TCO玻璃生产工艺及设备
PVD制备TCO工艺总结
PVD制备TCO工艺总结PVD (Physical Vapor Deposition)工艺是一种常用的制备透明导电氧化物（Transparent Conductive Oxide，TCO）薄膜的方法。
TCO材料在太阳能电池、平板显示器等各种电子器件中具有重要的应用价值。
以下是PVD制备TCO工艺的总结：工艺流程：1.准备基底：选择适合的基底材料，如玻璃、聚合物等，并进行表面清洗和处理，以提高TCO薄膜的附着性。
2.准备靶材：选择合适的透明导电氧化物材料，如氧化锌（ZnO）或二氧化锡（SnO2）等，并将其制备成靶材。
3.靶材热蒸发：将制备好的靶材安装到蒸发器中，通入高纯度的惰性气体，如氩气。
通过加热靶材，使其蒸发并沉积在基底表面上。
4.薄膜沉积：在蒸发过程中，将基底放置在蒸发器上方的恰当位置，以使蒸发的材料能均匀地沉积在基底表面上。
可以调节基底与蒸发器之间的距离和角度来控制沉积速率和均匀性。
5.薄膜处理：制备好的TCO薄膜可能存在缺陷、杂质或应力等问题，需要进行后续的处理，如退火、离子束雕刻等，以提高薄膜的质量和性能。
6.薄膜测试：对制备好的TCO薄膜进行各项性能测试和表征，如电阻、透明度、厚度、粗糙度等，以确保薄膜符合要求。
工艺优点：1.高度可控性：PVD工艺可以精确地控制薄膜的沉积速率、成分和厚度，以满足特定应用的要求。
2.高成膜速率：通过调节蒸发器的参数，可以获得较高的薄膜沉积速率，提高生产效率。
3.薄膜质量优良：PVD工艺制备的TCO薄膜具有较高的结晶度和致密度，且表面光滑，有利于提高薄膜的传导性和透明度。
4.适用范围广：PVD工艺适用于各种基底材料和不同形状的器件制备，具有较高的工艺通用性。
工艺挑战：1.成本较高：相比于其他制备方法，PVD工艺需要较高的设备成本和能源消耗，因此在大规模生产中可能会受到经济因素的限制。
2.薄膜厚度均匀性：在PVD工艺中，薄膜的均匀性与基底与蒸发器之间的距离和角度有关。
TCO技术要点
三、
FTO玻璃
AZO玻璃
备注
制作方法
APCVD,沉积温度580-600℃
磁控溅射,沉积温度200-230℃
1、FTO又分离线、在线方式,离线耗能大,高温玻璃易变形,成本比在线高。
2、磁控生产可使薄膜太阳能厂家自己生产TCO玻不被上游控制
原材料
特气SnCl4、H2OCCl2F2等
在线制备FTO玻璃的主要分为两步，第一步沉积一定厚度的二氧化硅薄膜、然后再沉积FTO薄膜。目前FTO在线镀膜技术比较成熟，市面上的TCO玻璃都以FTO为主。
AZO靶材
AZO靶材原料易得，无毒，且在等离子体中稳定性好
生产成品率
不到50%
预计90%以上
TCO玻璃对原片玻璃的缺陷和镀膜外观要求极高，在线CVD时，浮法玻璃良率约为60%，CVD方式生产FTO良率约为80%,在线方式生产FTO良率约为50%，CVD镀膜后玻璃废片不能回收使用，所以FTO的生产成本并不便宜。
1.2
首先，非晶硅电池对TCO膜的雾度都有一Biblioteka 的要求，一般在10%~20%之间。
其次，单节非晶硅与叠层非晶硅由于对太阳光谱吸收的范围不同，因此它们对TCO玻璃的光谱透过率的要求也不同。对于单节非晶硅电池来说，一般要求在可见光400nm~800nm之间有较高的透过率。而对叠层非晶硅来说，由于顶层电池与底层电池分别吸收不同波长的光，所以叠层电池除了要求在可见光区域400nm~800nm有较高的透过率外，在红外区700nm~1200nm也要有较高的透过率。
3.雾度
为了增加薄膜电池半导体层吸收光的能力，光伏用TCO玻璃需要提高对透射光的散射能力，这一能力用雾度（Haze）来表示。雾度即为透明或半透明材料的内部或表面由于光漫射造成的云雾状或混浊的外观。以漫射的光通量与透过材料的光通量之比的百分率表示。
TCO玻璃
玻璃TCO玻璃是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜（Transparent Conductive Oxide）而形成的组件。
对于薄膜太阳能电池来说，由于中间半导体层几乎没有横向导电性能，因此必须使用TCO玻璃有效收集电池的电流，同时TCO 薄膜具有高透和减反射的功能让大部分光进入吸收层。
TCO玻璃的生产工艺TCO玻璃工艺主要分为超白浮法玻璃生产、TCO镀膜。
超白浮法玻璃生产工艺难度较高，世界上主要供应商有日本旭硝子、美国PPG、法国圣戈班等，国内供应厂家有限，仅金晶科技、南玻、信义、旗滨能够供货。
TCO（Transparentconductingoxide）玻璃，即透明导电氧化物镀膜玻璃，是在平板玻璃表面通过物理或者化学镀膜的方法均匀镀上一层透明的导电氧化物薄膜，主要包括In、Sn、Zn 和Cd的氧化物及其复合多元氧化物薄膜材料。
TCO玻璃首先被应用于平板显示器中，ITO类型的导电玻璃仍是平板显示器行业的主流玻璃电极产品。
近几年，晶体硅价格的上涨极大地推动了薄膜太阳能电池的发展，薄膜太阳能电池占世界光伏市场份额已超过10%，光伏用TCO玻璃作为电池前电极的必要构件，市场需求迅速增长，成为了一个炙手可热的高科技镀膜玻璃产品。
TCO镀膜玻璃的特性及种类在太阳能电池中，晶体硅片类电池的电极是焊接在硅片表面的导线，前盖板玻璃仅需达到高透光率就可以了。
薄膜太阳能电池是在玻璃表面的导电薄膜上镀制p-i-n半导体膜，再镀制背电极。
透明导电氧化物的镀膜原料和工艺很多，通过科学研究进行不断的筛选，主要有以下三种TCO玻璃与光伏电池的性能要求相匹配。
ITO镀膜玻璃是一种非常成熟的产品，具有透过率高，膜层牢固，导电性好等特点，初期曾应用于光伏电池的前电极。
但随着光吸收性能要求的提高，TCO玻璃必须具备提高光散射的能力，而ITO镀膜很难做到这一点，并且激光刻蚀性能也较差。
铟为稀有元素，在自然界中贮存量少，价格较高。
TCO技术报告
TCO技术报告TCO玻璃分享薄膜太阳能电池行业高成长TCO玻璃是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜（Transparent Conductive Oxide）而形成的组件。
对于薄膜太阳能电池来说，由于中间半导体层几乎没有横向导电性能，因此必须使用TCO玻璃有效收集电池的电流，同时TCO薄膜具有高透和减反射的功能让大部分光进入吸收层。
虽然目前晶硅电池占主流，薄膜电池也还存在种种问题需要解决，但是薄膜电池有其独特的优势使得发展前景广阔：转换效率和生产成本改善空间巨大，生产工序相对简单、生产能耗少，应用范围广泛；美国的薄膜产商First Solar发展非常迅速，后来者居上，已成为世界第一大太阳能电池企业；根据NanoMarkets预测，09-15年薄膜电池产量还将有16倍的增长空间，复合增速高达58％；而按照国内目前各厂商的扩产计划，国内薄膜太阳能电池企业的扩产大幅扩产将将拉动TCO玻璃需求高增长。
TCO玻璃的生产工艺TCO玻璃工艺主要分为超白浮法玻璃生产、TCO镀膜。
超白浮法玻璃生产工艺难度较高，目前世界上主要供应商有日本旭硝子、美国PPG、法国圣戈班等，国内供应厂家有限，目前仅金晶科技、南玻、信义能够供货。
太阳能TCO镀膜玻璃当前以FTO玻璃为主，AZO玻璃将成为未来发展趋势，主要采用化学气相沉积法（FTO玻璃）和磁控溅射法（AZO玻璃）。
太阳能TCO玻璃供给有限，发展空间巨大当前太阳能TCO玻璃生产控制在少数国外厂商手中，如板硝子、旭硝子、AFG、PPG等；我国近年来虽然有多家研究机构和公司申请了TCO镀膜的发明专利，但仍未真正实现产业化，并且镀膜设备仍受国外生产商控制。
当前国内生产企业寥寥无几，已投产的仅有中国科技、南玻和信义，未来中航三鑫等企业将进军TCO玻璃行业。
我们看好TCO玻璃的发展空间。
产品介绍TCO玻璃是指在平板玻璃表面通过物理或化学镀膜方法均匀的镀上一层透明的导电氧化物薄膜（Transparent Conductive Oxide，简称TCO薄膜）而形成的组件。
micro oled制造工艺流程
micro oled制造工艺流程一、引言Micro OLED是一种用于显示图像和视频的小型有机发光二极管（OLED）屏幕。
它由许多微小的像素点组成，可以在非常小的空间内提供高分辨率的显示。
制造Micro OLED需要经过多个步骤，包括基板准备、有机材料沉积、蒸发金属和封装等过程。
本文将详细介绍Micro OLED制造工艺流程。
二、基板准备1. 基板清洗：首先需要对基板进行清洗，以去除任何污垢或杂质。
清洗通常采用超声波浴或离子枪等方式。
2. 基板涂覆：接下来需要将基板涂上一层透明导电氧化物（TCO）薄膜，通常使用氧化铟锡（ITO）作为TCO材料。
3. 基板切割：将大型玻璃基板切割成适当大小的小片，以便进行后续工艺步骤。
三、有机材料沉积1. 有机材料选择：选择合适的有机发光材料，并将其溶解于适当的溶剂中。
2. 有机材料沉积：采用热蒸发或有机物质气相沉积（OLED）等技术将有机材料沉积在基板上。
这一步需要严格控制温度和压力等参数，以确保沉积的材料均匀分布在基板表面上。
四、蒸发金属1. 金属选择：选择合适的金属，通常使用铝、钙或银等材料。
2. 金属蒸发：将金属加热至高温状态，使其蒸发并在基板上形成导电线路和电极。
这一步需要严格控制温度和压力等参数，以确保金属均匀分布在基板表面上。
五、封装1. 封装胶选择：选择合适的封装胶，并将其涂覆在基板表面上。
2. 封装：将另一个玻璃片放置在涂有封装胶的基板上，并进行紫外线固化或热固化等处理，以确保两个玻璃片紧密粘合在一起。
3. 切割测试：最后需要对Micro OLED进行切割和测试。
切割可以将大型Micro OLED切割成小型单元，测试可以检查每个单元的亮度、对比度和分辨率等参数是否符合要求。
六、总结Micro OLED制造工艺流程需要经过多个步骤，包括基板准备、有机材料沉积、蒸发金属和封装等过程。
每个步骤都需要严格控制参数，以确保最终产品的质量和性能。
随着技术的不断进步，Micro OLED将在各种应用领域得到广泛应用，如智能手表、智能眼镜和VR设备等。
TCO材料重点参数及工艺控制
ITO薄膜电学性能优异，但是在近红外区透过率较低，这意味着ITO作为电极不能有效利用 太阳能，而AZO薄膜在近红外区透过率很高,但电学性能和ITO相比相差较大。
• 如果做TCO的综合比较，可以用导电率与吸收系数的比——σ/ɑ作为指标，这个比值越大越好，其中ɑ=4πK/λ， 是光的衰减系数或吸收系数，K：消光系数；λ：波长；
AZO 窗口层制备过程中过高的衬底加热温度会破坏CdS 缓冲层，影响电池性能。
这两个参数对于薄膜的导电性和透过率影响较大，需要 平衡考虑。
镀膜工艺
三. TCO溅射工艺
不同氧分压下TCO膜层的透光 率曲线： ✓AZO有效掺杂：Al3+替位 Zn2+ ✓掺杂效果依赖于膜层中的不 同相：若Al被氧化成Al2O3则 整体电阻率升高
• （2）AZO(45nm，Al含量2%)/Ag(9nm)/AZO(45nm，Al含量2%)夹层结构与AZO（100nm，Al含量2%）对 比。
五. 结论
AZO（Al掺杂：1wt%，1000nm），方阻10ohm/sq以内，光透过80%以上。 （1）ITO（Sn掺杂：10wt%） ：HIT膜厚80-110nm（偏蓝色），GSE膜厚500nm？（ITO一般不用这么厚）；
镀膜工艺
镀膜工艺 ➢载流子迁移率：
ԏ:弛豫时间（载流子两次散射之间的时间） m*：载流子有效质量 ➢提升载流子迁移率： 1，降低m*：取决于TCO材料本身 2，增加ԏ：与薄膜的微观结构有关，可通过工艺控制
镀膜工艺 载流子迁移率：
提高载流子迁移率建议： ✓降低载流子浓度 ✓增大晶粒尺寸 ✓减少晶粒边界势垒（晶粒边界钝化） ✓减少补偿度（减少杂质浓度） ✓减少高价离子数量（如氧空位）
二. 各类主要TCO材料对比
玻璃ar和af生产流程及工艺
玻璃ar和af生产流程及工艺## English answer:Glass AR/AF Manufacturing Process and Technology.Glass augmented reality (AR) and augmented reality (AR) devices are a relatively new technology, but they have the potential to revolutionize the way we interact with the world around us. AR glasses overlay digital information on the real world, allowing users to see virtual objects and interact with digital content in a natural way. AR glasses have a wide range of potential applications, including gaming, education, entertainment, and healthcare.The manufacturing process for glass AR/AF devices is complex and requires a high level of precision. The first step is to create the glass substrate. This is typically done by melting glass and then forming it into a thin sheet. The sheet is then coated with a transparent conductiveoxide (TCO) layer. The TCO layer allows the glass toconduct electricity, which is necessary for the operation of the AR/AF device.The next step is to create the display. The display is typically made from a liquid crystal display (LCD) or an organic light-emitting diode (OLED) display. The display is mounted on the glass substrate and is aligned with the TCO layer.The final step is to assemble the AR/AF device. This involves attaching the display, the optics, and the electronics to the glass substrate. The device is then tested to ensure that it is functioning properly.Glass AR/AF Manufacturing Challenges.The manufacturing of glass AR/AF devices presents a number of challenges, including:The need for high precision: The manufacturing process for glass AR/AF devices requires a high level of precision. This is because the devices must be able to overlay digitalinformation on the real world with a high degree of accuracy.The need for a transparent conductive oxide (TCO) layer: The TCO layer is essential for the operation of glass AR/AF devices. However, it can be difficult to create a TCO layer that is both transparent and conductive.The need for a high-quality display: The display is a key component of glass AR/AF devices. It must be able to produce a clear and bright image. However, it can be difficult to create a display that is both high-quality and affordable.Glass AR/AF Manufacturing Trends.The manufacturing of glass AR/AF devices is a rapidly evolving field. There are a number of new technologies that are being developed to improve the manufacturing process. These technologies include:New methods for creating the glass substrate: Newmethods for creating the glass substrate are being developed that are more precise and less expensive.New TCO materials: New TCO materials are being developed that are more transparent and conductive.New display technologies: New display technologies are being developed that are more high-quality and affordable.These new technologies are expected to lead tosignificant improvements in the manufacturing of glassAR/AF devices. This will make the devices more affordable, more durable, and more versatile.## 中文回答：玻璃 AR/AF 的生产流程和工艺。
TCO玻璃检测和加工
技术信息ＴＣＯ™玻璃的搬运、检测和加工TCO玻璃是在透明玻璃上镀有坚硬、色彩自然且带有导电性的热解膜。
膜层适用于各个厚度，以3mm玻璃为例，其膜层电阻范围从6~8欧姆/平方。
注：用两个正负电极接触样片某一区域进行电阻值测量。
测量结果是该测量区域的方块电阻，因此“欧姆/平方”没有尺寸单位。
拆箱镀膜面坚硬且不易损坏，所以可以正常开箱。
不要用粘性标签或蜡笔在镀膜面做标记，也不要镀膜面拖曳吸盘或金属物体。
膜层虽然不会被此类物体损坏，但由于膜层有细微的粗糙，因此很难去除残留在膜面上细小的橡胶或金属颗粒。
镀膜面识别由于膜层具有导电性，因此可以用手持式的欧姆表或导通测试仪的两根金属探针触碰玻璃表面（例如瑞帝优上Radio Shack #22-212）识别镀膜面。
注意不要在玻璃表面拖曳探针。
实践中当镀膜面残留有橡胶时，用手指或指甲在镀膜面轻轻摩擦也能感觉出镀膜面。
此外普通铅笔能在镀膜面轻松地书写，但在玻璃表面就不可以。
这些识别方法应在靠近被封入铝框边部的地方使用。
由美国俄亥俄州托莱多EDTM公司（电话：419 480 1098）提供的手持测量仪能够在无法接触表面的情况下识别镀膜面。
ＴＣＯ™玻璃的搬运、检测和加工检测玻璃放在一个没有反射的均匀的黑色背景前，在观察者的后面放一个均匀的白色背景，通过反射检测ＴＣＯ膜层的均匀性（模拟阴天观察者在室外观察玻璃窗）。
通过透射光线进行检测。
玻璃后面放置均匀明亮的背景，在观察者的后面放置黑色背景（消除发散折光），模拟白天时观察者在建筑物内向室外观察。
切割尺寸的镀膜质量标准当在10英尺（3米）左右的距离上，利用上述透射光或反射光进行观察，膜层不会出现ASTM C 1376-03.《镀膜玻璃标准》中所列的条纹，印记、色差等缺陷。
膜层边部区域不得出现直径超过3/32”（2.4mm）的单个可视疵点，中心区域不得出现直径超过1/16” (1.6 mm)的单个可视疵点。
直径3” (75 mm)的圆形区域内不得多于2个明显的疵点，直径12” (300 mm)的圆形区域内不得多于5个明显的疵点。
TCO镀膜工艺
（二）、TCO镀膜玻璃生产工艺技术1、TCO镀膜玻璃技术综述TCO镀膜玻璃生产技术有磁控溅射、金属有机物化学气相沉积、喷雾热解、脉冲激光沉积、溶胶 - 凝胶法等方法。
比较成熟的规模生产方式为在线镀膜（化学气象沉积如FTO 玻璃）和离线镀膜（磁控溅射如AZO玻璃等）。
不管是在线镀膜还是离线镀膜，TCO镀膜玻璃生产技术控制在少数国外厂商手中，如日本板硝子、旭硝子、美国AFG等；我国近年来虽然有多家研究机构和公司申请了TCO镀膜的发明专利，但仍未真正实现产业化，并且镀膜设备仍受国外生产商控制。
高品质的太阳能TCO玻璃基本被日本的旭硝子、板硝子和美国的AFG垄断，其中日本旭硝子是全球FTO玻璃最大的供应商，拥有浮法在线金属有机物化学气相沉积镀膜的系统专利技术，生产成本低廉。
国内的南玻集团、信义科技也在开发生产，但还没有形成生产规模，并且主要是离线方式生产。
AZO、ITO、FTO三种TCO玻璃，技术性能对比：2、各种镀膜技术简述2.1在线镀膜技术简述在线镀膜：就是在浮法玻璃生产线锡槽的上方，安装镀膜设备，一般采用APCVD （Atmospheric pressure chemical vapor deposition 常压化学气相沉积）工艺镀膜。
APCVD技术特点如下：（1）通过反应、蒸发将金属氧化物沉积在加热的浮法玻璃表面；（2）工艺温度在400～700℃；（3）镀膜工艺集成在玻璃成型过程中；（4）工艺设备相对简单；（5）涂层与基体结合强度高；（6）会产生有害气体，增加生产成本。
（7）目前FTO在线镀膜技术比较成熟，AZO在线镀膜正在研发之中，尚不成熟。
2.2离线镀膜技术简介2.2.1工作原理磁控溅射镀膜的工作原理是：惰性气体在低压强下受电场的作用产生辉光放电，形成的离子轰击阴极表面产生溅射现象，溅射出的靶原子沉积在玻璃基片上就形成各种薄膜。
当在放电气氛中充入活性气体时，溅射出的靶原子在到达基片时与活性气体反应而形成化合物膜。
我国首条在线TCO太阳能玻璃生产线在澄迈诞生
国 内家 电 玻璃 制造 巨头 秀 强 股份 挂 牌 上 市
江苏 秀 强玻 璃 工艺 股 份有 限公 司在 深 圳 证 券交
易所 挂牌上 市 ， 次 秀强股份 共发 行 ２４ 此 ３ ０万 股 ， 占发 行 后 总 股 本 的 ２ ．５ ５ ％。发 行 价 格 为 ３ ．０元 ／ ， 次 ０ ５０ 股 本
业第 一个 全氧燃 烧生 产线 。 目的成 功将 为我 国浮法 项 生产线 采用 全 氧燃烧 技术 探 索出 一个新 的模 式 ， 推动
玻璃行 业节 能减 排和技 术进 步 。
我 国首 条 在 线 Ｔ ＣＯ 太 阳 能 玻 璃 生 产 线
在 澄 迈 诞 生
２ １ 年 １月 ２ ０１ ４口， 南 中航 特玻 材 料有 限公 司 海 负 责人 手持 火炬 点燃 熔 窑 ，标 志着 ２号 Ｔ Ｏ太 阳能 Ｃ
“
一
家 标准 的太 阳能光伏玻 璃产 品。 该项 目于 ２ ０ ０ ９年 ５月 开工 建设 ，历 时 ｌ ９个 月 ，
于 ２１ ０ ０年 １ ２月 ２ ６目建成并 点火 生产 ，进 入试运 行
种制 备绒 面 Ｚ Ｏ透 明导 电镀 膜玻 璃 的方 法 ” 关 ｎ 等
键 技术 申请 国家发 明专利 ，太 阳能 Ｔ Ｏ导 电膜玻 璃 Ｃ
中国 建 材全 国首 条
全 氧燃 烧 超 白玻 璃 生产 线 投 运
运行 。 采用 全氧燃 烧 、 在 烟气余 热发 电、 白玻璃 制造 超
技术对 原 ５ ０吨级 浮法玻璃 生 产线进 行 技术 改造后 ， ０
自金信 太 阳能光伏 玻璃 项 目建设 以来 ， 金信 集 团
克服 了重重 困难 ， 取得 了多个 阶段 性 的胜利 。该 集 团 还将 适时启 动超 薄镀膜 生产线 等后 续项 目建 设 ， 计划 利用 ５年时 间 ， 投资 ２ ０亿 元 ， 打造 华北 最大 的太 阳能
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TCO玻璃生产工艺及设备
本文主要介绍了TCO玻璃生产工艺过程和TCO玻璃生产线的主要设备及其功能。
标签：TCO；玻璃；工艺；设备
0 引言
TCO部是浮法玻璃的深加工车间，有一条超白玻璃镀膜生产线，该生产线用于生产具有一定导电能力的薄膜电池基板玻璃。
1 TCO玻璃生产工艺
TCO玻璃生产线主要由玻璃预处理、上片、磨边、清洗、加热、镀膜、再加热、退火、冷却、在线检测、喷粉、下片等生产工序组成。
TCO玻璃生产工艺过程分述如下：
1.1 玻璃预处理
玻璃预处理设备由切割机、玻璃清洗干燥机组成。
大片玻璃由装有吸盘的上片机送到上片台上；对于小片玻璃，则可由人工上片至上片台。
玻璃清洗过程主要包括普通水清洗和空气干燥。
玻璃清洗为连续进行，首先采用一般清水清洗，分冷热水二道，其中热水清洗水温35℃～45℃。
预处理后存放等待镀膜。
1.2 磨边与清洗
（1）本工艺磨边为湿法磨边。
由上片机将玻璃片放在输送辊台上，进入第一次磨边，磨长边；转向后第二次磨边，磨短边。
（2）清洗分为两次，第一次使用自來水清洗，第二次使用去离子水清洗。
清洗过后将玻璃烘干。
1.3 加热
本工艺采用格拉司通加热炉，格拉司通加热炉是目前世界上最为先进的加热设备，整个炉体内部各个点的温差不大于2度，保证玻璃在加热过程中受热均匀，为镀膜做准备。
两次再加热是为了保持工艺温度。
1.4 镀膜
本工艺镀膜分为两种，一种是镀氧化硅膜，另一种是镀TCO膜。
氧化硅膜层直接镀在玻璃基板表面，TCO膜层镀在氧化硅膜层上。
镀膜臂将原料融合成
气溶胶，在常压600度高温的情况下均匀的镀在玻璃上。
1.5 光谱性能检测
在玻璃前、后处理，镀膜和过渡层沉积等工序均实现了全线在线检测、实时数据采集和自动形成图表，自主设计生产线各环节的自动控制软件及工艺窗口，实现生产线的全线自动控制。
1.6 卸片、包装、入库
镀膜后的玻璃由机械或人工卸片，根据检验结果分类包装。
2 TCO玻璃生产设备
2.1 TCO镀膜设备
TCO部的核心设备是镀膜设备，由Beneq公司提供，由三层镀膜设备以及原料混合、供应设备组成。
配套设备较多，主要包括TMB设备、磨边机、清洗机、加热退火炉等设备。
设备之间相互关联，任何设备出现问题，都将影响整条生产线的正常运行。
（1）TMB设备。
TMB设备由上片机、传送辊道、喷粉机、下片机及人工上下片台组成。
上片机负责玻璃的上片，将玻璃从玻璃架上吸取，放置在传动辊道上。
传动辊道负责运送玻璃。
下片机负责玻璃的下片，将玻璃从传动辊道上放置于玻璃架上进行堆垛。
对于尺寸特殊的玻璃可由人工上片和下片。
（2）Bavelloni磨边机。
磨边机使用Bavelloni公司”V” 系列自动直线磨边机。
外围的一组金刚轮和抛光轮可以磨水平方向和两个边，用于加工扁平玻璃及镜子剖面；拐角倒角由一组额外的装置自动完成。
一台磨边机可以连接其它同型号的磨边机组成一个双边机。
磨边机每边有三组磨轮，可以满足厚度在2-12mm 范围内的玻璃的磨边。
（3）Benteler清洗机。
清洗机采用德国Benteler原装进口设备，具有性能优良，工艺稳定的特点，适用于清洗干燥平板类玻璃。
清洗机采用水平卧式结构，分为下级部分和可调整高度的上级部分。
（4）Glaston加热退火炉。
玻璃加热是从环境温度加热到加热段温度的过程。
为了提高加热效率，加热炉设计为连续加热，玻璃片在炉中以最小间距匀速运动。
氧化硅镀膜和TCO镀膜之间，由额外的加热段加热玻璃，使玻璃具备最佳TCO 沉积范围。
镀膜之后，玻璃进入退火工艺段，退火段由退火加热段、退火、冷却段组成。
在玻璃退火时，温度控制和温度控制曲线是成功退火的关键。
经过退火工艺处理，玻璃表面有一定的的残余应力，便于对玻璃进行切割加工。
（5）Beneq镀膜设备。
TCO导电膜主要由三层组成，分别为底层SIOx、TCO1、TCO2膜层，各膜层对应一个镀膜机。
同时设有专门的原料房，用于原料的存放和混合。
通过相应的供料系统，原料被泵送到原料控制柜内的原料桶内，然后经过控制系统输送到喷枪内进行镀膜。
Beneq FCS2000系统是专门为玻璃镀膜而设计的，这个系统由沉积设备及其配件组成。
沉积设备的主要部分是沉积臂，它是高温环境下镀膜喷涂的基础。
沉积臂为带状玻璃或单片玻璃均匀的镀上TCO膜。
（6）Dr. Schenk在线检测。
玻璃检测系统的作用是保证玻璃板的品质。
Dr. Schenk 提供的传送机（可选）传送玻璃板通过检测装置。
反射或透射过程中，检测系统可以利用一个LED 照明装置和数个CCD 摄像装置扫描扫描线上的材料而获得信号，PC 机内集成的电子评估系统对测得的信号进行评估，从而判定玻璃的质量等级。
2.2 特气站
特气站主要为底层镀膜提供所需的特殊气体，种类有N2O、C2H4、SiH4、NH3、CO2。
2.3 尾气处理设备
尾气处理设备设备是用于TCO镀膜玻璃生产线上为镀膜进行尾气处理的设备。
该设备为间歇式工作，并且所有管道密封处理，具有液位下限自动报警、自动加药、自动补水等功能，同时拥有现场操作和PLC集中控制模式。
能有效检测压力及温度的变化，并及时报警和自动应急处理。
控制部分由控制器、逻辑部件、操作台、开关和报警系统组成。
参考文献：
[1] 张战营，刘缙，谢军.浮法玻璃生产技术与设备[M].第二版，北京：化学工业出版社，2010
[2] 刘国龙，关巍，高远.TCO玻璃的应用及制备方法[J]，安阳工学院学报，2010，9（2）：28-30
作者简介：杨建昌（1987-），男，河南安阳人，本科，助理工程师，研究方向：玻璃生产工艺及设备。