集成电路设计方法的发展历史

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集成电路设计与制造技术的发展

集成电路设计与制造技术的发展

集成电路设计与制造技术的发展近年来,随着科技的迅猛发展,集成电路设计与制造技术在各个领域都得到了广泛的应用。

从智能手机到电子汽车,从人工智能到物联网,无一不离开集成电路的支持。

本文将探讨集成电路设计与制造技术的发展历程,以及其对现代社会的影响。

一、集成电路设计的起源集成电路设计的起源可以追溯到20世纪50年代。

当时,电子元器件的体积庞大,功耗高,制造成本也很高昂。

为了解决这些问题,科学家们开始尝试将多个电子元器件集成到一个芯片上,从而实现电路的迷你化和高效化。

1958年,美国的杰克·基尔比在德州仪器公司成功制造出了第一颗集成电路芯片。

这颗芯片上集成了6个晶体管,开创了集成电路设计的先河。

此后,集成电路设计与制造技术不断发展,逐渐实现了更高的集成度和更低的功耗。

二、集成电路设计的发展历程1. 学科的建立20世纪60年代,集成电路设计逐渐形成了独立的学科体系。

美国的加州大学伯克利分校成立了首个集成电路设计实验室,为该领域的研究与教育提供了重要的支持。

随后,全球范围内的大学纷纷设立了集成电路设计相关的专业和实验室。

2. 工艺的改进随着集成电路设计的不断发展,制造工艺也得到了极大的改进。

1960年代,人们开始采用光刻技术来制造集成电路芯片,大大提高了制造效率和精度。

1970年代,人们又引入了金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)技术,使集成电路的功耗进一步降低。

3. 设计方法的创新随着集成电路的规模越来越大,传统的手工设计方法已经无法满足需求。

为此,人们开始研究自动化的集成电路设计方法。

20世纪70年代,计算机辅助设计(CAD)技术开始应用于集成电路设计,大大提高了设计效率和准确性。

三、集成电路制造技术的发展1. 制造工艺的进步集成电路制造技术的发展离不开制造工艺的不断进步。

1980年代,人们开始采用更先进的制造工艺,如化学机械抛光、离子注入等。

这些工艺的引入使得集成电路的制造精度更高,性能更稳定。

IC设计介绍

IC设计介绍

IC设计介绍IC设计,即集成电路设计,是指将不同功能的电子元件集成到一片芯片上的过程,是现代电子技术中的一个重要领域。

本文将从IC设计的概念、发展历程、主要内容以及学习交流方面进行介绍。

一、概念IC设计是指通过集成电路设计方法,将电子元器件(如晶体管、电容等)和电子电路(如放大器、滤波器等)集成在一块芯片上,构成具有特定功能的集成电路。

它是现代电子技术的重要组成部分,也是电子产品小型化、高性能化的基础。

二、发展历程IC设计起源于20世纪50年代,当时的集成电路由几个晶体管或二极管组成。

到了60年代初,随着材料和工艺的进步,集成电路的规模越来越大,功能也越来越完善。

70年代,集成电路的封装工艺经历了从插针式到焊接式的转变,大大提高了生产效率。

到了80年代,互联网的兴起和计算机技术的发展为IC设计带来了新的机遇和挑战。

21世纪以来,随着信息技术的飞速发展,IC设计也进入了全新的阶段。

三、主要内容IC设计主要包括前端设计和后端设计两个阶段。

前端设计主要包括电路设计、逻辑设计和布图设计等,其中电路设计是确定功能与结构的关键环节,逻辑设计则是通过综合工具进行逻辑优化和实现,布图设计是将逻辑图转换为物理布局图。

后端设计主要包括物理设计和验证两个环节,物理设计负责将布局图转化为工艺制程的规则要求,并进行版图分析、布线和计时等工作,验证则是确保设计满足规格要求。

四、学习交流学习IC设计需要掌握各种电子电路理论知识、集成电路的工艺知识以及设计软件的使用技巧。

可以通过参加电子工程、微电子学等专业的本科和研究生课程进行系统学习。

与此同时,参与IC设计相关的实践项目和实验也是非常重要的,可以通过校内的科研团队或实验室等途径获得实践机会。

此外,与同行业的设计工程师或学者进行交流和讨论也是提升自己水平的重要途径,可以通过行业会议、学术研讨会等方式进行交流。

在学习交流方面,网络社区和博客成为了学习IC设计的重要平台。

通过参与IC设计论坛、群组等可以与来自全球各地的设计师进行交流,分享经验,解决问题。

集成电路设计的发展与趋势

集成电路设计的发展与趋势

集成电路设计的发展与趋势近年来,随着科技的进步和人们对数字化生活的需求增加,集成电路设计行业也经历了不断的发展和变革,这些变化不仅体现在技术水平的提高上,更涉及到市场需求的变化和全球化竞争的加剧。

本文将探讨集成电路设计未来的发展趋势,以及行业面临的挑战和机遇。

一、行业的发展历程集成电路是电子技术的重要组成部分,它可以把数百万个晶体管、电容器、电感器、电阻器等微型部件集成到一个芯片上,从而形成一个独立的电路系统。

随着集成电路技术的不断发展,芯片的体积越来越小,功能越来越强大,成为现代工业、商业、军事等领域的核心技术之一。

集成电路的应用领域也非常广泛,包括计算机、通信、汽车、医疗、航空、航天等行业,这些领域对集成电路有不同的需求,因此集成电路设计也不断地适应市场的需求,提供对应的解决方案。

二、未来发展趋势1.多芯片集成:多芯片集成技术是近年来集成电路设计领域的一个热门方向,其特点是将多个芯片集成在一起形成一个复杂的系统,从而满足复杂设备的需求。

与单片集成相比,多芯片集成技术可以提高芯片的性能、降低成本、加速产品的市场推广。

目前,多芯片集成技术在计算机、网络通信等领域已经得到了广泛应用,预计在未来还将有更多的应用场景。

2.芯片定制化:由于不同行业对集成电路的需求不同,因此一些大型企业和研发机构开始探索芯片定制化的可能性,满足各种不同的需求。

芯片定制化技术可以根据客户的需求,设计出符合特定规格和性能的芯片,以实现个性化的需求。

芯片定制化技术的优势在于能够提供更加精准的解决方案,帮助客户实现产品的差异化竞争。

3.人工智能应用:随着人工智能技术的普及,越来越多的企业开始关注人工智能在集成电路设计中的应用。

人工智能技术可以用于芯片的设计、仿真、优化等方面,有助于大幅提高芯片的性能和质量。

此外,人工智能还可以在大数据分析、智能控制等领域发挥重要作用。

三、行业面临的挑战和机遇1.人才短缺:在集成电路设计领域,需要具备扎实的电子、计算机等专业知识,理解力强、熟悉市场需求,对尖端技术有敏锐的嗅觉和创新的精神。

第二讲.集成电路芯片的发展历史设计与制造

第二讲.集成电路芯片的发展历史设计与制造

三、集成电路发展历史 1947年:贝尔实验室肖克莱等人发明了晶体管,这是微 电子技术发展中第一个里程碑; 1950年:结型晶体管诞生; 1950年: R Ohl和肖特莱发明了离子注入工艺; 1951年:场效应晶体管发明; 1956年:C S Fuller发明了扩散工艺; 1958年:仙童公司Robert Noyce与德仪公司基尔比间隔 数月分别发明了集成电路,开创了世界微电子学的历史; 1960年:H H Loor和E Castellani发明了光刻工艺; 1962年:美国RCA公司研制出MOS场效应晶体管; 1963年:F.M.Wanlass和C.T.Sah首次提出CMOS技术, 今天,95%以上的集成电路芯片都是基于CMOS工艺; 1964年:Intel的摩尔提出摩尔定律,预测晶体管集成度 将会每18个月增加1倍;
5.摩尔定律 Intel公司的主席戈登· 摩尔在1965年指出:芯片中的晶 体管和电阻器的数量每年可以翻一番。 1975年,摩尔修正了摩尔定律,他认为:每隔18个月, 芯片中晶体管的数量可以翻一番。 • • • • 集成度:1000万~10亿 线宽:2~0.045µm 40多年的实践证明,预测准确。 集成电路生产工艺的提高 (2/1/0.8/0.6/0.5/0.35/0.25/0.18/0.13um/ 90/65/45/32nm),缩小了单管的尺寸,提高了芯片的集成 度与工作频率,降低了工作电压。 • 今后可再用10年? Intel的目标是在2022年使用4纳米的工艺。但只有22纳米的目 标是比较可行的,以后的目标有待技术突破。
P4-2GHz的风扇
6. IC的普及 仅仅在其开发后半个世纪,集成电路变得无处不在, 电脑,手机和其他数字电器成为现代社会结构不可缺少的 一部分。这是因为,现代计算,交流,制造和交通系统, 包括互联网,全都依赖于集成电路的存在。 甚至很多学者认为有集成电路带来的数字革命是人类历 史中最重要的事件。

集成电路设计及其在计算机中的应用

集成电路设计及其在计算机中的应用

集成电路设计及其在计算机中的应用随着时代的发展,计算机已经成为了人们日常生活和工作中不可缺少的工具。

而集成电路作为计算机中不可或缺的部分,其设计和应用也越来越重要。

本文将从集成电路设计的基础知识、发展历程、设计流程和计算机中的应用等方面进行讨论。

一、集成电路设计的基础知识1.集成电路的定义集成电路通常指将大量晶体管、电容、电阻等电子元件与电路联系在一起,制成一个独立的功能完备的电路,并在一块小型的硅片上进行集成和组装。

集成电路的优点是具有较高的可靠性、稳定性、体积小、功耗低等特点。

2.集成电路的类型按照功能可分为模拟电路、数字电路和混合电路;按照集成度可分为小规模集成电路(SSI)、中规模集成电路(MSI)、大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(VLSI)等;按照制作工艺可分为bipolar工艺和CMOS工艺等。

3.集成电路的制造流程集成电路的制造流程主要包括晶圆制备、掩模制备、光刻、蚀刻、扩散/氧化等工艺环节。

其中,光刻是最关键的环节,它通过光阻层的遮挡来制定图形,实现对一层或多层相互盖合的电子元器件结构进行加工。

二、集成电路设计的发展历程集成电路设计发展经历了长达半个多世纪的时间,从原始电路和小规模模数电路开始,到50年代中期晶体管数字逻辑门、75年MOS时代中规模集成电路、80年前后80万晶体管的大规模集成电路、90年代超大规模集成电路以及21世纪基因芯片等新型集成电路技术的诞生,每一次技术的进步都为计算机的发展提供了有力支撑。

三、集成电路设计的流程采用VLSI技术的大规模集成电路设计主要包括前端设计、布局设计、版图设计等环节。

其中,前端设计主要包括逻辑设计、电路设计和物理设计等环节;布局设计主要是安排各电路板块的位置和尺寸,并考虑供电和信号传播的问题;版图设计主要是确定每个小区域的晶体管的位置和连接方式等,它是整个设计过程中最为繁琐和复杂的过程。

四、集成电路在计算机中的应用集成电路在计算机中的应用广泛而深刻。

集成电路设计和半导体制造工艺的发展

集成电路设计和半导体制造工艺的发展

集成电路设计和半导体制造工艺的发展随着信息时代的到来,半导体产业变得愈发重要,而半导体制造工艺和集成电路设计则成为半导体产业的两个重要支柱,为电子产品的制造提供了基础。

在这篇文章中,我们将探讨半导体制造工艺和集成电路设计在过去几十年里的发展历程以及未来的发展趋势。

从简单的晶体管到集成电路半导体制造的基础技术是利用硅材料构建晶体管。

晶体管是一种可以控制电子流动的器件,它的发明使得我们能够控制电子的流动方向和大小,并且将它们用于逻辑计算。

在20世纪60年代,集成电路被发明出来,它能够在一个小巧的芯片上集成多个晶体管和其他电子元件。

随着集成电路的发展,电子产品越来越小巧,功能越来越强大,同时,它们的价值也越来越高。

精细半导体制造工艺的发展半导体的制造工艺一直在不断地发展。

在早期,半导体制造并不需要太高的技术,在几次加热和冷却的过程中,材料里的掺杂元素会扩散分布,从而形成了P型和N型半导体,这个过程也被称作扩散工艺。

尽管这种加工工艺能够制造出工作的晶体管,但是这些晶体管的性能并不是很优秀,还处于实验室和学术阶段。

在60年代,金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的发明催生了集成电路设计和精细制造工艺的发展。

MOSFET利用了一些特殊的导电材料,在半导体表面构建起了一个氧化层,然后通过外界电场控制氧化层处电子的流动,从而实现电子的控制。

它是集成电路和精细制造的重要开端。

除此之外,还有一些制造工艺被发明,例如刻蚀、光刻,蒸散等等,为半导体制造提供了更多的手段。

如今,最重要的半导体制造工艺是微影制程,这是一种成本效益极高的制造工艺,也是目前主流的工艺。

微影制程利用光刻技术和干法蚀刻技术,将芯片上的模式通过掩模转移到硅片表面,并形成各种电子元件。

利用这种制造工艺,我们可以生产出含有数亿个晶体管的微型芯片。

集成电路设计的发展集成电路的发明让电子产业进入了一个全新的时代,能够将多个晶体管和其他电子元器件集成到一个小型芯片上,并提供复杂的功能。

EDA的发展过程

EDA的发展过程

欢迎共阅EDA 的发展过程作为电子设计技术的核心的EDA 技术是指以计算机为工作平台研制成的电子CAD 通用软件包,融合了计算机技术、应用电子技术、智能化技术的最新成果。

EDA 主要能辅助进行IC 设计、PCB 设计和电子电路设计这三方面的设计工作,已有30年的发展历程,大致可分为以下三个阶段:CAD 阶段,CAE 阶段和EDA 阶段。

向,高层次的电子设计方法,它通过“相关的4个概念:1但这种方法在长期的生产实践中被证明上的错误,避免设计工作的浪费,又减少了逻辑功能仿真的工作量)。

然后,设计人员在方框图一级进行仿真、纠错和用硬件描述语言对高层次的系统行为进行描述,并进行系统一级的进行验证。

最后,用综合优化工具生成具体门电路的网络表,并可通过印刷电路板或专用集成电路进行硬件实现。

2.采用ASIC芯片进行设计:随着设计现代电子产品的复杂度日益提高一个电子系统可能需要包含成千上万个中小规模集成电路,这就带来了体积和功耗的显着增大和系统整体可靠性的降低。

为了解决这个问题设计人员研发了通过ASIC芯片进行设计的方法。

ASIC芯片又可分为以下三种:(一)全定制ASIC:行全局的精密设计和验证,ASIC只在大批量产品上开发运用。

(二通(三的发展阶段,最大的特点就是设计人员完成设计后,自己就可以烧制出需要的芯片而无须通过IC厂家进行制造,这使得开发周期得到了相当大的缩短。

目前较为领先的CPLD和FPGA属高密度集成度已高达两百万每门,属于高密度可编程逻辑器件,已成为现代高层次电子设计方法的实现载体。

它兼具高集成度和可编程的优点,特别适合于产品的快速先期研制和开发。

3.硬件描述语言HDL:在EDA时代,设计师通过HDL软件编程的方式来描述电子系统的逻辑功能、电路结构和连接形式。

作为一种用于设计硬件电子系统的计算机语言,HDL与传统的门级描述方式相比更适合大规模系统的设计。

如果要实现一个三十二位的加法器,利用VHDL语言实现只需要一行“Z=X+Y”。

中国集成电路产业发展历史

中国集成电路产业发展历史

中国集成电路产业发展历史中国集成电路产业的发展历史可以追溯到上世纪70年代末和80年代初。

当时,中国开始引进集成电路技术,并建立了一批集成电路设计和制造机构。

然而,由于技术和资金的限制,中国的集成电路产业起步较晚,发展缓慢。

在1990年代初期,中国政府开始制定产业政策,提出了集成电路产业的发展目标,鼓励并支持国内企业加大对集成电路技术的研发和创新。

为了培育本土集成电路产业,中国政府采取了一系列措施,包括加大对人才培养的投入、提供财政和税收支持,以及推动国内企业与国外知名企业的合作。

随着中国经济的迅速发展和市场需求的不断增加,中国集成电路产业开始发展壮大。

中国的集成电路设计能力逐渐提升,诞生了一批具有自主知识产权的芯片设计企业。

同时,中国的集成电路制造能力也逐步提升,一些先进的制造工艺开始在中国实现产业化。

2000年代以来,中国的集成电路产业经历了快速发展的阶段。

政府继续加大对集成电路产业的支持力度,鼓励国内企业进行技术创新和研发,并提出了一系列引导政策,以推动产业的发展。

中国的集成电路产业链逐渐完善,从设计到制造再到封装测试,形成了相对完整的产业链条。

到了2010年代,中国集成电路产业取得了显著的进展。

中国成为全球最大的集成电路市场之一,并且在部分领域具备了一定的技术竞争力。

中国的一些集成电路企业在国际市场上开始崭露头角,成为全球领先企业之一。

当前,中国的集成电路产业仍然面临着一些挑战,如技术水平相对落后、核心知识产权依赖进口等。

然而,中国政府继续致力于推动产业的发展,通过政策引导和资金支持,加快自主创新和核心技术研发的步伐,努力将中国的集成电路产业打造成为世界一流的产业。

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集成电路设计方法的发展历史、发展现状、及未来主流设计方法报告集成电路是一种微型电子器件或部件,为杰克·基尔比发明,它采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,使电子元件向着微小型化、低功耗和高可靠性方面迈进了一大步。

集成电路具有体积小,重量轻,引出线和焊接点少,寿命长,可靠性高,性能好等优点,同时成本低,便于大规模生产。

它不仅在工、民用电子设备如收录机、电视机、计算机等方面得到广泛的应用,同时在军事、通讯、遥控等方面也得到广泛的应用。

用集成电路来装配电子设备,其装配密度比晶体管可提高几十倍至几千倍,设备的稳定工作时间也可大大提高。

一、集成电路的发展历史:1947年:贝尔实验室肖克莱等人发明了晶体管,这是微电子技术发展中第一个里程碑;1950年:结型晶体管诞生;1950年: R Ohl和肖特莱发明了离子注入工艺; 1951年:场效应晶体管发明;1956年:C S Fuller发明了扩散工艺;1958年:仙童公司Robert Noyce与德仪公司基尔比间隔数月分别发明了集成电路,开创了世界微电子学的历史;1960年:H H Loor和E Castellani发明了光刻工艺;1962年:美国RCA公司研制出MOS场效应晶体管;1963年:和首次提出CMOS技术,今天,95%以上的集成电路芯片都是基于CMOS工艺;1964年:Intel摩尔提出摩尔定律,预测晶体管集成度将会每18个月增加1倍;1966年:美国RCA公司研制出CMOS集成电路,并研制出第一块门阵列;1967年:应用材料公司成立,现已成为全球最大的半导体设备制造公司;1971年:Intel推出1kb动态随机存储器,标志着大规模集成电路出现;1971年:全球第一个微处理器4004Intel公司推出,采用的是MOS工艺,这是一个里程碑式的发明;1974年:RCA公司推出第一个CMOS微处理器1802;1976年:16kb DRAM和4kb SRAM问世;1978年:64kb动态随机存储器诞生,不足平方厘米的硅片上集成了14万个晶体管,标志着超大规模集成电路时代的来临;1979年:Intel推出5MHz 8088微处理器,之后,IBM 基于8088推出全球第一台PC;1981年:256kb DRAM和64kb CMOS SRAM问世; 1984年:日本宣布推出1Mb DRAM和256kb SRAM; 1985年:80386微处理器问世,20MHz;1988年:16M DRAM问世,1平方厘米大小的硅片上集成有3500万个晶体管,标志着进入超大规模集成电路阶段;1989年:1Mb DRAM进入市场;1989年:486微处理器推出,25MHz,1μm工艺,后来50MHz芯片采用μm工艺;1992年:64M位随机存储器问世;1993年:66MHz奔腾处理器推出,采用μm工艺;1995年:Pentium Pro, 133MHz,采用μm工艺; 1997年:300MHz奔腾Ⅱ问世,采用μm工艺;1999年:奔腾Ⅲ问世,450MHz,采用μm工艺,后采用μm工艺; 20XX年: 1Gb RAM投放市场;20XX年:奔腾4问世,,采用μm工艺;20XX年:Intel宣布20XX年下半年采用μm工艺。

20XX年:奔腾4 E 系列推出,采用90nm 工艺。

20XX 年:intel 酷睿2系列上市,采用65nm 工艺。

20XX年:基于全新45纳米 High-K 工艺的 intel 酷睿2 E7/E8/E9上市。

20XX年:intel 酷睿 i 系列全新推出,创纪录采用了领先的32纳米工艺,并且下一代22纳米工艺正在研发。

从历史CPU的发展历程来看,制作的工艺是越来越精细,处理器的性能也得到了大幅度提高。

二、集成电路发展的现状及未来趋势随着工艺技术水平的不断提高,早期的人工设计已逐步被计算机辅助设计(CAD)所取代,目前已进入超超大规模集成电路设计和SOC设计阶段。

在集成电路设计技术中最重要的设计方法、EDA工具及IP核三个方面都有新的发展:半定制正向设计成为世界集成电路设计的主流技术,而全定制一般应用在CPU(Central Process Unit)等设计要求较高的产品中,逆向设计多应用于特定的集成电路设计过程中,当今世界领先的EDA工具基本掌握在世界专业EDA公司手中,如益华计算机(Cadence)、新思科技(Synopsys)、明导科技(MentorGraphics)和近年发展迅猛的迈格玛(Magma),它们的世界市场占有率高达60%以上,世界上IP专营公司日见增多,目前自主开发和经营IP核的公司有英国的ARM和美国的DeSOC等,世界IP核产业已经初具规模。

目前,国际先进的集成电路芯片加工水平也已经进入90nm/12英寸,而且正向65nm水平前进,65nm以下设备已逐步进入实用,45~22nm设备和技术正在开发当中。

在芯片制造技术领域的一个显著特点是,集成电路工艺与设备的结合更为紧密,芯片制造共性工艺技术的开发越来越多地设备制造商来承担。

目前,设备制造商的职责已经从单纯地提供硬件设备转变为既要提供硬件设备又要提供软件(含工艺菜单)、工艺控制及工艺集成等服务的总体解决方案,芯片制造技术越来越多地融入设备之中。

集成电路封装技术的发展主要体现在封装方式上。

最早的集成电路封装技术起源于半导体器件封装技术,封装方式足TO型(礼帽型)金属壳和扁平长方形陶瓷壳,时至今日,封装方式已经发展到几大类和若干小类,包括:(1)直插式:单列直插(SIP)、双列直插式(DIP),(2)引线芯片载体:引线陶瓷芯片载体(LCCC)、塑料有引线芯片载体(PLCC),(3)四方型扁平封装(QFP):薄型QFP(TQFP)等,(4)小外形封装(SOP):J型引脚小外型封装(SOJ)、薄小外形封装(TSOP)等,(5)阵列式封装:针栅阵列(PGA)、球栅阵列(BGA)、柱栅阵列(CGA)等。

进入21世纪以来,新型的封装方式也不断出现,其中以芯片级封装(Chip SizePackage,CSP)、多芯片/三维立体封装(MultiChipPackaging,MCP/3D Packaging,3D)、晶片级封装(Wafer Level Packaging,WLP)等几项新型封装技术最为引人瞩目,这几种新型的封装方式代表着当今封装技术的最先进水平。

CSP是一种封装体尺寸最接近裸芯片尺寸的小型封装,目前CSP技术已趋于成熟,被众多的产品所选用。

WLP技术是在芯片制造工序完成后,直接对晶片利用半导体工艺进行后续封装,而后再切割分离成单个器件。

使用这种封装方式,可以提供相当于芯片尺寸大小的小型组件。

三维立体封装是指在垂直于芯片表面的方向上堆叠、互连两片以上裸芯片的封装方式,其空间占用小,电性能稳定。

目前,采用三、四或五层裸芯片构成的堆叠式存储器产品已经出现。

除此之外,诸如系统级封装(System in Package,SIP)等下一代封装技术也专家和研发机构提出,相关的基础研究已经开展。

每一代封装技术的产生和推广,均有相应的加工设备作支撑,目前国际上各类先进封装设备在封装方式、封装速度和封装可靠性等方面均可满足大规模、快变化的工业生产需要,而且大有向专业设备寡头化发展的趋势。

另外测试技术的进步主要体现在测试设备的发展上,测试设备从测试小规模集成电路发展到测试中规模、大规模和超大规模集成电路,设备水平从测试仪发展到大规模测试系统。

现今测试系统已向高速、多管脚、多器件并行同测和SOC 测试的方向发展。

世界先进的测试设备技术,基本掌握在美国、日本等专业测试设备生产厂家手中,如美国泰瑞达(TERADYNE)、安捷伦(Agilent Technologies)公司、日本爱德万测试(ADVANTEST)公司等三、集成电路发展的瓶颈第一,光刻技术限制。

集成电路的加工设备中,光刻是核心。

30年来,集成电路之所以能飞速发展,光刻技术的支持起到了极为关键的作用,因为它直接决定了单个晶体管器件的物理尺寸。

每一代新的集成电路的出现,总是以光刻所获得的最小线宽为主要标志。

光刻技术的不断发展从三个方面为集成电路的进步提供了技术保证: 大面积均匀曝光,在同一块硅片上加工出大量的器件和芯片,保证了批量化的生产水平,硅片的尺寸也从最初的2英寸直径,逐渐发展到4英寸、6英寸、8 英寸直至现在的12英寸直径;(2) 光刻的最小线宽不断缩小(现已达到微米),使芯片的集成度不断提高,生产成本也随之下降;(3)集成电路中的晶体管尺寸不断缩小后,随着晶体管的时钟速度的不断加快,集成电路的性能也得以持续不断地提高。

第二,材料和制造工艺的限制随着集成电路集成度的提高,芯片中晶体管的尺寸会越来越小,这就对制作集成电路的半导体单晶硅材料的纯度要求也越来越高。

哪怕是极其微小的缺陷或杂质,都有可能使集成电路中的某个或数个晶体管遭到破坏,最终导致整个集成电路的失败。

同时,集成电路集成度的提高还会引发另一个十分棘手的问题。

随着集成块上晶体管器件之间绝缘厚度的减小,当小到5个原子的厚度时,量子隧道效应将会出现,即传输电荷的电子将会穿过绝缘层,使晶体管器件之间的绝缘失效。

在制造工艺方面,随着光刻精度的提高,也需要相应提高硅片(基板)和光刻掩模板的表面平整度,对于数十纳米的最小线宽制程,表面平整度几乎是原子尺度。

除此之外,光刻精度的提高对基板和掩模板之间的平行度要求也越来越高。

这些十分苛刻的制造工艺条件,无疑也将成为提高光刻精度的另一个重要瓶颈。

能耗和散热的限制,微电子学技术除了在光刻加工技术上和半导体材质上存在着急待突破的技术限制之外,它还受到了器件能耗过大和芯片散热困难的严重困扰。

随着集成电路芯片中晶体管数量大幅度增多,芯片工作时产生的热量也同样在大幅度增加,芯片的散热问题已经成为当今超大规模集成电路进一步发展的严重障碍,降低器件的能耗和解决芯片的散热也已成为微电子学技术进一步发展的一个主要技术瓶颈。

第三,当今的微电子器件(如场效应晶体管),于本身的工作能耗太大,已经很难适应更大规模集成的需要。

换句话说,即使通过芯片的新设计(如多层芯片设计技术)和光刻加工技术的改进(如极紫外光光刻技术)在一定程度上可以提高芯片的集成度,但于目前微电子器件的工作电流和能耗都太大,大量的发热使集成电路很难保证其正常的工作状态。

同时,芯片的过热还会造成其使用寿命缩短、可靠性降低等严重问题。

综上所述,集成电路的发展仍有很大的空间,但是半导体本身的物理限制,它的的发展是存在极限的,集成电路总有一天会被更高级的电路取代……。

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