氯硅烷物性手册
氯硅烷物理特性
410
参考文献 1. 拉比杜斯 伊. 伊., 尼谢里松. 列.阿. 四氯化硅和三氯氢硅. 分子化学, 1970,126 页 2. 马拉契夫斯基 阿.盖., 斯拉特科夫 伊.白. 分子化合物的理化特性. 手册.实验化学, 1987,192 页 3. 拉比杜斯 伊. 伊., 柯甘 白.阿., 别列别尔金 外.外.等. 高纯多晶硅冶金学. 分子化学, 1971, 144 页 4. 尼谢里索 列.阿.,萨加络娃 丹.特., 哥鲁伯科夫 尤. 外. 液态六氯硅烷和八氯硅烷的饱和蒸 汽压力、表面张力、粘度及密度/物质和材料的热物理特性. 版本 5. 标准出版社. 莫斯科. 1972, 128-132 页
蒸汽:
ρG
=
M ⋅P R⋅T
(克拉义佩隆-门捷列夫理想气体方程式)
恒压热容 液态: CL = 132.4 焦尔/(摩尔·开) 熔点到沸点温度 区间的计算值[2] 蒸汽: CG = 90,77 + 6,95 ⋅10−3 ⋅T − 26,92 ⋅105 ⋅T −2 ,焦尔/(摩尔·开 ) (T = 298-2000 K) [2]
,
(P,
帕;
T
=
253-400
K)
[2]
导热系数 液态:
405
λL = 0,1903 − 2,5 ⋅10−4 ⋅T ,瓦/(摩尔·开 ) (T = 273-323 K) [2]
液体的表面张力
σ L = 52,6 − 0,1127 ⋅T , 毫焦尔/м2 (T = 205-330 K) [2],
σL
T
=
223-305
K)
[2]
导热系数 液态:
403
⎜⎛ 2 − 0,6273 ⋅T ⎟⎞4 / 3
氯硅烷介质的物化性质
氯硅烷介质的物化性质：
四氯化硅
分子式：SiCl4 分子量：169.2 液体密度：1.49kg／l
气体密度：0.0103Kg/1 latm下沸点：57.6℃
1atm下熔点：-70℃粘度：0.33cp
物料性质：常温下纯净的四氯化硅是无色、透明油状液体、比重较大、有刺鼻气味。
其化学性质如下：
(1)易水解、潮解、在空气中强烈发烟，水解时生成盐酸，腐蚀机器；
(2)易挥发、易汽化、沸点低；
(3)易与氨作用生成浓雾；
(4)毒性较小，为四氯化碳的1／2。
三氯氢硅
分子式：SiHCl3 分子量：135.4 液体密度：1.318kg/l
气体密度：0.0055kg/l 1atm下沸点：31.5℃
latm下熔点：-128℃粘度：0.29cp
物料性质：常温下纯净的三氯氢硅是无色、透明、挥发性、可燃液体，有较四氯化硅更强的刺鼻气味。
其化学性质如下：
(1)易水解、潮解、在空气中强烈发烟，水解时生成盐酸，腐蚀机器；
(2)更易挥发、更易汽化、沸点更低；
(3)更易制备、易还原；
(4)易着火、易爆炸、着火点28℃，着火温度220℃，燃烧时产生氯化氢和氯气；
(5)对金属极稳定；
其蒸汽具有弱毒性，与无水醋酸和二氯乙烯毒性程度相同。
动力黏度单位：厘泊（cP）
1Pa.s=103 cP
动力黏度=密度*运动黏度
功率单位换算：1千瓦=1000焦耳/秒=860千卡/小时。
常用危险化学品应急手册(三氯硅烷)
火灾：火场内如有储罐、槽车或罐车，隔离800m。
考虑撤离隔离区内的人员、物资
·疏散无关人员并划定警戒区
·在上风处停留，切勿进入低洼处
·进入密闭空间之前必须先通风
泄漏处理
·消除所有点火源(泄漏区附近禁止吸烟，消除所
有明火、火花或火焰）
·在确保安全的情况下，采用关阀、堵漏等措施，以切断泄漏源
·禁止接触或穿越泄漏物
环境影响
·对水生生物有害
·易挥发，是有害的空气污染物
理
化
特Hale Waihona Puke 性理化特性·无色液体，有刺激性臭味
·沸点：31.8oC
·相对密度：1.34
及
用
途
用途
·是合成有机氯硅烷的原料，也可用作硅外延片生产过程中的硅源
个
体
防
护
·佩戴全防型滤毒罐
·穿封闭式防化服
应
急
行
动
隔离与公共安全
泄漏：污染范围不明的情况下，初始隔离至少300m，下风向疏散至少1000m。然后进行气体浓度检测，根据有害蒸气或烟雾的实际浓度，调整隔离、疏散距离
·禁止喷水处理泄漏物或将水喷入容器
·构筑围堤或挖沟槽收容泄漏物．防止进入水体、下水道、地下室或限制性空间
·小量泄漏，用砂土或其他不燃材料吸收泄漏物
·若发生大量泄漏，在专家指导下清除
火灾扑救
灭火剂：干粉、苏打灰、石灰、干砂
·不得用水或泡沫
储罐，公路／铁路槽车火灾
·尽可能远距离灭火或使用遥控水枪或水炮扑救
·遇水反应易放出易燃气体，导致燃烧爆炸
·在火场中，受热的容器有爆炸危险
健康危害
·职业接触限值：MAC 3mg／m3
氯硅烷标准物质
氯硅烷标准物质
氯硅烷标准物质是指在化学分析中常用的一种标准物质，用于定量分析、质量控制、仪器校准等方面。
氯硅烷是一类化合物，由氯原子与硅原子形成化学键。
由于氯硅烷具有多种结构和性质，常见的氯硅烷标准物质有以下几种：
1. 三氯硅烷（trichlorosilane）：化学式为SiCl3H。
三氯硅烷是最简单的氯硅烷，常用于生产硅材料、半导体材料等。
2. 甲基三氯硅烷（methyltrichlorosilane）：化学式为CH3SiCl3。
甲基三氯硅烷是一种常用的有机硅化合物，可用于制备有机硅聚合物、硅橡胶、硅油等。
3. 三乙氯硅烷（triethylchlorosilane）：化学式为(C2H5)3SiCl。
三乙氯硅烷是一种常用的有机硅化合物，可用于制备有机硅聚合物、硅橡胶、硅油等。
这些氯硅烷标准物质通常以液体或气体形式存在，供实验室使用。
在使用标准物质时，可以通过测量其浓度或者与其他物质反应后的产物来确定待测样品中氯硅烷的含量，从
而进行定量分析。
氯硅烷简称及沸点
硅烷简称及沸点
汽化潜热 Kcal/Kg 47（40.4℃） 临界温度℃ 临界压力(atm)
21.9
41பைடு நூலகம்1
185 47 56.8 40.4 63（40.4℃） 55（40.4℃） 209 211 239 232 253
33 48.3 45.7 42.6 36.5 39.1
氯硅烷;chlorosilane 硅烷SiH4中的 氢原子被氯原子取代后，总称为氯硅烷，含 氯量低时为气体，较高时为液体，无色或黄 色， 通式为HnSiCl4-n;n=0,1,2,3； 氯硅 烷能与含活泼氢的化合物进行激烈反应，如 与水、醇、酚、硅醇、有机酸等，放出氯化 氢。 与有机金属化合物反应，氯原子被相 应的有机基取代，生成有机氯硅烷或有机硅 烷。 可由硅粉与氯化氢于290～400℃反应 来制取，也可由硅粉与氢和氯化氢的混合 物， 在氯化亚铜存在下，于250℃左右反应 来制取。 用作硅外延片生产过程中的硅源 及制备有机氯硅烷的原料。 此外，四氯化 硅(SiCl4)和三氯硅烷(HSiCl3)是提取高纯 度硅的的中间产物。分馏後，可以获得 99.999999999％（十一个9)纯度的硅。随着 取代的Cl原子增多，其沸点逐渐升高。
氯硅烷简称及沸点
序号 1 2 3 4 5 7 8 9 10 12 14 15 17 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 化学式 SiH4 MeSiCl3 SiH3Cl MeSiH2Cl SiH2Cl2 BCl3 Me4Si SiHCl3 Me2SiHCl MeSiHCl2 SiCl4 Me3SiCl CH3SiCl3 Me2SiCl2 PC3 CCl4 Si4H10 Si2Cl6 AlCl3 Si3Cl8 SbCl3 FeCl3 PbCl2 NiCl2 CuCl MgCl2 AgCl 八氯三硅烷 四硅烷 六氯二硅烷 115.04 170 108.65 149.49 129.06 分子量 32 149.48 66.5 80.59 101 111.5 88.23 135.5 名称 硅烷 一甲基三氯硅烷 一氯三氢硅 一甲基一氯硅烷 二氯二氢硅 三氯化硼 四甲基硅烷 三氯氢硅 二甲基一氯硅烷 一甲基二氯硅烷 四氯化硅 三甲基一氯硅烷 甲基三氯硅烷 二甲基二氯硅烷 DMDCS 1.0663 STC TMCS TCS 0.648 1.34 0.8625 1.105 1.483 0.8536 DCS MCS 简称 MS 1.2715 比重 沸点(℃) -118 67 -30.4 8 8.3 12.5 26.5 31.8 35.7 40.4 57.6 57.6 66.4 70.2 76 76.8 100 139 182.7 211.4 220.2 315 954 973 1366 1412 1550 -76.1 -70 -57.7 -102.1 -126.5 -134 -77.8 熔点
有机硅主要物性数据
有机硅主要物性数据前言本资料主要包括直接法生产甲基、苯基、热缩法生产乙烯基有机硅产品所用的原料、催化剂、单体、聚硅烷的物化数据，一些通用物料仅收集了主要数据，而在单体中以甲基氯硅烷数据作为重点，苯基、乙烯基氯硅烷的某些数据克参照甲基氯硅烷部分进行计算，使用时需加注意。
资料中附有参考文献，可对照参考。
1、原是数据1、1 碳的物理化学常数（1、2）1、2 基础元素的生成热、键能（3）注：本表化合物生成热等于组成该化合物各原子单原子气生成热总和减去该化合物中各键键能总和。
用Fajanis 计算方法计算的生成热不可能绝对准确，但是在缺乏数据时，亦可用于工程计算。
1、3 基团热容特征常数（4）1、4 计算临界温度、压力用的原子、基团和结构因素（5）续表：2、主要原料＞2、1 甲醇（4）：（1）甲醇及有关一元醇的物理性质：(2)甲醇及有关一元醇的蒸汽压力2、2 氯化氢（HCl）（1）. （6）2、3 硅（Si）: （1）、（2）、（7）2、4 苯（C6H6）: （1）、（2）、（7）、（8）2、5 氯苯（C6H5Cl）: （4）、（6）、（1）有关物理化学常数：2、6 氯甲烷（CH3Cl）:有关物理化学常数：（1）、（6）、（7）、（9）2、7 氯乙烯（C2H3Cl）:（4）3、触媒3、1 铜（Cu）:（1）、（2）3、2 氯化亚铜（CuCl）:（2）3、3 锌（Zn）:（10）3、4 氢氧化钾（KOH）:（11）4、有关有机硅单体4、1 工业上一般生产的有机硅单体4、2 三苯甲基硅烷和1－链烯的加成产品（12）4、3 二有机基硅烷和1－链烯的加成产品（12）4、4 不饱和有机硅化合物（12）4、5 芳基有机硅单体4、6 含氢硅化物的物理性质:(12)4、7 某些有机硅单体的生成热(25℃气态)4、8 某些有机硅单体的生成热和键能(3)4、9 有机硅单体生产中有关反应的反应热:(3)5、甲基氯硅烷5、1 主要物理性质:(1)直接法合成的甲基氯硅烷是多种氯硅烷的单体混合物，为无色透明的液体（因含杂志，有时是前黄色或深褐色的液体）。
氯硅烷简称及沸点
序号 1 2 3 4 5 7 8 9 10 12 14 15 17 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31 32 化学式 SiH4 MeSiCl3 SiH3Cl MeSiH2Cl SiH2Cl2 BCl3 Me4Si SiHCl3 Me2SiHCl MeSiHCl2 SiCl4 Me3SiCl CH3SiCl3 Me2SiCl2 PC3 CCl4 Si4H10 Si2Cl6 AlCl3 Si3Cl8 SbCl3 FeCl3 PbCl2 NiCl2 CuCl MgCl2 AgCl 八氯三硅烷 四硅烷 六氯二硅烷 115.04 170 108.65 149.49 129.06 分子量 32 149.48 66.5 80.59 101 111.5 88.23 135.5 名称 硅烷 一甲基三氯硅烷 一氯三氢硅 一甲基一氯硅烷 二氯二氢硅 三氯化硼 四甲基硅烷 三氯氢硅 二甲基一氯硅烷 一甲基二氯硅烷 四氯化硅 三甲基一氯硅烷 甲基三氯硅烷 二甲基二氯硅烷 DMDCS 1.0663 STC TMCS TCS 0.648 1.34 0.8625 1.105 1.483 0.8536 DCS MCS 简称 MS 1.2715 比重 沸点(℃) -118 67 -30.4 8 8.3 12.5 26.5 31.8 35.7 40.4 57.6 57.6 66.4 70.2 76 76.8 100 139 182.7 211.4 220.2 315 954 973 1366 1412 1550 -76.1 -70 -57.7 -102.1 -126.5 -134 -77l/Kg 47（40.4℃） 临界温度℃ 临界压力(atm)
21.9
41.1
185 47 56.8 40.4 63（40.4℃） 55（40.4℃） 209 211 239 232 253
氯硅烷物料性质
1.别名·英文名二氯硅烷；DichIorosilane．2.用途：电子气、外延、化学气相淀积。
3.制法：(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化铝存在下与氯化氢反应。
(2)在高温下，硅与氢及氯化氢反应，再精馏提纯。
编辑本段二、理化性质分子量： 101.010熔点： -122.0℃沸点(101.325kPa)：8.2℃液体密度(25℃，101.325kPa)：1220kg/m气体密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m相对密度(气体，空气=1，25℃，101.325kPa)：3.52·比容(21.1℃，101.325kPa)： 0.2391m/kg气液容积比(15℃，100kPa) 290L/L临界温度：176.0℃临界压力：4676kPa临界密度：463kg/m3气化热(8.4℃，101.325kPa)：249.kJ/kg比热容(25℃，气体)：Cp=611.27J/(kg·K)蒸气压 (-20℃)：31.4kPa(0℃)： 81.1kPa(20℃)：167.2kPa粘度(气体，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s表面张力(20℃)：11.9mN/m空气中可燃范围(20℃，101.325kPa)： 4.1%～98.8%(体积)自燃点：100.0℃二氯硅烷在常温常压下为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体。
空气中易燃，100℃以上能自燃，燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。
加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸、氯、氢和不定性硅。
施以强烈撞击时也会自行分解。
在湿空气中产生腐蚀性烟雾。
遇水水解生成盐酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。
可溶于苯、醚和四氯化碳。
与碱、乙醇、丙酮起反应。
即使接触小量卤素或其它氧化剂也会发生激烈反应。
与三烷基胺、吡啶形成加成化合物。
与三氟化锑反应生成氟硅烷。
编辑本段三、毒性有毒气体范围： >0.25ppm嗅觉浓度：～1ppm刺激性浓度：～10ppm最高容许浓度： 0.5ppm(2mg/m)二氯硅烷的毒作用主要是由它在湿空气中的水解产物氯化氢引起的。
三氯硅烷安全技术说明书
·构筑围堤或挖沟槽收容泄漏物．防止进入水体、下水道、地下室或限制性空间
·小量泄漏，用砂土或其他不燃材料吸收泄漏物
·若发生大量泄漏，在专家指导下清除
火灾扑救
灭火剂：干粉、苏打灰、石灰、干砂
·不得用水或泡沫
储罐，公路／铁路槽车火灾
·尽可能远距离灭火或使用遥控水枪或水炮扑救
三氯硅烷
别名：硅仿；硅氯仿；三氯甲硅烷
特
别
警
示
★有腐蚀及强烈刺激作用
★遇湿易燃
★禁止喷水处理泄漏物或将水喷入容器
化
学
式
分子式HSiCl3
危险性类别
4.3类 遇湿易燃液体
危
险
性
燃烧爆炸危险性
·易燃，蒸气与空气可形成爆炸性混合物，遇明火、高热极易燃烧爆炸
·蒸气比空气重，能在较低处扩散到相当远的地方，遇火源会着火回燃
·食入：饮水，给饮牛奶或蛋清。就医
·遇水反应易放出易燃气体，导致燃烧爆炸
·在火场中，受热的容器有爆炸危险
健康危害
·职业接触限值：MAC 3mg／m3
·怠崎性：大鼠经口LD501030mg／kg；小鼠吸人LC501500mg/m3(2h)
·对眼和呼吸道黏膜有强烈刺激作用,急性中毒时出现流泪、咳嗽、气急、胸闷等，重者发生肺水肿
·眼和皮肤接触其液体可引起灼伤
环境影响
·对水生生物有害
·易挥发，是有害的空气污染物
理
化
特
性
理化特性
·无色液体，有刺激性臭味
·沸点：31.8oC
·相对密度：1.34
及
用
途
用途
·是合成有机氯硅烷的原料，也可用作硅外延片生产过程中的硅源
氯硅烷物性手册
氯硅烷的性质1、氯硅烷的基本物性相关氯硅烷的基本性质见表1：2、氯硅烷的蒸汽压氯硅烷的蒸汽压与温度关系见图1，经数据拟合可以得到对应的P-T 曲线如下： 一氯硅烷： （式1-1）84.380t 316.10t 0692.0t 0012.023+++=P二氯硅烷： （式1-2）091.75t 9293.2t 0431.0t 0003.023+++=P三氯氢硅： （式1-3）534.30t 2314.1t 0169.0t 0002.023+++=P四氯化硅： （式1-4）4207.7t 1593.0t 0112.0t 0003.023+++=P说明：其中压强单位为kPa ，温度单位为℃。
3、氯硅烷的汽化热氯硅烷的汽化热与温度关系如图2，用图中 数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅： （式2-1）927.280.0426t t 0002.0t 103236+-+⨯-=-气H四氯化硅： （式2-2）019.33t 0373.00.0001t t 105237+--⨯-=-气H说明：H 气的单位为kJ /mol ，温度单位℃。
图1 氯硅烷的蒸汽压与温度的关系图2 氯硅烷的汽化热对温度的关系4、氯硅烷的密度氯硅烷液体密度与温度关系见图3，对数据 进行拟合可以得到如下方程：三氯氢硅： （式3-1）9.1370t 8365.1t 0069.0t 107235+-+⨯-=-ρ 四氯化硅： （式3-2）7.1520t 8748.1t 0012.0t 102235+-+⨯-=-ρ 说明：密度单位为kg/m 3，温度单位℃。
5、氯硅烷的粘度①、氯硅烷蒸汽粘度对温度的关系如图4， 用图中数据可以拟合得到如下方程：三氯氢硅：9424.00.0036t t 104t 10928310g ++⨯+⨯-=--μ （式4-1） 四氯化硅：9085.00.0033t t 101t 1022639g ++⨯+⨯-=--μ （式4-2）说明：粘度单位为10-5Pa.s ，温度单位℃。
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氯硅烷的性质
1、氯硅烷的基本物性
相关氯硅烷的基本性质见表1：
2、氯硅烷的蒸汽压
氯硅烷的蒸汽压与温度关系见图1，经数据拟合可以得到对应的P-T 曲线如下： 一氯硅烷： （式1-1）
84.380t 316.10t 0692.0t 0012.023+++=P 二氯硅烷： （式1-2）
091.75t 9293.2t 0431.
0t 0003.023+++=P
三氯氢硅： （式1-3）
534.30t 2314.1t 0169.0t 0002.023+++=P 四氯化硅： （式1-4）
4207.7t 1593.0t 0112.0t 0003.023+++=P
说明：其中压强单位为kPa ，温度单位为℃。
3、氯硅烷的汽化热
氯硅烷的汽化热与温度关系如图2，用图中 数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅： （式2-1）
927.280.0426t t 0002.0t 103236+-+⨯-=-气H
四氯化硅： （式2-2）
019.33t 0373.00.0001t t 1052
37+--⨯-=-气H
说明：H 气的单位为kJ /mol ，温度单位℃。
图1 氯硅烷的蒸汽压与温度的关系
图2 氯硅烷的汽化热对温度的关系
4、氯硅烷的密度
氯硅烷液体密度与温度关系见图3，对数据 进行拟合可以得到如下方程：
三氯氢硅： （式3-1）
9.1370t 8365.1t 0069.0t 107235+-+⨯-=-ρ 四氯化硅： （式3-2）
7.1520t 8748.1t 0012.0t 102235+-+⨯-=-ρ 说明：密度单位为kg/m 3，温度单位℃。
5、氯硅烷的粘度
①、氯硅烷蒸汽粘度对温度的关系如图4， 用图中数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅：9424.00.0036t t 104t 1092
8310g ++⨯+⨯-=--μ （式4-1） 四氯化硅：9085.00.0033t t 101t 1022
639g ++⨯+⨯-=--μ （式4-2）
说明：粘度单位为10-5Pa.s ，温度单位℃。
②、氯硅烷液体粘度对温度的关系如图5，用图中数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅：397.00.0043t t 105t 1032
537l ++⨯+⨯-=--μ （式4-3） 四氯化硅：5749.00.0068t t 108t 1052
537l +-⨯+⨯-=--μ （式4-4）
说明：粘度单位为1×10-3Pa.s ，温度单位℃。
6、氯硅烷的表面张力
氯硅烷表面张力对温度的关系如图6，用图中数据可以拟合得到如下方程： 三氯氢硅：868.190.1044t +-=σ （式5-1）
图3 氯硅烷的液体密度对温度的关系
图5 氯硅烷的液体粘度对温度的关系
图
4 氯硅烷的蒸汽粘度对温度的关系
四氯化硅：576.210.1048t +-=σ （式5-2） 说明：表面张力的单位为mN /m ，温度单位℃。
7、氯硅烷的热容量
①、氯硅烷的蒸汽热容量对温度的关系如图7， 用图中数据可以拟合得到如下方程：
三氯氢硅： （式6-1）
023.750.0792t t 0001.0t 107238g +--⨯=-C
四氯化硅： （式6-2）
073.890.0871t t 0002.0t 102237g ++-⨯=-C
说明：热容单位J /mol.K ，温度单位℃。
②、氯硅烷的液体热容量对温度的关系 如图8，用图中数据拟合得到如下方程：
三氯氢硅：07.117
0.1942t 0.0018t t 1082
36l +++⨯-=-C （式6-3） 四氯化硅：75.129
0.1508t 0.0014t t 1062
37l +++⨯-=-C （式6-4） 说明：热容量单位为J /mol.K ，温度单位℃。
图6 氯硅烷的表面张力对温度的关系
图8 氯硅烷的液体热容量对温度的关系
图7 氯硅烷的蒸汽热容量对温度的关系系。