AP2004皮拉尼真空计
皮拉尼真空计
VSP62 真空变送器 绝对压力从 1000 mbar 到 1 x 10-4 mbar (1mbar=1hPa), 750 - 1 x 10-4 Torr. VSP62 真空计基于超前专利皮拉尼测量原理，延伸其测量范围，同时保证高的分辨率。此真空计带温度补 偿，输出对数关系的电压信号 0-10V. 优点 高可靠性，卓越的重复性 结构非常紧凑，工业应用设计 宽的测量范围，高分辨率即使在抽象的真空范围 金属滤网保护灯丝，好的抵抗力针对于油和蒸汽 低功耗 减少测量腔的自热 由于金属密封的不锈钢传感器，非常适合于 UHV 应用 典型应用 分析仪器喷涂车间 冷冻干燥，冷冻法 真空炉 真空泵和真空设备 泄漏测试 过程工艺
技术参数：
测量原理 真空接触材料 测量范围
精度
热传导( Pirani 推动), 依据气体种类 不锈钢 1.4307, 镍, 钨, 玻璃 1000 - 1 x 10-4 mbar (750 - 1 x 10-4 Torr), 最大耐压 4bar 绝对压力 < 30% 读数: 1000 - 20 mbar: < 10% 读数: 20 - 2 x 10-3 mbar < factor 2: < 2 x 10-3 mbar
重复性 响应时间 供电电压 电气连接 Electrical Connection 功耗 工作温度 储藏温度 最大烘烤温度
2% 最大 200 ms 15 - 30 VDC 赫斯曼，6 针 接近 10 mA 5...+50°C -20...+70 °C 80°C 法兰处
输出信号
真空过程连接 防护等级 重量
Hale Waihona Puke 0 - 10 VDC, 测量范围 1.5 - 8.5 VDC, 对数, 1V / 十进制, 阻抗 > 10 kOh
皮拉尼真空计
皮拉尼真空计英文名称：Pirani vacuum gauge定义：利用电阻丝的阻值随温度变化的原理来测量压强的仪器。
所属学科：机械工程（一级学科）；实验室仪器和装置（二级学科）；真空获得仪器与装置-真空仪器与装置（三级学科）本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布也称电阻式真空规。
其工作原理是：真空度不同，单位体积内的空气分子数就不同，对于正在发热的电阻丝带走热量的能力（散热能力）就不同，电阻丝温度就不同，因为电阻丝的电阻率是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空气压强，也就是测量真空度。
实际的皮拉尼真空计一般做成四臂电桥，并有用于温度补偿的电阻丝与其串联。
用于测量低于大气压的稀薄气体总压力的仪表，又称真空规。
真空计的测量单位沿用压力测量单位，压力的国际单位为帕(Pa)，曾使用的单位还有托(Torr)和毫巴(mbar)等。
热阴极电离真空计(1)电子在电场中飞行时从电场获得能量，若与气体分子碰撞，将使气体分子以一定几率发生电离，产生正离子和次级电子。
其电离几率与电子能量有关。
电子在飞行路途中产生的正离子数，正比于气体密度n,在一定温度下正比于气体的压力p。
因此，可根据离子电流的大小指示真空度。
这就是电离真空计工作原理。
由灯丝加热提供电子源的电离真空计称为热阴极电离真空计，其型式繁多，各具不同特点和适用不同的压力测量范围。
热阴极电离真空计由测量规管(或规头)和电气测量电路(真空计控制单元和指示单元)组成。
规管功能是把非电量的气体压力转换成电量——离子电流(2)当气体导电时，电子与气体分子的碰撞频率跟气体分子的密度有关。
密度大，碰撞的频率就高，产生的离子也越多，气体中的电流就越强。
又由于气体分子的密度与气体的压强是直接相关的，因此，测定了气体中电流的大小，即可确定气体的压强。
根据上述原理即可制成热阴极电离真空计。
最简单的热阴极电离真空计就是一只三极管，F是灯丝电路，通电流后使灯丝受热向外发射电子。
皮拉尼真空计原理详解
皮拉尼真空计原理的原理，通过测量保持在不同温度的两固定元件表面间热能的传递来利用电阻丝随温度的变化而电阻随之变化的原理来测量的，而皮拉尼真空计,也称电阻式真空规。
其工作原理是：真空度不同，是温度的函数，所以不同的真空度就引起了电阻率的不同，则电阻就不同，电流在电阻丝上的压降就不同，根据电压的变化就能换算出空低温的气体分子碰撞高温固体时,会从固体夺取热量。
通过被气体分子夺取的热量来计算压力的真空计被成为热传导真空计。
热传导真空计主要被应用于中低真空领域。
代表性的热传导真空计包括Pirani真空计和热电偶真空计。
原理Pirani皮拉尼真空计构造如图所示。
金属圆筒内部设有一白金细线,两端连接电极。
通过电极给白金细线提供电流时,白金细线会发热,气体分子碰撞白金细线或热辐射或通过固体热传导等方式,白金线的热量会被夺走。
单位时间内以上三种方式夺走的热量为Qg,Qr,Qs,则平衡状态下时以下公式成立Ｑ = Ｉ2Ｒ = Ｑg + Ｑr + Ｑs (1)Q是单位时间细线放出的热量,R是细线的电阻,I是细线的电流。
气体的平均自由行程比细线的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为Ｑg = αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0)ｐ (2)如图所示,T和T0分别为细线和金属圆筒的温度,P为气体压力,a是细线长度。
剩下的Qs和Qr可以分别表示如下Ｑs = Ｓκ(Ｔ－Ｔ0)/Ｌ (3)Ｑr = πｄａσε(Ｔ4－Ｔ04) (4)(3)是电极的热传导,其中S是细线的断面积,κ是固体的传导率,Ｌ是电极的长度。
(4)式代表热辐射,σ和ε分别被称为常数和固体辐射率。
如果保持T和T0一定,则(3)和(4)式为常数。
如果用I02R表示一定量的固体热传导和热辐射,则式1可以表示为Ｉ2Ｒ = Ａｐ＋ I02Ｒ (5)Ａ= αΛπｄａ(Ｔ－Ｔ0) (6)I0是压力为0的时候细线的电流, 是弥补固体热传导和热辐射而带来的热量损失。
Ａ式是不依存压力的定数如果已知细线的电阻R,电流I0及定数A,则可以通过(5)式求得压力P。
皮拉尼标准真空计
350-080 350-082 350-081 350-084 350-085 350-083 350-086
350-087
350-088
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8" NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管)
(7/16-20 UNF) (DN 16 ISO-KF 长管) (DN 16 CF-R 长管)
FCC 68 / RJ45, 仪表插头, 8 脚 8 芯, 加屏蔽 ≤ 100 米 (8×0.14 毫米 2)
接地 真空连接至 讯号公共端 电源公共端至 讯号公共端
暴露于真空的材料
灯丝 PSG500, PSG500-S PSG502-S
→ " 电气连接 " 通过 1MΩ 连接 (电压差 <50 V) 通导隔离, 用于 不同的测量
水平安装方向
测量讯号
有效范围 5×10-4 毫巴<p< 1000 毫巴
3.75×10-4 乇 <p< 750 乇
5×10-2 帕 <p< 1×105 帕
%
≤80,温度为+31 °C 时,当温度
上升至 +40 °C 时减至 50
仅室内,海拔高至 2000 米 NN
［毫巴］
［微米汞柱］
任意
［微巴］
［帕］
人员要求
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
皮拉尼真空计原理详解
皮拉尼真空计原理详解首先，正离子分子在电场的作用下会被加速并撞击到电极上，使得电极发生电子排斥现象，形成一个微弱电流。
这个电流被称为离子电流，其大小与真空度成正比。
当真空度较高时，正离子的数量较少，离子电流较小；而当真空度较低时，正离子的数量较多，离子电流较大。
因此，通过测量离子电流的大小，可以获得真空度的信息。
其次，电子在电场的作用下会被加速并撞击到另一个电极上，引起电子的泄漏电流。
这个电流被称为阴极电流，其大小与电极间的电压成正比。
当电压较低时，电子泄漏电流较小；而当电压较高时，电子泄漏电流较大。
阴极电流与电极的距离也有关系，当电极间的距离较大时，电子泄漏电流较小；而当电极间的距离较小时，电子泄漏电流较大。
因此，通过测量阴极电流的大小，可以判断真空度以及电极间的距离。
综上所述，皮拉尼真空计利用离子电流和阴极电流来测量真空度，并通过电流的大小来判断真空度的高低。
对于皮拉尼真空计，通常使用不同的量程来测量不同范围的真空度。
在使用皮拉尼真空计时，需要注意以下几点：1.真空计的量程选择：根据需要测量的真空度范围选择合适的皮拉尼真空计。
2.真空计的校准：真空计需要定期进行校准，以保证测量结果的准确性。
3.真空计的使用环境：避免将真空计暴露在高温、湿度或腐蚀性气体的环境中，以保证其正常工作。
4.真空计的保养和维护：定期清洁和维护真空计的电极和电路，以延长其使用寿命。
总结起来，皮拉尼真空计的原理是基于气体分子在电场中的电离现象，通过测量离子电流和阴极电流的大小来判断真空度的高低。
真空计的使用需要注意量程选择、校准、使用环境和保养维护等因素。
pirani真空计范围
pirani真空计范围Pirani真空计是一种常用的真空度测量仪器，广泛应用于科研实验室、工业生产以及航天航空等领域。
它以其高精度、稳定性和可靠性而备受青睐。
本文将介绍Pirani真空计的工作原理、测量范围以及应用领域。
Pirani真空计的工作原理基于热导率的变化。
它由一个细丝电阻和一个热电偶组成。
当细丝电阻通电时，电流通过细丝产生热量，使细丝温度升高。
同时，热电偶测量细丝的温度变化。
在真空环境中，气体分子的热导率较低，细丝的温度升高速度较快。
而在高真空环境中，气体分子的热导率较高，细丝的温度升高速度较慢。
通过测量细丝的温度变化，可以推算出真空度的大小。
Pirani真空计的测量范围通常在10^-3至10^3帕之间。
在这个范围内，Pirani真空计具有较高的精度和灵敏度。
对于低真空度的测量，Pirani真空计可以提供较为准确的结果。
而对于高真空度的测量，Pirani真空计的灵敏度较低，需要结合其他类型的真空计进行测量。
Pirani真空计在科研实验室中有着广泛的应用。
在材料科学研究中，Pirani真空计可以用于监测材料的真空热处理过程，确保材料在适当的真空环境中进行处理。
在物理实验中，Pirani真空计可以用于测量真空室的真空度，保证实验的准确性和可靠性。
此外，Pirani真空计还可以用于半导体制造、光学薄膜沉积、真空冷冻干燥等工业生产过程中的真空度监测。
在航天航空领域，Pirani真空计也扮演着重要的角色。
在航天器的真空测试中，Pirani真空计可以用于测量航天器的真空环境，确保航天器在太空中的正常运行。
此外，Pirani真空计还可以用于航空发动机的真空测试，确保发动机在高空环境中的正常工作。
总之，Pirani真空计是一种常用的真空度测量仪器，具有高精度、稳定性和可靠性。
它的测量范围通常在10^-3至10^3帕之间，适用于科研实验室、工业生产以及航天航空等领域。
通过Pirani真空计的使用，我们可以准确地监测和控制真空环境，确保实验和生产的顺利进行。
真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度-最新国标
真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度1 范围本文件给出了皮拉尼真空计的参数，描述了其校准步骤，规定了使用这些真空计时要考虑的测量不确定度。
本文件适用于工作压力范围为 0.01 Pa ~150 kPa 的皮拉尼真空计。
当对皮拉尼真空计进行校准并将其用作参考标准时，本文件是对GB/T 34873 和 ISO 27893的补充。
另外，本文件描述了皮拉尼真空计响应时间和迟滞的表征方法。
2 规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。
其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。
GB/T 34873-2017 真空计与标准真空计直接比较校准（ISO 3567:2011，IDT）ISO 27893 真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（Vacuum technology —Vacuum gauges —Evaluation of the uncertainties of results of calibrations by direct comparison with a reference gauge）注：G B/T 34876-2017 真空计与标准真空计直接比较校准结果的不确定度评定（ISO 27893:2011，IDT）ISO/IEC 17025 检测和校准实验室能力的通用要求（General requirements for the competence of testing and calibration laboratories）注：G B/T 27025－2019 检测和校准实验室能力的通用要求（ISO/IEC 17025：2017，IDT）3 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。
部组件定义3.1.1热传导真空计 thermal conductivity gauge通过测量保持不同温度的两个固定元件表面间的热量传递来确定压力的一种真空计。
皮拉尼真空计工作原理
皮拉尼真空计工作原理
皮拉尼真空计是发现真空的简易仪器，具有测量范围宽，结构简单，重量轻，可靠性高，成本低等优点，广泛应用于国内外空调、制冷行业等。
它的原理如下：
皮拉尼真空计由一个真空断头（多为U型乙烯塑料管）、一个活塞（以金属或塑料制成）构成，两端固定在底座上。
活塞底部安装有一个游标，当真空度变化时，活塞的运动会引起游标的上下移动，使得游标根据真空度的变化而变化。
皮拉尼真空计工作原理：光滑的U型管中安装有一个称重元件，当真空度改变时，称重元件会受空气内压力的影响而产生变形，从而改变重心位置，使得游标发生位移，仪器上会出现一个分，提供旋转刻度盘，指针会随着真空度的变化而指向相应的分，从而测出真空度大小。
皮拉尼真空计的测量范围宽，通常为空气中的几个百万分之一的气压，最高可达10-3动物斯，可根据实际需要而进行调整。
皮拉尼真空计具有结构简单，重量轻，可靠性高，成本低，维护保养方便等优点，是在大多数真空技术下优先考虑的测量，然而，皮拉尼真空计的测量精度稍低于其他仪器，但不会影响实际的测量结果。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
AP2004皮拉尼真空计AP2004模拟输出：2个设置点 ＋ 模拟输出2个设置点 ＋ RS485ADIXEN在使用这个真空计之前，请仔细阅读此文件。
1、安全1-1．符号注意关于正确处理或使用的重要信息。
1-2．一般安全指令·这个真空计不要使用在腐蚀性或毒性气体的工况腐蚀性气体如含氟的气体可能造成传感器内部损坏，从而导致外部气体泄漏。
这可能造成人身伤害。
·小心安装或拆除真空计将真空计安装在真空管路上之后或拆除其之前，用干净和干燥气体去除传感器内部残余的气体和蒸气。
1-3．专业技术人员注意所有在这个文件中描述的工作要由经过适当技术培训和有足够经验的专业人去执行。
2、质量保证1．这个真空计的保修期为交货后一年。
2．如果这个真空计在这个文件描述的正常操作下发生任何故障，我司将提供免费维修。
3．质量保证是针对该产品。
任何因产品造成的其他损伤不在保质范围内。
4．即使在保质期内，如遇以下损坏需付费维修：ⅰ) 因不正确使用或非法维修及修改造成的损坏。
ⅱ) 在交货之后, 机械撞击造成的损坏。
ⅲ) 连接装置导致故障或损坏。
ⅳ) 因颗粒或外部物体进入传感器造成的损坏。
ⅴ) 因自然灾害造成的损坏例如火灾、地震、洪水或雷击。
ⅵ) 其它不在我们的责任范围之内的损坏。
5.维修或更换零件后的保修期为90天或遵从原先保质期的到期日，两种情况中相对晚到的日期为准。
3、技术参数3-1．详述测量压力范围：5E-2～1E5 (Pa)测量精确性 ：5E-2～1E-1 (Pa)：±50％：1E-1～1E4(Pa)：±15％：1E4～1E5 (Pa)：±50％重复性 ：1E-1～1E4：2% ／ 环境温度25℃输入电压 ：+14～30VDC(标准 24VDC) ／ 允许脉动：在2Vp-p下面消耗功率 ：2W (消耗电流＜150mA)模拟输出：0～10V (查阅 4-1)真空计辨识阻抗：13ｋΩ (D-sub 5-9pins)设置点：2 个接点输出 (1A30V, DC) ∕ SP・485 version only界面：RS485∕485 version onlyI∕O接口 ：D-sub 9 pin(4-40)最大线长：200 m (0.34mm2)工作温度范围：5~60℃贮藏温度范围：-20~70℃匹配皮拉尼传感器：MP-1 (NW16，NW25，φ34ICF ，1/8NPT ，φ15adapter)3-2．尺寸 (下图为NN25接口的传感器)80×40×23mm3-3．零件名称 (下图为NN25接口的传感器M-350 PG-485)3-4．I／O接口的插头分配D-sub 9 Pin (公接头) M-350PG-STDM-350PG-SP M-350PG-4851 模拟输出(＋) RS485(＋)2 不使用 设置点 COM (继电器触点)3 不使用(N.C.)4 DC 电源输入(＋)：24VDC5 真空计辨识 (13ｋΩ)6 不使用 设置点1 (继电器触点)7 不使用设置点2 (继电器触点)8 模拟输出(－) RS485(－) 9DC 电源输入(－)：0VDCADIXEN皮拉尼真空计传感器 皮拉尼真空计 控制器 I/O 接口 (D-sub 9P) 设置面板注意不要连接不使用的插脚。
忽视的话在连接调节电路时可能会导致故障。
3-5．I／O接口的接线下图显示每个I/O 接点的连接方式。
Ear t h注意·为电压阻抗和允许电流选择正确导线尺寸。
·连接防护接地线(黄色/绿色)。
没有接地连接，可能导致电击。
·在电源处安装保险丝。
在电路故障时忽视可能导致失火。
·使用信号线和电源线，当使用弯曲金属线可导致降低噪声杂波作用。
·例如，如果使用5厘米弯曲线，噪声杂波减少至1/112(41dB)。
3-6．安装必须使用相应的配件。
如果连接电线造成传感器向下的负载,需在传感器和控制器之间的连接区域加上保护。
为避免此情况，请将电线固定在相应构架上。
注意·在真空系统中安装真空计时，不要用手直接接触腔体里面。
忽视可能导致真空系统脱气的增加。
可能对真空工艺造成负面影响。
·安装真空计时小心不要污染真空系统的密封表面。
它可引起真空泄漏。
·在真空系统安装真空计时特别小心不要扭转或弯曲传感器头。
忽视可引起这个真空计的故障。
·安装这个真空计时远离振动。
忽视可引起这个真空计的故障。
·在真空系统安装这个真空计时，水平安装真空计避免测量误差。
·安装这个真空计时，远离温度变化激烈(在热源附近或热空气吹动)的地方和振动。
3-7．设置面板④ ⑤ ⑥② ③ ①① 电源显示灯接电源：绿色灯闪烁在校准过程内：橙色灯打开2秒 ② AT M∕VAC 大气压∕真空校准开关 ③ SP SEL 开关(STD 不含在内)：设置点选择开关④ SP1 LED (STD 不含在内)：设置点 1绿色LED ，打开时灯亮 ⑤ SP2 LED (STD 不含在内)：设置点 2绿色LED ，打开时灯亮⑥ 数字开关 (STD 不含在内)：SP ：输入设置点数据：485；RS485的地址设置4、测量压力4-1．输出信号在I/O 接口针脚①＋和⑧－之间可得到模拟信号(0 ～10V)输出。
输出值U 和压力P 之间的转换，请遵从以下规则：P = 10（U-d）(Pa) (计算P＝10＾(U-ｄ) on PC) U:输出电压(V) d: 常数单位 Pa mbar Torr 常数 3.5 5.5 5.62下图显示测量气体为N2时，测量信号和压力之间关系。
当测量气体为其他气体且压力在500 Pa以下时，请乘以以下修正系数计算压力。
气体*C 气体*C氢气0.5 空气,氧气,一氧化碳,氮气 1.0氦气0.8 氪气 2.4氖气 1.4 氙气 3.0氩气 1.7 水蒸气0.5二氧化碳0.9 氟里昂 12 0.7*C：修正系数4-2．输出信号对于AP2004,在I/O 接口针脚①＋和⑧－之间发送和接收命令及数据(RS 485系列)。
查阅RS485手册。
4-3．压力校准大气压以及真空状态的压力调节压力校准必须在2点进行，大气压和真空。
在真空室测量压力为大气压(1×105 Pa)或高真空(1×10-2 Pa)时，按设置面板上的②ATM∕V AC键。
当接受校准请求后，电源灯①点亮2秒(橙色灯)，然后自动获得压力数据和温度补偿数据。
控制器自动地判断当前状况是大气压或真空。
如果②AT M∕VAC开关长按3秒以上，将强制设定为大气压校准。
4-4．设置点的设定使用设置面板。
设置点1和设置点2的设定都采用一个步骤(仅AP 2004 SP系列)。
使用数字开关⑥输入数字。
直接设置尾数。
转换和输入值请根据下图。
指数设置表数字开关符号指数设置值（Pa）数字开关符号指数设置值（Pa）0 0 8 -81 -1 9 -92 -2 A +63 -3 B +54 -4 C +45 -5 D +36 -6 E +27 -7 F +14CD例如：设置点 1： 5×102 ＝ 500 (Pa) 设置点 2： 8×10-1 ＝ 0.8 (Pa)操作描述显示 开始正常测量模式1.按SP SEL 开关 准备为SP1设置尾数2.设置数字开关：5 设置SP1尾数(1～9)：5SP1橙色灯稳定3.按SP SEL 开关 储存SP1尾数 & 准备设置指数4.设置数字开关：E 根据设置表设置SP1指数：+2SP1橙色灯间隔每0.5秒闪动一次48C 46.设置数字开关：8 设置SP2尾数(1～9)：8 7.按SP SEL 开关 储存SP2尾数 & 准备设置指数 8.设置DIGI 开关：1 根据设置表设置SP2指数：-1SP2橙色灯间隔每0.5秒闪动一次9.按SP SEL 开关储存SP2指数 & 准备设置单位10.设置数字开关：0 SP 的压力单位1：Torr 2：mbar 其它：Pa SP1,2橙色灯间隔每0.5秒闪动一次11.按SP SEL 开关储存压力单位 &回到初始测量模式初始状态4-5．设置输出点设置点的继电器输出需要和SP 数值有10%压力差距。
(开：SP 值，关：+10％SP 值)。
O NO FFO NR el ay O ut putP r essur Set P oi H yst er esi sV al ue4C4C注意·当从真空系统上拆除真空计时，不要用手直接接触系统内部。
忽视可能导致真空系统脱气的增加，并且对系统工艺产生负面的作用。
·从真空系统拆除真空计时小心不要污染真空系统的密封表面。
它可导致真空泄漏。
·当从真空系统拆除这个真空计时，不要扭转和弯曲传感器头。
忽视可能导致传感器故障。
①关闭供应电源。
②对真空系统放气使系统回复到大气压。
③拆除电信号接头。
④拆除这个真空计与真空系统的连接。
⑤在这个真空计接口处安装防护盖。
6、维护注意·污垢进入真空计造成的故障不在保修范围内。
·当需要维修时，阿尔卡特高真空技术（上海）有限公司联系。
·用户维修或拆卸过的产品不在保修范围内。
6-1．故障排除症状可能原因采取措施输出信号小于0.1v没有供电检查电源电压、电线、接线和保险丝输出信号低于0.4v控制器故障维修控制器输出信号大于8.5v压力过大检查真空室压力输出信号大于9.5v传感器故障维修传感器—传感器鉴定阻抗I/O 接口的阻抗值可通过测量⑤和⑨针之间获得，为13KΩ。
如果用户无法发现原因，阿尔卡特高真空技术（上海）有限公司联系。
6-2．传感器更换①拆除传感器：拆除M2.6 螺丝，然后根据箭头指示的方向拔出传感器。
②安装传感器：③慢慢地将定位针插入孔内安装传感器，不要使针弯曲。
在安装之后，用M2.6螺丝锁紧。
校准：校准请查阅4-3。
6-3．清洗注意·不要用液体清洁剂清洗真空计内部。
忽视的话可能造成真空计的故障。
·经常使用酒精清洗外表面。
不要使用丙酮这类产品。
6-4．贮藏长久贮藏真空计时远离热﹑湿气和灰尘。
注意产品没填好〝安全调查表〞的话，将被退回寄件人。