管式PECVD石墨舟维护方法
石墨舟维护规程
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
石墨舟维护规程
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
管式PECVD操作指导书.docx
1.目的确保管式PECVD处于良好的运行状态。
2.使用范围适用于所有Centrotherm管式PECVD。
3.生产操作3.1开机3.1.1开总电源。
用手扳住电柜外部的红色按钮，旋转9()度。
从“OFF”位置拔向“ON”位置，机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。
注意，当机器出现故障，按下急停键后，首先松开急停键，然后将开关逆时针转到Reset的位宜，然后再顺时针转到“ON”的位置。
机器上指示灯亮VAT控制器灯亮，可确定总电源已开启。
3. 1.2开真空泵。
(1) 合上真空泵电源，按卜jesct按钮，start按钮亮，然后按卜• start按钮，pre run按钮亮，此时真空泵启动，当真空泵运行到止常转速时，vacuum mode灯亮，此时真空泵完全启动。
3. 1.3检查外围条件。
N2的压力〉2. 5Kg/cm 2, SiH4的压力约为1. 5 Kg/cm 2, NH3的压力约为1. 5Kg/cm-, CDA 的压力为5〜7 Kg/ cm 2 o炉门处的冷却水流量计＞4SLM,设备炉体区顶部的冷却水流量计＞4SLM,主冷却器＞8SLM,设备尾部的冷却水 流量计＞4SLM,射频电源的总冷却水流虽计＞18SLM.3. 2界面操作（1） 启动CM 【程序。
开总电源后计算机自动启动。
输入密码“6065”后自动进入Windows 桌面。
用鼠标左键双击“CM1”图标，启动CM1。
（2） 进入CMI 画而，检查设备状态：SLS=UP （舟处于上位），DOOR 二CLOSED （门处于关紧状态），PIQOK , LIFT 二READY（机械壁必 须在零位）,TUBE 二READY （炉管处于准备好状态）SET/ACT POSITION 二0 （桨处于原点位），PROCFLAG 二0K （程序标志位0K 状态）3. 2. 1选择工艺程序，生产。
（1） 插片。
用小车承载石墨舟，在插片房屮插满硅片。
（2） 向机器进车。
PECVD石墨舟清洗使用作业规程
PECVD石墨舟清洗使用作业规程
为了更好的提升产品的质量，减少返工片；需要对石墨舟进行定期的保养和清洗。
清洗规程如下：
1- 清洗石墨舟的操作人员，上班第一时间询问工艺人员有哪些石墨舟是需要清洗的，在“石墨舟清洗使用签收表”表上记下超
过使用次数石墨舟。
当班负责清洗石墨舟的操作人员签字确
认。
2 -工序长上班交接后，到石墨舟柜处查看已超过使用次数的石墨
舟编号。
在当班生产前，通知设备人员将超过使用次数的石墨
舟拆下电极，然后送到清洗处清洗。
3 -清洗石墨舟前，要戴好防酸手套，防化服和防酸面具。
4 -把需要清洗的石墨舟要用44L HF（氢氟酸）清洗8个小时，然
后把酸排掉加水清洗2个小时；再把洗好了的石墨舟抬到烘干
箱烘8个小时。
5 -烘好后的石墨舟要到冷却房冷却，然后通知设备人员组装电极。
6 -组装好清洗后的石墨舟，清洗石墨舟的操作人员要将其舟号和清洗日期时间及时记录在“石墨舟清洗记录表”中。
7-把组装好的石墨舟抬到石墨舟存放柜的待镀舟处，工序长必须在“石墨舟清洗使
用签收表”相应的栏中签字确认。
8 -石墨舟在未到规定的使用次数，如果同一石墨舟连续两次出现的色差片数量超过5片、或者色差片数目累计超过15片，则立即停止该石墨舟的使用，并通知工艺人员查看原因。
该石墨舟能否继续使用，由工艺人员查看原因后，工艺人员根据实际情况来决定。
9 -为了确保石墨舟的正常循环使用，每次送至清洗的石墨舟数量为2个。
10-石墨舟的使用次数由工艺人员规定，严禁其他人员修改。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机是半导体制造工艺中用于清洁PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备所使用的石墨舟的重要设备。
保养作业流程及安全注意事项如下：石墨舟清洗机保养作业流程：1. 准备工作：清洁工作区域，确保无尘环境。
检查电源、水源和气体供应是否正常。
佩戴好防护装备，如防静电手套、防化学品护目镜、防尘口罩等。
2. 设备检查：检查石墨舟清洗机的机械部件是否有磨损或损坏。
检查电气控制系统、温控系统以及压力调节装置是否正常运行。
3. 拆卸与装载石墨舟：根据规程将待清洗的石墨舟放入清洗槽内，确保位置正确且固定稳固。
4. 清洗操作：设置清洗程序，包括清洗剂种类、温度、时间、循环次数等参数。
开始清洗过程，可能涉及酸洗、碱洗、超声波清洗及纯水漂洗等多个步骤。
5. 冲洗与干燥：清洗完毕后用大量去离子水彻底冲洗石墨舟，去除残留清洗剂。
使用烘干程序或者自然晾干方式使石墨舟达到干燥状态。
6. 维护保养：更换滤网：定期更换清洗设备内部的过滤网，保证清洗液的纯净度。
清理腔体：按照规程对设备腔体进行清理，避免积垢影响效果。
检查泵体功能：确认气动隔膜泵或其他输送泵的工作状况，并在必要时进行维护或更换。
润滑和紧固：对所有运动部件进行润滑处理，紧固松动的螺丝。
7. 记录与审核：记录每次清洗及保养过程中的重要参数及结果，便于追溯和质量控制。
审核保养情况，由操作人员和监督人员签字确认。
安全注意事项：在整个过程中严格遵守ESD（静电放电）防护措施，防止静电损害精密设备。
使用化学品时应确保良好的通风条件，避免直接接触皮肤和眼睛，若不慎接触立即用清水冲洗并就医。
在设备运行过程中严禁触碰运动部件，以防夹伤。
设备停用后应及时关闭电源和水源，防止意外开启。
清洗后的废液要妥善收集，按照环保法规要求处理，不得随意排放。
执行任何维修或保养工作前，必须先切断设备电源，并悬挂“正在维修，禁止启动”等警示标识。
PECVD石墨舟清洗及使用维护
PECVD石墨舟清洗及使用维护新舟的接收:打开包装前须检查外包装是否完好、石墨舟是否完整;外观、舟片及陶瓷组件是否有裂纹或断裂;组件有无缺失。
发现外包装变形或损失以及上述问题的产品应及时联系供应商。
舟的清洗:1.新舟在第一次使用前建议使用去离子水+氢氟酸(体积比10%)溶液进行清洗约3-5小时;再用去离子水进行漂洗8-12小时;直到确认舟体没有酸性成分。
可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟,以确认清洗结果。
然后按照要求进行烘干。
2.使用后的石墨舟的清洗:上海弘竣的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。
建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液,分三个轮次来清洗,每次4-5小时;并在浸泡清洗过程中进行周期性氮气鼓泡,加半小时左右的冲洗;注意:鼓泡不建议直接使用空气作为气源。
酸洗后用纯水漂洗10小时左右,并确认舟体已经彻底清洗干净。
请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点与舟片结合处、以及其他部位是否还有氮化硅的残存。
然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项:A)由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性,对操作人员有一定的危险性。
因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护,并进行专人管理。
B)建议在清洗时将舟拆开只对石墨部件进行清洗,这样能将各个接触部位清洗得更彻底。
目前国内很多厂家采用整体清洗,虽然方便,但由于氢氟酸对陶瓷组件有一定的腐蚀性,整体清洗会缩短相应组件的使用寿命。
舟的烘干:1.建议使用有定时功能和循环排风的烘箱,这样烘烤的水蒸汽可直接被抽调,以避免水蒸汽因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2.清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间,确保舟表面没有水滴或水痕,再放进烘箱,请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘箱。
3.将烘箱温度设定在100-120摄氏度,运行和保持时间为10-12小时,可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
PECVD石墨舟清洗及使用维护舟的预处理(饱和):进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。
PECVD_介绍
内部文件v1.5
5.舟位于存储架时，一定要确认存储架上的感应器有没有感应到。否则有可能 导致撞舟。 6.清理碎片时要注意电热偶 7.从手动切换到自动状态时，机械臂一定要在Middle位置，否则机械臂有可能 无法正常运行而报警。 8.进退舟时，警戒线内不得站人，并保证Slider反射板上没有硅碎片。 9.进舟后，工艺无法正常运行时，先确认舟在桨上的位置，以及Tube=ready， SLS=up，TGA=yes，然后进行其他操作。 11.石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错，否则有可能撞坏高频的两根电极 。
步骤1 取舟前保证SLS状态为Down 输入GoDown 此处可以用到命令语句Boat SLS Setpoint GoUp/GoDown（定位舟软着陆位置上/下） *命令可在Manual菜单下调用
内部文件v1.5
步骤2 SLS状态为Down 输入MAX/2082 此处可以用到命令语句Boat Position Setpoint （定 位舟位置） *命令可在Manual菜单下调用 *可以输入位置数据0（原点）---2082（最大位置）
舟当前的运行状态
① no change 不选择，一般舟在 storage 1时选择此项 。 ② cooling end 冷却结束,等待卸舟。 ③ wait for end process 等待工艺 结束。 ④ wait for tube 等待管子空闲,一 般舟在storange 1,2时选择此项 。
内部文件v1.5
6.关闭N2气体阀
N2主阀
内部文件v1.5
7.关闭Cesar和电源 在温度降至室温后依次点击“Service”“Shutdown”，在弹出的对话 框中输入“YES”，按“Enter”确认。 等待5分钟，关闭Cesar电源
PECVED基本操作
进入CMI 画面，检查设备状态：
SLS=UP ，DOOR=CLOSED ，PLC=OK ，LIFT=READY ， TUBE=READY ，TGA FREE=YES SET/ACT POSITION=0 ，PROCFLAG=OK
选择工艺程序，生产。
PECVD关机
检查确认生产已完毕。机器中舟已卸出。 PECVD每个真空管压力设定为10000mToor,等每管实 际压力达到10000mToor。 关闭CMI程序。再关计算机。 关主电源。用手扳住电柜外部的红色按钮，逆时针方向 转90度。 关闭气源。注意：除N2外关闭所有气体。 关闭冷却水。等待二十分钟后关闭冷却水。先关进水， 再关出水。 关闭真空泵。按压真空泵面板“OFF”按钮停泵。等待 20分钟后关闭冷却水和N2阀
设备维护
运行Pump .PRZ工艺文件。 在System中输入工序长的权限后，将温度降到 25度。 在降温的同时，准备：高温手套、吸尘器、石英 钩、石英管、防护眼镜、酒精、抹布等。 待温度降至25度后，把桨的位置设定到10的位置， 管门自动打开。 戴上高温手套、防护眼镜、用石英钩将管内的碎 片钩到管口。
工艺结束（镀 膜结束）
开门退舟（设 备自动运行）
待报警后，按 退车按钮退车
把装有石墨舟的小车推 到冷却房内进行冷却
把放满的承载盒拿到丝 网上料，准备进行印刷
卸片结束后，放入 指定的承载盒内
开始卸片。注意 工艺点的一致性
冷却结束后，把小 车推到插片房内
石英吸笔的做法
取一石英吸笔用锉刀从笔颈的中间的位置锉几下。 手指握住被锉部位的两端，微用力便可以将吸盘和笔 尾分开。 取出6毫米的软管，长约6—8厘米即可 。 以笔尾及吸盘上的孔为参照对象，将笔尾上的孔向上， 吸盘上的孔向下，用软管充分连接。 取出海绵做好的吸笔头粘在吸盘上，完成吸笔的制作。
PECVD石墨舟饱和作用简述
+ -
石墨舟内壁表 面状态一致
Confidential Staff Only
坑洞引起石墨片之间 电场变化示意图
石墨舟饱和作用简述
石墨舟整个使用周期镀膜均匀性的变化
石墨舟使用前期 由于舟的饱和程度不够易引起色差； 石墨舟使用前期：由于舟的饱和程度不够易引起色差； 石墨舟使用中 舟的饱和程度足够且内壁上沉积的氮化硅膜不是很厚， 石墨舟使用中期：舟的饱和程度足够且内壁上沉积的氮化硅膜不是很厚，
Thanks
浙江贝盛光伏股份有限公司
2.
石墨舟内壁平坦度一致：
① ② 平坦度不同会使电场分布不均匀，理论上会使镀膜不均匀； 平坦度不同会使电场分布不均匀，理论上会使镀膜不均匀； 平坦度不同会引起内壁表面积变化，会引起饱和程度不够的现象。 平坦度不同会引起内壁表面积变化，会引起饱和程度不够的现象。
石墨舟内壁覆盖 一层氮化硅膜
石墨舟内壁Байду номын сангаас坦 度一致
使得镀膜的均匀性表现良好； 使得镀膜的均匀性表现良好；
石墨舟使用后期 由于内壁上沉积的氮化硅膜很厚，会导致以下两个现象： 石墨舟使用后期：由于内壁上沉积的氮化硅膜很厚，会导致以下两个现象：
① ② 局部氮化硅膜的脱落：引起舟的表面状态发生变化； 局部氮化硅膜的脱落：引起舟的表面状态发生变化； 氮化硅膜很厚会引起舟的导热性能发生变化， 氮化硅膜很厚会引起舟的导热性能发生变化，局部过厚会引起色差片的 产生。 产生。
PECVD石墨舟饱和作用简述 石墨舟饱和作用简述
浙江贝盛光伏股份有限公司
石墨舟饱和作用简述
PECVD氮化硅膜均匀沉积的条件 氮化硅膜均匀沉积的条件
条件是“石墨舟内壁及硅片表面沉积速率一致” 条件是“石墨舟内壁及硅片表面沉积速率一致”，而决定该速率的主 要有温度、电场、 以及石墨舟内壁的表面状态这四大条件。 要有温度、电场、gas以及石墨舟内壁的表面状态这四大条件。 以及石墨舟内壁的表面状态这四大条件
PE石英器材,石墨舟清洗维护规程
部门单位：东磁太阳能 页码：1 / 2 版本：A1.0 文件编号：P/DMTYN-7.5.1-08-03-10 受控号PECVD 石英器材石墨舟 清洗维护规程 1 目的确保制程工艺的工艺卫生，电池PE 镀膜之后外观良好。
2 适用范围范围：PE 车间石英器材，石墨舟 3 清洗维护流程3.1 清洗要求及条件常规清洗周期 异常清洗/处理条件石墨舟 使用100次 ①因石墨舟原因导致连续两次返工超过15片/舟，该石墨舟不包括新舟②非净化空间长期暴露③新石墨舟及新石墨舟片石英管 1次/年非净化空间暴露过/被有机成分等污染/石英器材上有明显异物 3.2 石墨舟清洗具体流程配液 ①换液频率：1次/15天, 换液过程要对槽体进行彻底清洗 ②初始配液酸的浓度不能低于15%，以后正常洗舟之前，每个槽要加2-3瓶HF 酸.酸洗 ②酸洗时间一般要在10个小时，每一个小时鼓泡5-10分钟 。
水洗 水洗时间要在8个小时以上，每一个小时换一次水，全程鼓泡。
水洗结束后等待晾干。
烘干 ①每次烘舟一次性最多不要超过三个舟，上层放一个，下层放两个，注意下层的两个舟要和上层的舟位置错开。
若是烘两个舟的话，上下层各一个舟，也要注意要位置错开放，这样有利于烘箱里的抽风排废。
②烘舟时间8个小时，烘舟温度在120 度。
烤舟 正常烤舟工艺，01号工艺 操作代码 007CYH工艺新舟正常使用，使用过一年以上的舟，前几次工艺的时间要延长15-25s ，看出片情况适当调整，出片出现略微发白的情况，投入正常使用。
拟制 审核 标准化 批准 日期部门单位：东磁太阳能 页码：2 / 2 版本：A1.0 文件编号：P/DMTYN-7.5.1-08-03-10 受控号PECVD 石英器材石墨舟 清洗维护规程3.3 更换工艺点条件及流程更换条件：① 石墨舟镀膜工艺点超过1.5mm 要对整个石墨舟的工艺点进行更换② 石墨舟经过清洗之后，运行工艺持续3-4舟返工超过15片，排查确为石墨舟原因引起的更换石墨舟全部的工艺点3.4 石英舟清洗具体流程 配液氢氟酸浓度3%—6%，盐酸浓度1%-2% ，（新石英管所需氢氟酸浓度和时间可适当减少，进行长期工艺过的石英管氢氟酸浓度要稍高） 酸洗清洗过程中，每个小时鼓泡10分钟，直至石英管内无异物，干净透明 水洗 酸洗结束，取出放入水槽中。
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| File: ctpv_0907.pot
8
Assembly装配
Steps步骤
擦去石墨板上的多余石墨粉尘 在维护车上进行舟的装配! 检查插脚的磨损及位置 检查损坏的部件，如有必要及 时更换。 用 0,6 nm 的扭矩扳手一次拧紧 一个螺冒。 用第二个螺帽锁紧每一个螺帽。
清洗较差 被损坏的石墨板或者螺纹杆
不均匀性 (片内)
插脚磨损 插脚位置及放置
硅片边缘色差
不适当的预处理工艺
操作及装载问题/导致舟在工艺中损坏
舟没有正确装配。
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Cleaning 清洗
Assembly 装配
Drying 烘干
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| File: ctpv_0907.pot
5
Disassembly拆解
Requirements需求:
平板桌台 扳手 石墨板的软支架
Steps步骤 将舟侧面放倒并支撑其石墨板 去掉所有的螺纹杆 去掉石墨块 将石墨板及其他小零件放进承载 器皿
© centrotherm photovoltaics AG Thema der Präsentation | Unterkapitel | Referent | File: ctpv_0907.pot 6
| File: ctpv_0907.pot
12
© centrotherm photovoltaics AG
Thema der Präsentation | Unterkapitel | Referent
| File: ctpv_0907.pot
11
Summary概要
石墨舟的维护及准备对一个好的 ARC镀膜是非常重要的。 由于舟的维护不到位引起的一些常见问题: 不均匀性 (片对片)
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9
Precoating预处理，饱和
石墨舟在正式运行工艺前需要进行一个预处理。 如果没有预处理的硅片，工艺的均匀性会差。 一定要使用假片进行预处理, 不要空舟处理。 预处理工艺就是一个延长时间至90分钟的SiN镀膜工艺。 预处理过后可以在舟的表面上看到一层SiN层。
© centrotherm photovoltaics AG
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| File: ctpv_0907.pot
10
Process工艺
The boat will be covered with more SiN every run 每次运行工艺都会在舟上又镀上更多的SiN。 150 process runs should not be exceeded 石墨舟每次不应该超过150次进行清洗。 Uniformity will significantly worsen if overused 如果过度使用可以明显看到均匀性变差。
Cleaning清洗
SiN腐蚀处理方法 Lotus 喷雾清洁器 单独 HF 清洗室 工艺: ~4小时用 20% HF腐蚀 ~6小时用纯水漂洗(多次) 清洗过程后用PH试纸检验舟 表面的HF酸残留 建议： 如果使用同一清洗池的话，石 墨部件与陶瓷部件需分开。 陶瓷部件不要过度腐蚀 (陶瓷 会在HF酸内缓慢溶解)
工艺培训
centrotherm 石墨舟维护培训
Silicon & Wafer Solar cell & Module Thin film module Semiconductor
Contents目录
Centrotherm graphite boat石墨舟 Boat cycle舟的循环
Disassembly分解 Cleaning清洗 Drying烘干 Assembly装配 Precoating预处理，饱和 Process工艺
© centrotherm photovoltaics AG
Thema der Präsentation | Unterkapitel | Referent
| File: ctpv_0907的循环
Process 工艺
Disassembly 拆解
Precoating 预处理
Summary概要
© centrotherm photovoltaics AG
Thema der Präsentation | Unterkapitel | Referent
| File: ctpv_0907.pot
2
Centrotherm graphite boat石墨舟
Do not touch with bare hands 禁止手直接接触 Keep it clean 保持洁净 Maintain properly 适当维护 Watch out for damage 当心损伤
© centrotherm photovoltaics AG
Thema der Präsentation | Unterkapitel | Referent
| File: ctpv_0907.pot
3
Centrotherm graphite boat石墨舟
The boat and the wafers act as a capacitor 舟与硅片在反应过程中类似一个电容 The boat is made of highly conductive graphite 舟是由具高电传导性的石墨制作而成 Minimal construction tolerance 舟结构具有最小的误差范围
© centrotherm photovoltaics AG
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| File: ctpv_0907.pot
7
Drying烘干
+8小时在热的空气中烘干 温度不应该超过 90 °C
© centrotherm photovoltaics AG