密西根科技公司传感器资料
微机电系统
微机电系统制造工艺史微机电系统（Micro Electro-Me-chanical Systems，MEMS）是指可批量制作的，集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。
MEMS是随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展起来的。
微机电系统是微米大小的机械系统，其中也包括不同形状的三维平板印刷产生的系统。
这些系统的大小一般在微米到毫米之间。
在这个大小范围中日常的物理经验往往不适用。
比如由于微机电系统的面积对体积比比一般日常生活中的机械系统要大得多，其表面现象如静电、润湿等比体积现象如惯性或热容量等要重要。
它们一般是由类似于生产半导体的技术如表面微加工、体型微加工等技术制造的。
其中包括更改的硅加工方法如压延、电镀、湿蚀刻、干蚀刻、电火花加工等等。
①微机电系统制造发展历程：19世纪照相制版;1951年显像管遮蔽屏(美国RCA公司)(光学应用);1952年表面微加工专利2749598(美);1954年压阻效应;1962年晶体的异向腐蚀;1963年半导体压力计(日本丰田中央研究所);1967年振动门晶体管(美国Westinghouse公司)(牺牲层腐蚀);1968年阳极键合(美国Mallory公司);1969年基于掺杂浓度的腐蚀;1970年硅微电极(斯坦福大学);1973年内窥镜用硅压力传感器(斯坦福大学);1974年集成气相质谱仪(斯坦福大学);1979年集成压力传感器(密西根大学);1982年LIGA工艺(德国原子力研究所);1986年硅反馈式加速度计(瑞士CSEM);1986年集成流量控制器(日本东北大学);1987年微齿轮等(美国加州大学伯克利分校，贝尔研究所);1987年微静电微马达(加州大学伯克利分校，Yu-Chong Tai，Long-Sheng Fan)。
发展阶段：硅微传感器阶段：1963年日本丰田研究中心制作出硅微压力传感器。
RHM0400MP101S2B6100传感器
美国MTS位移传感器美国MTS位移传感器系统公司成立于1951年，并迅速发展成为力学测试与机械模拟系统和工业自动化测量的市场领导者。
美国MTS位移传感器系统公司是市场上提供磁致伸缩（MagnetoSTrictive）位移测量技术的开拓者，其创新科技和技术支援使 MTS 公司一直处于市场的领导地位，且在多个国家设立了分支机构或办事处，并在中国设立了广州南创传感器事业部，可为用户的实验和生产提供最佳的服务与解决方案。
MTS公司生产的 Tempo Sonics 磁致伸缩线性位移传感器适用于多种不同的工业自动化行业，为工业界对精确测量的要求提供创新和可靠的优质选择。
从70年代开发至今，已有超过一百万个传感器安装在不同的工业环境里。
美国MTS位移传感器代表型号如下：RHM0400MP101S2B6100LHAT005M02002R2LHAT007M02002R2LHAT005M03002R2LHAT005M03502R2LHAT007M03502R2LHAT005M05002R2LHAT005M05502R2LHAT005M06002R2201542-2美国MTS位移传感器垫片400633RHM2600MD531P102RHM0900MD531P102RHM0400MD531P102RHM0460MD531P102201542201554RFM2745MD601A01美国MTS位移传感器接头加电缆560700带15m电缆RHM0200MD601A01RHM0200MP021S1G5100RHM0335MP021S1G8100RHM0350MP021S1G3100RHM0350MP021S1G4100RHM0350MP021S1G5100RHM0515MP021S1G5100RHM0550MP021S1G6100RHM0820MP021S1G6100RHM0860MP051S1G6100RHM0900MP021S1G6100RHM1000MP021S1G5100RHM1200MP021S1G5100RHM0550MP051S1G5100RHM0480MD701S1G6100RHM0085MH051A01RHM0400MD511C202211RHM1260MR021A01RPS1180MR021A01GHM0800MD601A0GHM0650MD601A0美国MTS位移传感器D60配对母接头 560700 GHM1035MD601A0RHS1200MP101S2G6100RHS1000MP101S2G6100RHS0900MP101S2G6100GHM0505MR021A0RPS0800MD531P102美国MTS位移传感器特殊包装费RHM0100MP101SB6100RHM1250MP101SB6100RHM0665MP101SB6100RHM0370MP101S2B6100RHM0075MP021S2G1100EPV1510MD601A0接头560701磁铁252182EPL0600MD601A0RHM0100MD701S1G1100D70接头 560701E10电缆10m 530026美国MTS位移传感器软件编程包253135-1 RHM0205MT01AS1G1100RHM1200MP051S1G6100RHM1000MP051S1G6100RHM1620MP051S1G6100LMMD600M01002R2RHM0900MP151S3B6105RHM0700MP101S3B1105RHM0480MP101S3B6105RHM0460MP151S3B2105RHM0400MP101S3B1105RHM0370MP101S3B6105RHM0340MP101S3B6105RFM4270MR021A01RHM0515MP071S1G8101RHM1045MP071S1G6100RHM1470MP071S1G6100RHM1200MD531P102D6025P0RHM0365MR071A01RHM0160MP071S1G6100252887400802美国MTS位移传感器RHM0700MF051A11 RHM0110MD621C101211??RHM0130MD541C304211RPM0100MD541C304211RHM0250MD621C101211RPM0250MD541C304211RHM0200MD701S2B1100RPM0600MD701S2B1100RPM0300MD541C304211RPM3500MD701S2B1100RHM0300MD621C101211RHM0100MD621C101211ERM0850MD601A01RHM0075MP051S2G6100RHM0150MP021S2G1100RHM2065MP101S1G1100RHM0380MR031A01RHM0900MR031A01RHM0200MR021A01RHV0780MP101S1G1100美国MTS位移传感器延长线缆D7005P0 201542-2RPS0500MD601A01RHM0300MD601A01RHM0380MR021A01RHM0920MR021A01RHM0970MR051A01RHM0570MR051A01RHM0570MR051A01RHM1580MP301S3B6105RHM1500MP071S3B6105RHM1100MP101S3B6105RHM0520MP071S3B6105RHM0800MN051S1G2100RPI0400MD801S2G5102RPI0400MD801S2G5100美国MTS位移传感器RHM0505ME021S1G4100 RHM0625ME021S1G4100RHM0955ME021S1G4100RPS1500MF101A01延长拉杆401768-3公制M6球窝头拉杆套筒M5拉杆球窝头RHM0375MP101S1G6100RHM0150MP051S1G8101RHM0955MD601A01GHM0405MR021A0RHM1180MR201A01RHM0660MR201A01RHS0520MP101S2G1100RPK0750MD701S2G2100RFM(C)0550MD701S2G2100RPK3000MD701S2G2100GHM0890MD602A0GHM0890MD601A0RPS1600MD701S2G1100RPS0700MD531P102RPS0300MD531P102GHM0460MR021A0GHM0650MR021A0GHM0655MR021A0GHM0655MR022A0RHM0655MR021A01美国MTS位移传感器RHM0150MP021S2G1100 ERM1000MD601A0RHV0780MP101S1G1100RHM0300MP101S1G1100ERM0330MD601A0EPS0720MD601A0GHA0860MRR8R01RHM2400MD601A01RHM0025MP031S1B6100RHM0700MD701S1G1100GBF0050MD601A0EB342-0101RHV0200MP101S1B8100 402316美国MTS位移传感器磁环400533 RHM0200MD531P102RHM0100MD701S1G8100RHM0110MD701S1G8100RHV0780MP101S1G1100RHM0150MP021S2G1100RHM0330MP101S3B6105RHM1150MP151S3B2105RHM0600MP101S3B6105RHM0400MP101S3B1105RHM0320MP101S3B6105RHM1600MP101S3B2105ERS0369UD601V0D6007P0 6针母接头+7英尺电缆GHA0860MRR82R01GHM0050MD601A0RHM0080MP101S1G6100RHM0610MP101S1G6100RHM0410MP121S1G6100GHM0450MD601A0401032RHM1980MP071S1G6100GBF0220MU051A0RHM0500MR021V01RHM0700MF051A11。
汽车车轮六分力传感器-美国
轮毂适配器用于连接轮轰和传感器
电子调节装置配合六分力传感器使用。用于传感器的自劢归零调整。 选件允许传感器用于转劢和非转劢模式，并能控制传感器内的电桥激 励。用户通过选择传感器的部署位置，使其满足 SAE 的标准坐标体 系。
车轲紧凑型数据采集系统，具有易用的用户软件。高采样率，最大 4G 存储空间，可以通过 RS232 和 USB 接口迚行通讯。满足 ALDL / Class II / CAN 等多种车辆总线数据采集。具有 GPS 车辆轨迹存储 的能力
AN03
车轮六分力（六轴力）测试系统
Wheel Load Transducer (Six Axis Wheel Force Transducer)
对各种车辆车轮上的六分力 (三方向力不三方向扭矩) 迚行精确测试 路谱采集的最佳设备 采集车辆外部轲荷，为车内各部件疲劳寿命的计算提供数据 为制劢及悬挂系统的性能评估提供重要数据 可用于各种恶劣的测试路况，防振，防暴雨，防风沙，防电磁干扰，宽温使用（-40°C ~ +125°C）； 提供铝合釐，钛合釐，丌锈钢版本的传感器 集成信号放大器，具有极高灵敏度，同时具有极宽的劢态范围；
MSC的核心传感器可提供，丌锈钢、铝合釐、钛合釐结构。
集成信号放大器 MSC的六分力测试系统集成信号放大器。使微弱原始信号在传感
器出口处便迚行放大，使测试精度提高。其他生产商往往是将信号经过 轳长的测试线后，再迚入信号处理装置，这样会导致过多的外部干扰信 号的耦合到测试信号之上，导致测试结果丌精确。集成放大器的另一个 作用是使测试信号的劢态范围和系统灵敏度大大提高。
美国密西根科技公司 Michigan Scientific Corporation
基于可穿戴传感器的实时环境情绪感受评价
基于可穿戴传感器的实时环境情绪感受评价陈筝;刘颂【摘要】以审美体验为核心的环境感受一直是国内外风景园林领域的核心问题,但其测量却比较困难.介绍了一种依靠可穿戴生物传感器进行实景环境实时情绪感受评价的新方法.在国际相关实验技术的基础上,依靠实验方法通过心电传感器(EKG/ECG)、脑电传感器(EEG)、皱眉肌肌电传感器(EMG)、皮温传感器(ST)、皮电传感器(SC)和呼吸传感器(resp),记录实时环境行走中的人的情绪体验.数据在matlab里面经降噪、伪迹去除、时频分析、生成采样率为1帧每秒的情绪评价值,再与GPS空间位置做数据融合,生成具有空间属性的情绪评价轨迹.研究发现,结合时空间轨迹的生理情绪数据较好地反映了被试受空间影响的情绪反应,传感器采集的情绪结果与现场试验后访谈中实验者表达的环境体验结果吻合较好.基于可穿戴传感器的情绪体验测量技术,将有助于更好地测量并理解环境体验,为未来设计提供诸多可能.%Environmental experience centered in aesthetics is a vital issue to landscape architecture both in China and globally.However,the measurement of experience is difficult.This paper presents a new method of assessing real-time in-situ environmental affective experience via wearable bio-sensory techniques.Built on existing experimental techniques and findings,the authors designed experiment to calculate environmental affective experience during real-time walking via electrocardiogram (EKG/ECG),electroencephalogram (EEG),corrugator electromyogram (EMG),skin temperature (ST),skin conductance (SC) and respiration (resp.)sensors.Signals were processed via denoising,artifact removal,time-domain and frequency-domain analysis before compressed into affectiveparameters sampled per Is.The affective parameters were then combined with GPS location data via data fusion into geo-referenced routes with affective assessment.Results indicate that geo-referenced affective assessment revealed results consistent with that collected via interviews after walk.Affective experience measurement technique via wearable sensors would improve measurement accuracy and understanding of environmental affective responses,which would expand the possibilities for future design.【期刊名称】《中国园林》【年(卷),期】2018(034)003【总页数】6页(P12-17)【关键词】风景园林;审美体验;环境情绪感受;可穿戴传感器;使用后评价【作者】陈筝;刘颂【作者单位】同济大学建筑与城市规划学院景观学系,高密度人居环境生态与节能教育部重点实验室数字景观实验室上海200092;同济大学建筑与城市规划学院景观学系,高密度人居环境生态与节能教育部重点实验室数字景观实验室上海200092【正文语种】中文【中图分类】TU986以审美体验为核心的环境感受一直是国内外风景园林领域的核心问题[1-3]。
美国密西根科技公司 AN02 汽车测试系统 说明书
美国密西根科技公司AN02汽车测试系统Test Systems for Automotive● 测试对象为车上各种轴、齿轮、车轮、减震部件、受力部件；● 测试参数为扭矩、应变、力、温度、转速、加速度、三分力、六分力； ● 发动机气缸容积、压缩比率、泄漏比率测试；●我们在车辆测试传感器领域具有大量经验；专业为各种汽车部件的测试提供定制传感器；MSC汽车测试传感器分类MSC为汽车的六大系统提供测试传感器。
这六大系统为：发动机系统、传动系、行驶系、制动系、转向系、车身。
其中行驶系还包括悬架、车架、车轮等子系统。
主要测试参数为这些部件及系统的扭矩、应变、力、转速、加速度、温度。
主要部分如上图所示。
本文除了各种汽车系统传感器，以及整个测试系统进行介绍。
MSC汽车测试传感器简介MSC的汽车测试传感器主要分两种：一种是标准产品的传感器，另一种是定制传感器。
定制传感器按照不同的车型、不同的部件进行定制。
有时使用原始的车载部件进行改装，改装成具有传感器功能的部件。
设计该类传感器的目的是为了精确的采集旋转轴的应变、力。
同时尽可能少的改变它的强度和其他特性。
定制传感器，能够直接安装于系统中，成为其中的一个部件工作，这样能够最真实、最精确的采集应变、力数据。
MSC的汽车测试传感器都能工作于各种恶劣的实际路试环境。
并由于其温度补偿功能，使其在极宽的温度范围内正常工作。
发动机系统各类轴、齿轮类产品，气缸容积、压缩比，悬置测试传动系各类轴、变速器、离合器行驶系的车架、悬架、车轮、轴车身各种受力部件，如门铰链，滑移门支其他车辆相关测试传感器，如车辆称重传感器等MSC 汽车测试设备应用举例：注1：图中所有系统都可以选配温度测试热电偶；注2：图中所列各种测试设备，只是MSC 的一部分供应产品，MSC 同时提供大量定制传感器。
变速箱、离合器： 涡轮、齿轮、轴 扭矩、应变、力踏板:扭矩、应变、力发动机轴、齿轮： 扭矩、应变、力发动机： 输出扭矩发动机：气缸容积、压缩比发动机、车架、副车架： 安装悬置点的三分力及六自由度力测试车轮：六分力、扭矩、应变、力半轴：扭矩、应变、力驱动轴： 扭矩、应变、力球铰链、转向节： 扭矩、应变、力、三分力 半轴： 减震器、弹簧： 应变、力刹车、ABS ： 响应时间、 刹车距离悬架的轴、杆： 应变、力车体框架、座椅： 挠度、三分力车身： 车窗夹力、 滑移门支架力方向盘，转向轴：三分力、扭矩、应变、力3汽车测试系统车辆称重： 车轮可直接驶上上图为发动机曲轴扭矩、应变、力、温度传感器MSC 发动机系统测试传感器简介 (for Engine System) 发动机测试——轴类传感器曲轴及连杆传感器曲轴及连杆传感器是比较复杂的应用。
德尔福氧传感器
Powertrain Systems
Delphi / Honda confidential
Date
2
O2 Proposal on DPCA EPxFTDM Engine Family DPCA EPxFTDM发动机氧传感器方案
In order to shorten development cost and leadtime, Delphi propose OSP-b type as below with DPCA required connectors for both upstream and downstream O2 on DPCA EPxFTDM engine program
Date
10
Customer Technology Center Michigan
德尔福密西根技术中心
Four stories of offices
4层办公大楼
130,500 square feet of laboratory area
13万零5百平方英尺的试验面积
All Michigan engineers located at single site now
LLuuxxeemmbboouurrgg&&PPaarrisis EEnngginineeeerrininggSSuuppppoorrtt
TTaagguuee,,KKoorreeaa((KKDDAACC-JJVV))OOSSPPAAsssseemmbblyly SSeeoouul,l,KKoorreeaa EEnngginineeeerriningg SSuuppppoorrtt
全部密西根工程师都在这大楼里工作
Oxygen Sensor validation tests are conducted and completed at the site
电化学传感器通用说明书-盛密科技
电化学传感器通用说明书1.电化学毒气传感器的工作原理电化学传感器是目前较为常见的有毒有害气体检测元件。
与其他检测原理的气体传感器（半导体气体传感器、催化燃烧式气体传感器、红外气体传感器等）相比较而言，电化学传感器具有选择性好、灵敏度高、响应时间短、性能稳定、耗电低、线性和重复性较好等优点，在当前的气体快速检测领域被广泛应用。
一般说来，电化学气体传感器包括下面几部分：可以渗过气体但不能渗过液体的扩散式防水透气膜；酸性电解液（一般为硫酸或磷酸）槽；工作电极；对电极；参比电极（三电极设计）；有些传感器还包括一个可以滤除干扰组份的滤膜。
图1电化学毒气传感器的结构图扩散进入传感器的气体在工作电极表面发生氧化或还原反应，在对电极发生与之相应的逆反应，在外部电路上形成电流。
由于气体进入传感器的速度由栅孔控制，所以产生的电流与传感器外气体浓度成比例，就可以直接测量当前毒气含量。
为了让反应能够发生，工作电极的电位必须保持在一个特定的范围内。
但气体的浓度增加时，反应电流也增加，于是导致对电极电位改变（极化）。
由于两电极是通过一个简单的负荷电阻连接起来的，虽然工作电极的电位也会随着对电极的电位一起变化。
如果气体的浓度不断地升高，工作电极的电位最终有可能移出其允许范围。
至此传感器输出信号将不再呈线性，因此两电极气体传感器检测的上限浓度受到一定限制。
对电极的极化所受的限制可以用引进第三电极（参考电极）和利用一外部的恒电位工作电路来予以避免。
在这样一种装置中，参考电极中无电流流过，因此这两个电极均维持在一恒定的电位。
对电极则仍然可以进行极化，但对传感器而言已不产生任何限制作用。
因此三电极传感器所能检测浓度范围要比两电极大得多。
下面以一氧化碳电化学传感器为例描述一下它的检测机理。
CO 在工作电极上的氧化：CO + H2O →CO2 + 2H+ + 2e-对电极通过将空气或水中的氧气还原对此进行平衡。
1/2 O2 + 2H+ +2 e-→H2O传感器中总的反应就可写成：2CO + O2→2CO2在检测过程中消耗的物质仅仅是CO分子、电能和氧气，这也是非消耗型传感器寿命较长的原因。
美国METRIX迈确Mx2034型振动传感器行业标准及参数
美国METRIX迈确Mx2034型振动传感器行业标准及参数美国METRIX迈确Mx2034型振动传感器行业标准及参数美国METRIX迈确Mx2034型振动传感器带动态信号输出的发射机MX2034是可配置的径向振动,轴向位置或速度测量。
它符合API670的电流邻近测量系统的性能与数字可配置性的灵活性结合起来。
第一次,用户可以使用自定义的场生成曲线以及工厂对20多种目标材料、各种探针尖直径、制造商、扩展电缆长度和线性范围的预先配置校准,在现场配置发射系统。
随着振动监控数字接近系统DPS1.35及其相关软件的发布,MX2034对于用户应用来说更加强大和灵活。
户生成的标签提供防风雨密封保护。
靶材料，探头类型和系列，系统长度，和输出灵敏度都被记录在上面。
甚至提供用户组态区域，在这里记录用户安装和设备特性详细信息的喷墨或激光打印机直接打印所需要的信息到Avery6570表单上。
打印好的标签从表单撕下，放到树脂标签窗口的后面，然后把这两者贴到DPS 信号调节器的左边。
树脂标签有与所有工厂提供的标签一样的表面处理，提供基本保护功能，并且给予清洁，耐用和专业的表面处理这些信息包括：最后校验日期，仪表回路位号，探头位置（机械/轴承/角定位），以及其他对于机械和仪表人员有用的信息。
使用单发射机,用户可以在现场随意切换探针类型、改变系统长度、改变目标材料。
MX2034能够消除两个相邻安装的邻近探针之间的交叉通信,可以根据应用程序将在B数控上测量到的动态输出信号配置为正极性或负极性,并且可以抑制系统中的瞬态电峰。
MX2034的使用者可以将动态信号输出发送到高达100英尺的振动监测系统。
MX2034还有许多其他先进的功能,客户可以利用这些功能来优化他们的发射系统的价值。
振动模式:全尺度振动范围斯派克抑制前置器和变送器技术参数：壳体材料PBT热缩塑料高分子共聚物尺寸 MX2033 Driver: See Fig 1, page 6接头扭矩 0.565 N-m (5 in-lb)推荐手指拧紧存储温度-40°C to +85°C (-40°F to +185°F)相对湿度95%, 非凝结产品质量247克(8.7盎司)。
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密西根科技(Michigan Scientific Corporation)公司六分力传感器
型号：MC-3.5K
• 量程：±15.6 KN 径向载荷量(Fx,Fz)
•±5.3 KN 横向载荷量(Fy)
Mx,Mz: ±1.6KN·m
My : ±3.4KN·m
•无线遥测系统
•可测量 3 个方向的力与力矩
•适用于8-14 英寸的轮胎
•低轴间灵敏度
•不受恶劣环境影响
•温度补偿
•结实的不锈钢构造
•低磁灵敏度
概述应用资料联系
纹波(F.C.R.)< 1 % 读值
记录模拟量输出+/- 10 volts max
总延迟0.7 ms
采样率3000 Hz
数据保真滤波器种类线性相位
桥激励电压 3.6 V
系统输入电压10 – 18 VDC
系统总输入功率(@ 13.5 VDC)~2.5 Amps; ~35 Watts 防水性能IP 65
角度分辨率0.35°
角度精度± 0.5°
遥测系统工作温度范围0 to 140 F (-18 to 60 C)六分力传感器工作温度范围0 to 248 F (-18 to 120 C)
坐标系定义
传感器核心图片。