第六章 pn结
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半导体物理_第六章_pn结

Jn dEF dx n n
qDp dEF J p p0 kT dx
电流密度与费米能级的关系 对于平衡的pn结,Jn, Jp均为零,因此,
Jp dEF dx p p
EF=常数
qDp dEF J p p0 kT dx
当电流密度一定时,载流子浓度大的地方, EF随 位置变化小,而载流子浓度小的地方, EF随位置 变化较大。
非平衡载流子的电注入:正向偏压使非平衡载流子进入半导 体的过程。
注入到p区的电子断与空穴复合,电子流不断转化 为空穴流,直到全部复合为止。
扩散电流〉漂移电流
根据电流连续性原理,通过pp’(或nn’)任何一个界 面的总电流是相等的。只是电子电流和空穴电流 的比例不同。 总电流=扩散电流+漂移电流
反向偏移下,非平衡状态 外加反向电场与内建势场方向一致。
1. pp’处注入的非平衡少数载流子浓度:
EFn Ei n p ni exp( ) k0T EFn EFP n p p p ni exp( ) k0T
2
p p ni exp(
Ei EFp k0T
)
在pp’边界处, x=-xp, qV=Efn-Efp,
qV n p ( x p ) p p ( x p ) ni exp( ) k0T
电子电势能-q V(x)由n到p不断升高 P区能带整体相对n区上移。n区能带整体相对p区下移。 直到具有统一费米能级 pn结费米能级处处相等标志pn结达到动态平衡,无扩散、 漂移电流流过。
动态平衡时
本征费米能级Ei的变化与-qV(x)一致
k0T n Dn q
k0T n Dn q
同理,空穴电流密度为:
qV x p ( ) 0 2. 加反向偏压下,如果qV>>k0T, e k0T
第6章pn结ppt课件-PPT精选文档

的 , 电 区 带
E(x) dx = Em W / 2
-xP -xP 0 xn x
第6章 pn结
• •
热平衡态下的p-n结
p-n结空间电荷层、势垒层、内建电场
非平衡态下的p-n结
p-n结的直流伏安特性(整流)
•
pn结电容
势垒电容 扩散电容
p型、n型半导体
•
•
掺杂
掺入(doping)V族元素,P或 As(施主,Donor)形成 n型 (negative)半导体
Si
Si
Si
•
Si
两边的载流子分别往对方扩散 → 电离杂质中心形成空间电荷 → 产生电场 内建电场: n区指向p区,从正 电荷指向负电荷的电场,引起 载流子的漂移运动
p
n
漂移
扩散 导带电子的运动
电场阻挡载流子的扩散 空间电荷层又称为势垒层
空间电荷区
单独的N型和P型半导体是电中性的,当这两种半导体结合形成PN结时, 将在N型半导体和P型半导体的结合面上形成如下物理过程:
称为 约化浓度。
4、pn结接触电势差
最大电场Em在结界面处 p-n结的内建电势VD也就是p型半 导体和n型半导体之间的接触电 势差。
VD = -
p
- -
+ +
n
电 场 E
∫
xn
由 于 从 n 区 指 向 p 区 内 建 电 场 的 不 断 增 强 空 间 电 荷 区 内 电 子 Em 势 能 - q V ( x ) 由 n 区 向 p 不 断 升 高 , 导 致 能 上下移动
s
s
由上式可求出 N 区与 P 区的耗尽区宽度 及 总的耗尽区宽度,
pn结

0.75
(2)对于给定的掺杂浓 度,VBR随二极管中半导 体的禁带宽度而增加。
引起击穿的两种物理机制:雪崩倍增和齐纳过程
雪崩倍增 原因:碰撞电离 并非在VA=-VBR处 突然出现雪崩击穿。 而是在远低于击穿 电压时,部分载流 子能够有机会获得 足够的能量来产生 碰撞电离。引入倍 增系数M。
M I I0
P162页:5.9 一个pn结二极管,其掺杂分布参见图p5.9,且满足公式
N D N A N0[1 exp(ax)]
,其中N0和a为常数。
(a) 简要地描述出耗尽近似。 (b) 根据耗尽近似,画出二极管内电荷密度示意图。 (c) 建立耗尽层内电场的表达式。
(1) 在耗尽层内,净电荷正比于ND-NA 在耗尽层外,净电荷为0 (3)
2
D n dp J p ( x' ) qDP q P i (e qVA / kT 1)e x '/ LP dx' LP N D
J J N ( x p) J P ( x xn )
DN ni 2 DP ni 2 qV A / kT I AJ qA 1 L N L N e A P D N
问:下图是室温下一个pn结二极管内的稳态载流子浓度 图,图上标出了刻度。 (a)二极管是正向还是反向偏置?并加以解释。 (b)二极管准中性区域是否满足小电流注入条件?请解 释你是如何得到答案的。 (c)确定外加电压VA。 (d)确定空穴扩散长度LP。
练习:有一个常用的经验估计数字,即pn结正向压降 每增加0.06V,正向电流要增加10倍,而正向电流增加 1倍,pn结正向电压要增加18mV,试解之。
1、pn结结构
制备pn结二极管的主要工艺步骤简图
(2)对于给定的掺杂浓 度,VBR随二极管中半导 体的禁带宽度而增加。
引起击穿的两种物理机制:雪崩倍增和齐纳过程
雪崩倍增 原因:碰撞电离 并非在VA=-VBR处 突然出现雪崩击穿。 而是在远低于击穿 电压时,部分载流 子能够有机会获得 足够的能量来产生 碰撞电离。引入倍 增系数M。
M I I0
P162页:5.9 一个pn结二极管,其掺杂分布参见图p5.9,且满足公式
N D N A N0[1 exp(ax)]
,其中N0和a为常数。
(a) 简要地描述出耗尽近似。 (b) 根据耗尽近似,画出二极管内电荷密度示意图。 (c) 建立耗尽层内电场的表达式。
(1) 在耗尽层内,净电荷正比于ND-NA 在耗尽层外,净电荷为0 (3)
2
D n dp J p ( x' ) qDP q P i (e qVA / kT 1)e x '/ LP dx' LP N D
J J N ( x p) J P ( x xn )
DN ni 2 DP ni 2 qV A / kT I AJ qA 1 L N L N e A P D N
问:下图是室温下一个pn结二极管内的稳态载流子浓度 图,图上标出了刻度。 (a)二极管是正向还是反向偏置?并加以解释。 (b)二极管准中性区域是否满足小电流注入条件?请解 释你是如何得到答案的。 (c)确定外加电压VA。 (d)确定空穴扩散长度LP。
练习:有一个常用的经验估计数字,即pn结正向压降 每增加0.06V,正向电流要增加10倍,而正向电流增加 1倍,pn结正向电压要增加18mV,试解之。
1、pn结结构
制备pn结二极管的主要工艺步骤简图
半导体物理 第六章 PN结

主要内容:
1、非平衡PN结能带图 2、PN结电流电压方程
1、非平衡PN结
(1)PN 结正偏、反偏
• 平衡PN结
P
N
• 正偏PN结
P
N
• 反偏PN结
P
N
哈尔滨工业大学微电子科学与技术系
(2)非平衡PN能带图
EC
E
n F
空穴 EFP
能量 EV
qVD q(VD-V)
E
p F
电子
EC
能量
EFn
EV
EC
空穴 EFP
扩散电容:
(2)突变结势垒电容
CTA2(NA r 0 N qD)A N V N (D DV)AX rD 0
XD
2r0(NAND)V (DV) qN AND
(3)线性缓变结势垒电容
CT
A3
qjr202 12(VDV)
r0A XD
XD
3
12r0(VD qj
V)
(4)扩散电容
CDa2q(np0Lnk 0Tpn0Lp)exk q p 0TV
x
x
qVD ECn EFn
电子 能量
EVn
哈尔滨工业大学微电子科学与技术系
• 本征费米能级 Ei 随位置 x 的变化
dEi qdV(x)
dx
dx
(3)平衡PN结的载流子分布
n ( xP) n n 0 exp
xp
qV
( x ) qV
k
xn
0
TN
D
ห้องสมุดไป่ตู้
pp0
p(x)
p n 0 expn(x )qV
§6.1 PN结及其能带图
P-N Junction and its energy band diagram
1、非平衡PN结能带图 2、PN结电流电压方程
1、非平衡PN结
(1)PN 结正偏、反偏
• 平衡PN结
P
N
• 正偏PN结
P
N
• 反偏PN结
P
N
哈尔滨工业大学微电子科学与技术系
(2)非平衡PN能带图
EC
E
n F
空穴 EFP
能量 EV
qVD q(VD-V)
E
p F
电子
EC
能量
EFn
EV
EC
空穴 EFP
扩散电容:
(2)突变结势垒电容
CTA2(NA r 0 N qD)A N V N (D DV)AX rD 0
XD
2r0(NAND)V (DV) qN AND
(3)线性缓变结势垒电容
CT
A3
qjr202 12(VDV)
r0A XD
XD
3
12r0(VD qj
V)
(4)扩散电容
CDa2q(np0Lnk 0Tpn0Lp)exk q p 0TV
x
x
qVD ECn EFn
电子 能量
EVn
哈尔滨工业大学微电子科学与技术系
• 本征费米能级 Ei 随位置 x 的变化
dEi qdV(x)
dx
dx
(3)平衡PN结的载流子分布
n ( xP) n n 0 exp
xp
qV
( x ) qV
k
xn
0
TN
D
ห้องสมุดไป่ตู้
pp0
p(x)
p n 0 expn(x )qV
§6.1 PN结及其能带图
P-N Junction and its energy band diagram
第六章pn结

Js
V
pn结的 J-V 曲线
5. 温度对pn结电流密度的影响
J Js e
qV KT
1
Js
qD p Lp
qDn pno n po Ln
Eg KT
对反向电流:
J J s e
T , Js 迅速增大 且 Eg 越大的半导体, Js 变化越块
对正向电流:
2.扩散法
用扩散法制备的p-n结一 般为缓变结,杂质浓度 逐渐变化。
N(x)
NA(x) ND
0
p
xj n 扩散结
x
杂质分布由扩散过 程和杂质补偿决定
线性缓变结:在扩散结中,杂质分布可用 x=xj 处的切线近似表示。 ND-NA
线性缓变结近似
xj
x
扩散结的杂质分布
但对高表面浓度的浅扩散结,用突变结近似 N(x)
ND
0 xj NA
突变结近似
x
扩散结的杂质分布
根据杂质分布
pn结
{
突变结 缓变结
{
合金结 高表面浓度的浅扩散结 (p+n或n+p) 低表面浓度的深扩散结
二、平衡p-n结的特点
1.平衡p-n结的形成
P型材料的多子用ppo表示,少子为npo, N型材料的多子用nno表示,少子用pno表示
J扩
空间电荷 空间电荷区
qV exp( ) 2 KT
四、pn结电容
低频,pn结有整流作用;高频,无整流作用 pn结电容破坏整流特性 pn结电容包括:势垒电容和扩散电容 1. 势垒电容
平衡pn结势垒区
正偏时势垒区变窄
正偏 V , 空间电荷,部分电子和空穴存入势垒区 正偏 V , 空间电荷,部分电子和空穴从势垒区中取出 反偏 V , 空间电荷,部分电子和空穴从势垒区中取出 反偏 V , 空间电荷,部分电子和空穴存入势垒区
V
pn结的 J-V 曲线
5. 温度对pn结电流密度的影响
J Js e
qV KT
1
Js
qD p Lp
qDn pno n po Ln
Eg KT
对反向电流:
J J s e
T , Js 迅速增大 且 Eg 越大的半导体, Js 变化越块
对正向电流:
2.扩散法
用扩散法制备的p-n结一 般为缓变结,杂质浓度 逐渐变化。
N(x)
NA(x) ND
0
p
xj n 扩散结
x
杂质分布由扩散过 程和杂质补偿决定
线性缓变结:在扩散结中,杂质分布可用 x=xj 处的切线近似表示。 ND-NA
线性缓变结近似
xj
x
扩散结的杂质分布
但对高表面浓度的浅扩散结,用突变结近似 N(x)
ND
0 xj NA
突变结近似
x
扩散结的杂质分布
根据杂质分布
pn结
{
突变结 缓变结
{
合金结 高表面浓度的浅扩散结 (p+n或n+p) 低表面浓度的深扩散结
二、平衡p-n结的特点
1.平衡p-n结的形成
P型材料的多子用ppo表示,少子为npo, N型材料的多子用nno表示,少子用pno表示
J扩
空间电荷 空间电荷区
qV exp( ) 2 KT
四、pn结电容
低频,pn结有整流作用;高频,无整流作用 pn结电容破坏整流特性 pn结电容包括:势垒电容和扩散电容 1. 势垒电容
平衡pn结势垒区
正偏时势垒区变窄
正偏 V , 空间电荷,部分电子和空穴存入势垒区 正偏 V , 空间电荷,部分电子和空穴从势垒区中取出 反偏 V , 空间电荷,部分电子和空穴从势垒区中取出 反偏 V , 空间电荷,部分电子和空穴存入势垒区
半导体物理第六章PN结

二、PN结的反向电流
加反向偏压时,外加电场与内 建电场方向相同,增强了势垒区的 电场强度,势垒区加宽、增高,漂 移运动超过了扩散运动。n区中的空 穴(p区中的电子)一旦到达势垒区 边界处,就立即被电场扫向p区(n 区),构成了pn结的反向电流,方 向由n区到p区。
一、PN结的正向电流
多子电流与少子电流的转换
注入的非平衡少子在扩散过程中与多子相遇
中性区 势垒区 扩散区 扩散区 中性区 + p n
而不断复合,经过一个扩散长度后,复合基 本完毕,载流子浓度接近平衡数值。非平衡 少子边扩散边复合的区域称为扩散区,载流 子浓度接近平衡值的区域称为中性区 半导体中的电流主要由多子运载,然而pn结 正向电流是由电注入的非平衡少子引起的。 �非平衡少子被多子复合并非电流的中断, 因为与少子复合的多子是从n区的右边过来的 电子,所以它们的复合正好实现了少子电流 到多子电流的转换,如图c所示。
qV ) k0T
� pn结的正向电流随正向偏压呈指数规律增长。
一、PN结的正向电流
正偏压作用下的能带图
1、由于正偏压的作用,势垒高度下降, pn结不再处于平衡状态,在势垒区和扩散区,电子 准费米能级和空穴准费米能级不一致,而在中性区二者则趋于重合。 �说明通过势垒边界分别注入到两侧的非平衡载流子扩散一段距离后才复合完毕。而中性区 载流子的分布接近热平衡分布,故在中性区,两个准费米能级趋于汇合成统一的费米能级。
qα j x d 2V ( x ) ρ ( x) = − = − dx 2 ε sε 0 ε sε 0
xD 对上式积分,并利用边界条件 ε ⎛ ± ⎜ ⎝ 2
⎞ ⎟ = 0 , 得: ⎠
ε ( x) =
qα j
2ε sε 0x − Nhomakorabea2
第六章 pn结

qV
单向导电性---整流
半导体物理学
34
(4)影响p-n结伏-安特性的主要因素:
产生偏差的原因:
a.正向小电压时忽略了势垒区的复合;正向大电压 时忽略了外加电压在扩散区和体电阻上的压降。 b.在反向偏置时忽略了势垒区的产生电流。
半导体物理学
35
p-n结的直流伏-安特性表明: 1. 具有单向导电性。
半导体物理学
9
刚接触,扩散>>漂移
内建电场
漂移
扩散=漂移 (达到动态平衡)
空间电荷区 Space charge region 阻挡层 耗尽区 Depletion region
半导体物理学
10
2.能带图 (Enery band diagram) EFn高于EFp表明两 种半导体中的电子 填充能带的水平不 同。
实际的PN结是利用掺杂的补偿效应形成的 1. 合金 2.扩散 3.注入 4.外延生长
Alloyed Junctions (合金结) Diffused Junctions (扩散结)
合金温度 降温再结晶
合金法
半导体物理学
2
扩散法
半导体物理学
3
离子注入
半导体物理学
4
外延生长工艺 “外延”指在单晶衬底上生长一层新单晶的技术。新 生单晶层的晶向取决于衬底,由衬底向外延伸而成,故 称“外延层”。
势垒区 VD:接触电势差
半导体物理学
11
3.接触电势差 (The Contact Potential) VD
平衡时
势垒高度
qVD ( EC ) P ( EC )n ( EV ) P ( EV )n
EFn EFp
半导体物理学
单向导电性---整流
半导体物理学
34
(4)影响p-n结伏-安特性的主要因素:
产生偏差的原因:
a.正向小电压时忽略了势垒区的复合;正向大电压 时忽略了外加电压在扩散区和体电阻上的压降。 b.在反向偏置时忽略了势垒区的产生电流。
半导体物理学
35
p-n结的直流伏-安特性表明: 1. 具有单向导电性。
半导体物理学
9
刚接触,扩散>>漂移
内建电场
漂移
扩散=漂移 (达到动态平衡)
空间电荷区 Space charge region 阻挡层 耗尽区 Depletion region
半导体物理学
10
2.能带图 (Enery band diagram) EFn高于EFp表明两 种半导体中的电子 填充能带的水平不 同。
实际的PN结是利用掺杂的补偿效应形成的 1. 合金 2.扩散 3.注入 4.外延生长
Alloyed Junctions (合金结) Diffused Junctions (扩散结)
合金温度 降温再结晶
合金法
半导体物理学
2
扩散法
半导体物理学
3
离子注入
半导体物理学
4
外延生长工艺 “外延”指在单晶衬底上生长一层新单晶的技术。新 生单晶层的晶向取决于衬底,由衬底向外延伸而成,故 称“外延层”。
势垒区 VD:接触电势差
半导体物理学
11
3.接触电势差 (The Contact Potential) VD
平衡时
势垒高度
qVD ( EC ) P ( EC )n ( EV ) P ( EV )n
EFn EFp
半导体物理学
半导体物理学第6章(pn结)

n n p ( x p ) eqVA / kT 1 NA
2 i
2 qV A / kT i
2 i
P
N
n p ( x p ) pn ( xn )
耗尽层边界(续)
N型一侧
n pn ( xn ) eqVA / kT 1 ND
2 i
耗尽层边界处非平衡载流子浓度与 外加电压有关
工艺简介:
♦ 合金法—合金烧结方法形成pn结 ♦ 扩散法—高温下热扩散,进行掺杂 ♦离子注入法—将杂质离子轰击到半导体基片 中掺杂分布主要由离子质量和注入离子的能量 决定(典型的离子能量是30-300keV,注入剂量 是在1011-1016 离子数/cm2范围),用于形成 浅结 杂质分布的简化: ♦突变结 ♦线性缓变结
②平衡p-n结及其能带图: ♦当无外加电压, 载流子的流动终将达到 动态平衡(漂移运动与扩散运动的效果相 抵消, 电荷没有净流动), p-n结有统一的EF (平衡pn结) ♦ 结面附近,存在内建电场,造成能带弯 曲,形成势垒区(即空间电荷区).
热平衡条件
P N Hole
Ec
Ef
Silicon (p-type)
电位V
- - - - - - - - - - - - - - - - - - + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + +
V0
- - - - - -
P型区
空间 电荷 区
2 i
2 qV A / kT i
2 i
P
N
n p ( x p ) pn ( xn )
耗尽层边界(续)
N型一侧
n pn ( xn ) eqVA / kT 1 ND
2 i
耗尽层边界处非平衡载流子浓度与 外加电压有关
工艺简介:
♦ 合金法—合金烧结方法形成pn结 ♦ 扩散法—高温下热扩散,进行掺杂 ♦离子注入法—将杂质离子轰击到半导体基片 中掺杂分布主要由离子质量和注入离子的能量 决定(典型的离子能量是30-300keV,注入剂量 是在1011-1016 离子数/cm2范围),用于形成 浅结 杂质分布的简化: ♦突变结 ♦线性缓变结
②平衡p-n结及其能带图: ♦当无外加电压, 载流子的流动终将达到 动态平衡(漂移运动与扩散运动的效果相 抵消, 电荷没有净流动), p-n结有统一的EF (平衡pn结) ♦ 结面附近,存在内建电场,造成能带弯 曲,形成势垒区(即空间电荷区).
热平衡条件
P N Hole
Ec
Ef
Silicon (p-type)
电位V
- - - - - - - - - - - - - - - - - - + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + + +
V0
- - - - - -
P型区
空间 电荷 区
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正向电流
qV J F exp( ) m k0T
m=1,扩散电流为主;m=2,复合电流为主。
J FD Jr
qV 2ni L p exp( ) 2k 0 T ND X D
扩散电流与复合电流之比和ni及外加电压V有关。 低正向电压下,复合电流占主要地位; 较高正向电压下,复合电流可以忽略。
大注入情况
当电流密度一定的时候,载流子浓度大的地方, EF随位置变化小;载流子浓度小的地方, EF 随 位置变化大。
6.1.4pn结接触电势差
,
平衡pn结的空间电荷区两端间的电势差VD称为 pn 结的接触电势差或内建电势差, qVD 称为 pn 结的势垒高度。
qVD EFn EFp
对于非简并半导体,n区和p区的平衡电子浓度
p( x n ) p n 0
当x=-xp,V(x)=0,p区非平衡多数载流子浓度为
qV p( x p ) pn 0 exp( D ) k 0T
或
p p0 qVD pn 0 exp( ) k 0T
载流子在势垒两边的浓度关系服从玻尔兹曼分布。
利用上述公式计算电势能比 n 区导带底高 0.1eV 的点 x 处的载流子浓度,假设势垒高度为 0.7eV , 则
当x=xn,V(x)=VD,所以
n( xn ) p 区非平衡少数载流子浓 度为
qVD n( x p ) nn 0 exp( ) k 0T
同理,可以求得x点处的空穴浓度为
qV ( x) qVD p( x) pn 0 exp( ) k 0T 当x=xn,V(x)=VD,所以
同理可得注入 n 区边界 nn’ 处的非平衡少数载流 子浓度为
p n ( xn ) p n ( xn ) p n 0 qV p n 0 [exp( ) 1] k 0T
可见注入势垒区边界 pp’ 和 nn’ 处的非平衡少数 载流子是外加电压的函数。以上两式为解连续 性方程的边界条件。
J J s ( qDn n p 0 Ln qDP pn0 ) Lp
2.温度对电流密度的影响很大
Js qDn n p 0 Ln q( Dn )
1 2
n
E Eg 3 ni2 g 3 2 2 T [T exp( )] T exp( ) NA k 0T k 0T
通过耗尽层的电子和空穴为常量,不考虑耗尽 层中的产生和复合作用。 玻耳兹曼边界条件——在耗尽层两端,载流子 的分布满足玻耳兹曼统计分布。
计算电流密度方法
– 根据准费米能级计算势垒区边界 nn’ 和 pp’ 处注入的 非平衡少数载流子浓度 – 以边界 nn’ 和 pp’ 处注入的非平衡少数载流子浓度作 为边界条件,解扩散区中载流子连续性方程,得到 扩散区中非平衡少数载流子的分布 – 将非平衡载流子的浓度代入扩散方程,算出扩散密 度,再算出少数载流子的电流密度 – 将两种载流子的扩散密度相加,得到理想pn结模型 的电流电压方程式
令
Js (
qDP pn0 qV )[exp( ) 1] Lp k 0T
qDP pn 0 ) Lp
理想pn结模型的电流电压方程式(肖克莱方程)
qV J J s [exp( ) 1] k 0T
1.pn结具有单向导电性 正向偏压下,电流密度随电压指数增加,方程 可表示为 qV J J s exp( ) k 0T 反向偏压下
dEi dV ( x) q qE dx dx
带入上式得
dE F J n n n dx 或
Jn dEF dx n n
同理可得
dE F J p p p dx 或
Jp dEF dx p p
对于平衡pn结,电子电流和空穴电流均为0,因 此
dEF 0, E F 常数 dx
根据边界条件
x , pn () p n 0 qV x xn , pn ( xn ) pn 0 exp( ) k 0T
可求得
p n ( x) p n 0 xn x qV pn 0 [exp( ) 1] exp( ) k 0T LP
同理可得
n p ( x) n p 0 xp x qV n p 0 [exp( ) 1] exp( ) k 0T Ln
6.2.1非平衡态下的pn结
外加电压下,pn结势垒的变化及载流子的流动。 外加直流电压下,pn结的能带图
6.2.2理想pn结模型及其电流电压方程
小注入条件——注入的少数载流子浓度比平衡 多数载流子浓度小得多; 突变耗尽层条件——外加电压和接触电势差都 降落在耗尽层上,耗尽层中的电荷是由电离施 主和电离受主的电荷组成,耗尽层外的半导体 是电中性的。因此,注入的少数载流子在 p 区 和n区是纯扩散运动
qDn n p 0 Ln
qV [exp( ) 1] k 0T
若忽略势垒区的产生-复合作用,通过pn结的总 电流密度为
J J p (x p ) J n (x p ) J p ( xn ) J n (x p )
代入可得
J ( qDn n p 0 Ln
qDn n p 0 Ln
– 正向偏压较大时,注入的非平衡少子浓度接 近或超过该区多子浓度的情况。
JF q(2D p )ni Lp qV exp( ) 2k 0T
6.3 pn结电容
6.3.1pn结电容的来源 势垒电容
– 势垒区电荷随外加电压发生变化,这种pn结电容效 应称为势垒电容,用CT表示。
扩散电容
– 扩散区电荷数量随外加电压的变化所产生的电容效 应,称为pn结的扩散电容,用CD表示。
在稳态时,空穴扩散区中非平衡少子的连续性 方程
d Ex pn pn0 d 2 pn dpn Dp p Ex n pn 0 2 dx dx dx p
小注入条件下,电场变化项可以忽略, n 扩散 区|Ex|=0,故
d 2 pn pn pn0 Dp 0 2 p dx
VD与pn结两边的掺杂浓度、温度和材料的禁带 宽度有关。 室温下 – 硅:VD=0.7V, – 锗:VD=0.32V。
6.1.5pn结的载流子分布
取p区电势为 0,势垒区内一点 x的电势 V(x) ,对 应电势能为E(x) = -qV(x),势垒区边界xn处的n区 电势最高为VD,对应电势能E(xn) = Ecn = -qVD。
小注入条件下,x=xn处,空穴的扩散流密度
dpn ( x) J p ( xn ) qDp dx qDP p n 0 qV [exp( ) 1] Lp k 0T
x xn
同理,x=-xp处,电子的扩散流密度
J n ( x p ) qDn dn p ( x) dx
x x p
6.1.2空间电荷区
p型半导体与n型半导体接触面,漂移运动与扩 散运动达到平衡,形成稳定的空间电荷区,宽 度保持不变。称为热平衡态下的pn结。
6.1.3 pn结能带图
dn J n nq n E qDn dx 可得 k0T d J n nq n [ E (ln n)] q dx
一次积分边界条件
0 x x p dV2 ( x) E ( xn ) 0 dx x xn E ( x p ) dV1 ( x) dx
因为 所以
E F Ei n ni exp[ ] k 0T
E F Ei ln n ln ni k 0T
d 1 dEF dEi (ln n) ( ) dx k0T dx dx
则
1 dEF dEi J n nq n [ E ( )] q dx dx
而本征费米能级的变化与电子电势能的变化一 致,所以
因为
p p ( x p ) p p0
p p0 n p0 ni2
代入可得
qV qVD qV n p ( x p ) n p 0 exp( ) nn0 exp( ) k 0T k 0T
由此注入p 区边界pp’ 处的非平衡少数载流子浓 度为
n p ( x p ) n p ( x p ) n p 0 qV n p 0 [exp( ) 1] k 0T
2.势垒区的复合电流
在正向偏压下,从 n 区注入 p 区的电子和从 p 区 注入 n 区的空穴,在势垒区内复合了一部分, 构成另一股正向电流,称为势垒区复合电流。
J F J FD D p ni XD qV qV J r qni [ exp( ) exp( )] p ND k 0T 2 p 2k 0 T
对于非简并材料
2(m ) n( x) 4 E ( x) h
* n 3 3 2 1 EF E exp( )[E E ( x)] 2 dE k 0T
令 Z [ E E( x)]/(k0T ) 则上式变为
2(m ) n( x) 4 h
* n 3 3 2
( k 0T )
3
2
E F E ( x) 12 Z exp( ) Z e dZ 0 k 0T
E F E ( x) n( x) N c exp( ) k 0T
因为E(x) = -qV(x)
nn 0 E F E ( x) N c exp( ) k 0T
而Ecn= -qVD,所以
Ecn E ( x) qV ( x) qVD n( x) nn 0 exp( ) nn 0 exp( ) k 0T k 0T
微分电容
dQ C dV
6.3.2突变结的势垒电容 1.突变结势垒区中的电场、电势分布
突变区电中性条件 qNA x p qND xn
突变结势垒区内的泊松方程
d 2V1 ( x) qN A ( x x 0 ) p r 0 dx2 2 d V2 ( x ) qN D ( 0 x x ) n r 0 dx2