如何选择INFICON真空计
真空计使用方法 带参数要求说明辩析
真空计使用方法1、天海、广汇、安瑞科贮罐规管须使用HASTING HPM4/6真空计测量，2、HPM 4/6真空计为便携式、数显，使用9VDC直流电池。
3、HPM4/6真空计测量范围有两个：0.001-1.0 Torr 和0.01-20.0 Torr左侧有一选择开关，放在中间是关的位置，往上推则是DV6的位置，即测量低温容器真空度的位置，测量范围为0.001-1.0 Torr。
只有当低温容器和低温罐车的真空度低于一个Torr时，真空计的液晶显示屏才能够显示低温容器和低温罐车的真空度；往下推则是DV4的位置，测量范围为0.01-20.0 Torr，对我们测量低温容器真空度用处不大。
故平时不要将选择开关往下推。
使用完毕后，将选择开关放在中间关的位置，以防电池电量短时间内耗尽。
当电池电量低时，液晶显示屏会显示“LOBAT”，这时显示的真空度不准确，应立即关机并更换9VDC直流电池。
4、注意真空计使用完毕后应及时放回黑色包装盒内，不受潮和强光照射，也不要暴露于灰尘之中，同时注意防止剧烈振动（如不能从高处摔到地上）。
5、测量步骤如下：图a图b提示：真空计价格昂贵，请您小心使用、注意保护，用后及时保存。
6、根据GB/T 18442常温下(储罐未进液)封结真空度：真空阀打开后等一小时，然后再测，只需要测一次，但如果真空度有问题的，需要再次确认，可等待一小时后再测一次，没有问题的只需要测一次就行了。
6.4.4 在低温使用过程中，缠绕储罐真空夹层的压力不高于0.015帕（0.00011 TORR）6.4.5 在低温使用过程中，珠光砂罐真空夹层的压力不高于0. 5帕 (0.00376 TORR) 6.4.6 质保期内，低温储罐加入低温液体后，罐体不应“出汗”但TSG R7001-2004中的要求很低：（一般厂家都用此要求）未装低温介质情况下，粉末罐真空度不大于65帕，缠绕罐不大于40帕装低温介质情况下，粉末罐真空度不大于10帕，缠绕罐不大于0.2帕。
真空计的分类
真空计的分类真空计是一种用于测量真空度的仪器，广泛应用于科学研究、工业生产和实验室等领域。
根据其工作原理和测量范围的不同，真空计可以分为多种类型。
本文将按照分类的方式介绍几种常见的真空计。
一、热阴极离子化真空计热阴极离子化真空计是一种常见的真空计类型，它利用热阴极发射电子，通过电子与气体分子碰撞产生离子，再通过测量离子电流来确定真空度。
这种真空计适用于较高真空度范围，如10^-3至10^-9帕。
热阴极离子化真空计具有灵敏度高、测量范围广的特点，常用于高真空环境下的实验室和工业应用。
二、冷阴极离子化真空计冷阴极离子化真空计是另一种常见的真空计类型，它与热阴极离子化真空计相比，不需要加热阴极即可产生电子。
冷阴极离子化真空计适用于较低真空度范围，如10^-1至10^-6帕。
它具有结构简单、使用方便的特点，常用于一般实验室和工业环境中的真空度测量。
三、热阴极电离真空计热阴极电离真空计是一种利用热阴极电离气体分子的真空计。
它通过测量电离电流来确定真空度，适用于较高真空度范围，如10^-3至10^-9帕。
热阴极电离真空计具有高精度、高灵敏度的特点，常用于科学研究和高精度工业生产中。
四、毛细管真空计毛细管真空计是一种基于毛细管原理的真空计。
它利用毛细管内气体分子的流动来测量真空度，适用于较低真空度范围，如10^-1至10^-6帕。
毛细管真空计具有结构简单、价格低廉的特点，常用于一般实验室和工业环境中的真空度测量。
五、电容式真空计电容式真空计是一种利用电容变化来测量真空度的真空计。
它通过测量电容的变化来确定真空度，适用于较低真空度范围，如10^-1至10^-6帕。
电容式真空计具有高精度、高灵敏度的特点，常用于科学研究和高精度工业生产中。
六、扩散式真空计扩散式真空计是一种利用气体分子扩散速率来测量真空度的真空计。
它通过测量扩散泵的工作状态来确定真空度，适用于较高真空度范围，如10^-3至10^-9帕。
扩散式真空计具有快速响应、高精度的特点，常用于科学研究和高真空环境下的工业应用。
皮拉尼标准真空计
350-080 350-082 350-081 350-084 350-085 350-083 350-086
350-087
350-088
(DN 16 ISO-KF) (DN 16 CF-R) (1/8" NPT) (8 VCR®) (4 VCR®) (½"-管)
(7/16-20 UNF) (DN 16 ISO-KF 长管) (DN 16 CF-R 长管)
FCC 68 / RJ45, 仪表插头, 8 脚 8 芯, 加屏蔽 ≤ 100 米 (8×0.14 毫米 2)
接地 真空连接至 讯号公共端 电源公共端至 讯号公共端
暴露于真空的材料
灯丝 PSG500, PSG500-S PSG502-S
→ " 电气连接 " 通过 1MΩ 连接 (电压差 <50 V) 通导隔离, 用于 不同的测量
水平安装方向
测量讯号
有效范围 5×10-4 毫巴<p< 1000 毫巴
3.75×10-4 乇 <p< 750 乇
5×10-2 帕 <p< 1×105 帕
%
≤80,温度为+31 °C 时,当温度
上升至 +40 °C 时减至 50
仅室内,海拔高至 2000 米 NN
［毫巴］
［微米汞柱］
任意
［微巴］
［帕］
人员要求
授权人员
本说明书中所述的全部工作必须由经过技术培训和有经 验或由产品的最终用户授权的人员执行.
有效性
本文件适用于下列件号的产品:
PSG500 PSG500-S (W-丝)
350-060 350-062 350-061 350-064 350-065 350-063 350-066
英福康检漏仪介绍
如果您的系统有漏…………您就有麻烦了要找到漏点…………也许也是件麻烦事让INFICON来帮助您解决问题用我们的氦气检漏仪和通用检漏仪现有的产品系列♦UL 1000♦UL 1000 FabUL1000Fab♦MODUL 1000♦LDS 3000♦P3000♦E3000♦ISH2000常用漏孔的漏率比较常见漏孔氦检漏率水龙头漏水φ4mm,1HZ,∆p=4bar0.17 mbar*l*s-11*10O型圈上直径为发丝大小的漏洞-3mbar*l*s-1to 5*10-2mbar*l*s-1自行车轮胎浸在水中可发现的漏1*10-2mbar*l*s-1洞(气泡法)车胎泄气变瘪1.8→1.6bar/6个月4*10-5mbar*l*s-1一瓶430克的R12一年之内漏光4*10--5mbar*l*s-1估计漏孔的大小怎样将氦气漏率对应于直观的漏孔尺寸♦计算:∆p=100mar，漏孔直径=1cm气体运动速度=声速=330m/s-1♦单位时间泄漏的气体体积♦单位时间泄漏的气体量漏孔直径对应氦气漏率（mar*l/s-1)各m bar*l/s g/a R 134 a 种检肥皂水法空气及其它气体10-47*10-1正压不能漏超声波探测空气及其它气体10-270正压不能热导式检漏除空气外其10-3to 10-510-1-7正压，负压不能方法仪它气体卤素检漏仪含卤素的物质10-6(10-5)7*10-3(10-1)正压，负压有限范围内的比吸枪式通用检漏仪氟利昂,氦气及其它气体10-67*10-3正压能10-127*10-9较氦质谱检漏仪氦气10-77107*10-4正压，负压能水泡法空气及其它10-37正压不能气体水压检测水10-270正压不能空气及其它10-47*10-1压降法气体710正压能升压法空气10-47*10-1负压能氦气作为示踪气体氦气是一种理想的检漏用示踪气体，其优点有♦通过质谱方式很容易将其与其他气体区别开来pp♦空气中仅有在5ppm氦气，本底很低♦是除氢气外，最小的气体分子♦惰性气体，不与其他物质起化学反应惰性气体不与其他物质起化学反应♦对环境无污染，无毒，不可燃，不易爆♦在所有应用范围内不可压缩♦比空气轻，所以如有泄漏，气体向上扩散，对检漏有帮助♦价格不贵必须检漏为什么氦质谱检漏仪测量的是什么？氦质谱检漏仪测量抽真空管路中氦气的分压强并将其转化为漏率选择性质谱分析仪•红色为氢原子/离子•3 为离子收集极4•绿色为氦原子/离子•蓝色为大质量原子/离子•1• 4为安培表和放大器• 5 为加速电压•61为磁場（与离子路径垂直）•2 为正离子（所有质量数）6为阳极•7 为电子真空--真空方法氦氦局部检漏试件在真空下整体检漏试件在真空下充压充压--方法氦氦整体检漏(测试气体积聚在外罩内测试气体积聚在外罩内//试件内充有正压的示踪气体件内充有正压的示踪气体))局部检漏(试件内充有正压的示踪气体踪气体))用于检大漏或大型试件中的分流系统γ=分流系数检漏仪接在何处氦质谱检漏仪的重要性能指标（真空模式）最小可检漏率P HE：氦气分压强S HE：氦气抽速反应时间工程真空系统V：体积S HE：氦气抽速氦气抽速氦质谱检漏仪的重要性能指标（真空模式）入口压力和抽真空时间氦质谱检漏仪的重要性能指标（吸枪模式）氦气本底♦大气中的氦气浓度C 的关系为大气中氦气度He 关C He =5ppm♦氦气漏率Q BG 与氦气浓度C He 的关系为最小可检漏率Q min ♦标准检漏仪：UL200可检测的最小氦气浓度波动为0.2ppm检漏仪的原理顺流式检漏仪逆流式检漏仪压力转换对照表不同气体间漏率换算的方法根据气体流的不同状况，其漏率可分别通过动态粘滞系数和分子重量来进行转换粘滞流（适用于漏率1000-10-4mbar*l/s))=动态粘滞系数分子流（适用于漏率〈10-7mbar*l/s）M=分子重量中间流（适用于漏率10-5-10-6mbar*l/s）不适用公式不同单位间漏率的换算方法该换算基于理想气体状态方程p=压力体V=体积m=质量M M=分子质量R=气体系数8.8.31J/k molT 293K两边同除以时间得气体流量T=温度:293K 例1: 1克/年(R134a)相当于多少mbar*l/s例2: 1Mbar*l/s 相当于多少克/年(R134a)液体漏率液体漏率与气体漏率间的转换关系式为=动态粘滞系数; P1,P2 : 内部/外部压力;P1P2:液体零漏率由于表面张力的作用,任何液体都会有时无法从漏孔中漏出最大的漏孔直径为(设漏孔为圆柱形)这样直径的漏孔相对于氦气漏率为(假设为粘滞流)d=漏孔直径ι=液体表面张力φ=液体与器壁间夹角(最差:cosφ=1)l=器壁厚度平均压力η=动态粘滞系数∆p=压力差磁质谱检漏仪选择要点作方式选择逆流还是顺流1 工作方式选择：逆流还是顺流2质谱室选择：90度/180度/270度磁偏转，灯丝材料寿命保修等3检漏仪内真空泵的选择：重点是有效抽速4吸枪功能，能否反映真实信号5抑零功能的效果6信号稳定性7最小可检漏率8响应时间9最大入口压力10可检质量数11台式还是便携式磁质谱检漏仪选择重点1一）真空结构的设计：逆扩散检漏VS 顺流检漏VSInficon所有磁质谱检漏仪均为逆流原理VS逆扩散检漏VS 顺流检漏1 质谱室终生免维护VS 质谱室定期清洗，否则灵敏度降低2 灯丝不会因暴露大气而烧毁VS 暴露大气灯丝很易被氧化污染或烧毁2VS3 入口压力要求降低至15mbar VS 通过限流孔将压力从0.1 mbar提高至10mbar以上力降低将力高4 质谱室不易被污染，清氦时间短VS 易污染，节拍时间长水蒸气、杂质的控制要点: 与直流型检漏仪系列相比,更多的水蒸气和杂质我们除去70x 更多的水蒸气和杂质2至逆流型超检INFICON 直流型水蒸气抑制约为2 至1182,192MS50水蒸气抑制为70/1水蒸气、杂质控制要点: 这是为什么当电离时,水蒸气分裂为H2与O,它可产生高本底水可导致灯丝脆性和断裂低于0.150乇时,水蒸气成为实际的问题检漏仪工作于顺流方式，质谱仪直接“看到”全部过程气体如水蒸气, 大漏下的高氦浓度污染质谱仪或损坏MS.二）真空泵的选择A 抽空时间的长短B 氦清除的快慢KYKY检漏仪：360 l/s 分子泵ASM182TD+：130 l/s 分子泵130l/sUL1000Fab: 70 l/s 分子泵分子泵主要用来保证质谱室的工作压力，速度大小对工件的抽空时间基本没有影响，对排氦影响也很小，对排氦影响大的是对氦的压缩比和对氦的有效抽速对工件抽空时间影响大的是，抽空泵（前级泵）的有效对工件抽空时间影响大的是抽空泵（前级泵）的有效抽速KYKY检漏仪：360 l/s 分子泵ASM182TD+：130 l/s 分子泵130l/sUL1000Fab: 70 l/s 分子泵重要的是检漏仪的整体抽速重要的是检漏仪对氦气的抽速检漏仪抽速要点: 这是为什么UL1000Fab在精检模式下，真空度至2毫巴，检漏至1 x 10E-10 mbar l/s ASM182TD+只有两种检漏模式，进入精检模式真空度必须达到0.02毫巴UL1000Fab采用磁悬浮分子泵，转速90,000转/分。
真空测量与真空计的选择
波尔登规（Bourdon）：
• 如右图所示，细的铜管受气 体压力不同会有舒展现象， 会带动杠杆和齿轮旋转，使 得指针指示在不同刻度上， 即可读出相应的气压值。 • 测量范围: 100Pa 至 1atm。
皮拉尼(Pirani)真空计：
• 原理: 加热电阻丝，使之升温至需要的工作 温度,由于气体粒子与电阻丝碰撞离开 时带走了能量，电阻丝的温度会发生 变化热丝的能量损失与热丝周围的气 体浓度及气体成分成比例关系 • 测量范围: 5*10-2Pa 至 1atm。 • 测量精度: 1x 10-3…100毫巴 100 ... 1000毫巴 ±15% ±50%
热电离规真空计：
• 原理: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或 多个电子被撞击出去，形成带正电的离子，带电离子被离子收集极 捕捉收集放大输出，离子流的大小与气体压力成比例关系。
热电离规皮拉尼复合真空计：
• • • 由于热电离规与复合规的价格差不多，所以大 都厂家都直接生产热电离皮拉尼复合真空计。 测量范围: 5*10-8Pa 至 1atm。 测量精度: ±15%
真空的测量——真空计
▶真空计：Vacuum Guage 又称为真空规，用以探测 低压空间稀薄气体压力所用的仪器。
真空计的分类：
▶绝对真空计： 直接读取气体压力，其压力响应(刻度)可通过自身几何尺寸计 算出来或由测力计确定 ▶相对真空计： 由一些与气体压力有函数关系的量来确定压力，不能通过简单 的计算进行刻度，必须进行校准才能刻度。 ▶市面上在卖的真空计大都是相对真空计为主
压强控制系统：
压强控制系统：
VAT压力控制阀
MKS压力控制阀
选择真空计的主要原则：
l 量程 能否覆盖工艺要求 l 精度 l l l l 能否满足工艺要求 有没有特殊气体 被测气体是否会损伤真空计 电气接口，输出信号类型 接口类型，是否需要数字信号 货期 接货日期能否满足需求 其他 使用寿命，真空计的安装方法，空间大小等。
皮拉尼真空计_PGD400中文说明书
20
tinb14c1 (2009-07)
4.4 测量模式
测量模式是 PGD400真空计的标准运行模式。在这个模式中显 示测量值以及状态信息（→ 27）。
tinb14c1 (2009-07)
21
进入参数模式
（→ 22）
4.5 参数模式
参数模式用于显示、设置和输入参数值。
皮拉尼真空计
PGD400
tinb14c1 (2009-07)
操作手册
内 含 : EC 一 致 性 声 明
1
产品标识
与 INFICON 公司联系时，请告知产品标牌上的信息。为便于参考， 请将产品信息记录在以下的空格中。
PGD400 Made in China
100-240V 50/60Hz 30VA
测量模式
参数模式
单位
电源 on
>5 秒
阈值
22
tinb14c1 (2009-07)
选择参数 设置参数值
参数的名称 例如:
（单位） 按下键或至少1 秒钟后显示， 接着，显示当前有效的参数值。
按键 <1 秒: 值增大 / 减小 1； 按键 >1 秒: 值连续增大 / 减小；
保存修改的参数值；
tinb14c1 (2009-07)
危险 危险: 电源电压。 当任何液体渗入仪器时，接触带电部件是十分 危险的。 确保无液体渗入设备中。
tinb14c1 (2009-07)
7
电源的断开
电源开关/插座须置于一个易于用户识别和触及的位置。 必须拔下电源线才能将真空计完全断开电源。
电源开关/插座 参照EN 61010-1标准
MKS真空计选型指南
MKS真空计选型指南真空计是一种用于测量、监控和控制真空度的仪器。
它在各种领域中广泛应用，包括半导体制造、光学薄膜涂层、太空模拟、真空设备、航空航天和医疗行业等。
MKS Instruments是一家领先的真空计制造商，提供了各种类型和规格的真空计。
本文将为您提供一个MKS真空计的选型指南，以帮助您选择适合您应用需求的真空计。
在选择MKS真空计时，首先需要确定以下几个因素：1.测量范围：根据应用的具体需求，确定需要测量的真空范围。
不同的真空计有不同的工作范围，因此根据应用需要选择适当的测量范围。
MKS提供了各种真空计，从常规的大气压到极高真空的压力范围。
2.精度和分辨率：根据应用的精度要求选择真空计。
MKS真空计提供了不同级别的精度和分辨率供选择，从常规应用到高精度应用。
3.响应时间：响应时间是真空计从现场真空变化到显示读数所需的时间。
不同类型的真空计具有不同的响应时间。
根据应用中需要的响应时间选择真空计。
根据上述因素，以下是MKS真空计的几种常用类型：1. 热阴极离子化真空计（Hot Cathode Ionization Vacuum Gauge）：热阴极离子化真空计适用于高真空度测量（10-3至10-9 Torr）。
它基于通过电离和测量电离电流的原理工作。
该类型的真空计在高真空度下具有良好的精度和分辨率，并且响应时间较快。
在半导体制造、真空系统、科研和其他领域中广泛应用。
2. 扩散式真空计（Thermocouple Vacuum Gauge）：扩散式真空计适用于中真空度测量（10-3至10-9 Torr）范围。
它基于热电偶和分子扩散的原理工作。
该类型的真空计精度较高，适用于半导体制造、研究实验室和其他领域中的中真空度测量。
3. 磁控溅射阴极离子化真空计（Magnetron Sputtering Ionization Vacuum Gauge）：磁控溅射阴极离子化真空计适用于介于常规大气压和中真空度之间的测量（10-3至10-5 Torr）。
BPG 电离皮拉尼复合规
INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG402-S, 将两种真空计集成在一个简单 小型的单元内, 测量范围从 5 x 10-10毫巴至大气压 (3.8 x 10-10乇至大气压). 复合技 术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选择一个经济型规管内的 BPG402-S 带有两 根敷涂铱的氧化钇灯丝, 用于普及和可再现过程中的基本压强测量. 当更换传感器 时, 带有在机校准数据的传感元件保证高度的重复性.
带 Profibus DP
BPG400-SD
带 DeviceNetTM
BPG400-SR
带 RS485
353-500 353-502 354-490 354-491
353-501 353-503 354-490 354-491
353-505 353-506 354-490 354-491
353-507 353-508 354-490 354-491
米 (呎) 厘米3 (吋3) 克
RS232C 或 VGC400 系列控制器与 Fieldbus 不允许同时使用 用于 RS232C 运行 <30 米
A35 - 真空控制产品目录 2011
B-A 型皮拉尼真空计
真空计
BPG402-S (续)
技术规范
BPG402-SP Profibus DP
波特率 寻址 数字功能 千波特 兆波特 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 1.5 / 12 两个开关 (寻址 00 - 127) 或网络可编程 读压强, 选单位: 乇, 毫巴, 帕 发射控制, 除气功能 监测真空计状态, 灯丝状态 安全状态允许定义出现误差时的动作 详细的报警和警告信息 0 … 10 伏模拟输出压强指示 两个设点继电器 A + B 2 1 x 10-9 … 100 常开, 无电位 10 ≤ 30 / ≤0.5 D-sub, 9 脚, 插座型 D-sub, 15 脚, 插头型
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如何选择INFICON真空计
一，皮拉尼真空计
1.皮拉尼真空计原理
加热电阻丝，使之升温至需要的工作温度
由于气体粒子与 电阻丝碰撞离开时带走了能量，电阻丝
的温度会发生变化
热丝的能量损失与热丝周围的气体浓度及气体成分成比
例关系
2.衍生出两种类型的皮拉尼规
1，稳定温度，测量施加的电压变化等效测量真空度（INFICON PSG500）2，稳定电压，测量温度变化等效测量真空度（热偶规）
3.气体的热传导，与下列提条件有关:
1，气体类型
2，压力大小
4. 皮拉尼真空计测量范围与精度
测量范围（空气,氧气,一氧化碳,氮气）：5 x 10-4至 1000 mbar 精度(氮气): 1x 10-3… 100毫巴 ±15%
5 x 10-4… 1 x 10-3毫巴 ±50%
100 ... 1000毫巴 ±50%
5. 皮拉尼真空计的优特点
灯丝部分在不影响精度与速度的情况下，加以最大的保护，大大延长了灯丝的使用寿命
6. 皮拉尼真空计具体型号
101-S 计PCG400 PCG410 PCG550
规信号
7. 皮拉尼真空计应用行业
光伏，镀膜，等离子行业 控制，如PEG100 经停产) 与
z 1，与
PSG500/PSG050 基本相同，但因为具有通讯协
z
PSG050/051 z
PSG100-S PSG z
PSG500/500-S PSG502 z
皮拉尼电容膜片复合真空1. 有皮拉尼规与特制的陶瓷薄膜规合成在一起
2. 两种原理的规管全过程都工作
3. 100 mbar —1000 mbar 使用薄膜
4. 1 mbar – 100mbar 两规信号同时采用
5. 5x10-4mbar –1 mbar 采用皮拉尼信号
6. 输出的真空度信号（电压）连续，无跳跃z
各种高真空泵的前级压力测量，如z
各种中低真空测量，如照明，冶金 z
真空连锁控制，高真空计的点火开关z
PSG050可完全替代TR211，PSG051可完全替代TR216 z PCG400 PCG410(现在已升级为PCG550，PCG400/PCG410已PSG500 基本相同，但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点，而且不受气体类型的影响，在真空炉，单晶炉，多晶炉，蓝宝石炉上广泛应用
PSG100 PSG10议功能，在大系统中应用广泛
二，电容薄膜规CDG025D/CDG045/100/160/200
1.电容薄膜规工作原理
z压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系
z通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度
2.电容薄膜规特点
z以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成
z在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量
z快速的预热和恢复时间,提高生产率
z卓越的长期稳定性,再现性和重复性
z由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性 z对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定
z快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入 准备使用状态 z一键按钮: 调零功能和设点调整
z抗腐蚀超纯陶瓷传感器
z能经受数百万次压强循环周期,包括大气压 冲击,无任何降低性能的迹象
z暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀
z对蒸气介质不敏感
z先进的传感器屏蔽 (专利)延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命
3.INFICON陶瓷技术
z陶瓷技术的优越性
1，无 “记忆” 效应
2，陶瓷无疲劳问题
3，最好的温度补偿
4，卓越的零点稳定性
z低使用成本
1.非凡的使用寿命
2.无需隔离阀
4.Sky CDG025D测量范围
5.加热型薄膜规
6.加热型优点
z零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）
z更高的精度
z环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响 z比工艺更快的预热启动时间’
z快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV
z任意安装角度
z抗污染，可有效抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响
7.电容薄膜规的应用
要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量
z用于刻蚀，CVD,PVD,ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污
染性能比较好。
一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容
薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国
Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和
627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4
和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上
用的是INFICON的CDG025D。
z资料贮存和显示器制造设备
z工业真空设备
z常用高精度真空测量
三，热电离规
1.热电离规原理
Richardson 效应: 高温灯丝发射电子，高能量电子撞击气体分子，气体分子的一个或多个电子被撞击出去，形成带正电的离子
1）带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出
2）离子流的大小与气体压力成比例关系
2.两种类型热电离规
3.热电离型复合规
z HPG400
z BPG400/-SP/-SD/SR
z BPG402
z BCG450B-A规，皮拉尼规，薄膜规三种型号复合在一起
z
4.优点及应用
z BPG
测量范围宽，一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000 mbar
精度高，极好的重复性5%
灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力，皮拉尼自锁保护，使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。
方便的校准调节
注意事项：
对气体有选择性
抗污染能力弱
普遍应用于从低到超高真空的测量
在工业，半导体，研究行业应用广泛
z BPG402
双灯丝，大大延长使用寿命
电离规的工作可以自定义控制
探头备件自带校准参数，保证精度与重复性
z HPG400
电离规与皮拉尼的复合
皮拉尼自锁保护电离规
电离规的工作启动点可以一定范围内自定义
简易的校准功能
相对便宜的价格
z BCG450
可调的电离规工作起点
极佳的重复性
精确的大气端测量
四，冷电离规（潘宁规）
1.冷电离规原理
通过气体放电方式产生电子，通过磁场使电子获得能量将气体分子电离
2.潘宁规特点与应用
z测量范围：5 x 10-9 to 1 x 10-2 mbar
z全金属密封
z无灯丝
z易清洗
z应用于普通的高真空测量
z冷规与皮拉尼规的复合
z测量范围广： 5x10-9-1000 mbar
z易于保养清洗
z无高真空灯丝，
z应用于普通高真空测量
4.冷规及复合规性能比较。