位移传感器毕业设计
位移传感器原理及应用课程设计[1]
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题目:位移传感器的设计设计人员:学号:班级:指导老师:许晓平、高宏才、陈焰日期:位移传感器—光栅的原理和应用一、概述位移是和物体的位置在运动过程中的移动有关的量,位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。
小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测,大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等传感技术来测量。
其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高(目前分辨率最高的可达到纳米级)、抗干扰能力强、没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点,在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用(1)。
二、原理计量光栅是利用光栅的莫尔条纹现象来测量位移的。
“莫尔”原出于法文Moire,意思是水波纹。
几百年前法国丝绸工人发现,当两层薄丝绸叠在一起时,将产生水波纹状花样;如果薄绸子相对运动,则花样也跟着移动,这种奇怪的花纹就是莫尔条纹。
一般来说,只要是有一定周期的曲线簇重叠起来,便会产生莫尔条纹。
计量光栅在实际应用上有透射光栅和反射光栅两种;按其作用原理又可分为幅射光栅和相位光栅;按其用途可分为直线光栅和圆光栅。
下面以透射光栅为例加以讨论。
透射光栅尺上均匀地刻有平行的刻线即栅线,a为刻线宽,b 为两刻线之间缝宽,W=a+b称为光栅栅距。
目前国内常用的光栅每毫米刻成10、25、 50、100、250条等线条。
光栅的横向莫尔条纹测位移,需要两块光栅。
一块光栅称为主光栅,它的大小与测量范围相一致;另一块是很小的一块,称为指示光栅。
为了测量位移,必须在主光栅侧加光源,在指示光栅侧加光电接收元件。
当主光栅和指示光栅相对移动时,由于光栅的遮光作用而使莫尔条纹移动,固定在指示光栅侧的光电元件,将光强变化转换成电信号。
由于光源的大小有限及光栅的衍射作用,使得信号为脉动信号。
如图1,此信号是一直流信号和近视正弦的周期信号的叠加,周期信号是位移x的函数。
每当x变化一个光栅栅距W,信号就变化一个周期,信号由b点变化到b’点。
LK031激光位移传感器设计

课程设计(报告)题目:LK-031激光位移传感器数据采集系统设计学院:专业班级:指导教师:职称:学生姓名:学号:摘要利用激光的高方向性、高单色性和高亮度等特点可实现无接触远距离测量。
激光位移传感器(磁致伸缩位移传感器)就是利用激光的这些优点制成的新型测量仪表,它的出现,使位移测量的精度、可靠性得到极大的提高,也为非接触位移测量提供了有效的测量方法。
激光位移传感器因其较高的测量精度和非接触测量特性,广泛应用于高校和研究机构、汽车工业、机械制造工业、航空与军事工业、冶金和材料工业的需要精密测量检测的行业。
激光位移传感器是可以精确进行非接触位置、位移测量的精密传感器,主要应用于位置、位移、厚度、振动、距离等几何量的工业测量。
按照测量原理,激光位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量。
本文对LK-031激光位移传感器数据采集系统进行了设计,该系统是利用CCD激光位移传感器来的两物体的微小形变量,再利用AD7705芯片进行A/D转换和用AT89C51作为处理器,最后用LED显示出测量的位移值。
该测量系统量程为-5mm~+5mm,精度为1μm。
该测量装置显示清晰明了,反应快,灵敏度高,性能稳定,结构简单且设计廉价,可以得到广泛的推广和使用。
关键词:位移传感器,AD7705,AT89C51,LED显示目录第1章绪论 (1)第2章系统总体方案设计 (3)2.1系统技术指标 (3)2.2系统电路框图 (3)2.3数据采集与处理方案 (3)第3章系统硬件设计 (4)3.1A/D电路选择 (4)3.1.1AD7705引脚说明 (4)3.1.2AD7705内部转换原理 (5)3.1.3AD7705的数字接口 (6)3.1.4AD7705的接口电路 (7)3.2单片机的选择 (8)3.2.1AT89C51主要特性 (8)3.2.2管脚说明 (9)3.3AD7705与AT89C51接口电路 (11)3.4放大电路的设计 (11)3.5调整电路与滤波电路设计 (12)3.6显示电路设计 (13)第4章系统软件设计 (18)第5章电路原理图 (19)总结 (20)致谢 (21)参考文献 (22)第1章绪论激光测距技术按照测程可以分为绝对距离测量法和微位移测量法;按照测距方法细分,绝对距离测距法主要有脉冲式激光测距和相位式激光测距,微位移测量法主要有三角法激光测距和干涉法激光测距。
本科毕业设计(论文)-脉宽调制型差动电容位移传感器的研究 精品

J I A N G S U U N I V E R S I T Y本科毕业论文脉宽调制型差动电容位移传感器的研究Study of Displacement Sensor Based on Pulse Width ModulatedDifferential Capacitors学院名称:机械工程学院专业班级:测控技术与仪器0801班学生姓名:指导教师姓名:指导教师职称:2012年06 月毕业设计(论文)任务书机械学院测控0801 班级学生设计(论文)题目脉宽调制型电容位移传感器研究课题来源自选起讫日期2012 年03 月15 日至2012 年06 月7 日共14 周指导教师(签名)系(教研室)主任(签名)课题依据:利用平行板差动电容,配以脉宽调制信号处理电路实现对微位移的检测。
任务要求:1.开题/专题综述报告(3000字左右)2.专业译文工作(10000汉字左右)3.调研报告(1000字左右)4.总体要求:(1)建立实验系统,搭建整个测试系统;(2)研制平行板电容器;(3)研制出传感器信号处理电路;(4)研制出一台微位移测试仪(量程1~2mm,分辨力微米)。
5.毕业设计说明书/论文(≥20000字)毕业设计(论文)进度计划:起讫日期工作内容备注3.1~3.14 3.15~3.283.29~4.114.12~4.254.26~5.95.10~5.235.24~6.66.7~6.13 6.14~6.18 明确任务,收集资料,外文翻译,外出调研。
(2周)外文翻译,文献综述,提出总体方案,提交开题报告,撰写调研报告。
(2周)外文翻译,进行理论研究。
(2周)总体结构设计。
(2周)硬件设计。
(2周)硬件调试,。
(2周)系统调试、改进与完善(2周)编写毕业设计说明书(毕业论文)。
(1周)资料总结、打印、归档,毕业设计答辩(1周)毕业实习备注脉宽调制型差动位移传感器的研究专业班级:测控0801 学生姓名:朱彤指导教师:鲍丙豪职称:教授摘要电容式传感器是将被测非电量的变化转换成电容量变化的一种传感器。
简易直线位移测量系统设计毕业论文

简易直线位移测量系统设计毕业论文目录第1章绪论 (1)1.1 研究背景 (1)1.2 研究意义 (1)1.3 研究内容 (2)1.4系统总体方框图 (2)第二章硬件设计 (3)2.1编码器设计 (3)2.2单片机概述 (3)2.2.1 单片机分类 (4)2.2.2单片机与单片机系统 (5)2.2.3 单片机应用领域 (5)2.3 MCS—51系列单片机介绍 (6)2.3.1 MCS—51系列芯片简介 (6)2.3.2 最小系统 (6)2.3.3 定时与中断的概念 (7)2.4 AT89S52芯片概述 (8)2.5 MAX232芯片简介 (10)2.6 RS232 (DB9) 串口介绍 (11)2.7 电压比较器 (13)2.7.1 LM339芯片 (13)2.7.2四细分原理 (14)2.8 光敏二极管简介 (14)第三章软件程序设计 (16)3.1 上位机VB程序设计 (16)3.1.1 VB流程图 (16)3.1.2 Visual Basic6.0软件介绍 (17)3.1.3 VB界面设计 (18)3.1.4 Mscomm控件简介 (19)3.1.5 VB程序设计 (20)3.2 下位机单片机程序设计 (22)3.2.1 主程序 (22)3.2.2 定时中断程序 (24)3.2.3 看门狗激活 (25)3.2.4 串口中断程序 (26)3.2.5 数据发送程序 (26)3.2.6 计数程序 (27)第四章系统调试 (29)4.1 硬件电路调试 (29)4.1.1 protues软件简介 (29)4.1.2 实物检测步骤 (29)4.2 软件调试 (30)4.2.1 系统调试工具keil (30)4.2.2 调试的主要方法 (30)结论 (32)参考文献 (33)谢辞 (34)附录1 上位机VB程序 (35)附录2 下位机单片机程序 (37)附录3 实物图 (41)简易直线位移测量系统设计第1章绪论1.1 研究背景位移测量系统大部分都是通过各式各样的传感器来实现的的,而传感器本身的特性从很大程度上决定了测量系统本身的精度、实用性,通用性等要素。
WDS35型角位移传感器的设计

摘要导电塑料位移传感器(WDS)采用导电塑料电位器作主要元件,内置信号变送器,能直接将机械位移量变换成0~10V或4~20mA的输出信号。
导电塑料位移传感器具有长寿命、高可靠性、高精度等优点,分辨率在理论上达到无限小,响应时间几乎为零,由于信号变换完全基于直流方式,所以外围电路十分简洁,抗干扰性能相当好,不存在外界磁场产生的不良影响,另外导电塑料采用了化学性能和物理性能非常稳定的DAP树脂,由此做成的导电塑料位移传感器能适用在高温、潮湿、盐雾等腐蚀性气体的环境中。
传感器结构主要由电阻元件、轴、电刷、壳体、盖、敏感元件,电极等组成。
本课题设计的WDS35型角位移传感器,采用导电塑料作为敏感材料,电刷组件确保电刷片在导电塑料膜上的压力恒定,电源采用10V高精度恒流恒压电源,可用于角位移参数测量。
本课题设计的传感器与其他的测位移用的传感器相比,具有摩擦阻力小和分辨率高,且具有高精度、高可靠性和高抗干扰能力,而且使用寿命特别长等优点,可在恶劣环境下工作,测量范围可以达到120°,在360°范围内可自由旋转,可广泛应用于阀位控制、液压泵控制,曲柄反馈,机器人等领域。
关键词:角位移传感器;导电塑料;电刷组件;绝缘基体.目录第1章绪论 (1)1.1目的和意义 (1)1.2应用领域 (1)1.3国内外发展概况 (1)1.4发展展望 (4)第2章设计要求 (5)2.1设计任务 (5)2.2基本要求 (5)2.3传感器的主要技术指标 (5)2.4性能指标 (5)第3章传感原理分析 (6)3.1传感原理的选择 (6)3.2WDS35型角位移传感器的一般特性 (7)3.2.1 线性度 (7)3.2.2 降功耗曲线 (8)3.2.3 迟滞 (8)3.2.4 重复性 (9)3.2.5 灵敏度与灵敏度误差 (10)3.2.6 分辨率与阀值 (10)3.2.7 稳定性 (11)3.2.8 漂移 (11)3.2.9 精确度 (11)第4章敏感材料选择 (13)4.1敏感材料的选择 (13)4.2导电塑料的优势 (14)第5章传感器结构设计 (16)5.1基体塑压工艺 (16)5.1.1 粉碎 (16)5.1.2 振动过筛 (16)5.1.3 成型 (17)5.1.4 保存 (17)5.2喷涂 (17)5.2.1 喷涂脱模剂 (17)5.2.2 喷涂电阻液 (18)5.2.3 喷涂零阻液 (18)5.3基体喷涂K值和初始线性度的合格率 (20)5.3.1 喷涂台设计原则和功能特点 (20)5.3.2 喷涂台工作影响因素 (20)5.3.3 解决喷涂技术难题的措施 (21)5.4结构设计 (21)致谢 (23)参考文献 (24)附录1:各部分结构设计图 (25)附录2:传感器安装图 (28)附录3:精密位移传感器安装、使用说明 (29)1安装 (29)2注意事项 (29)3使用须知 (30)第1章绪论目的和意义新技术革命到来,世界开始进入信息时代。
位移传感器课程设计

位移传感器课程设计一、课程目标知识目标:1. 学生理解位移传感器的基本概念,掌握其工作原理和分类;2. 学生能够运用物理知识,解释位移传感器在实际应用中的功能;3. 学生了解位移传感器在自动化、机器人技术等领域的重要性。
技能目标:1. 学生能够正确操作位移传感器,进行简单的数据采集和信号处理;2. 学生通过实际操作,培养动手能力和问题解决能力;3. 学生学会使用相关软件对位移传感器数据进行处理和分析。
情感态度价值观目标:1. 学生培养对物理科学的兴趣,提高探索未知、创新实践的精神;2. 学生认识到位移传感器在现代科技发展中的重要作用,增强社会责任感和使命感;3. 学生通过小组合作,培养团队协作精神和沟通能力。
课程性质:本课程属于物理学科,结合传感器技术,旨在培养学生的实践能力和创新精神。
学生特点:本年级学生具有一定的物理知识基础,对新兴科技具有好奇心,动手能力较强。
教学要求:结合课程内容,注重理论与实践相结合,充分调动学生的主观能动性,提高学生的综合素养。
在教学过程中,将课程目标分解为具体的学习成果,以便进行有效的教学设计和评估。
二、教学内容1. 位移传感器基础知识:- 传感器定义、作用及分类;- 位移传感器原理及其在自动化领域的应用。
2. 位移传感器的种类及特点:- 电位计式、光栅式、磁电式等位移传感器的工作原理和性能比较;- 各类位移传感器在实际应用中的优缺点分析。
3. 位移传感器的操作与数据处理:- 位移传感器的安装、调试及使用方法;- 使用相关软件(如Excel、Processing等)对采集到的数据进行处理和分析;- 数据处理过程中常见问题及解决方法。
4. 实践项目:- 设计简单的位移测量实验,培养学生的动手实践能力;- 结合课程内容,开展小组合作项目,提高学生团队协作能力。
教材章节关联:- 《物理》教材中有关传感器的内容;- 《传感器原理与应用》教材中关于位移传感器的章节。
教学内容安排与进度:- 第一课时:位移传感器基础知识及分类;- 第二课时:各类位移传感器的工作原理及特点;- 第三课时:位移传感器的操作与数据处理;- 第四课时:实践项目及小组合作项目展示与总结。
线性位移传感器设计报告

线性位移传感器设计报告姓名:班级:学号:辅导教师:目录一、方案讨论 (3)二、设计计算 (4)三、设计结果 (9)四、设计小结 (10)五、参考文献 (10)六、设计图纸 (10)一、方案讨论AD698是美国Analog Devices公司生产的单片式线性位移差分变压器(LVDT)信号调理系统。
AD698与LVDT配合,能够高精确和高再现性地将LVDT的机械位移转换成单极性或双极性的直流电压。
AD698具有所有必不可少的电路功能,只要增加几个外接无源元件来确定激磁频率和增益,就能把LVDT的次级输出信号按比例地转换成直流信号。
与传统模拟电路相比,AD698芯片有以下特点:Ⅰ.AD698提供了用单片电路来调理LVDT信号的完整解决方案,它含有内部晶振和参考电压源,只需附加极少量的无源元件就可实现位置的机械变量到直流电压的转换,并且无需校准。
其单极性或双极性直流电压输出正比于LVDT的位移变化。
Ⅱ.驱动LVDT的激磁信号频率为20Hz~20kHz,它取决取于AD698的一个外接电容器。
AD698的输出电压有效值达24V,能够直接驱动LVDT的初级激磁线圈,LVDT的次级输出电压有效值可以低于100mV。
Ⅲ.AD698能够适用于多个不同类型的LVDT。
因为AD698的输入电压、输出电压及频率适应范围都很宽,其电路的优化设计,使得它与任何类型的LVDT配合使用都能获得理想效果。
Ⅳ.振荡器的幅值随温度变化不会影响电路的整体性能。
AD698采用比率译码方案,即通过计算次级电压与初级电压的比率来确定LVDT的位置和方向,无需整定。
Ⅴ.只要电源不过载,一个AD698可以串联或并联驱动多个LVDT。
其激励输出具有热保护功能。
LVDT(Linear Variable Differential Transformer)是线性可变差动变压器缩写,属于直线位移传感器。
工作原理简单地说是铁芯可动变压器。
它由一个初级线圈,两个次级线圈,铁芯,线圈骨架,外壳等部件组成。
光栅式位移传感器构成的测控系统硬件电路设计

光栅式位移传感器构成的测控系统硬件电路设计
栅式位移传感器构成的测控系统的硬件电路设计
光栅作为精密测量的一种工具,由于他本身具有的优点,已在精密仪器、坐 标测量光栅作为精密测量的一种工具,由于他本身具有的优点,已在精密仪器、 坐标测量、精确定位、高精度精密加工等领域得到了广泛的应用。目前,广泛地 将光栅位移传感器与微电子技术相结合,进行微小位移量的测量,以实现较高的 测量精度。 本设计以全自动金属带锯床为例介绍了光栅式位移传感器在机电一体 化产品中的应用实例,以 AT89C51 为核心,以光栅式位移传感器为检测元件, 以电磁阀、电动机为驱动部件,由控制软件作支持的智能光栅测控系统,对机电 一体化设备的运动部件进行定位控制。该系统性能可靠,操作方便,通用性强, 具有一定的工程实用价值。 本文设计了一种基于 AT89C51 单片机开发的光栅位移传感器对微小位移 进行测量的系统。 其硬件设计主要包括键盘输入与显示、传感器信号处理和输出 驱动。把读数头输出的信号(脉冲电信号) ,经过硬件电路辨向,送入计数器计 数,利用 AT89C51 单片机进行信号处理,最终转换成实际的位移值显示出来。 与其他系统相比,他的硬件电路简单,并能实现较高的位移测量精度。
关键字: 单片机 AT89C51 ; 光栅传感器 ; 位移检测
光栅式位移传感器构成的测控系统硬件电路设计
GRATING DISPLACEMENT SENSOR MEASUREMENT AND CONTROL SYSTEM CONSISTING OF HARDWARE CIRCUIT DESIGN
ABSTRACT
光栅式位移传感器构成的测控系统硬件电路设计
CHANGSHA UNIVERSITY OF SCIENCE & TECHNOLOGY
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位移传感器毕业设计【篇一:位移传感器设计报告】综合性实验报告实验课程:传感器与检测技术实验名称:位移检测传感器的应用姓名:学号:班级:指导教师:实验日期: 2013年12月17日位移检测传感器应用一、实验类型位移检测综合性实验二、实验目的和要求1.了解微位移、小位移、大位移的检测方法。
2.运用所学过的相关传感器设计三种位移检测系统。
3.对检测系统进行补偿和标定。
三、实验条件为了满足实验要求,现使用电涡流,光纤,和差动三种传感器设计位移检测系统,电涡流取0.1mm为单位,光纤取0.5mm为单位,差动取0.2mm为单位。
进行试验后,用matlab处理数据,分析结论。
(一):电涡流传感器测位移实验原理:通过高频电流的线圈产生磁场,当有导电体接近时,因导电体涡流效应产生涡流损耗,而涡流损耗与导电体离线圈的距离有关,因此可以进行位移测量。
(二):光纤传感器测位移实验原理:反射式光纤位移传感器是一种传输型光纤传感器。
其原理如图36-1所示:光纤采用Y型结构,两束光纤一端合并在一起组成光纤探头,另一端分为两支,分别作为光源光纤和接收光纤。
光从光源耦合到光源光纤,通过光纤传输,射向反射面,再被反射到接收光纤,最后由光电转换器接收,转换器接收到的光源与反射体表面的性质及反射体到光纤探头距离有关。
当反射表面位置确定后,接收到的反射光光强随光纤探头到反射体的距离的变化而变化。
显然,当光纤探头紧贴反射面时,接收器接收到的光强为零。
随着光纤探头离反射面距离的增加,接收到的光强逐渐增加,到达最大值点后又随两者的距离增加而减小。
反射式光纤位移传感器是一种非接触式测量,具有探头小,响应速度快,测量线性化(在小位移范围内)等优点,可在小位移范围内进行高速位移检测。
(三):差动电感式传感器测位移实验原理:差动动螺管式电感传感器由电感线圈的二个次级线圈反相串接而成,工作在自感基础上,由于衔铁在线圈中位置的变化使二个线圈的电感量发生变化,包括两个线圈在内组成的电桥电路的输出电压信号因而发生相应变化。
五、实验步骤(一):电涡流传感器测位移1.按下图1安装电涡流传感器。
图1 2.在测微头端部装上铁质金属圆盘,作为电涡流传感器的被测体。
调节测微头,使铁质金属圆盘的平面贴到电涡流传感器的探测端,固定测微头。
图23.传感器连接按图2,将电涡流传感器连接线接到模块上标有“”的两端,实验模块输出端uo与数显单元输入端ui相接。
数显表量程切换开关选择电压20v档,模块电源用连接导线从实验台接入+15v电源。
4.打开实验台电源,记下数显表读数,然后每隔0.2mm读一个数,直到输出几乎不变为止。
将结果列入下表1。
(二):光纤传感器测位移1.光纤传感器的安装如图36-2所示,将y型光纤安装在光纤位移传感器实验模块上。
探头对准镀铬反射板,调节光纤探头端面与反射面平行,距离适中;固定测微头。
接通电源预热数分钟。
(三):差动电感式传感器测位移实验内容与步骤 1、按差动变压器性能实验将差动变压器安装在差动变压器实验模块上,将传感器引线插入实验模块插座中。
2、连接主机与实验模块电源线,按下图连线组成测试系统,两个次级线圈必须接成差动状态。
3、使差动电感传感器的铁芯偏在一边,使差分放大器有一个较大的输出,调节移相器使输入输出同相或者反相,然后调节电感传感器铁芯到中间位置,直至差分放大器输出波形最小。
4、调节rw1和rw2使电压表显示为零,当衔铁在线圈中左、右位移时,l2≠l3,电桥失衡,输出电压信号的大小与衔铁位移量成比例。
5、以衔铁位置居中为起点,分别向左、向右各位移5mm,记录v、x值并填入下表3六、原始数据记录表一:电涡流表二:光纤【篇二:电容式位移传感器毕业论文】电容式位移传感器毕业论文脉宽调制型差动电容位移传感器的研究学院名称:机械工程学院专业:测控技术与仪器脉宽调制型差动位移传感器的研究摘要电容式传感器是将被测非电量的变化转换成电容量变化的一种传感器。
结构简单、分辨率高、可非接触测量,并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作。
目前在位移、振动、角度、加速度、压力、压差、液面和成分含量测量等方面获得广泛应用。
然而,电容式传感器将被测非电量变换为电容变化后,其信号十分微弱,不便于直接测量,所以为了测出被测非电量必须采用测量电路将其转换成电压、电流或频率信号。
本论文主要研究的内容是电容式位移传感器及其测量电路。
设计中电容器由三片相同的金属板构成,三块板平行放置,连成差动结构,然后配以脉宽调制信号处理电路从而实现对微小位移的检测。
这种电路无需相敏检波电路即可判定产生位移的板的运动位置,由于采用差动结构,整体电路具有线性度高、灵敏度高和温漂小的特点。
设计时将系统分为两部分,即传感器制作部分和测量电路部分,通过分步测试调理,最后建立一个完整的实验系统,研制出一台微位移测试仪。
当动极板与两固定极板的相对位置发生变化时,即产生相对位移时,电路的输出电压产生变化,电压变化与位移呈现线性关系。
关键词:电容式传感器差动结构脉宽调制微小位移线性关系study of displacement sensor based on pulse widthmodulated differentialcapacitorsabstract the capacitive sensor is a type of sensor which isused to convent the measured non electrical quantity to thechanges of the capacity.it has many characteristics ,such as simple structure, high resolution.it can be used for non-contact measurement.moreover,the capacitive sensor can also work under harsh conditions such as heat, radiation, andstrong vibration.now, it is widely used in the displacement, vibration, angle, acceleration, pressure, differential pressure, liquid level and component content measurement.however,after the capacitive sensors transform the measured non-electricity into the changes of the capacitance,the outputsignal is so weak that it can not be measured directly.so the measuring circuit is needed to change the measured non-electrical quantity into the voltage, current or frequency signals.the contents of this thesis are the design of the capacitive displacement sensor and its measurement circuit.in this design,the capacitor consists of three metal plates which are placed parallel,so it is connected as a differential structure.and then using a pulse width modulation signal processing circuitso that we can achieve the detection of smalldisplacements.this circuit can judge the position of the board which causes the displacement without a phase sensitive detection circuit.due to the differential structure, the overall circuit has the following characteristics ,high linearity, high sensitivity and small temperature drift .the system is divided into two parts.one is the production ofthe sensor.the other is the measuring circuit portion.by a step-by-step test,we build a complete experimental system and develop a micro-displacement testing instrument.when the relative position of the moving plate and the two fixed plates which is called relative displacement changes,the output voltage of the circuit changes.there is a linear relationship between the voltage and the displacement.key words :capacitive sensors differential structure pulse width modulation micro-displacement linear relationship目录第一章绪论 .............................................. 错误!未定义书签。
1.1 本课题研究背景 ..................................... 错误!未定义书签。
1.2 本课题研究目的和意义 ............................... 错误!未定义书签。
1.3 研究现状 ........................................... 错误!未定义书签。