PECVD石墨舟清洗作业指导书
石墨舟维护规程
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
PECVD作业指导书
CENTROTHERM管式PECVD操作说明书按压START真空泵启动按钮，启动真空泵。
（图
图6.1.2
打开并检查气源。
打开压缩空气阀，N2阀，NH3阀，
6kg /cm2—7kg /cm2。
其他气体4 kg /cm2—10kg /cm2范围
开启SIH4阀（图4）
图（4）阀（图6）
图（6）开总电源。
用手扳住电柜外部的红色按钮，机器上指示灯
图（8）
VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启（图8）。
启动CMI程序。
开总电源后计算机自动启动。
输入密码后自动进入Windows桌面。
用鼠标左键双击“CMI”图标，启动CMI。
进入CMI 画面，检查设备状态：
SLS=UP ，DOOR=CLOSED ，PLC=OK ，LIFT=READY ，TUBE=READY ，TGA FREE=YES
SET/ACT POSITION=0 ，PROCFLAG=OK（整体界面图9）
选择工艺程序，生产。
插片。
用小车承载石墨舟，在插片房中插满硅片。
向机器进车。
向机器推入装完片的石墨舟小车。
计算机
在“LOTS”里输入自己名字的拼音缩写，在舟号里输入舟的号码。
选择对应的工艺文件。
设备自动进行工艺生产。
(整体界面图10)
图（10）。
石墨舟清洗作业指导书
1.石墨舟作业次数达到100次或连续出现较多色差片，须拆卸清洗。
2.组长把要清洗石墨舟交到石墨舟清洗处,领取新的石墨舟使用;同时清零旧石墨舟号生产记录,建立新的石 3. 墨舟号生产记录。 3.设备部接收石墨舟安排人员清洗: 4. 5. 6. 7.
工序目的： 规范PE器具件清洗作业
1).拆舟操作:a.准备好3个泡沫盒和花篮,贴上舟号标签纸 b.用专用的力矩扳手拆开石墨舟上的固定石墨螺母,放入泡沫盒中。
样式编号：AAAE02
月
日
改定
确认
承认
备 考
一次性手套
劳动防护用品： 4)装舟操作:
c.时间达到后关闭电源,取出石墨片进行安装。 a.装舟前把陶瓷棒、石墨棒用异丙醇清洗干净,如有不干净的可用5%HF酸浸泡1小时。 b.按拆舟的逆顺序装好石墨石墨棒、陶瓷棒依次装入石墨片和石墨块,注意石墨电石墨电极
手套（PVC),石棉手套,口 的位置。 罩 c.旋上石墨螺母将石墨片固定,锁紧螺母,把石墨舟放入存储柜中。 改定履历 年 1 2 3 4 5 格式编号：HCZY 01
页码信息： 总 第 1 页 1 页
文书编号
HCBZZZ043 01 年 年 月 月 日 日
承认确认作成 Nhomakorabea石墨舟清洗作业指导书
作业手顺·遵守事项
● 作业手顺
版
本
作成日期 修改日期
设备名/设备编号： 1、石墨舟清洗机 2、 3、 4、
应遵守的要点及注意事项 1.如果不戴石棉手套，则有可能会出现手部烫伤。 2.
c.取出石墨片依次放入清洗花篮,取出陶瓷棒、陶瓷套管放入泡沫盒中,石墨棒入石墨螺母泡 8. 使用部品材料： 单晶硅片。 沫盒中。 d.将石墨螺母放入清洗罐中,将花篮放到清洗槽挂钩上。 2).清洗操作 :a.将清洗花篮放到机械挂钩,吊入10%的氢氟酸槽中。 使用夹具、 工具： b.浸泡9-10小时后移入纯水槽,5min后将纯水排空又加纯水浸泡30min,再将纯水排空又加 纯水浸泡30min后将花篮提起晾水。 c.10min后把花篮拿下用压缩空气将石墨片吹干放至烘干架,装入烘干小车上。 扳手,清洗篮,烘干架,内 3).烘干操作: a.把烘干小车推进烘干箱中,关紧烘箱门。 六角 b.设置加热120℃开电源烘干10小时。 1. 2. 3. 管理要点 管理項目 测定法 频度样品数 规定资料及判定标准 9. 10. 11. 12. 定位置管理说明
石墨舟维护规程
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
PECVD石墨舟清洗使用作业规程
PECVD石墨舟清洗使用作业规程
为了更好的提升产品的质量，减少返工片；需要对石墨舟进行定期的保养和清洗。
清洗规程如下：
1- 清洗石墨舟的操作人员，上班第一时间询问工艺人员有哪些石墨舟是需要清洗的，在“石墨舟清洗使用签收表”表上记下超
过使用次数石墨舟。
当班负责清洗石墨舟的操作人员签字确
认。
2 -工序长上班交接后，到石墨舟柜处查看已超过使用次数的石墨
舟编号。
在当班生产前，通知设备人员将超过使用次数的石墨
舟拆下电极，然后送到清洗处清洗。
3 -清洗石墨舟前，要戴好防酸手套，防化服和防酸面具。
4 -把需要清洗的石墨舟要用44L HF（氢氟酸）清洗8个小时，然
后把酸排掉加水清洗2个小时；再把洗好了的石墨舟抬到烘干
箱烘8个小时。
5 -烘好后的石墨舟要到冷却房冷却，然后通知设备人员组装电极。
6 -组装好清洗后的石墨舟，清洗石墨舟的操作人员要将其舟号和清洗日期时间及时记录在“石墨舟清洗记录表”中。
7-把组装好的石墨舟抬到石墨舟存放柜的待镀舟处，工序长必须在“石墨舟清洗使
用签收表”相应的栏中签字确认。
8 -石墨舟在未到规定的使用次数，如果同一石墨舟连续两次出现的色差片数量超过5片、或者色差片数目累计超过15片，则立即停止该石墨舟的使用，并通知工艺人员查看原因。
该石墨舟能否继续使用，由工艺人员查看原因后，工艺人员根据实际情况来决定。
9 -为了确保石墨舟的正常循环使用，每次送至清洗的石墨舟数量为2个。
10-石墨舟的使用次数由工艺人员规定，严禁其他人员修改。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机是半导体制造工艺中用于清洁PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备所使用的石墨舟的重要设备。
保养作业流程及安全注意事项如下：石墨舟清洗机保养作业流程：1. 准备工作：清洁工作区域，确保无尘环境。
检查电源、水源和气体供应是否正常。
佩戴好防护装备，如防静电手套、防化学品护目镜、防尘口罩等。
2. 设备检查：检查石墨舟清洗机的机械部件是否有磨损或损坏。
检查电气控制系统、温控系统以及压力调节装置是否正常运行。
3. 拆卸与装载石墨舟：根据规程将待清洗的石墨舟放入清洗槽内，确保位置正确且固定稳固。
4. 清洗操作：设置清洗程序，包括清洗剂种类、温度、时间、循环次数等参数。
开始清洗过程，可能涉及酸洗、碱洗、超声波清洗及纯水漂洗等多个步骤。
5. 冲洗与干燥：清洗完毕后用大量去离子水彻底冲洗石墨舟，去除残留清洗剂。
使用烘干程序或者自然晾干方式使石墨舟达到干燥状态。
6. 维护保养：更换滤网：定期更换清洗设备内部的过滤网，保证清洗液的纯净度。
清理腔体：按照规程对设备腔体进行清理，避免积垢影响效果。
检查泵体功能：确认气动隔膜泵或其他输送泵的工作状况，并在必要时进行维护或更换。
润滑和紧固：对所有运动部件进行润滑处理，紧固松动的螺丝。
7. 记录与审核：记录每次清洗及保养过程中的重要参数及结果，便于追溯和质量控制。
审核保养情况，由操作人员和监督人员签字确认。
安全注意事项：在整个过程中严格遵守ESD（静电放电）防护措施，防止静电损害精密设备。
使用化学品时应确保良好的通风条件，避免直接接触皮肤和眼睛，若不慎接触立即用清水冲洗并就医。
在设备运行过程中严禁触碰运动部件，以防夹伤。
设备停用后应及时关闭电源和水源，防止意外开启。
清洗后的废液要妥善收集，按照环保法规要求处理，不得随意排放。
执行任何维修或保养工作前，必须先切断设备电源，并悬挂“正在维修，禁止启动”等警示标识。
156多晶赛瑞达PECVD石墨舟清洗作业指导书
156多晶赛瑞达PECVD石墨舟清洗作业指导书SPECIAL WI 专用作业指导书156多晶赛瑞达PECVD石墨舟清洗作业指导书Reason(s) for Update 更新原因：部门签名日期1.0 适用范围156多晶PECVD工位2.0 作业流程2.1生产准备ORIGINATOR编制TECH技术QC品质MFG生产APPD批准文件编号版本：PRODUCT 产品：电池片CUSTOMER 客户：All CostomerWORK STATION 工序名称：PECVDPAGE 页：1 OF 12.1.1工作时必须穿工作衣、鞋，佩戴手套、工作帽2.1.2做好工艺卫生2.1.3选择所需要清洗的石墨舟2.1.4操作前必须做好相应的防护措施：防护眼镜、防毒面具、长袖橡胶手套2.2操作流程2.2.1将需要清洗的石墨舟拆卸好，舟片插入清洗花篮内，陶瓷套管、螺丝与连接杆分开放置。
2.2.2用水将槽内清洗干净，将装有舟片的花篮按顺序平放至清洗槽内2.2.3往槽内注入一定量水后，加12瓶氢氟酸，再注水使槽内液体体积至350L左右（浓度：8%），盖上舱门2.2.4开启鼓泡1小时后关闭，浸泡 8-12小时2.2.5将花篮转移至漂洗槽，注水使用鼓泡漂洗后将水排空，反复操作三次后溢流二十分钟2.2.6用高压气枪将舟片上的水吹干2.2.7将清洗完全后的舟片换用烘干花篮放入烘箱内进行烘干，烘干时间控制在10小时，烘干温度设为80℃2.2.8将卸下的陶瓷套管、连接杆和螺丝帽用酒精浸泡，擦洗干净2.2.9待舟片烘干完成后，将舟重新组装（拧螺丝时使用扭力扳手，无需拧太紧）2.2.10执行镀舟工艺完全后，石墨舟可投入使用3.0 仪器/工具/材料3.1待清洗的石墨舟3.2石墨器件清洗机、舟片花篮、烘箱3.3氢氟酸、无水乙醇3.4扭力扳手、组装台4.0 注意事项4.1添加药液前佩戴防护工具时注意检查是否存在破损，保护自身安全4.2加液时注意将容器口贴近槽壁缓慢注入，脸尽量远离槽体，避免粗放操作使药液溅出。
PECVED基本操作
进入CMI 画面，检查设备状态：
SLS=UP ，DOOR=CLOSED ，PLC=OK ，LIFT=READY ， TUBE=READY ，TGA FREE=YES SET/ACT POSITION=0 ，PROCFLAG=OK
选择工艺程序，生产。
PECVD关机
检查确认生产已完毕。机器中舟已卸出。 PECVD每个真空管压力设定为10000mToor,等每管实 际压力达到10000mToor。 关闭CMI程序。再关计算机。 关主电源。用手扳住电柜外部的红色按钮，逆时针方向 转90度。 关闭气源。注意：除N2外关闭所有气体。 关闭冷却水。等待二十分钟后关闭冷却水。先关进水， 再关出水。 关闭真空泵。按压真空泵面板“OFF”按钮停泵。等待 20分钟后关闭冷却水和N2阀
设备维护
运行Pump .PRZ工艺文件。 在System中输入工序长的权限后，将温度降到 25度。 在降温的同时，准备：高温手套、吸尘器、石英 钩、石英管、防护眼镜、酒精、抹布等。 待温度降至25度后，把桨的位置设定到10的位置， 管门自动打开。 戴上高温手套、防护眼镜、用石英钩将管内的碎 片钩到管口。
工艺结束（镀 膜结束）
开门退舟（设 备自动运行）
待报警后，按 退车按钮退车
把装有石墨舟的小车推 到冷却房内进行冷却
把放满的承载盒拿到丝 网上料，准备进行印刷
卸片结束后，放入 指定的承载盒内
开始卸片。注意 工艺点的一致性
冷却结束后，把小 车推到插片房内
石英吸笔的做法
取一石英吸笔用锉刀从笔颈的中间的位置锉几下。 手指握住被锉部位的两端，微用力便可以将吸盘和笔 尾分开。 取出6毫米的软管，长约6—8厘米即可 。 以笔尾及吸盘上的孔为参照对象，将笔尾上的孔向上， 吸盘上的孔向下，用软管充分连接。 取出海绵做好的吸笔头粘在吸盘上，完成吸笔的制作。
18清洗石墨舟标准作业指导书
浙江正国太阳能科技有限公司.电池车间作业标准书（清洗石墨舟）ZG-WI-SC-18（第A/0版）编制： 审核： 批准：发布日期：二零一零年三月五日 实施日期：二零一零年三月五日地址：中国. 浙江省桐乡经济开发区凤栖中路222号 电话：++86-573-88070855 传真：++86-573-88115855 邮政编码：314500受 控 状 态 发 放 编 号科技有限公司文件编号ZG-WI-SC-18 版本/修订状态A/0实施日期2010-3-5 第 1 页共 2页一.目的：为了加强对清洗石墨舟的管理，确保洗舟过程中能够严格按照标准作业流程来操作，以达到把舟清洗干净和确保石墨舟安全和人员安全的目的。
二.适用范围：本规定适用于本公司所有清洗石墨舟的员工。
三.职责：1.技术部经理对此规定监督负责；2.生产车间部对此规定执行负责。
四.管理内容:(清洗间标准作业指导书）相关夹具:扳手操作提示:拧松螺丝以便于清洗时更彻底。
相关夹具：高压水枪操作提示:将硅片、石墨粉末、氮化硅颗粒冲洗干净1．把螺丝拧松2．用水枪把槽子清洗干净相关夹具: 抹布、酒精操作提示: 把槽子边的石墨粉末擦干净相关夹具:水枪操作提示:把松好螺丝的石墨舟放到槽子里，注意轻拿轻放并用水枪冲洗石墨舟5分钟。
3．用酒精布擦槽子4．放入石墨舟并冲洗相相关夹具:防酸服、手套防毒面具。
操作提示:加氢氟酸12桶（4L/桶）然后继续加纯水到漫过舟上边缘2—3厘米，并且要穿戴好防护用品。
相关夹具:无操作提示:把盖子全部盖好。
5．配液6．盖好槽盖科技有限公司文件编号ZG-WI-SC-18 版本/修订状态A/0实施日期2010-3-5 第 2 页共 2页相关夹具:无操作提示:关好侧门防止氢氟酸挥发到车间里。
清洗至少12小时，每2小时鼓泡一次每次2分钟。
相关夹具:无操作提示: 清洗好了以后，把酸排另一个槽子里再放纯水鼓泡清洗至少10小时，其中每2小时换水一次。
PECVD(插片)岗位作业指导书
石墨舟、推车、吸笔、承载盒、卸片盒、周转箱。
三、岗位工作流程 下料插满单面台面旋转180度流程卡上记录舟号检查吸笔推车台面倾斜25度抬舟上机 检查 内硅片继续前面动作插满另面整理周转箱检查扩散面检查推车和石墨舟正确佩戴手套、口罩PECVD操作规范2 签收上道流入的硅片。
从传递窗内，接收硅检流入的硅片，确认批次信息，如：批号、来源、数量等。
拒收不合格品；作业指导书先检查石墨舟与推车定位是否吻合、贴近，确认石墨舟是否有裂纹破损，螺母是否有松动；5 插片：）左手拿花篮，扩散面朝上（花篮突出面是扩散面为标志），右手拿吸笔；（2）车台面倾斜25度，硅片放入舟中时，硅片要插在三个工艺点与石墨舟片之间；作业指导书（3）单面插满后，把舟平放然后慢速均匀转动台面180度，继续开始的动作，直到一舟全部插满，）在流程卡上记录石墨舟号作业指导书到位，整理承载盒与周转箱；作业指导书7舟上料：首先确认硅片是否插到位，再确认石墨舟电极朝向，确认舟在浆上的位置；作业指导书8 下班之前清洁责任区域车间六、作业注意事项、有缺陷的舟车、石墨舟立刻隔离，标记清楚，并上报班组长。
、按批号顺序把周转箱放置在在途产品指定位置。
、插片前必须检查吸笔贴膜是否完好。
4、插片前必须确认扩散面，凸出面为扩散面。
5、石墨舟旋转时要避免碰到其它物件。
6、中断片不能直接用手取放。
1、插片时，若发现吸不牢片子，调整吸笔吸气气量，使之达到正常力度。
2、吸笔头发黑，及时更换吸笔套。
3、镀膜后出现大量吸笔印，及时检查吸笔，用酒精清理或更换吸笔套。
浙江东辉新能源科技有限公司生产部。
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4.3石墨工艺卡点更换：根据使用频率及时间，以及电池片实际阴影面积的要求，应对石墨舟工艺点进行周期性更换。推荐使用SHF提供的专用更换卡点设备进行拆卸及安装。该设备的操作有利于提高装配的速度和一致性以及减少舟片破损的风险。
PECVD石墨舟清洗及使用维护
设备部：肖学文
1.舟的清洗
1.1新舟在第一次使用前建议使用去离子水+氢氟酸（体积比10%）溶液进行清洗约3-5小时；再用去离子水进行漂洗8-12小时；直到确认舟体没有酸性成分。可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。然后按照要求进行烘干。
1.2使用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。建议使用浓度15%-25%的氢氟酸溶液，分三个轮次来清洗，每次4-5小时；并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的冲洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为起源。酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟已经彻底清洗干净，请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点与舟片结合处，以及其它部位是否还有氮化硅的残存。然后按照要求进行烘干。
2.舟的烘干
2.1建议使用有定时功能和循环排风的ห้องสมุดไป่ตู้箱，这样烘烤的水蒸气可直接被抽掉，以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2.2清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘箱，请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘箱。
2.3将烘箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持时间为10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
A)由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。
B)建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部件进行清洗，这样能将各个接触部位清洗得更彻底。目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于氢氟酸对陶瓷组件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应组件的使用寿命。
4.4建议对石墨舟进行编号管理，指定和执行定期的清洗、烘干、维护、检查，并指定专人管理；保持石墨舟的管理及使用的稳定性。整体清洗的石墨舟应定期对陶瓷组件进行更换。
4.5石墨舟维护时，组件、舟片及工艺卡点建议由石墨舟供应商提供，以免因组件精密度无法匹配原舟而导致在更换过程中产生损失。
4.6石墨舟使用过程中任何问题和建议，请及时与我们联系。
3.舟的预处理（饱和）
进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。
建议不要在空舟状态进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。
4.石墨舟的维护
4.1石墨舟的存放：石墨舟应存放在干燥清洁的环境中。由于石墨本身的孔隙结构而使其具有一定的吸附性，潮湿或污染的环境会使得清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。