半导体物理 第六章 pn结

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半导体物理基础(6)PN结

半导体物理基础(6)PN结
外加电场与内建电场方向相反,削弱了内建电场,因而使势 垒两端的电势差由VD减小为(VD-Vf),相应地势垒区变薄。
XD
VD
(
q
2 r
0
)(
NA ND NAND
)
由于电场作用而使非平衡载流子进入半导体的过程称为-电注入
np0
nn0
Space charge region
Diffusion region
1. Alloyed Junctions (合金结)
合金温度
降温再结晶
2. Diffused Junctions (扩散结)
Conceptual example of the use of photolithography to form a pn junction diode.
3. Ion Implantation (离子注入)
p x pn0e k0T
I-V characteristic of a p-n junction
现假设:
1. 势垒区的自由载流子全部耗尽,并忽略势垒区中 载流子的产生和复合。
2. 小注入:注入的少数载流子浓度远小于半导体中 的多数载流子浓度。在注入时,扩散区的漂移电场 可忽略。
(1) 正向偏置 ( Forward bias)
刚接触,扩散》漂移
内建电场
漂移 扩散=漂移
(达到动态平衡)
漂移运动
P型半导体
---- - - ---- - - ---- - - ---- - -
内电场E N型半导体 + +++++ + +++++ + +++++ + +++++

半导体物理基础(6)PN结

半导体物理基础(6)PN结

n p
U max
N t Cni (e 2(e
qV k 0T
1)
qV 2 k 0T
1)
空间电荷区的产生电流
J G qGXD
N t C (np ni2 ) U Et Ei n p 2ni ch kT 0
qni X D 2
Et Ei
ni n, p
ni U 2
ni G 2
大注入 扩散区产生内建电场
注入p+-n结的n侧的空穴及其所造成的电子分布
p-n结的直流伏-安特性表明: 1. 具有单向导电性。 2. 具有可变电阻性。 p-n结的交流特性表明: p-n结还具有可变电容的性质 特别是在高频运用时,这个电容效应更为显著。
4. Epitaxial Growth (延生长) 外延(简称Epi)工艺是指在单晶衬底上生长
一层跟衬底具有相同晶格排列的单晶材料
方法: 分子束外延(MBE) 超高真空化学气相沉积(UHV/CVD)
常压及减压外延(ATM & RP Epi)
缓变结与突变结
(平衡状态下的结) 1 空间电荷区(Space charge region)的形成
J Jn J p
考虑-xp截面:
J J n ( xP ) J P ( xP )
忽略了势垒区载流子的产生和复合:
J J n ( xP ) J P ( xn )
Dp dpx J p ( x) qDp q px dx Lp
J p xn q
Dp Lp
2
1
3
其中 :
刚接触,扩散》漂移
内建电场
漂移
扩散=漂移
(达到动态平衡)

半导体物理_第六章_pn结

半导体物理_第六章_pn结

Jn dEF dx n n
qDp dEF J p p0 kT dx
电流密度与费米能级的关系 对于平衡的pn结,Jn, Jp均为零,因此,
Jp dEF dx p p
EF=常数
qDp dEF J p p0 kT dx
当电流密度一定时,载流子浓度大的地方, EF随 位置变化小,而载流子浓度小的地方, EF随位置 变化较大。
非平衡载流子的电注入:正向偏压使非平衡载流子进入半导 体的过程。
注入到p区的电子断与空穴复合,电子流不断转化 为空穴流,直到全部复合为止。
扩散电流〉漂移电流
根据电流连续性原理,通过pp’(或nn’)任何一个界 面的总电流是相等的。只是电子电流和空穴电流 的比例不同。 总电流=扩散电流+漂移电流
反向偏移下,非平衡状态 外加反向电场与内建势场方向一致。
1. pp’处注入的非平衡少数载流子浓度:
EFn Ei n p ni exp( ) k0T EFn EFP n p p p ni exp( ) k0T
2
p p ni exp(
Ei EFp k0T
)
在pp’边界处, x=-xp, qV=Efn-Efp,
qV n p ( x p ) p p ( x p ) ni exp( ) k0T
电子电势能-q V(x)由n到p不断升高 P区能带整体相对n区上移。n区能带整体相对p区下移。 直到具有统一费米能级 pn结费米能级处处相等标志pn结达到动态平衡,无扩散、 漂移电流流过。
动态平衡时
本征费米能级Ei的变化与-qV(x)一致
k0T n Dn q
k0T n Dn q
同理,空穴电流密度为:
qV x p ( ) 0 2. 加反向偏压下,如果qV>>k0T, e k0T

半导体物理 第六章 PN结

半导体物理 第六章  PN结
主要内容:
1、非平衡PN结能带图 2、PN结电流电压方程
1、非平衡PN结
(1)PN 结正偏、反偏
• 平衡PN结
P
N
• 正偏PN结
P
N
• 反偏PN结
P
N
哈尔滨工业大学微电子科学与技术系
(2)非平衡PN能带图
EC
E
n F
空穴 EFP
能量 EV
qVD q(VD-V)
E
p F
电子
EC
能量
EFn
EV
EC
空穴 EFP
扩散电容:
(2)突变结势垒电容
CTA2(NA r 0 N qD)A N V N (D DV)AX rD 0
XD
2r0(NAND)V (DV) qN AND
(3)线性缓变结势垒电容
CT
A3
qjr202 12(VDV)
r0A XD
XD
3
12r0(VD qj
V)
(4)扩散电容
CDa2q(np0Lnk 0Tpn0Lp)exk q p 0TV
x
x
qVD ECn EFn
电子 能量
EVn
哈尔滨工业大学微电子科学与技术系
• 本征费米能级 Ei 随位置 x 的变化
dEi qdV(x)
dx
dx
(3)平衡PN结的载流子分布
n ( xP) n n 0 exp
xp
qV
( x ) qV
k
xn
0
TN
D
ห้องสมุดไป่ตู้
pp0
p(x)
p n 0 expn(x )qV
§6.1 PN结及其能带图
P-N Junction and its energy band diagram

半导体物理学第六章1

半导体物理学第六章1

⎡ ⎢⎣ E
+
1 q
( dEF dx

dEi dx
⎤ )⎥⎦
Jn
=
nμn
dEF dx
同理:
Jp
=
pμ p
dEF dx
(6-8)
(6-7)
以上两式说明通过pn结的电流密度与费米能级的变化
有关,对于平衡p-n结,Jn、Jp均为零
所以可推得:dEF = 0, 即费米能级为常数,各处相等 dx
4 平衡pn结的接触电势差
N ( x) N A ( x) ND
x < xj, NA > ND x > xj, NA < ND
具有上述杂质分布的pn结称为缓变结。
xj
x
若净杂质分布是随距离线性变化 的,则称为线性缓变结
ND − NA = α j(x − xj)
小结
合金结和高表面浓度的浅扩散结一般可认为是突 变结。注入结也可看做突变结。
Si02
扩散P型杂质
P
N-硅
N-硅
N
PN结的制作方法
PN结的制作方法—离子注入法:FET中的二极管
Si02
注入P型杂质
P
N-硅
N-硅
N
PN结的制作方法—外延生长法:如LED,LD, 高频晶体管
Si02
P型杂质
P
N-硅
N-硅
N
PN结的杂质分布
①突变结杂质分布:在pn结交界面处,杂质浓度 由NA(p型)突变为ND(n型)。
EV
pn结热平衡的标准为各区费米能级处处相等,净 电流为0,这一结论还可以从电流密度方程导出
设流过pn结总电子电流密度为Jn,假定电场E沿x方向, 结区电子浓度n只随x变化:

半导体物理学第6章(pn结)

半导体物理学第6章(pn结)

Ei Ev
Ec Ei
Silicon (n-type)
Ef
Ev
热平衡条件
内建电势
内建电势
PN结的内建电 势决定于掺杂 浓度ND、NA、 材料禁带宽度 以及工作温度
③接触电势差: ♦ pn结的势垒高度—eVD 接触电势差—VD ♦ 对非简并半导体,饱和电离近似,接触 电势为:
kT nn 0 kT N D N A VD ln ln 2 e np0 e ni


④ 内部电场——由空间电荷区(即PN结的交界面两侧 的带有相反极性的离子电荷)将形成由N区指向P区的电 场E,这一内部电场的作用是阻挡多子的扩散,加速少子 的漂移。
⑤ 耗尽层——在无外电场或外激发因素时,PN结处于 动态平衡没有电流,内部电场E为恒定值,这时空间电荷 区内没有载流子,故称为耗尽层。
准中性区载流子浓度
理想二极管方程
求解过程
准中性区少子扩
散方程 求Jp(xn) 求Jn(-xp) J= Jp(xn)+ Jn(-xp)
理想二极管方程(1)
新的坐标:
d pn pn 0 Dp 2 dx' p
2
-xp
xn
x
X’
边界条件:
0
pn ( x' ) 0 ni2 qVA / kT pn ( x' 0) e 1 ND
图629正向电流一开始就随正向电压的增加而迅速上升达到一个极大峰值电流i随后电压增加电流反而减少达到一个极小谷值电流i当电压大于谷值电压后电流又随电压而上升图6270点平衡pn结1点正向电流迅速上升2点电流达到峰值3点隧道电流减少出现负阻4点隧道电流等5点反向电流随反向电压的增加而迅速增适当波长的光照射到非均匀半导体上由于内建场的作用半导体内部可以产生电动势光生电压光生伏特效应是内建场引起的光电效应

半导体物理p-n结

半导体物理p-n结

6.2 例题
例1. Si p-n结参数如下:ND=1016cm-3,
NA=5×1018cm-3,p-n结截面积A=0.01cm2,n= p
J
J
s
[exp(
qV k0T
)
1]
6.2.3 理想p-n结的电流电压关系
讨论:
1.pn结具有单向导电性
正向偏压下,电流密度随电压指数 增加,方程可表示为
J
Js
exp(qV k0T
)
反向偏压下
q J J s (
反向饱和电流密度
Dn n Ln
p0
qDP pn0 ) Lp
36
2021/6/30
20
2021/6/30
6.2.1 p-n结电场和电势
电势分布
21
2021/6/30
1.单边突变结的VD随低掺杂一侧 的杂质浓度的增加而升高。 2.单边突变结的XD随轻掺杂一侧
6.2.1 p-n结电场和电势 的杂质浓度增加而下降。
讨论:
•在x=-xp处, V存在极小值,曲线上弯。 •或x=xn处,V存在极大值,曲线下弯。 •曲线由两段抛物线组成。 •在x=0处,V连续。
2
2021/6/30
引言
6.1 p-n结及其能带图 6.2 p-n结电流电压特性 6.3 p-n结电容 6.4 p-n结击穿 6.5 p-n结隧道效应
3
2021/6/30
6.1 p-n结及其能带图
6.1.1 p-n结的形成及杂质分布
p型半导体和n型半导体结合,在 二者的交界面形成的接触结构, 就称为p–n结。
p(x)
pp0
exp[ qV (x)] k0T
n(
x)

2012_半导体物理_6_pn结-2014-05-06

2012_半导体物理_6_pn结-2014-05-06
Jn nqn Ε q1 d d ExF-d d Exi
半导体物理学 第6章 pn 结
SCNU 光电学院 14
载流子的电流密度
本征费米能级的变化与电子势能的变化一致:
dEi dx
-qdVd( xx)q(Ex)
J
n
d
EF
dx
nn
dE F dx
Jn nn
对于空穴:
J
p
n p
dE F dx
结中,杂质浓度从p区到n区是逐渐变化的,通常 称为缓变结。
半导体物理学 第6章 pn 结
SCNU 光电学院 5
缓变结
设pn结的位置在x=xj ,则突变结的杂质分 布可以表示为:
半导体物理学 第6章 pn 结
SCNU 光电学院 6
线性缓变结
在扩散结中,若杂质分布可用x=xj处的切线近似表示,则 称为线性缓变结。线性缓变结的杂质分布可表示为: ND-NA=aj(x-xj)
第6章 p n 结
本章重点 概念
pn结 pn结的几个重要性质:电流电压特 性、电容效应、击穿特性等。
pn结的定义
定义:在一块完整的半导体晶片(Si、Ge、GaAs 等)上,用适当的掺杂工艺使其一边形成n型半导 体,另一边形成p型半导体,则在两种半导体的交 界面附近就形成了pn结。
pn 结是是很多半导体器件如结型的晶体管、集成 电路等的心脏(基础结构)。。
势垒区中势能比n区导带底高0.leV处,价带空穴浓度为p 区多数载流子浓度的10-10倍,而导带电子浓度为n区多数 载流子浓度的1/50。
在室温附近,势垒区中的杂质虽然已经完全电离,但是载 流子浓度相比n区和p区的多数载流子浓度却小得多,好像 已经耗尽一样。
势垒区也称为耗尽区,通常认为其中载流子浓度很小,可 以忽略,所以空间电荷密度就等于电离杂质浓度。
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nn 0 1 ln ( EFn EFp ) n p 0 k0T
nn 0 1 ln ( EFn EFp ) n p 0 k0T
nn 0 N D , n p 0
ni NA
2
qVD=EFn-EFp
k0T nn 0 1 VD ( EFn EFp ) (ln ) q q n p0
6.1.4
VD称为pn结的接触电势差或内建 电势差. qVD为pn结的势垒高度. 平衡时pn结的费米能级处处 相等. qVD=EFn-EFp nn0、np0分别为平衡时n、p区 的电子浓度
EFn Ei nn 0 ni exp( ) k0T
n p 0 ni exp( EFp Ei k0T )
外加正向偏 压下,非平 衡少数载流 x p x 子在两边扩 qV 同理: n p ( x) n p 0 n p 0 [exp( ) 1] exp( ) 散区的分布 k0T Ln
xn x qV pn ( x) pn 0 pn 0 [exp( ) 1] exp( ) k0T Lp
正向偏移下,非平衡状态
N区电子扩散 向P区; P 区空穴扩散 向N区
PP’处电子浓度〉P区空穴浓度, 形成向P区的电子扩散流。
非平衡少子(电子或空穴)在扩散过程中, 不断与多子复合,直到复合完毕,这段 扩散过程称为扩散长度。
一定正向偏压下,单位时间从n区扩散到pp’边界的电子 浓度时一定的,并在p区形成稳定分布(空穴一样)。 非平衡载流子的电注入:正向偏压使非平衡载流子 进入半导体的过程。
产生漂移电流
6.1.3
电子从费米能级高的n区流 向费米能级低的p区, 空穴从p流到n区。
最后,Pn具有统一费米能级EF,
EFn不断下移,EFp不断上 Pn结处于平衡状态。 移,直到EFn=EFp,
能带发生整体相对移动与pn结空 间电荷区中存在内建电场有关。
随内建电场(np)不断增大, V(x)不断降低,
1. pp’处注入的非平衡少数载流子浓度:
EFn Ei n p ni exp( ) k0T
Pp ni exp( Ei EFp k0T )
EFn EFP n p p p ni exp( ) k0T
2
在PP’边界处, x=-xp, qV=Efn-Efp,
qV n p ( x p ) p p ( x p ) ni exp( ) k0T
使漂移电流〉扩散电流
少数载流子的抽取或吸出:n区边界nn’处的空穴被 势垒区强场驱向p区, p区边界pp’处的电子被驱向n 区。
反向电流= nn’区少数载流子电流+pp’少数载流子电流
2. 外加直流电压下,pn结的能带图
外加正向电压下,p、n区均有非平衡少子注入,必须 用准费米能级EFn、EFp代替平衡时的统一费米能级
Jn dEF dx n n
qDp dEF J p p0 k T dx
电流密度与费米能级的关系 对于平衡的pn结,Jn, Jp均为零,因此,
Jp dEF dx p p
EF=常数
qDp dEF J p p0 k T dx
当电流密度一定时,载流子浓度大的地方, EF随 位置变化小,而载流子浓度小的地方, EF随位置 变化较大。
在n区内部:x>>Lp处
xn x exp( )0 Lp
则pn ( x) pn 0
xn x qV pn ( x) pn 0 pn 0 [exp( ) 1] exp( ) k0T Lp
2.外加偏压下电流密度的关系
小注入时,耗尽层外的扩散区不存在电场, 在X=Xn处,空穴扩散电流密度为
3. 正向偏压下,势垒降 低qV;
4. qV=Efn-Efp;
5. Efn位置高于 EFP
反向偏压下pn结的能带结构
能带特征:
EFn、EFP也发生了偏离,但 EFP位置高于 Efn ;
6.2.2 理想pn结模型及其电流、电压方程
理想pn结模型: (1)小注入; (2)突变耗尽层条件-外加电压和接触电势差都降落 在耗尽层,耗尽层外是电中性的,注入的少数载流 子做纯扩散运动; (3)通过耗尽层的电子、空穴电流为常数,忽略耗尽 层中载流子的产生及复合作用; (4) 玻耳兹曼边界条件:在耗尽层两端,载流子分 布满足玻耳兹曼统计分布。
电子电势能-q V(x)由n到p不断升高 P区能带整体相对n区上移。 n区能带整体相对p区下移。 直到具有统一费米能级 Pn结费米能级处处相等标志pn结达到动态平衡,无扩散、 漂移电流流过。
动态平衡时
本征费米能级Ei的变化与-qV(x)一致
k0T n Dn q
k0T n Dn q
同理,空穴电流密度为:
qV qV qVD pn ( xn ) pn 0 exp( ) p p 0 exp( ) k0T k0T
qV pn ( xn ) pn ( xn ) pn 0 p p 0 [exp( ) 1] k0T
非平衡少数载流子浓度是电压的函数。
稳态时,非平衡少数载流子的连续性方程
x x pn ( x) pn ( x) pn 0 A exp( ) B exp( ) Lp Lp
边界条件:x, pn()=pn0, X=xn,
qV pn ( xn ) pn 0 exp( ) k0T
xn qV A pn 0 [exp( ) 1] exp( ), k0T Lp B0
qV ( x) qVD nn 0 exp( ) k0T
当 X=Xn时,V(x)=VD,
n(x)=nn0
当 X=-Xp时,V(x)=0, n(-xp)=nn0
n( x p ) n p 0
qVD nn 0 exp( ) k0T
n(-xp)P区的少数载流子浓度。
X点空穴浓度为,
qVD qV ( x) p x pn 0 exp( ) k0T
第六章 pn结

本章主要内容
6.1
pn结及其能带图;
6.2 pn结电流、电压特性;
6.3 pn结电容;
6.4 pn结击穿特性; 6.5 pn隧道特性;
Pn相关器件认识
二极管 整流桥
主要面向计算机主板、硬盘驱 动器、手机充电器、紧急照明 以及笔记本电脑的背光照明等 应用。
蓝紫光半导体
太阳能电池
2
由于p p ( x p ) p p 0 , p p 0 n p 0 ni
2
ni ni qV qV n p ( x p ) exp( ) exp( ) p p ( x p ) k0T p p0 k 0T
2
2
qV n p 0 exp( ) k0T
qV qVD nn 0 exp( ) k0T
n( x p ) n p 0
qVD nn 0 exp( ) k0T
pp’边界注入的非平衡少数载流子浓度为
n p ( x p ) n p ( x p ) n p 0
qV n p 0 [exp( ) 1] k0T
非平衡少数载流子浓度是电压的函数。
同理,nn’边界注入的非平衡少数载流子浓度为
讨论:
xn x qV pn ( x) pn 0 pn 0 [exp( ) 1] exp( ) k0T Lp
xp x qV 当 V一定,在 n p ( x) n p 0 n p 0 [exp( ) 1] exp( ) k0T Ln x=xn 和x=-xp边 界处 1. 非平衡少数载流子浓度一定,在扩散区形成稳定扩 散,按指数规律衰减。
d E x pn pn 0 d pn d 2 p Dp p Ex n pn 0 2 dx dx dx p
小注入时 d E x / dx很小,可略去。
N型扩散区Ex=0 连续性方程变为:
d 2 p p n p n 0 Dp 0 2 dx p
方程的通解为:
x x pn ( x) pn ( x) pn 0 A exp( ) B exp( ) Lp Lp
n p ( x) n p 0
xp x qV n p 0 [exp( ) 1] exp( ) k0T Ln
理想PN 结,忽略势垒区内的复合-产生作用, 通过pp’界面的空穴电流密度为Jp(-xp)=通过nn’’界面 的空穴电流密度为Jp(xn);
注入到p区的电子断与空穴复合,电子流不断转化 为空穴流,直到全部复合为止。 根据电流连续性原理, 通过pp’(或nn’)任何一 个界面的总电流是相 等的。
总电流=扩散电流+漂 移电流
扩散电流〉漂移电流
反向偏移下,非平衡状态
外加反向电场与内建势场方向一致。
现象:势垒区电场增大,势垒区空间电荷增大; 宽度增大; 势垒高度升高(高度从qVD升高到q(VD+V);
能带特征:
1. EFp 在p区及势垒
区为水平线,在空 穴扩散区(nn’到Lp 区)为斜线;
2. EFn 在n区及势垒 区为水平线,在电 子扩散区(pp’到Ln 区)为斜线;
EFp 、Efn在扩散区为斜线的原因:由于复 合,存在浓度梯度,电子、空穴浓度逐渐 减小
正向偏压下的特征: 1. P、n区具有各自的费米 能级Efn、Efp; 2. 有净电流流过pn结;
dpn ( x) J p ( xn ) qDp dx
x xn

qDp pn 0 Lp
qV [exp( 1] k 0T
同理,在X=-Xp处,电子扩散电流密度为
J n ( x p ) qDp
dnp ( x) dx
x x p

qDn n p 0 Ln
qV [exp( 1] k 0T
高温熔融的铝冷却后,n型硅片 上形成高浓度的p型薄层。
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