石墨舟管理规定
1. 目 的：规范石墨舟的使用全过程。
2. 适用范围：石墨舟的申购、使用、维护和报废。
3. 职 责：由设备部门负责管理。
4. 内 容：Centrotherm 管式PECVD 石墨舟。
4.1石墨舟的申购
4.1.1为了保证正常的生产，生产线必须保有一定数量的石墨舟，
（
4管/台的配8只石墨舟，3管/台配
6
只石墨舟）。
一条新的生产中心配全石墨舟后由设备中心移交给生产中心,有各生产中心自己负责保管。
新设备进厂配备一定数量的石墨舟以供设备调试之用，通常每个炉管配备一只石墨舟，剩余的石墨舟由设备部门负责申购。
4.1.2石墨舟在使用过程中会有部分的石墨片会损坏，由设备部门负责记录并负责及时申购；对于人为损坏的石墨舟或舟片在申请增补时，由各中心提出申请有部门最高领导签字才能领取新的石墨舟或舟片，石墨舟维护人员负责安装；对于设备损坏的石墨舟或舟片在申购增补
时必须有部门最高领导签字才能申请购买。
4.1.3石墨舟使用寿命快到期的前2个月由设备部门负责统计报废舟的数量，申购报废数量的石墨舟，并全程跟踪采购进度。
4.2 石墨舟的使用
4.2.1新的石墨舟入库后由设备人员负责开箱，并检验石墨舟的完好情况，发现损坏立即照相并通知物料部相关人员联系厂家。
检验合格后给石墨舟编号，并建立使用档案 ，随后通知生产中心领取。
具体使用方法见《管式PECVD 设备操作规程》。
4.2.2 石墨舟编号定义： 4.2.2.1 编号方法说明
J 1 –
4.2.2.2石墨舟编号统一编写在石墨电极侧，石墨舟片由里到外依次编刻1-13。
4.2.2.3 石墨舟损坏后有新配片投入使用，必须在舟片刻上投入生产的日期，以便跟踪。
4.2.3 生产中心拥有舟的数量为4管/台的配8只石墨舟，3管/台配6只石墨。
设备部门拥有舟的数量为设备台数X2，用于清洗维护周转和备用。
4.2.4 设备部门每天下班前1.5小时把每天超时要清洗的石墨舟编号交给各中心工序长，工序长下班前必须把超时的石墨舟送至石墨舟清洗处，同时领取相同数量的石墨舟做预处理。
石墨舟交接时双方必须做好确认签字工作。
4.3 石墨舟的维护
4.3.1石墨舟使用到规定的次数后必须进行清洗和维护，具体使用方法见《石墨舟清洗操作规程》。
4.3.2 各中心在放长假（3天以上）必须要把石墨舟用塑料薄膜进行包裹，防止石墨舟吸潮。
4.3.3放假2天以上（含2天）要把石墨舟存放于炉管中保护，禁止放在桨和小车上。
4.3.4停机超过8小时，必须有2小时的烘干；停机24小时，4小时的烘干时间，停机48小时，8小时烘干时间，停机超过50小时以上烘干时间为10小时。
温度为100℃。
4.3.5 石墨舟使用一段时间后表面会产生微小的孔洞，要进行抛光打磨，打磨后由工艺人员跟踪使用效果。
4.3.6 石墨舟的储存条件是湿度小于50%，石墨舟不使用时，必须放入储存柜中。
4.3.7 石墨舟清洗后先在50℃下烘干30分钟，然后在100℃下烘干18小时，确保舟片干燥。
4.3.8 石墨舟组装完后立即进行预处理，如本班不能处理将放入烘箱中，温度设为100℃。
4.4 石墨舟的报废
4.4.1石墨舟使用到一定的时间后各方面的性能都会发生下降，必须予以报废。
具体的报废标准是：进口石墨舟暂定为18个月，国产石墨舟暂定为12个月。
如果石墨舟到了规定的报废时间没有产生色差和效率下降，经工艺设备人员检验确认后可以继续使用。
如果石墨舟每个舟片都产生1片色差片，连续3舟都产生,可以予以隔离，做表面打磨处理。
4.4.2 石墨舟打磨2次依然有色差产生，可以给予报废。
4.4.3石墨舟报废后要在石墨舟使用档案上记录，并由工艺设备人员共同签字确认。
石墨舟清洗作业指导书
1.石墨舟作业次数达到100次或连续出现较多色差片，须拆卸清洗。
2.组长把要清洗石墨舟交到石墨舟清洗处,领取新的石墨舟使用;同时清零旧石墨舟号生产记录,建立新的石 3. 墨舟号生产记录。 3.设备部接收石墨舟安排人员清洗: 4. 5. 6. 7.
工序目的： 规范PE器具件清洗作业
1).拆舟操作:a.准备好3个泡沫盒和花篮,贴上舟号标签纸 b.用专用的力矩扳手拆开石墨舟上的固定石墨螺母,放入泡沫盒中。
样式编号：AAAE02
月
日
改定
确认
承认
备 考
一次性手套
劳动防护用品： 4)装舟操作:
c.时间达到后关闭电源,取出石墨片进行安装。 a.装舟前把陶瓷棒、石墨棒用异丙醇清洗干净,如有不干净的可用5%HF酸浸泡1小时。 b.按拆舟的逆顺序装好石墨石墨棒、陶瓷棒依次装入石墨片和石墨块,注意石墨电石墨电极
手套（PVC),石棉手套,口 的位置。 罩 c.旋上石墨螺母将石墨片固定,锁紧螺母,把石墨舟放入存储柜中。 改定履历 年 1 2 3 4 5 格式编号：HCZY 01
页码信息： 总 第 1 页 1 页
文书编号
HCBZZZ043 01 年 年 月 月 日 日
承认确认作成 Nhomakorabea石墨舟清洗作业指导书
作业手顺·遵守事项
● 作业手顺
版
本
作成日期 修改日期
设备名/设备编号： 1、石墨舟清洗机 2、 3、 4、
应遵守的要点及注意事项 1.如果不戴石棉手套，则有可能会出现手部烫伤。 2.
c.取出石墨片依次放入清洗花篮,取出陶瓷棒、陶瓷套管放入泡沫盒中,石墨棒入石墨螺母泡 8. 使用部品材料： 单晶硅片。 沫盒中。 d.将石墨螺母放入清洗罐中,将花篮放到清洗槽挂钩上。 2).清洗操作 :a.将清洗花篮放到机械挂钩,吊入10%的氢氟酸槽中。 使用夹具、 工具： b.浸泡9-10小时后移入纯水槽,5min后将纯水排空又加纯水浸泡30min,再将纯水排空又加 纯水浸泡30min后将花篮提起晾水。 c.10min后把花篮拿下用压缩空气将石墨片吹干放至烘干架,装入烘干小车上。 扳手,清洗篮,烘干架,内 3).烘干操作: a.把烘干小车推进烘干箱中,关紧烘箱门。 六角 b.设置加热120℃开电源烘干10小时。 1. 2. 3. 管理要点 管理項目 测定法 频度样品数 规定资料及判定标准 9. 10. 11. 12. 定位置管理说明
石墨舟维护规程
PECVD石墨舟维护规程石墨舟使用达到一定次数，石墨舟表面及氮化硅层严重影响整舟均匀性和使用寿命，为保证PECVD产品表面颜色均匀，特制定本规程。
本规程适用于石墨舟清洗、烘干、镀舟及表面处理。
一、石墨舟清洗、烘舟1.清洗槽配酸比例：纯水加到25CM高（约168L），加入HF4瓶（16L），开鼓泡5分钟。
2.补酸：每洗完一次石墨舟后向酸槽中加入2LHF保证槽中HF酸浓度，开鼓泡5分钟。
注：加酸、补酸操作时必须穿戴好防服用品，保证安全操作。
3.洗舟：泡酸：将待洗石墨舟拆下电极叉，并将舟石墨螺母拧松放入空槽中，将另一侧酸液抽到放好舟的槽中，检查液位必须完全淹住石墨舟。
根据舟的使用次数必须在酸槽中放置6~10小时，待石墨舟表面黄色氮化硅完全被酸分解，可以将槽中的酸液抽到另外一侧。
为提高洗舟效率可在准备抽酸前，将其他待洗石墨舟放入另一侧，当酸抽入时补酸后继续循环洗舟。
如与漂洗时间冲突时可延长泡酸时间。
漂洗：待洗舟槽中酸液抽完后，打开排液阀并打开喷淋阀，冲洗1小时后关闭排酸阀，当纯水液位到槽溢流位时关闭喷淋阀并打开鼓泡阀。
当舟在纯水中漂2小时后，关闭鼓泡阀并打开排水阀，将槽中纯水全部排完后关闭排水阀并打开进水阀，当液位到达淹没到石墨舟后将进水阀关闭，继续漂洗6小时以上。
当完成以上时间后将槽中纯水排干净，将石墨舟提出用气枪将石墨舟表面水份吹干。
注：吹时注意气流方向必须与石墨舟极板保持平衡，吹气角度不得大于45度，防止因气压过大造成极板损坏。
4.烘舟：烘箱温度设定为120度，将待烘石墨舟放入烘箱，关好箱门打开加温开关，保持烘舟12小时以上。
注：在烘舟中途不允许关闭加温和打开箱门。
烘箱每半月用吸尘器将内部吸干净，内部腐蚀严重时必须使用酒精擦拭干净才能使用。
二、表面处理当石墨舟使用和清洗到一定次数后表面开始出现凹坑，严重影响到产品表面均匀性和石墨舟使用寿命，为保证使用效果特规定石墨舟在清洗后必须进行表面磨光处理。
将烘干降温的石墨舟送到指定维护地点拆散，在磨光处理前用专用工具将工艺卡点拆下，待磨完后装上工艺卡点（注意调整卡点磨损方向，卡点磨损严重时必须更换），完成以上步骤后按方向装好石墨舟送回车间。
石墨舟控制管理规定
石墨舟控制管理规定
1、目的
规范石墨舟使用，减少石墨舟的损坏风险，降低PE不良品的比率。
2、职责
2.1 所有操作人员都必须严格按照本文件进行操作。
2.2 在操作过程中遇到问题应及时向工艺人员反应，工艺人员及时提供帮助。
2.3 质量控制及技术部负责按文件要求对产线进行检查、监督。
3、管理流程及职责分工
3.1 PE专员负责石墨舟的使用、清洗的管控及安排，当班PE工序长负责石墨舟
的合理使用，当班石墨舟清洗员工负责石墨舟的清洗及安装。
3.2 石墨舟使用及清洗流程：
4、寿命和维护要求
4.1 舟叶型号及石墨舟使用寿命：
5、注意事项
5.1 石墨舟的使用次数达到120次以后必须强制拆卸清洗，在未达到使用寿命前
石墨舟在使用中如出现返工片较多现象，由工段长及专员排查舟原因，决定是否清洗。
5.2 每台机保证有6个以上的石墨舟在使用，每个舟必须固定机台。
5.3 石墨舟清洗过程中酸液浓度及清洗流程必须严格按照工艺管控规定进行。
5.4 石墨舟清洗完毕后烘干时间必须严格按标准执行。
5.5 石墨舟的按照及检查标准相关规定进行，由专员及工段长负责监管。
5.6 石墨舟清洗记录表填写必须准确、清晰、有序。
5.7 严禁将不同厂家及不同批次生产的石墨舟部件（特别是舟片）混装在一起。
5.8 在清洗过程中如发生舟叶损坏需及时报告上级领导，根据相应管理规定进行
处罚，由专员负责损坏舟叶的更换及管控。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机保养作业流程和安全注意事项。
石墨舟清洗机是半导体制造工艺中用于清洁PECVD（等离子增强化学气相沉积）设备所使用的石墨舟的重要设备。
保养作业流程及安全注意事项如下：石墨舟清洗机保养作业流程：1. 准备工作：清洁工作区域，确保无尘环境。
检查电源、水源和气体供应是否正常。
佩戴好防护装备，如防静电手套、防化学品护目镜、防尘口罩等。
2. 设备检查：检查石墨舟清洗机的机械部件是否有磨损或损坏。
检查电气控制系统、温控系统以及压力调节装置是否正常运行。
3. 拆卸与装载石墨舟：根据规程将待清洗的石墨舟放入清洗槽内，确保位置正确且固定稳固。
4. 清洗操作：设置清洗程序，包括清洗剂种类、温度、时间、循环次数等参数。
开始清洗过程，可能涉及酸洗、碱洗、超声波清洗及纯水漂洗等多个步骤。
5. 冲洗与干燥：清洗完毕后用大量去离子水彻底冲洗石墨舟，去除残留清洗剂。
使用烘干程序或者自然晾干方式使石墨舟达到干燥状态。
6. 维护保养：更换滤网：定期更换清洗设备内部的过滤网，保证清洗液的纯净度。
清理腔体：按照规程对设备腔体进行清理，避免积垢影响效果。
检查泵体功能：确认气动隔膜泵或其他输送泵的工作状况，并在必要时进行维护或更换。
润滑和紧固：对所有运动部件进行润滑处理，紧固松动的螺丝。
7. 记录与审核：记录每次清洗及保养过程中的重要参数及结果，便于追溯和质量控制。
审核保养情况，由操作人员和监督人员签字确认。
安全注意事项：在整个过程中严格遵守ESD（静电放电）防护措施，防止静电损害精密设备。
使用化学品时应确保良好的通风条件，避免直接接触皮肤和眼睛，若不慎接触立即用清水冲洗并就医。
在设备运行过程中严禁触碰运动部件，以防夹伤。
设备停用后应及时关闭电源和水源，防止意外开启。
清洗后的废液要妥善收集，按照环保法规要求处理，不得随意排放。
执行任何维修或保养工作前，必须先切断设备电源，并悬挂“正在维修，禁止启动”等警示标识。
石墨矿管理制度
石墨矿管理制度第一章总则第一条为了加强石墨矿的管理，促进石墨矿的生产和利用，保护生态环境，依据《中华人民共和国矿产资源法》《中华人民共和国矿山安全法》等法律、法规，制定本管理制度。
第二条本制度适用于石墨矿的开发、生产、利用及相关管理活动。
第三条石墨矿开发、生产、利用应符合节约资源、保护环境的基本原则，保障生产安全，提高资源利用效率。
第四条管理部门应依法加强对石墨矿的管理，维护矿区秩序，保障矿山安全。
第二章石墨矿的开采管理第五条石墨矿的开采应依法取得采矿许可证。
未经批准擅自开采矿产资源的，均属违法行为，应依法予以处罚。
第六条矿主在开采矿产资源时，应按照采矿许可证的规定进行开采，并履行有关环境保护、安全生产、职工安全等方面的义务。
第七条采矿单位应加强对矿山的保护，做好矿山治理，保护水源、土壤和植被，防止土地沙漠化和水土流失等环境问题。
第八条采矿单位应当严格遵守国家有关安全生产的法律法规，加强矿山安全管理，确保职工生命财产安全。
第三章石墨矿的生产管理第九条石墨矿的生产应符合国家和行业的标准和规定，严格遵守矿山安全、环境保护、职工安全等方面的要求。
第十条采矿单位应当建立健全生产管理制度，依法依规组织生产活动，确保生产过程安全、稳定和高效进行。
第十一条采矿单位应当积极采取技术措施，提高生产效率，降低资源消耗，减少对环境的影响。
第十二条采矿单位应当建立健全质量管理制度，确保产品质量符合国家标准，保障产品供应。
第四章石墨矿的利用管理第十三条石墨矿的利用应符合国家有关产业政策，促进资源合理利用，提高资源利用效率。
第十四条石墨矿的利用单位应当依法依规进行生产经营，确保产品质量，保障消费者权益。
第十五条石墨矿的利用单位应当严格遵守环境保护规定，积极采取措施，减少对环境的影响，保障生态环境。
第十六条石墨矿的利用单位应当建立健全安全生产管理制度，确保安全生产，保障职工生命财产安全。
第五章监督管理与责任追究第十七条石墨矿的开采、生产、利用单位应当履行自查、自定、自报的管理职责，接受管理部门监督检查。
石墨舟的使用和清洗流程
石墨舟的使用和清洗流程I. 简介石墨舟是一种常用于化学实验室中的实验仪器，用于加热试管、烧瓶等容器的工具。
它具有高温稳定性、加热均匀性好等特点，因此被广泛应用于化学实验中。
本文将介绍石墨舟的使用和清洗流程。
II. 石墨舟的使用流程使用石墨舟需要注意以下几个步骤：1.准备工作–检查石墨舟的表面是否有划痕或损坏，如有，不得使用。
–检查石墨舟的清洁度，如有污垢，应先清洗再使用。
2.将样品放入石墨舟–将待加热的试管或烧瓶等容器稳固地放在石墨舟中心位置。
–确保容器与石墨舟的接触面积大，以提高加热效果。
3.设置加热温度–根据实验需要，选择适当的加热温度。
–打开石墨舟的控温面板，根据指示设置加热温度。
4.加热样品–将石墨舟接通电源，启动加热过程。
–观察样品的加热情况，确保加热过程稳定和均匀。
5.注意安全–加热过程中，注意手部远离石墨舟表面，以免烫伤。
–使用工具时，注意石墨舟的高温，避免碰撞和损坏。
III. 石墨舟的清洗流程石墨舟在使用完毕后需要进行清洗，以下是清洗流程的具体步骤：1.关闭电源–在清洗前，先将石墨舟断电，确保清洗过程的安全。
2.倒去残留液体–将石墨舟倾斜，将残留液体倒入废液容器中。
–注意不要将液体倒到其他地方，以免造成污染。
3.温水清洗–将石墨舟放在水槽中，用温水冲洗石墨舟的内外表面。
–使用软毛刷轻刷石墨舟的表面，去除顽固的污垢。
4.水龙头清洗–打开水龙头，让水流冲洗石墨舟，确保石墨舟表面干净。
5.酸洗–准备稀盐酸溶液，浸泡石墨舟10-15分钟。
–将石墨舟放入酸洗溶液中，用搅拌棒轻轻搅拌。
–定期检查酸洗溶液的pH值，确保清洗效果。
6.水洗–将石墨舟取出，用大量的清水冲洗。
–多次清洗，直到酸洗液全部冲洗干净。
7.干燥–将石墨舟放在通风处晾干，或用纸巾擦干。
8.检查–检查石墨舟的清洗情况，确保没有残留污垢。
IV. 注意事项在使用和清洗石墨舟时需要注意以下事项：•在使用前，检查石墨舟的表面是否有损坏，并保持清洁。
工装夹治具管理程序
1.目的：建立工装夹具管理体系，确保工装得到有效地控制和使用，以保证产品质量符合规定的要求。
2.适用范围：适用于本公司产品质量形成过程中所使用的各种工装。
3.定义：工装：试验和生产过程中所使用的工艺装备。
我公司的工装包括：石墨舟、料架、载料条、封合仪、吸盘、梭条、料台、产品周转盒。
4.职责：4.1技术部负责工装夹具需求计划4.2设备部4.2.1负责工装夹具开发制造4.2.2负责工装夹具调试4.3采购科负责本部加工能力外的工装外委加工4.4生产部4.4.2负责频繁使用工装的保管和维护5.控制程序：5.1提出工装需求5.1.1新开发产品的工装，需求执行《先期产品质量策划控制程序》。
5.1.2实验用模具等由技术部实验室根据需要提出工装需求；5.1.3石墨舟、吸盘、产品周转盒等由生产部使用部门提出工装需求；5.1.4试验、过程和产品改进所需工装由需用部门根据试验和生产的需要以及工装的库存情况，填写《申请单》提交技术部。
5.2工装设计设备部接到《请购单》后，对需求的工装进行设计，将工装图纸下发采购科。
5.3工装采购采购科接到工装图纸后委外制造或购买，并和供方签订采购或委托加工合同，采购科做好工装委外加工或采购进度监控工作，执行《采购管理程序》。
5.4工装验收5.4.1设备部、品质部负责组织模具、工装、流转夹具等的验收。
5.4.2外观、尺寸检测：委外制作、购买的工装，采购科向品质部报检。
品质部按照图纸进行检测，尺寸检测合格后，再进行使用验证。
5.4.3使用验证（针对产品的专用工装）：除对工装本身进行尺寸、外观检测外，还需对工装进行使用验证，验证结果合格，通知模具库办理入库登记。
产品专用模具、工装、产品周转盒等由设备部试模，样件和“委托书”一起送品质部检测，品质部检验员将检测结果填入《尺寸检测报告》，反馈产品设计工程师，检测合格的由产品设计工程师填写《试生产启动检查表?通知》，启动试生产执行《试生产管理规定》；不合格的由设备部重新调试或采购科委外修模或重新加工模具。
石墨舟
操作
1号槽为HF溶液槽 2号槽为纯水槽 3号槽为清洗工艺槽
开关工艺槽需注意 先开工艺槽盖再开外保护窗 先关外保护窗再关工艺槽盖
操作
操作
操作
操作
操作注意事项
注 意 事 项
穿戴防护用品
操作注意事项
注 意 事 项
穿戴防护用品
安全
氢氟酸（HF）是氟化氢气体的水溶 液, 具有弱酸性，为无色透明至淡黄 色冒烟液体。有刺激性气味。有剧毒。 腐蚀性强，对牙、骨损害较严重。 注意：接触到HF立即用六氟磷清洗后 涂葡萄酸钙 操作完后及时到湿法实验台清洗
1 2 3
4 5
设备介绍
HF泄漏传感器 界面（触屏、按钮） 报警器
工艺介绍
拆解
清洗 烘干
组装
预处理 工序
工艺介绍
工艺介绍
在室温条件下(<40°C)，将分解后的石墨 舟零件放置于浓度5~20%的HF(最佳浓度 为10%)清洗槽中清洗4~6小时，再用水清 洗4~6小时。 石墨舟零件放置烘干炉，80°C烘烤至少8 小时。 注：一次最多能清洗两个舟
石墨舟清洗
主要内容 主要内容
目的 原理 设备介绍 工艺介绍 操作注意事项 安全注意事项
目的
清洁石墨舟表面的氮化硅 石墨舟的表面会随着制程次数增加而 逐渐被侵蚀。因此，当石墨舟使用次 数越多，会使沉积在电池片表面的 SiN膜之差异性越大。故当使用次数 达100至150 时，需将石墨舟全部分解 并加以清洗。
原理
Si3N4+4HF+9H2O=3H2SiO3+4NH4F Si3N4 + 12 HF =3SiF4↑+4NH3 (SiF4水解成H2SiO3）
设备介绍
石墨生产企业管理规章制度
石墨生产企业管理规章制度
《石墨生产企业管理规章制度》
一、总则
石墨生产企业管理规章制度是为了规范企业内部管理，保障生产安全、提高生产效率，保证产品质量，制定本规章制度。
二、生产安全管理
1. 石墨生产企业应每年进行安全生产大检查，排除安全隐患。
2. 生产场所应设置明显的安全警示标志，并定期进行安全巡查。
3. 生产设备应进行定期维护保养，并备有安全操作规程手册。
三、人员管理规定
1. 人员招聘应严格按照招聘程序进行，不得涉及违法违规行为。
2. 员工应定期进行生产安全知识培训，提高安全意识。
3. 员工作息时间应合理安排，不得超时加班。
四、质量管理制度
1. 石墨产品生产过程应进行全程抽检，确保产品质量合格。
2. 发现产品质量问题应及时报告，进行追溯处理。
3. 设立质量管理岗位，负责生产过程的质量监控。
五、环境保护规定
1. 生产企业应树立绿色环保理念，减少污染排放。
2. 定期开展生产废弃物处置工作，确保环境无污染。
六、安全生产意识培养
1. 定期举行安全生产宣传教育活动，提高员工安全意识。
2. 奖惩并举，对安全生产有突出贡献的员工进行表彰奖励。
七、违规处罚规定
1. 对违反本规章制度的人员，应按照情节轻重给予相应处罚。
2. 对于严重的违规行为，应依法追究责任。
本规章制度经企业管理部门审查通过，并于×××年××月起开始执行。
企业全体员工必须严格遵守，如有违反，将受到相应处罚。
石墨舟的清洗及保养
石墨舟清洗及使用维护舟的清洗:1: 新舟在第一次使用前建议使用去离子水+10%（体积比）的氢氟酸进行清洗约3~5小时；再用去离子水进行漂洗8~12小时；直到确认舟体没有酸性成分，可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。
然后按照要求进行烘干。
2：使用后石墨舟的清洗：SHF的石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的氮化硅进行清洗。
建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三轮次来清洗，每次4-5小时，并在浸泡清洗的过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的清洗；注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。
酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟已经彻底清洗干净，请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点和舟片结合处、以及其它部位是否还有氮化硅的残余。
然后按照要求进行烘干。
清洗注意事项：A）由于HF酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。
因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。
B）建议在清洗时将舟拆开后只对石墨部位进行清洗，这样能将各个接触部位清洗的更彻底。
目前国内很多厂家采用整体清洗，虽然方便，但由于HF酸对陶瓷部件有一定的腐蚀性，整体清洗会缩短相应部件的使用寿命。
舟的烘干：1、建议使用有定时功能和循环排风的烘干箱，这样烘烤的水蒸气可直接被抽掉，以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。
2、清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘干箱。
请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘干箱。
3、将烘干箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持时间为10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。
舟的预处理（饱和）：进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。
建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。
建议不在空舟状态下进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。