电子显微镜(1)
物理实验技术中的电子显微镜操作技巧
物理实验技术中的电子显微镜操作技巧电子显微镜（Electron Microscope，简称EM）是一种采用电子束替代传统光线的显微镜，它能够以极高的分辨率观察到微观世界中的细微结构。
在物理实验中，电子显微镜常常被用于材料科学、生物学、纳米科学等领域的研究。
然而，由于其高精密的操作要求，正确的操作技巧对于获取准确的结果至关重要。
本文将介绍一些在电子显微镜操作过程中常用的技巧和注意事项。
首先，准备工作是使用电子显微镜前的关键一步。
在操作过程中，保持干净的工作环境对于避免灰尘和杂质的干扰非常重要。
因此，操作者应该戴上手套、实验服，并确保使用的样品、刀片和显微镜的各个部分都是干净的。
其次，样品的制备是电子显微镜操作中的重要环节。
样品的制备过程需要注意避免空气氧化和静电的产生。
在制备金属样品时，可以使用金属切片机将样品切片成薄片。
然后，使用溶液或整形仪将切片的样品清洗、整形，以确保样品表面的平整度。
接下来是装载样品进入显微镜的过程。
在装载之前，要确保样品本身是导电的，可以通过在样品表面蒸发一层导电薄膜来实现。
装载样品时，要小心操作，以避免样品受损或移位。
最好将样品放置在清洁的显微镜载物台上，并使用夹具或粘性胶带将其固定。
电子显微镜的对焦和聚焦是显微镜最关键的部分之一。
在进行聚焦之前，操作者需要确认样品是否与电子束足够接近。
对于低放大倍数下的样品，最好使用大范围扫描，以便找到样品的位置。
然后，逐渐调整焦距，直到在显微镜视野中能够清晰地看到样品。
在操作过程中，操作者还要注意电子显微镜的放大倍数。
不同的操作目的需要不同的放大倍数。
一般来说，低放大倍数适合观察样品的整体形貌，而高放大倍数适用于观察样品的细节结构。
操作者需要根据实验需求选择合适的放大倍数，同时要注意调整曝光时间和对比度，以获得清晰、饱满的图像。
此外，操作者还应当注意控制电子束的时间和强度。
过度暴露可能会导致样品受到辐射损伤，不足则会导致图像的亮度不足。
衍射花样分析-1电子显微镜
*
四方晶系
R2比值系列中常出现1:2的情况
六角晶系
R2比值系列中常出现1:3的情况
*
2.多晶衍射花样的分析方法
当样品为已知时： 测量衍射斑点到透射斑点之间的距离R1,R2,R3,…Rj …； 计算R2 以及Rj2/R12；利用R2比值递增规律确定点阵类型,以及各衍射环对应的晶面指数{HKL}; 利用电子衍射公式Rd=Lλ，计算各衍射环d值；确认各衍射环的{HKL}。
*
倒易矢量r *= ha*+ kb*+lc*的两个基本性质:
r *的方向与(HKL)晶面垂直; r *的大小等于晶面间距的倒数.
*
晶体结构
消光条件(F=0)
简单立方
无消光现象
面心立方
H,K,L奇偶混杂
体心立方
H+K+L=奇数
倒易阵点的权重---结构因子
*
三、电子衍射花样的形成
Hale Waihona Puke 2q2q2q入射束
16.26
19.14
N
3
4
8
11
12
16
19
{HKL}
111
200
220
311
222
400
331
d(Å)
2.355
2.039
1.442
1.230
1.177
1.020
0.9358
K=Rd(mmÅ)
14.79
14.82
14.83
14.82
14.79
14.91
14.85
金蒸发膜的多晶电子衍射花样
3. 仪器常数的标定
R和1/d存在简单的正比关系:
电子显微镜的使用方法
电子显微镜的使用方法引言：电子显微镜（electron microscope）是一种采用电子束来观察和研究微观结构的高分辨率仪器。
它能够提供比光学显微镜更高的放大倍数和更好的分辨率，因此广泛应用于生物学、物理学、材料科学等领域。
本文将介绍电子显微镜的使用方法，以帮助读者更好地掌握这一技术。
一、准备工作：在使用电子显微镜之前，我们需要进行一些准备工作。
首先，确保工作区域干净整洁，以防止灰尘等杂质进入到显微镜中影响观察效果。
其次，需要确保所有的相关设备和配件都完好无损，并进行必要的调试和校准。
二、样品处理：在观察样品之前，我们通常需要对样品进行一些处理，以便更好地展示其微观结构。
常见的处理方法包括固定、切片、染色等。
固定可以保持样品的形状和结构，切片可以将样品切成适当的大小和形状，染色可以增强样品的对比度，使其更易于观察。
三、样品加载：将处理后的样品装载到电子显微镜中是使用该仪器的关键步骤之一。
通常，我们将样品放置在一个称为样品台的平台上，并使用夹具或夹具将其固定在台上。
在放置样品之前，要确保样品台干净，避免灰尘和杂质对实验的干扰。
四、电子束调节：电子束的调节是使用电子显微镜的核心环节。
首先，我们需要调节电子束的亮度，确保其能够提供足够的亮度来观察样品。
然后，我们需要调节电子束的聚焦，使其能够聚焦在样品上。
调节亮度和聚焦可以通过控制显微镜上的按钮和旋钮来完成，需要一定的经验和技巧。
五、观察和记录：在电子束调节完成后，我们可以开始观察样品并记录所得的观察结果。
电子显微镜通常提供高倍和低倍观察模式，可以根据需求进行切换。
观察时，需要调整焦距和对比度，以获得清晰和具有对比度的图像。
同时，可以使用显微镜上的拍照功能将观察到的结果记录下来，便于后续的研究和分析。
六、数据分析和解释：在观察和记录完样品后，我们通常需要对所得的数据进行分析和解释。
电子显微镜所得的图像可以使用图像处理软件进行增强和修饰，以提取更多有关样品的信息。
电子显微镜的使用方法
电子显微镜的使用方法电子显微镜是一种高端的显微镜设备，它能够以高分辨率观察微观世界中的细微结构和微观形态。
在科研、医学、材料学等领域都有着广泛的应用。
本文将介绍电子显微镜的使用方法，帮助您更好地掌握这一高端设备的操作技巧。
首先，使用电子显微镜前需要注意安全事项。
在操作电子显微镜时，应穿戴防护眼镜、手套等个人防护用具，避免发生意外伤害。
另外，还需注意设备的电源和电压情况，确保设备处于正常工作状态。
接下来，正确的样品处理是使用电子显微镜的关键。
首先，将样品切割成合适的尺寸，并使用适当的固定剂固定样品，以保持其原始形态。
接着，将样品放置在电子显微镜的样品台上，并调整好样品的位置和角度，保证样品能够被电子束充分照射。
在样品处理完成后，就可以进行电子显微镜的调试和操作了。
首先，打开电子显微镜的电源，待设备预热完成后，调节加速电压和电子束的对焦，使其能够清晰地照射在样品上。
然后，通过调节透射电镜的对焦和放大倍数，观察样品的微观结构和形态。
在观察过程中，可以通过调节对比度、亮度等参数，使样品的细节更加清晰。
除了观察样品的微观结构外，电子显微镜还可以进行成分分析和能谱分析。
通过调节仪器的参数，可以获取样品的成分信息和元素分布情况，为后续分析提供重要数据支持。
最后，使用完电子显微镜后，需要做好设备的清洁和维护工作。
首先，关闭电子显微镜的电源，并将样品从样品台上取下。
然后，用干净的软布轻轻擦拭样品台和透射电镜的镜片，保持设备的清洁。
另外，定期对电子显微镜进行维护保养，如清洁真空室、检查电子束的稳定性等，以保证设备的正常使用。
总的来说，电子显微镜是一种高端的显微镜设备，使用方法相对复杂，但只要掌握了正确的操作技巧，就能够准确地观察样品的微观结构和形态。
希望本文介绍的电子显微镜使用方法能够对您有所帮助，让您能够更好地应用这一高端设备进行科研和实验工作。
电子显微镜操作步骤
电子显微镜操作步骤
一、开机：打开空气开关，打开主机钥匙开关，启动电脑软件。
二、放样：按压AIR键解除真空，轻轻拉出样品仓放入样品(取出样品或查看样品)，关上样品仓后按压EVAC键抽真空。
三、选择真空模式和观测探头：真空模式可选择高真空和低真空模式；观测探头可选择二次电子探头或背反射探头。
不能选择在低真空模式下的背反射探头。
四、观测及图像调节：首先设定样品台高度、选择电压；选择合适的放大倍数观察样品。
首先进行合轴调节：包括机械合轴和电器合轴。
然后聚焦，消除像散，选一个区域，调整至最佳状态。
最后调整亮度和对比度。
五、图像搜集：选择拍照模式，捕获照片。
结束后关掉高压。
六、记录存储：把最终捕获的图像记录名称、日期等存入已建好的文件夹中。
七、关机：首先把样品台降低，按压AIR键解除真空，轻轻拉出样品仓取出样品，关上样品仓后按压EVAC键抽真空。
最后退出软件，关掉电脑，关掉钥匙开关和空气开关。
电子显微镜样品制备与观察电子显微镜样品制备[1]
![电子显微镜样品制备与观察电子显微镜样品制备[1]](https://img.taocdn.com/s3/m/7c56d33a83d049649a665803.png)
PPT文档演模板
电子显微镜样品制备与观察电子显微 镜样品制备[1]
2 支持膜的制备
（1）将玻璃条、250ml烧杯洗净，玻璃条先用纱 布擦干，然后再用绸布用力反复擦净，250ml烧 杯装满蒸馏水；
（2）将玻璃条放入0.2~0.3%聚乙烯醇缩甲醛的氯 仿溶液中2~4cm深，停留3~5s后提出，在空气 中自然干燥；
2 放入样品：按程序放入样品。 3 加高压：有下列几档可选 40KV、60KV、
80KV 、100KV，若需高压应先加低压。选择 加速电压原则：电压越高，分辨率越高，反差 越小；反之，电压越低分辨率越低，反差越大。
PPT文档演模板
电子显微镜样品制备与观察电子显微 镜样品制备[1]
4 加灯丝电源：顺时针旋转至限位处（加灯丝电 源必须有高压存在），此时应看到图象，若不 能看到图象，请与专职人员联系，切勿随意调 整各旋钮。 5 观察:调整放大倍数、亮度、样品 XY平移、焦距进行观察。
（五）实验要求 1 所用器具、工具保持清洁干燥； 2 手上若沾有环氧树脂，用丙酮棉球擦去； 每人包埋2～3个样品块。
PPT文档演模板
电子显微镜样品制备与观察电子显微 镜样品制备[1]
三、修快与支持膜的制备
（一）实验目的 1 掌握超薄切片包埋块修快的方法； 2 掌握支持膜制备的方法。 （二）实验原理 见理论部分 （三）实验材料 上次实验包埋的材料
PPT文档演模板
电子显微镜样品制备与观察电子显微 镜样品制备[1]
3rew
演讲完毕，谢谢听讲!
再见，see you again
PPT文档演模板
2020/11/28
电子显微镜样品制备与观察电子显微 镜样品制备[1]干燥
PPT文档演模板
电子显微镜成像规律(5条)：
电子显微镜成像规律(5条)：电子显微镜成像规律1. 电子显微镜利用电子束取代了光束，因此可以实现更高的分辨率。
根据电子波的性质，我们可以得出以下成像规律：- 分辨率与电子波长成反比关系。
电子波长越短，分辨率越高，可以观察到更小尺寸的细节。
- 焦距与电子波长成正比关系。
电子波长较短时，需要较小的焦距才能实现聚焦。
2. 电子显微镜中的透镜系统起到聚焦和放大的作用。
根据透镜系统的原理，我们可以得出以下成像规律：- 放大倍数与物镜焦距、目镜焦距之比成正比关系。
增加物镜焦距或减小目镜焦距，可以获得更大的放大倍数。
- 聚焦距离与透镜焦距成反比关系。
聚焦距离越小，物体与透镜的距离越近，放大倍数越大。
3. 电子显微镜中的电子束由电子枪发射。
根据电子枪的工作原理，我们可以得出以下成像规律：- 电子束的亮度与电子枪的电流强度成正比关系。
增加电流强度可以增加电子束的亮度，提高成像质量。
- 电子束的聚束与电子枪的电压差成正比关系。
增加电压差可以增加电子束的聚束能力，获得更清晰的成像。
4. 电子显微镜中的样品需要被制成极薄的切片。
根据样品制备的原则，我们可以得出以下成像规律：- 样品的厚度与成像的细节呈反比关系。
样品越薄，能够清楚地观察到更多细节。
- 样品的制备质量与成像的清晰度成正比关系。
制备质量越高，样品的表面质量越好，得到的成像越清晰。
5. 电子显微镜的成像过程中需要避免或减少电子束与空气中的分子发生相互作用。
根据这一原则，我们可以得出以下成像规律：- 电子束与空气中的分子相互作用会导致散射和吸收，降低成像的质量。
因此，电子显微镜在成像过程中需要在真空或低真空环境下进行。
以上是电子显微镜成像中的五条基本规律，了解这些规律有助于有效地操作和解读电子显微镜所得到的图像。
电子显微镜和扫描电镜的区别【一文搞懂】
电子显微镜与光学显微镜的成像原理基本一样，所不同的是前者用电子束作光源，用电磁场作透镜。
另外，由于电子束的穿透力很弱，因此用于电镜的标本须制成厚度约50nm 左右的超薄切片。
这种切片需要用超薄切片机（ultramicrotome）制作。
电子显微镜的放大倍数最高可达近百万倍、由照明系统、成像系统、真空系统、记录系统、电源系统5部分构成，如果细分的话：主体部分是电子透镜和显像记录系统，由置于真空中的电子枪、聚光镜、物样室、物镜、衍射镜、中间镜、投影镜、荧光屏和照相机。
电子显微镜是使用电子来展示物件的内部或表面的显微镜。
高速的电子的波长比可见光的波长短（波粒二象性），而显微镜的分辨率受其使用的波长的限制，因此电子显微镜的理论分辨率（约0.1纳米）远高于光学显微镜的分辨率（约200纳米）。
透射电子显微镜和扫描电子显微镜的区别如下：1、结构差异：主要体现在样品在电子束光路中的位置不同。
透射电镜的样品在电子束中间，电子源在样品上方发射电子，经过聚光镜，然后穿透样品后，有后续的电磁透镜继续放大电子光束，最后投影在荧光屏幕上;扫描电镜的样品在电子束末端，电子源在样品上方发射的电子束，经过几级电磁透镜缩小，到达样品。
当然后续的信号探侧处理系统的结构也会不同，但从基本物理原理上讲没什么实质性差别。
2、基本工作原理：透射电镜：电子束在穿过样品时，会和样品中的原子发生散射，样品上某一点同时穿过的电子方向是不同，这样品上的这一点在物镜1-2倍焦距之间，这些电子通过过物镜放大后重新汇聚，形成该点一个放大的实像，这个和凸透镜成像原理相同。
这里边有个反差形成机制理论比较深就不讲，但可以这么想象，如果样品内部是绝对均匀的物质，没有晶界，没有原子晶格结构，那么放大的图像也不会有任何反差，事实上这种物质不存在，所以才会有这种仪器存在的理由。
扫描电镜：电子束到达样品，激发样品中的二次电子，二次电子被探测器接收，通过信号处理并调制显示器上一个像素发光，由于电子束斑直径是纳米级别，而显示器的像素是100微米以上，这个100微米以上像素所发出的光，就代表样品上被电子束激发的区域所发出的光。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
6
与光学显微镜的比较（2）
10－2000 换镜头
(5)放大倍数 10－1百万,连续可调
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
6
与光学显微镜的比较（3）
(6)景深
1000倍时30um
1000倍时0.1um 机械聚焦
(7)聚焦原理 电子聚焦
(8)图象特点 黑白灰度
彩色或黑白 2000A
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
5
电磁透镜的景深和焦长（3）
（2）焦长 当透镜焦距和物距一定时，像平面 沿轴向一定距离内移动，也会引起失 焦。但如果所引起的失焦尺寸不大于 其他原因所引起的散焦斑大小，则对 透镜的分辨率没有影响。 DL＝2 Δγ0M2/α 一般的电镜焦长都超过10-20cm。 因此，只要图象在显示屏上是清晰 的，那么在屏的上下10cm范围放置胶 片，得到的图象依然是清晰的。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
4
电磁透镜的缺陷（6）
由于上述像差的存在， 虽然电子波长只有光波 长的十万分之一左右，但尚不能使电磁透镜的分 辨率提高十万倍。 目前还不能制造出无像差的大孔径角的电磁透 镜，而只能采用很小的孔径角尽可能减小球差等 缺陷的影响。电磁透镜的分辨本领只比光学透镜 提高一千倍左右。
4
电磁透镜的缺陷（3）
（2）像散 像散是由于透镜的磁场轴向不对称所引起的一种像差。 磁场不同方向对电子的折射能力不一样，电子经透镜后形 成界面为椭圆状的光束，是圆形物点的像变成了一个漫射 圆斑。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
4
电磁透镜的缺陷（4）
（3）色差 色差是由于成像电子的能量或波长不同而引起的一种 像差。能量大的电子在距透镜中心比较远的地点聚焦，而 能量较低的电子在距透镜中心比较近的地点聚焦。结果使 得由同一物点散射的具有不同能量的电子经透镜后不再会 聚于一点，而是在像面上形成一漫射圆斑。
1
电子显微镜的发展简史（2）
电子显微镜的诞生，首先在医学生物上得到 应用，随后用于金属材料研究。 1949年海登莱西（Heidenreich）第一个用 透射电镜观察了用电解减薄的铝试样； 50年代开始，电镜直接观察到位错层错等以 前只能在理论上描述的物理现象； 1970年日本学者首次用透射电镜直接观察到 重金属金的原子近程有序排列，实现了人类两 千年来直接观察原子的夙愿。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
6 电子显微镜的构成（1）
（1）扫描电子显微镜
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
6 电子显微镜的构成（2）
（2）透射电子显微镜
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
6 电子显微镜的构成（3）
（3）电子探针
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
6
与光学显微镜的比较（1）
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
3
电磁透镜（2）
电子在磁场中的运动：
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
3
电磁透镜（3）
运动电子在磁场中受到Lorentz力作用，其表达式为：
式中：e-运动电子电荷； v-电子运动速度矢量； B-磁感应强度矢量； F-洛仑兹力 。 显然，F的方向垂直于矢量v和B所决定的平面，力的 方向可由右手法则确定。
第三部分 电子显微分析
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
1 电子显微镜的发展简史 2 电子波的波长
3 电磁透镜
4 电磁透镜的缺陷 5 电磁透镜的景深和焦长 6 电子显微镜的构成 7 与光学显微镜的比较
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
1
电子显微镜的发展简史（1）
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
1
电子显微镜的发展简史（6）
这说明，显微镜的分辨率取决于可见光的波长，而可 见光的波长范围为3900 - 7600A，故而光学显微镜的 分辨率不可能高于2000A。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
1
电子显微镜的发展简史（7）
为进一步提高分辨率，唯一的可能是利用短波长的射 线。 例如用紫外线（<400nm）作光源，分辨率可提高一 倍。 曾有人提出利用射线，当时在技术上比较困难，至 今仍没有很大发展。但电子的波动性被发现后，很快就 被用来作为提高显微镜分辨率的新光源，即出现了电子 显微镜。目前电子显微镜的放大倍数已达到数十万倍， 这是光学显微镜所无法达到的。下面来计算电子束的波 长。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
3
电磁透镜（1）
我们知道，光学显微镜是利用玻璃透镜使可见光聚焦 成像的。 电子和可见光不同，它是一带电粒子，不能凭借光学 透镜会聚成像。 电子显微镜可以利用电场或磁场使电子束聚焦成像， 其中用静电场成像的透镜称为静电透镜，用电磁场成像的 称为电磁透镜。 由于静电透镜从性能上不如电磁透镜，所以在目前研 制的电子显微镜中大都采用电磁透镜。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
4
电磁透镜的缺陷（2） （1）球差
球差是由于电磁透镜中心区域和边缘区域对电子会聚能 力不同而造成的。 远轴电子通过透镜时被折射得比近轴电子要厉害得多， 因而有同一物点散射的电子经过透镜后不交在一点上，而 是在透镜相平面上变成了一个漫射圆斑。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
2
电子波的波长（1）
已知电子束具有波动性，对于运动速度为v，质量为m 的电子波的波长为： 电子的速度v和加速电压U之间存在下面的关系 即 由此得 带入h=6.62×10-34J.S, m=9.11×10-31kg， e=1.60×10-19c 后，得
=h/mv
6
与光学显微镜的比较（4）
光学透射、反射、干涉像
(9)主要图象 透射电子像 二次电子像 背散射电子像 吸收电子像 X射线面扫描像 X射线线扫描像 (10)主要附件 电子衍射装置 特征X射线波谱仪 特征X射线能谱仪 俄歇电子谱仪 …
偏光、反光、锥光…
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
作业
1 电子波的特征及与可见光的异同。 2 电子透镜的像差。 3 电子显微镜景深大的原因及用途。
1
电子显微镜的发展简史（4）
光学显微镜的局限性
任何显微镜的用途都是将物体放大，使物体上的细微 部分清晰地显示出来，帮助人们观察用肉眼直接看不见 的东西。 假如物体上两个相隔一定距离的点，利用显微镜把他 们区分开来，这个距离的最小极限，即可以分辨的两个 点的最短距离称为显微镜的分辨率，或称分辨本领。 人的眼睛的分辨本领为0.5mm左右。一个物体上的两 个相邻点能被显微镜分辨清晰，主要依靠显微镜的物镜。 假如在物镜形成的像中，这两点未被分开的话，则无论 利用多大倍数的投影镜或目镜，也不能再把它们分开。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
3
电磁透镜（5）
如图是一常用的电磁透镜剖面图。磁力线围绕短线圈呈环 状。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
3
电磁透镜（6）
以上表明电磁透镜与光学玻璃凸透镜具有相似的聚焦性质。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
4
电磁透镜的缺陷（1）
电子波波长用这样短波长 的电子波做显微镜的照明源，根据 Δγ0=0.61λ/（nsinα）计算，显微镜的最小 分辨率可达0.02A左右，然而到目前为止， 电镜的最佳分辨率仍停留在1-2A的水平，这 是因为电磁透镜存在球差，像散及色差等各 种缺陷----像差。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
1
电子显微镜的发展简史（5）
根据光学原理，两个发光点的分辨距离为：
r0：两物点的间距； λ：光线的波长； n：透镜周围介质的折射率； Nsinα：数值孔径，用N.A表示。 将玻璃透镜的一般参数代入上式，即最大孔径半角 α=70-75 ，在介质为油的情况下， n ＝ 1.5, 其数值孔径 nsinα＝1.25-1.35，上式可化简为：
Df＝ 2 Δγ0/α 2Δγ0 ：为电磁透镜的分辨本领， α：为孔径半角。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
5
电磁透镜的景深和焦长（2）
因此，电磁透镜的孔径半角 越小，景深越大。 一般电磁透镜的α＝10－2－10 －3 rad，因此 Df＝(2002000)Δγ0
若Δγ0＝10A， 则 Df＝2000——20000A 即电子显微镜对于高度相差在 2000A的物体，可以同时聚焦 在成像平面上。
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
1
电子显微镜的发展简史（3）
电子显微镜包括以下三种类型的仪器：
扫描电子显微镜：用于微形貌观察、显微成 （SEM） 分分析 透射电子显微镜：用于微结构分析、微形貌 （TEM） 观察 电子探针：微区成分分析、显微形貌观察 （EPMA）
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
v为电子运动的速度，c为光速。
m＝m0/[1-(v/c)2]1/2
波长与电压的计算公式应校正为
＝12.25/[U(1+0.9788×10-6U)]1/2
电子显微分析
第一章 电子显微镜基本原理
2
电子波的波长（3）
加速电压与电子波长的关系如下表所示：
可见，只要能使加速电压提高到一定值就可得到很短 的电子波。正是这一原因，用高压加速电子就成为近代电 镜的最重要特点，用这样的电子波作为照明源就可显著提 高显微镜的分辨本领。问题是能否制造出使电子波聚焦成 像的透镜。