知识选择题:1.PN结的基本特性是:( B )A.半导性B.单向导电性C.电流放大性D.绝缘性正确答案是B,本题涉及的知识点是:PN结的基本特性。

2. 半导体中少数载流子在内电场作用下有规则的运动称为:( B )A.扩散运动B.漂移运动C.有序运动D.同步运动正确答案是B,本题涉及的知识点是:PN结的形成相关知识。

3. 在PN结中由于浓度的差异,空穴和电子都要从浓度高的地方向浓度低的地方运动,这就是:( A )A.扩散运动B.漂移运动C.有序运动D.同步运动正确答案是A,本题涉及的知识点是:PN结的形成相关知识。

6. N型半导体和P型半导体是利用了本征半导体的如下哪个特性(C)A.热敏性 B. 光敏性 C. 掺杂性正确答案是C,本题涉及的知识点是:本征半导体特性知识。

7. N型半导体是在本征半导体掺入(A )A.5价元素 B. 3价元素 C. 导电杂质正确答案是A,本题涉及的知识点是:N型半导体的掺杂知识。

8. P型半导体是在本征半导体掺入(B )A.5价元素 B. 3价元素 C. 导电杂质正确答案是B,本题涉及的知识点是:P型半导体的掺杂知识。

9. N型半导体中多数载流子是(A )A.自由电子 B. 空穴 C. 自由电子和空穴 D.电子正确答案是A,本题涉及的知识点是:N型半导体的多数载流子知识。

10. P型半导体中多数载流子是(B )A.自由电子 B. 空穴 C. 自由电子和空穴 D.电子正确答案是B,本题涉及的知识点是:P型半导体的多数载流子知识。

4.2 半导体二极管选择题:4.如图所示电路,输入端A的电位U A=+3V,B点的电位U B=0V,电阻R接电源电压为-15V,若不计二极管的导通压降,输出端F的电位U F为:( A )A .3V B. 0V C. 1.5V D . -16V正确答案是A ,本题涉及的知识点是:二极管优先导通问题。

5.如图所示电路,输入端A 的电位U A =+3V ,B 点的电位U B =0V ,电阻R 接电源电压为-15V ,若二极管的导通压降为0.7V ,输出端F 的电位U F 为: ( C)A .3V B. 0V C. 2.3V D . -16V正确答案是C ,本题涉及的知识点是:二极管优先导通问题。

半导体物理学简明第4章 p-n结2011

半导体物理学简明第4章  p-n结2011

热平衡状态下的p型和n型半导体以及pn结的能带图
西安理工大学电子工程系 马剑平
12
2、热平衡pn结的费米能级
在浓度差引起的扩散与扩散产生的自建电场的共同作用下
电子电流
Jn

n0 q n
E
qDn
dn0 dx

n0

NC
exp(
EC EF kT
)
dn0 n0 ( dEC dEF ) dx kT dx dx
西安理工大学电子工程系 马剑平
(恒定表面杂质浓度和恒定杂质总量两种方法) 扩散法需要在较高温度下操作,而且形成的是渐变式的杂质分布
西安理工大学电子工程系 马剑平
4
3、离子注入法(Ion-implantation technology)
离子注入法采用气相杂质源,在高强度的电磁 场中令其离化并静电加速至较高能量后注入到 半导体适当区域的适当深度,通过补偿其中的 异型杂质形成pn结。与扩散法相比,这种方法 的最大特点是掺杂区域和浓度能够精确控制, 而且杂质分布接近于图4-1所示的突变结。用 离子注入法形成pn结不需要扩散法那样高的温 度,因高能离子注入而受到损伤的晶格也只须 在适当高的温度下退火即可修复,因此不会引 起注入区周边杂质的扩散,是集成电路工艺普 遍采用的掺杂方法。
西安理工大学电子工程系 马剑平
9
空间电荷区-耗尽层的形成
-xp
xn
空间电荷区宽度XD
空间电荷区-耗尽层因为缺少可移动载流子,空间电荷区为高阻区
西安理工大学电子工程系 马剑平
10
二、平衡pn结的
导带 EC
EF EV ● ● ● ● ● ● ● ● ● ● ●
将n型和p型半导体片经过精细加工和活化处理的两个 清洁表面在室温下扣接在一起,然后在高真空和适当 的温度与压力下,令原本属于两个表面的原子直接成 键而将两块晶片结合成一个整体,同时形成pn 结。 直接键合法能形成最接近理想状态的突变结。

(完整版)PN结的形成过程及原理

(完整版)PN结的形成过程及原理

PN结的形成过程及原理
在一块完整的硅片上,用不同的掺杂工艺使其一边形成N型半导体,另一边形成P型半导体,那么在两种半导体的交界面附近就形成了PN结。

PN结是构成各种半导体器件的基础。

在P型半导体和N型半导体结合后,由于N型区内电子很多而空穴很少,而P型区内空穴很多电子很少,在它们的交界处就出现了电子和空穴的浓度差别。

这样,电子和空穴都要从浓度高的地方向浓度低的地方扩散。

于是,有一些电子要从N型区向P型区扩散,也有一些空穴要从P型区向N型区扩散。

它们扩散的结果就使P区一边失去空穴,留下了带负电的杂质离子,N区一边失去电子,留下了带正电的杂质离子。

半导体中的离子不能任意移动,因此不参与导电。

这些不能移动的带电粒子在P和N区交界面附近,形成了一个很薄的空间电荷区,就是所谓的PN结。

空间电荷区有时又称为耗尽区。

扩散越强,空间电荷区越宽。

在出现了空间电荷区以后,由于正负电荷之间的相互作用,在空间电荷区就形成了一个内电场,其方向是从带正电的N区指向带负电的P区。

显然,这个电场的方向与载流子扩散运动的方向相反,它是阻止扩散的。

另一方面,这个电场将使N区的少数载流子空穴向P区漂移,使P区的少数载流子电子向N区漂移,漂移运动的方向正好与扩散运动的方向相反。

从N区漂移到P区的空穴补充了原来交界面上P区所失去的空穴,从P区漂移到N区的电子补充了原来交界面上N区所失去的电子,这就使空间电荷减少,因此,漂移运动的结果是使空间电荷区变窄。

当漂移运动和扩散运动相等时,PN结便处于动态平衡状态。

(完整版)第四章常用半导体--题库

(完整版)第四章常用半导体--题库

第四章常用半导体4.1 半导体的基本知识选择题:1.PN结的基本特性是:( B )A.半导性B.单向导电性C.电流放大性D.绝缘性正确答案是B,本题涉及的知识点是:PN结的基本特性。

2. 半导体中少数载流子在内电场作用下有规则的运动称为:( B )A.扩散运动B.漂移运动C.有序运动D.同步运动正确答案是B,本题涉及的知识点是:PN结的形成相关知识。

3. 在PN结中由于浓度的差异,空穴和电子都要从浓度高的地方向浓度低的地方运动,这就是:( A )A.扩散运动B.漂移运动C.有序运动D.同步运动正确答案是A,本题涉及的知识点是:PN结的形成相关知识。

6. N型半导体和P型半导体是利用了本征半导体的如下哪个特性(C)A.热敏性 B. 光敏性 C. 掺杂性正确答案是C,本题涉及的知识点是:本征半导体特性知识。

7. N型半导体是在本征半导体掺入(A )A.5价元素 B. 3价元素 C. 导电杂质正确答案是A,本题涉及的知识点是:N型半导体的掺杂知识。

8. P型半导体是在本征半导体掺入(B )A.5价元素 B. 3价元素 C. 导电杂质正确答案是B,本题涉及的知识点是:P型半导体的掺杂知识。

9. N型半导体中多数载流子是(A )A.自由电子 B. 空穴 C. 自由电子和空穴 D.电子正确答案是A,本题涉及的知识点是:N型半导体的多数载流子知识。

10. P型半导体中多数载流子是(B )A.自由电子 B. 空穴 C. 自由电子和空穴 D.电子正确答案是B,本题涉及的知识点是:P型半导体的多数载流子知识。

4.2 半导体二极管选择题:4.如图所示电路,输入端A的电位U A=+3V,B点的电位U B=0V,电阻R接电源电压为-15V,若不计二极管的导通压降,输出端F的电位U F为:( A )A.3V B. 0V C. 1.5V D . -16V正确答案是A,本题涉及的知识点是:二极管优先导通问题。

5.如图所示电路,输入端A的电位U A=+3V,B点的电位U B=0V,电阻R接电源电压为-15V,若二极管的导通压降为0.7V,输出端F的电位U F为:( C )A.3V B. 0V C. 2.3V D . -16V正确答案是C,本题涉及的知识点是:二极管优先导通问题。

第四章 pn结..

第四章 pn结..

第4章 pn 结1、对N A =1×1017cm -3,N D =1×1015cm -3的突变pn 结,通过计算比较其制造材料分别为Si 和GaAs 时室温下的自建电势差。

解:pn 结的自建电势)(ln 2iA D D n N N q kT V =已知室温下,0.026kT =eV ,Si 的本征载流子密度310100.1-⨯=cm n i ,代入后算得:eV V D 718.0))100.1(101101ln(026.02101517=⨯⨯⨯⨯⨯=GaAs 的本征载流子密度36101.2-⨯=cm n i ,代入后算得:eVV D 537.1)101.2101101ln(026.061517=⨯⨯⨯⨯⨯=2、接上题,分别对Si 结和GaAs 结求其势垒区中1/2势垒高度处的电子密度和空穴密度。

解:根据式(4-14),该pn 结势垒区中qV D -qV (x )=1/2qV D 处的热平衡电子密度为])(exp[])(exp[)(00kT qV x qV N kT qV x qV n x n DD D n -=-=对于Si : 代入数据计算得3901001.1-⨯=cm n 对于GaAs :代入数据计算得3201046.1-⨯=cm n根据式(4-17),该处的空穴密度为])(exp[])(exp[)(200kT x qV qV N n kT x qV qV p x p D D i D n -=-=对于Si : 代入数据计算得31001092.9-⨯=cm p 对于GaAs :代入数据计算得31001004.4-⨯=cm p3、设硅pn 结处于室温零偏置时其n 区的E C - E F =0.21eV ,p 区的E F -E V =0.18eV 。

(a)画出该pn 结的能带图;(b)求p 区与n 区的掺杂浓度N A 和N D ;(c)确定接触电势差V D 。

解:(b )假定室温下p 区和n 区的杂质都已完全电离,则平衡态费米能级相对于各自本征费米能级的位置可下式分别求得:)exp(kT E E N N F C C D --=;)exp(kT E E N N VF V A --=室温下319319101.1,108.2--⨯=⨯=cm N cm N V C代入数据可得:31519107.8)026.021.0exp(108.2-⨯=-⨯=cm N D代入数据可得:31619101.1)026.018.0exp(101.1-⨯=-⨯=cm N A(c) 接触电势差可表示为2ln i A D D n N N q kT V =代入数据得:eV V D 72.0)100.1(101.1107.8ln 106.1026.0210161519=⨯⨯⨯⨯⨯=-4、一硅突变pn 结的n 区n =10cm ,p =5s ;p 区p =0.1cm ,n =1s ,计算室温任意正向偏压下::(a)空穴电流与电子电流之比;(b)反向饱和电流密度;(c)0.5V 正向电压下的电流密度。

6 第4章 半导体的激发与发光——半导体照明课件PPT

6 第4章 半导体的激发与发光——半导体照明课件PPT
注:声子就是晶格振动的简正模能量量子。
第二节 注入载流子的复合
直接带隙半导体 间接带隙半导体
价带的极大值和导带的极小 价带的极大值和导带的极
值都位于k空间的原点上;
小值不位于k空间的原点上
价带电子跃迁到导带时,只 要求能量的改变,而电子的 准动量不发生变化,称为直 接跃迁;
价带的电子跃迁到导带时 ,不仅要求电子的能量要 改变,电子的准动量也要 改变,称为间接跃迁
(2)热击穿(不可逆)
反向电压
反向电流
结温
热激发
3、PN结的电容效应 在PN结内的耗尽层中,存在相对的正负电荷,根据外加电压
能改变耗尽层的宽度,因而电容量也随之变化,因此PN结具有 的电容效应。
在突变结的情况下:
Cj
C0
(1
V
)
1 2
在缓变结的情况1 3
式中C0是无外加电压时耗尽层的电容量。
I (毫安)
30
正向
20
10
0
0.2
V(伏)
1.0
(2) 反向偏压
在PN结的P型区接电源负极,N型区接电源正极, 叫反向偏压。
E
p型
n型
E阻
阻挡层势垒增大、变宽, 不利于空穴向N区运动,
I 也不利于电子向P区运动,
没有正向电流。 PN结表现 为大电阻。
但是,由于少数载流子 的存在,会形成很弱的反 向电流,这个电流也称为 反向饱和电流。
直接跃迁对应的半导体材料 称为直接禁带半导体, GaAs,GaN,ZnO。
间接跃迁对应的半导体材 料称为间接禁带半导体, 例子:Si,Ge,GaP。
表4-2 直接和间接带隙半导体的理论复合概率(300K)
化合物 GaAs GaSb InP
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空间电荷(space charge) : 由中性区移动到结,会遇到一窄小的过渡区,如左图所示.这 些掺杂离子的空间电荷部分被移动载流子补偿.越过了过渡区域, 进入移动载流子浓度为零的完全耗尽区,这个区域称为耗尽区(空 间电荷区).对于一般硅和砷化镓的p-n结,其过渡区的宽度远比耗 尽区的宽度要小.因此可以忽略过渡区,而以长方形分布来表示耗 尽区,如右图所示,其中xp和xn分别代表p型和n型在完全耗尽区的 宽度。
耗尽区
• 耗尽区(abrupt junction) • 为求解泊松方程式,必须知道杂质浓度分布.需要考虑两 种重要的例子,即突变结(abrupt junction)和线性缓变结 linearly graded junction). • 突变结:如图,突变结是浅扩散或低能离子注入形成的pn结.结的杂质分布可以用掺杂浓度在n型和p型区之间突 然变换来近似表示.
• •

产生-复合和大注入影响 理想的二极管方程式,可以适当地描述锗p-n结在低电流密度时的电流-电压 特性.然而对于硅和砷化镓的p-n结,理想方程式只能大致吻合,因为在耗尽 区内有载流子的产生及复合存在. 首先,在反向偏压下,耗尽区内的载流子浓度远低于热平衡时的浓度.前一 章所讨论的产生和复合过程主要是通过禁带中产生-复合中心的电子和空穴发 射,俘获过程并不重要.因为俘获速率和自由载流子的浓度成正比,而在反 向偏压下耗尽区的自由载流子非常少.工作在稳态下,这两种发射过程交替 地发射电子和空穴。电子-空穴对产生可以由
电流电压特性
• • • • • • • • • • • • • 电流-电压特性: 当在p-n结外加一电压,将会 打乱电子和空穴的扩散及漂移电 流间的均衡. 如中间图所示,在正向偏 压时,外加的偏压降低跨过耗 尽区的静电电势.与扩散电流 相比,漂移电流降低了.由p端 到n端的空穴扩散电流和n端到p 端的电子扩散电流增加了.因 此,少数载流子注入的现象发 生,亦即电子注入p端,而空穴 注入n端.
第四章 pn 结
4.1 基本工艺步骤
• 应用:整流,Байду номын сангаас关,双极晶体管,可控硅 (thyristor)和MOSFET,微波或光电器件 • 制作: • 1)Pn结都是用平面技术(planar technology); • 2)异质结 由两种不同半导体材料形成; • 构成异质结双极型晶体管,量子效应器件 和光电器件等
• 显影: • 紫外光照射后,晶片放入显影剂 (developer)中,发生化学溶解反应。 • 晶片再次被放入烘烤炉内,置120~180℃之 间烘烤20分钟。加强对衬底的附着力和抗 蚀能力。 • 用氢氟酸刻蚀暴露的二氧化硅部分,将硅 露出来。
• 剥离抗蚀剂: • 采用化学溶剂或等离子体氧化系统剥离 (stripped)。 • 为离子注入或扩散准备。
4.1.3扩散或离子注入
• 扩散方法:没有被二氧化硅保护的半导体表面暴 露在相反形态的高浓度杂质中,杂质利用固态扩 散方式进入半导体晶格。 • 离子注入:将欲掺杂的杂质离子加速到一定能级, 注入半导体内部。二氧化硅可作为阻挡层,阻挡 杂质扩散或离子注入。 • P-n结形成: 完成扩散或离子注入后,p-n结形成。 • 横向扩散:被注入的离子横向扩散lateral • Straggle,p型区比开窗宽点。
• • • • • • • • • • • •
对个别的带电载流子 而言,内建电场的方向和 扩散电流的方向相反.图 下方显示,空穴扩散电流 由左至右流动,而空穴漂 移电流因为电场的关系由 右至左移动.电子扩散电 流由右至左流动,而电子 漂移电流移动的方向刚好 相反.应注意由于带负电 之故,电子由右至左扩散 ,恰与电流方向相反.
• 曝光 • 使用UV(ultravoilet),通过对一有图案的 掩膜板的晶片曝光。 • 反应机理:对于被抗蚀剂覆盖的晶片在其 曝光的区域内将依据抗蚀剂的形态进行化 学反应。 • 被暴露在紫外光下的抗蚀剂将进行聚合反 应(polymerized),在随后的刻蚀中保留, 未被曝光的区域会溶解而除去。
电流电压特性
• • • • • • • 在反向偏压下, 外加的电压增加了跨 过耗尽区的静电电势, 如中间图所示.如此 将大大地减少扩散电 流,导致一小的反向 电流.
• 理想电流-电压特性: • 假设满足:①耗尽区为突变边界,且假设在边界之外,半 导体为电中性.②在边界的裁流子浓度和跨过结的静电电 势有关.③小注入情况,亦即注入的少数载流子浓度远小 于多数载流子浓度,即在中性区的边界上,多数载流子的 浓度因加上偏压而改变的量可忽略.④在耗尽区内并 • 无产生和复合电流,且电子和空穴在耗尽区内为常数. • 在热平衡时,中性区的多数载流子浓度大致与杂质浓度相 等,下标0表示热平衡.因此,nn0和np0分别表示为在n 和p侧的平衡电子浓度.故
4.1.4金属化
• 扩散或离子注入完成后,形成欧姆接触及 连线。 • 金属薄膜可以用物理气相沉积或化学气相 沉积形成。
• • • • • • •
热平衡状态下的p-n结 • 耗尽区 • 耗尽层势垒电容 • 电流-电压特性 • 电荷储存与暂态响应 • 结击穿 • 异质结
热平衡状态下的p-n结
• • • • • • • • • • • • • • • p-n结(junction):由p型半导体和n型半导体接触形成的结. p-n结最重要的特性是整流性,即只容许电流流经单一方 向。右图为一典型硅p-n结的电流-电压的特性. 当对p-n结施以正向偏压(p端为 正)时,随着电压的增加电流会 快速增加.然而,当施以反向偏 压时,随反向偏压的增加几乎没 有任何电流,电流变化很小,直 到一临界电压后电流才突然增加 .这种电流突然增加的现象称为 结击穿(junction breakdown).外 加的正向电压通常小于1V,但 是反向临界电压或击穿电压可以 从几伏变化到几千伏,视掺杂浓 度和其他器件参数而定.

得到
电荷存储和暂态响应
电荷存储和暂态响应
结击穿
• • • • • • • • • • • • 雪崩倍增(avalanche multiplication) 雪崩倍增的过程如图所示.在反向偏压下,在耗尽区因热 产生的电子(标示1),由电场得到动能. 如果电场足够大,电子可以获得 足够的动能,以致于当和原子产 生撞击时,可以破坏键而产生电 子-空穴对(2和2’).这些新产生的 电子和空穴,可由电场获得动能, 并产生额外的电子-空穴对(譬如3 和3’).这些过程生生不息,连续 产生新的电子-空穴对.这种过程 称为雪崩倍增.
集成电路(IC)工艺: OXIDATION(氧化) Lithograph(光刻) Ion implant (离子注入) Metallization(金属化)
• 4.1.1氧化 • 依据使用的气体源是干氧气或湿的水蒸气, 二氧化硅的生长方式可分为 • 干氧化:硅片被干氧气氧化;可以用来生 长器件的薄氧化层,有较好的硅-二氧化硅 界面特性; • 湿氧化:硅片被至于高温水蒸气中,氧化 加快,生长速率快,可生长厚氧化层。
• 利用势垒电容-电压曲线求解半导体掺杂基体掺 杂浓度、PN结内建电势的方法。测量杂质分布的 C-V法基本原理。变容器工作原理,突变结、线 性缓变结和超突变结变容器 • 载流子分布特点。超突变结变容器在振荡电路中 应用。 • • 推导理想PN结电流电压方程基本假设及其原因? PN结热平衡条件下和小注入条件下,结两边载流 子换算关系。理想PN结电流电压方程表达式及其 推导过程。PN结反偏及其正偏电压耗尽区边界载 流子浓度与平衡条件下载流子大小关系? • • 为什么对于硅和砷化镓的p-n结实际电流电
4.1.2 光刻
• 平面工艺中被用来确定器件中的p-n结的几 何形状。 • 具体方法是: • 二氧化硅形成后,在其上涂覆一层对紫外 光(UV)敏感的材料(photoresist,光阻, 抗蚀剂) • 将晶片从旋转机上取下,在80~100℃之间 烘烤,以驱除抗蚀剂中的溶剂并硬化抗蚀 剂,加强抗蚀剂与镜片的附着力;
• 杂质分布计算(evaluation of impurity distribution) • 电容-电压的特性可用来计算任意杂质的分布.对p+-n结,其n侧的 掺 • 杂分布如图(b)所示. • 如前所述,对于外加电压增量 • dV, 单位面积电荷的增量dQ 为 • qN(W)dW[即图(b)的阴影区域].其 • 对应的偏压变化为[图(c)的阴影区 • 域]
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能带图(band diagram) : p-n 结形成之前 ,p型和n型半导体材 料是彼此分离的,其 费米能级在p型材料 中接近价带边缘,而 在n型材料中则接近 导带边缘.p型材料 包含大浓度的空穴而 仅有少量电子,但是 n型材料刚好相反。
• 当p型和n型半导体紧密结合时,由于在结上载流子存在大的浓度梯度, 载流子会扩散.在p侧的空穴扩散进入n侧,而n侧的电子扩散进入p 侧. • 原因:当空穴持续离开p侧 • ,在结附近的部分负受主离子 • NA-未能够受到补偿,此乃因受 • 主被固定在半导体晶格,而空穴 • 则可移动.类似地,在结附近的 • 部分正施主离子ND+在电子离开n • 侧时未能得到补偿.因此,负空 • 间电荷在接近结p侧形成,而正 • 空间电荷在接近结n侧形成.此 • 空间电荷区域产生了一电场,其 • 方向是由正空间电荷指向负空间 • 电荷,如图上半部所示.
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当正向偏压 或反向偏压施加 在线性缓变结时 ,耗尽区的宽度 变化和能带图会 和突变结相似. 耗尽区宽度 随(Vbi-V)1/3变化. 如果是正向偏压, V 是正值; 如果 是反向偏压, V 是负值.
耗尽层势垒电容
• 耗尽层势垒电容(depletion layer capdcitance) • 单位面积耗尽层势垒电容定义为: • • • • • • • • 其中dQ是外加偏压变化dV时, 单位面积耗尽层电荷的增量. 右图表示任意掺杂浓度p-n结 的势垒电容.实线代表电压 加在n侧时对应的电荷和电场 分布.如果电压增加了dV的 量,电荷和电场分布会扩张 到虚线的区域.
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