镀膜机常见故障及分析解决预防措施
磁控溅射镀膜机真空摆动故障分析及维修
（ ｑ 。 ＋ Ｑ ２ ） ／ Ｓ ｅ ｏ
（ １ ）
式中
Ｐ 一
冷态 的极 限真空度 ， Ｐ ａ
５ 一 泵对镀膜室的有效抽速 ， Ｌ ／ ｓ Ｑ ． ——镀膜室的漏气率 ， Ｐ ａ ・ Ｌ ／ ｓ Ｑ 厂
一
镀膜室 内的表面放气流量 ， Ｐ ａ ・ ｓ 泵的极限真 空度 ， Ｐ ａ
（ ４ ） 测量仪表及测量规管因污染而不准确 。 二、 镀膜机维修方案 （ １ ） 检查真空仪表是否在有效期使用范围之内 ， 同时检查真 空规管 的安装是否存在漏气现象 。 （ ２ ） 检查泵 内部部件配合间隙情况 ， 机械泵轴头密封圈是否 漏油 ， 排气装置排 气阀片密封情 况 ， 真空油路密封 情况 ， 真空泵 油是否污染及测试机械泵 的极限真空度 。 （ ３ ） 检测罗茨泵转 子与转子之间 、 转子与泵腔 内壁之间的间 隙， 检查齿轮及轴 承磨损情况 ， 罗茨泵 轴头密封 圈情 况 ， 罗茨泵 两端 的润滑油是否被污染及测试罗茨泵的极限真空度。 （ ４ ） 对连接滑阀泵 、 罗茨泵 、 扩散泵 的管道密封进行检漏 ， 前 级真空测量处 ， 前级 阀阀杆 的密封处 ， 截止放气阀及冷阱的密封 等处进行检漏 ， 保证上述密封处不漏气 。
图 １ 真 空 镀 膜机 结 构 示 意 图
（ １ ） 镀膜 室外部漏气部位 ： 炉 门密封 、 主阀阀杆密封 、 预抽阀
（ ３ ） 当镀膜室 内的漏气率 Ｑ。 比较大 ， 而泵 的有效抽速 Ｓ 又 足够大 ， 由 ２式可知 ， 仍然可以得到较高 的冷态极 限真空度 。但
是真空镀膜机会 出现过膛风的问题 ，从而使生产 过程 中真空度 不稳定 ， 致使所生产的产品不合格 。 综上所述 ， 保证真空系统 自身 的极 限真空和镀膜室 的漏气
常见电镀故障的分析和纠正方法
常见电镀故障的分析和纠正方法常见电镀故障的分析和纠正方法_1.针孔针孔大多是气体(一般是氢气)在镀件表面上停留而造成的。
针孔属于麻点，但针孔不同于麻点，它像流星一样，往往带有向上的“尾巴"，而麻点仅仅是镀层上微小的凹坑，一般是没有向上的“尾巴"。
那些因素会促使镍层产生针孔呢?镀前处理不良；镀液中有油或有机杂质过多；镀液中有固体微粒；防针孔剂太少；镀液中铁等异金属杂质过多；镀液pH太高或操作电流密度过大；镀液中硼酸含量太少和镀液温度太低等都会导致镀镍层产生针孔。
由于不同原因引起的针孔现象略有不同，所以在分析故障时，首先要观察现象。
例如镀前处理不良，它仅仅使镀件的局部表面上的油或锈未彻底除去，造成这些部位上气体容易停留而产生针孔，所以这种因素造成的针孔现象是局部密集的，而且是无规则的；镀液中有油或有机杂质过多引起的针孔较多地出现在零件的向下面和挂具上部的零件上，镀液中固体微粒产生的针孔较多地出现在零件的向上面；防针孔剂太少造成的针孑L在零件的各个部位都有，镀液中铁杂质过多，pH值过高和阴极电流密度较大引起的针孔较多地出现在零件的尖端和边缘(即高电流密度处)，硼酸含量太少产生的针孔较多地出现在零件的下部，镀液温度过低造成的针孔是稀少的，也是零件各个部位都有可能出现的。
通过观察现象，可以初步判断造成针孔的部分原因，然后再进一步试验。
例如零件的局部表面上有密集的针孔，从现象来看，好像是前处理不良造成的，那么究竟是不是这个原因呢?可以取一批零件，进行良好的前处理后直接镀镍，假使经这样处理后所得的镀层上没有针孔，那么原来的针孔是镀前处理不良造成的。
否则就是其他方面的原因。
镀液的温度、pH值和阴极电流密度，比较容易检查，所以可首先检查和纠正。
镀液中是否缺少十二烷基硫酸钠，从平时向镀液中补充十二烷基硫酸钠的情况就能基本确定，如难以确定时，可以向镀液中加入O.05g/L十二烷基硫酸钠后进行试镀，若这样所得的镀层上针孔现象没有改善，那就不是缺少十二烷基硫酸钠，可能是镀液中的杂质或硼酸太少引起的，这就可按前述的方法，用小试验分析故障原因，然后按试验所得的结果讲行纠正。
镀膜机使用时的注意事项以及应急处理措施
在操作过程中，如发现异常情 况，如烟雾、异味、异常声音
等，应立即停机检查。
操作后维护
清洁设备
对镀膜机表面进行清洁，去除残留物 和污渍，保持设备整洁。
检查设备状态
检查镀膜机各部位是否正常，如发现 异常应及时维修或更换。
记录使用情况
对每次使用情况进行记录，包括使用 时间、工艺参数等，以便于后续分析 和维护。
安全须知
操作人员安全须知
操作人员必须经过专业培训，熟 悉镀膜机的工作原理和操作流程。
操作人员应佩戴防护眼镜、手套 等个人防护用品，防止有害物质
和高温烫伤。
操作人员应保持稳定的精神状态， 避免疲劳操作，确保工作安全。
设备安全须知
使用前应检查镀膜机各部件是 否正常，如有异常应及时处理。
操作过程中应保持设备清洁， 定期检查和维护，确保设备正 常运行。
真空泵工作正常，防止真空度过高或过低。
其他问题应急处理
总结词
遵循操作规程，及时求助
VS
详细描述
遇到其他问题时，应遵循操作规程，避免 盲目操作导致设备损坏或安全事故。如问 题无法解决，应及时求助专业技术人员或 厂家售后服务。同时，注意保存设备相关 资料和维修记录，以便日后排查故障和保 养维护。
04
镀膜机使用时的注意事项以 及应急处理措施
• 镀膜机使用注意事项 • 镀膜机常见问题及处理 • 镀膜机应急处理措施 • 安全须知
01
镀膜机使用注意事项
操作前准备
检查电源
路或断路现象。
对镀膜机表面进行清洁， 去除灰尘和杂物，确保
设备处于良好状态。
其他常见问题
总结词
其他常见问题可能包括机械故障、电气故障等。
电阻蒸发镀膜机 常见故障及解决方法
电阻蒸发镀膜机常见故障及处理方法
一、膜层发黑或变黄：
1、真空度低
1）系统泄漏（检漏）；
2）精抽阀不完全打开（检查气压、活塞）；
2、蒸发时间太长（控制镀膜时间）；
二、抽气周期变长：
1、滑阀泵工作不正常（检查泵油）；
2、漏气（检查密封圈）；
3、工作室内表面膜层太厚（清除膜层）；
三、膜层变薄：
1、铝丝太少（适当增加铝丝）；
2、蒸发电流小（加大电流）；
四、机械泵、滑阀泵返油：
1、电机反转（对调两相电源线）；
2、油太多（减少泵油）；
五、蜂鸣器报警：
1、水压不足（检查有无水压）；
2、压力控制器失灵（检查压力控制器）；
3、在触摸屏上进入“报警显示”界面查看相关报警信息；
六、电动机不转动：
1、断路器脱扣跳闸（检查线路后合上断路器）；
2、交流接触器不吸合理（检查或更换）；
七、蒸发电流上不去：
1、蒸发变压器故障（检查变压器）；
2、电极输入接触不良（检查输入电极）；
八、蒸发电流大且镀料不能完全蒸发：
1、蒸发电极间绝缘不好（清洗或更换绝缘材料）；
2、蒸发变压器故障（修理或更换蒸发变压器）；
九、气动阀门无动作：
1、气压不足（增加气压）；
2、电控换向阀及有关部件出毛病（检查电控换向阀、线路）；。
真空镀膜过程中常见问题分析
咬底
1.??????施工黏度太低
2.??????稀料溶解力太强
1.??????提高施工黏度
2.??????换溶解力低的稀料
光泽偏高
1.??????喷涂黏度高
2.??????漆膜厚
3.??????稀料挥发慢
4.??????出漆量大
5.??????涂料光泽高
1.??????降低喷涂黏度
2.??????控制膜厚
空气气压过低或过高
调整气压，涂料雾化充分，调整喷枪合适的距离
涂料的喷涂量过多
在遮盖的情况下尽量喷薄
真空镀膜底漆常见问题分析
底漆常见问题分析
1、干燥不良：涂料固化不充分出现发白或发彩现象
原
因
溶剂挥发
不完全
红外流平温度过低或时间不足
提高温度，降低速度
涂膜过厚
加入适量稀释剂或降低喷漆流量
溶剂挥发速度慢
调整溶剂的挥发速度
7、缩孔现象：涂膜表面出现火山现象
原
因
底材污染（水、油、脱模剂）
检查污染源，并清洗干净
涂料污染
检查油水分离器
压缩空气污染
添加适量助剂或更换涂料
喷枪、空气管污染
清洁喷枪、管道
被作业人员污染
异丙醇清洗，并超声波清洁
8、颗粒现象：涂膜表面出现突出的颗粒
原
因பைடு நூலகம்
底材不平整
底材处理平整、干净
压缩空气和环境中灰尘
检查空气净化系统
涂层太薄
增加涂层厚度
涂料中颗粒
用400目以上滤布过滤涂料
涂料消泡不尽
调整喷漆气压增加涂料的消泡性能
机壳底漆常见问题分析
机壳底漆常见问题分析
镀膜问题与改善计划
镀膜问题与改善计划一、分光不良多的问题1、不是技术的问题，也不是机台的问题，绝大部分是人的问题，管理的问题，干 部确认的问题，我们的干部从上下伞到镀膜到测分光，程序设计修改，什么事 情都干，一刻不停忙得晕头转向，却忘记自己的工作重点。
干部的工作重点是 去指导员工作业，确认其工的错漏，工作的郊率，而不是去包揽其工作，于是 我们工作越来越忙，问题也就越来越多，这个问题何经理已指出多次，希望大 家重视。
2、标准的问题，执行力度的问题，标准无配布，未形成面文件，口头标准联络多 干部确认少，导致标准执行彻底，而且有可能日渐变化，原来的标准背道而驰 而变化的过程无从考证，直到发生问题才知道，现镀膜记录本，镀膜 资料无专 人负责整理，其放置、保留时间均无。
3、横向联络少导致问题多发，调不畅，镀前检与镀膜，试验，试作与生产之间一 提前两伞协调，试验乱做，做试验放一个套环良品、积少成多的分光不良。
4、有些员工不适合于镀腊工作，我们一再姑息之，是否能整顿清理出。
二、分光不良流出多，客户投诉一再发生，主要是管理制力度不够，然后是我们 自己本身的问题，总是幸的心理去将不良流出，这个问题现在已改正，其次是 分光漏测，交接班以及标示票未与镜片流动，管理标准已作成应宣导并执行。
三、治工具的管理，套环与伞片的定期喷砂保养未做，松下，三洋镜片一直加工 套环极脏，喷砂应做记录表，（伞片有编号）定期保养喷砂。
四、干部的分工应更加明确，不能有的事几个人管，有的事无人管，能否增加培 养二人。
题，干伞到镀膜到测分光，程序设计修改，什么事却忘记自己的工作重点。
干部的工作重点是，工作的郊率，而不是去包揽其工作，于是越多，这个问题何经理已指出多次，希望大准无配布，未形成面文件，口头标准联络多而且有可能日渐变化，原来的标准背道而驰，问题才知道，现镀膜记录本，镀膜 资料无专，镀前检与镀膜，试验，试作与生产之间一放一个套环良品、积少成多的分光不良。
发生，主要是管理制力度不够，然后是我们将不良流出，这个问题现在已改正，其次是镜片流动，管理标准已作成应宣导并执行。
电镀常见的问题及解决方案
电镀常见的问题及解决方案
电镀过程中可能出现的问题及其解决方案如下：
1.针孔或麻点：这是由于前处理不良、有金属杂质、硼酸含量太少、镀液温度太低等原因造成的。
可以使用润湿剂来减小影响，并严格控制镀液维护及流程。
2.结合力低：如果铜镀层未经活化去氧化层，铜和镍之间的附着力就差，会产生镀层剥落现象。
因此，在电镀前应对基材进行适当的预处理，如酸洗、活化等。
3.镀层脆、可焊性差：这通常是由于有机物或重金属物质污染造成的。
添加剂过多会使镀层中夹带的有机物和分解产物增多，此时可以用活性炭处理或电解等方法除去重金属杂质。
4.镀层发暗和色泽不均匀：有金属污染可能是造成这一问题的原因。
应尽量减少挂具所沾的铜溶液，并在发现污染时立即处理。
5.镀层烧伤：这可能是由于硼酸不足、金属盐的浓度低、工作温度太低、电流密度太高、PH值太高或搅拌不充分等原因造成的。
需要检查并调整相关工艺参数，确保其处于合适的范围。
6.沉积速率低：PH值低或电流密度低都可能导致沉积速率低。
应检查并调整镀液的PH值和电流密度，以优化沉积速率。
7.其他问题：如辅助阳极的铜条未与生产板长度一致或已发粗，不允许再使用。
全板及图形镀后板需在24小时内制作下工序。
图形镀上板戴细纱手套，下板戴棕胶手套，全板上板戴橡胶手套，下板戴干燥的粗纱手套。
在处理电镀问题时，需要综合考虑多个因素，包括镀液成分、设备状况、操作条件等。
如遇到难以解决的问题，建议寻求专业人士的帮助。
磁控溅射六大常见问题点及解决对策
磁控溅射六大常见问题点及解决对策磁控溅射镀膜机工作原理是在真空状态下，使用弧光放电和辉光放电的工作原理。
在金属和非金属的工件表面上镀制金色的氮化钛，黑色碳化钛，七彩的氮氧化钛等。
亦可镀防腐蚀膜（如AL,Cr不锈钢及TiN等）和耐磨膜，膜层与基底结合牢固，利用溅射工艺进行镀膜，可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。
适合于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业，具有很好的发展前景。
磁控溅射镀膜工艺六大常见问题点及改善对策：1.膜层灰暗及发黑(1)真空度低于0.67Pa。
应将真空度提高到0.13-0.4Pa。
(2)氩气纯度低于99．9％。
应换用纯度为99．99％的氩气。
(3)充气系统漏气。
应检查充气系统，排除漏气现象。
(4)底漆未充分固化。
应适当延长底漆的固化时间。
(5)镀件放气量太大。
应进行干燥和封孔处理2.膜层表面光泽暗淡(1)底漆固化不良或变质。
应适当延长底漆的固化时间或更换底漆。
(2)溅射时间太长。
应适当缩短。
(3)溅射成膜速度太快。
应适当降低溅射电流或电压3.膜层色泽不均(1)底漆喷涂得不均匀。
应改进底漆的施涂方法。
(2)膜层太薄。
应适当提高溅射速度或延长溅射时间。
(3)夹具设计不合理。
应改进夹具设计。
(4)镀件的几何形状太复杂。
应适当提高镀件的旋转速度4.膜层发皱、龟裂(1)底漆喷涂得太厚。
应控制在7—lOtan厚度范围内。
(2)涂料的粘度太高。
应适当降低。
(3)蒸发速度太快。
应适当减慢。
(4)膜层太厚。
应适当缩短溅射时间。
(5)镀件温度太高。
应适当缩短对镀件的加温时间5.膜层表面有水迹、指纹及灰粒(1)镀件清洗后未充分干燥。
应加强镀前处理。
(2)镀件表面溅上水珠或唾液。
应加强文明生产，操作者应带口罩。
(3)涂底漆后手接触过镀件，表面留下指纹。
应严禁用手接触镀件表面。
(4)涂料中有颗粒物。
应过滤涂料或更换涂料。
(5)静电除尘失效或喷涂和固化环境中有颗粒灰尘。
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镀膜机常见故障及分析解决预防措施
文档编制序号：[KK8UY-LL9IO69-TTO6M3-MTOL89-FTT688]
镀膜机常见故障及分析解决预防措施
一. 常见故障,问题及解决方法
下表对一些镀膜时常见的故障、真空度问题、及掉膜和膜质问题做了一些简单分析,并给予解决方案及预防措施.
1
2
3
4
6
二. 一些基础知识及注意事项和应急措施
1.膜厚控制仪
1.1.控制参数
Soakpower1----预熔功率1约为蒸发功率的一半
Soakpower2----预熔功率2也称预蒸镀功率略小于最大功率
Maxpower----最大功率DepRate----蒸发速率
FinalThk----膜厚（波长）Soaktime----预熔时间
Risetime----功率上升时间Density----材料密度
1.2.检测膜厚原理
通过改变探头上晶片的频率（由于膜的蒸发改变了其重量，所以其震动频率发生变化）来计算膜厚，而探头所处的位置和工具因数的设置都影响到测试精度，探头的位置和测试膜厚的关系如小：
(1).探头高了,测试得到的厚度<实际得到的膜厚(玻片上厚度)
(2).探头低了,测试得到的厚度>实际得到的膜厚(玻片上厚度)
(3).工具因数调高,相当于探头位置降低,所以膜厚要增加
2.膜和材料间的关系
2.1.U5吸收杂光,影响膜质和亮度.镀的过多,膜会发银;镀的过少,膜发黑,不亮泽,有银色;没镀上,则为银白
2.2.U3脱膜剂,影响膜质.镀的过多,膜质稀烂,易脱落;镀的过少,膜会打卷,发硬
2.3.SiO2决定颜色
2.4.U6基层,影响膜的鲜艳度和亮度
3.均匀性
3.1.径向均匀性:同一玻片上部与下部的不均匀,与光斑的调节、材料的料面、坩埚转速和转向、玻片的曲率有关
3.2.重复均匀性:同一锅膜的每一套间的不均匀,与真空度的高低、操作者看颜色有关3.3.整体均匀性:同一套膜四块玻片上的均匀性,与光斑的稳定性、工转的转速和蒸发速率的匹配、真空度的高低、径向均匀性有关
4.灯丝问题
4.1.放气时要记住关灯丝电源,以免氧化灯丝
4.2.初次使用或更换新灯丝,应进行灯丝预热定型处理,以防灯丝加热过快变形.预热时,高压关闭,直接加热灯丝,缓慢加灯丝电流,由几安培加至15A时,维持3-5分钟
4.3.灯丝安装
a.灯丝不宜太高或太低:太高会造成光斑不可调,容易打烂栅极和阳极片;太低会造成光斑能量太散,不易蒸发
b.栅极片应略低于阳极片
c.各个压块、引线的接触面应清洗干净避免造成接触不良
d.打紧螺钉时应松紧适当，太松会接触不良，太紧会造成“滑丝”
5.轰击
条件：真空度4.0Pa到8.0Pa之间时间:20到30分钟
轰击棒应用240#砂纸砂干净再用酒精擦一遍再装入真空室
轰击完后关闭轰击开关,取轰击棒时应带手套或用包住轰击棒以免被烫伤
6.换机械泵油
将油放干净,把出气口的盖板取下,然后取下挡油板,用布将机械泵油腔内擦干净(特别注意死角地方),擦干净后倒点新油盖住出气口开机械泵运行20秒将油放出,这样反复做两到三次,洗干净后即可加油.加油应加到观察油窗伤两条红线之间(油加少了会造
成机械泵的抽气性能下降,油加多了会造成抽气时油喷出来).油加好后将挡油板,盖板依次装好.
7.应急措施
7.1.突然停电
首先将设备总电源开关关闭(防止突然恢复电力所有用电设备工作造成电流冲击
过大),然后将所有开关复位,处在关的状态(开关弹起为关的状态),等待电力恢复如果长时间电力无法恢复应将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使其冷却.设备循环水关小,防止停电时间过长导致循环水无法循环使水流失
7.2.停水
首先应关闭扩散泵,将扩散泵电炉盘取下,用湿布放在扩散泵四周使扩散泵冷却关闭各阀门及机械泵,不能让其长时间在无冷却水的状态下工作导致设备损坏
7.3.停气
气压低于0.43Mpa时阀门会自动关闭,此时应将各阀门开关复位处在关的状态(开关弹起为关).如果长时间无法恢复供气,则将扩散泵,机械泵等运作的设备关闭,关扩散泵
15分钟后打开扩散泵快冷冷却扩散泵。