大尺寸蓝宝石单晶生长过程的模拟分析
蓝宝石晶体生长技术
掺杂蓝宝石单晶热(光)释光材料及其应用
α- Al2O3 :C晶体用于制造热释光探测器主要有以下特点： （1）热释光灵敏度高，为常用热释光晶体LiF:(Mg,Ti)的40—60 倍；187℃附近的发光峰型单一，有效原子序数相对较低(10.2)； （2）低本底剂量响应临界值(10-6Gy),辐射剂量响应为线性—亚线 性，线性响应范围宽(10-6—10Gy)；
（3）α- Al2O3 :C晶体420nm处的发射峰正好处于光电倍增管响应 的最佳峰值，在低剂量条件下， α- Al2O3 :C晶体探测器可重复使 用且无需退火处理。
蓝宝石单晶最早于20世纪50年代被美国Wisconsin大学的Daniels发 现具有优良的热释光(thermoluminescence，TL)性能，但它对γ射线的 热释光灵敏度很低。为改善蓝宝石单晶的热释光性能，相继研制了一 系列掺杂的蓝宝石单晶热释光材料，如α- Al2O3 :(Mg，Ti，Y)、 αAl2O3 :Cr和α- Al2O3 : (Si，Ti)。1990年，Akselrod等采用提拉法生长 了一种优良的新型热释光材料α- Al2O3 :C晶体。1995年，Markey等首 次研究了α- Al2O3 :C晶体的光释光(optical stimulated luminescence， OSL)性能。 目前，美国Landauer公司研制生产的α- Al2O3 :C热释光剂量计已被 欧美国家广泛使用。 国内关于α- Al2O3 :C晶体生长以及α- Al2O3 :C剂量计的研制起步较 晚。2008年，中国科学院上海硅酸盐研究所杨新波等采用导向温梯法 和导模法分别生长了可用于制造高灵敏度热释光探测器、热释光和光 释光探测器的α- Al2O3 :C晶体。
（4）热力学特性：2050℃左右的熔点，加之优越的化学、机械 及光学特性，使蓝宝石晶体广泛应用于许多苛刻的加工环境中。 （5）耐磨损性：由于具有很高的硬度和透明度，是蓝宝石晶体 常用于制作耐磨损窗口或其他精密机械零件。 （6）介电性能：有电介质绝缘、恒定的介电常数。 （7）蓝宝石还具有高拉伸强度、抗冲刷性、热导性、显著的抗 热冲击性等性能。
蓝宝石的生长方法
2005年，韩杰才等[22]在对泡生法和提拉法改进的基础上发明了用于生长大尺寸蓝宝石单晶的方法：冷心放肩微量提拉(sapphire growth technique withmicro-pulling and shoulder-expanding at cooled center，SAPMAC)法。SAPMAC法的原理示意图及其生长的蓝宝石单晶见图6[23–24]。
SAPMAC法生长蓝宝石单晶的过程大致可分为[22,25]：真空条件下加热原料、引晶、冷心放肩、等径提拉、收尾和退火及冷却阶段。根据蓝宝石单晶生长的不同阶段特点，结合晶体的热物性能与温度的关系，对温场进行优化，选择1.0～5.0 mm/h的生长速率和10～30℃/h的降温速率进行蓝宝石单晶的生长。
SAPMAC法是对传统泡生法的改进，与传统泡生法相比，其特点为[22,25]：1)通过在“冷心位置”(与坩埚几何中心相对偏差不大于φ= 20.0 mm)处放肩，使得在整个结晶过程中，蓝宝石单晶的晶向遗传特性良好，即可保证高质量蓝宝石单晶的生长；2)通过高精度的能量控制配合微量提拉，使得在整个结晶过程中无明显的温场扰动，产生缺陷的几率明显降低；3)在整个晶体生长过程中，晶体始终处于坩埚内，即一直处于热区，可精确控制其冷却速率，减少热应力；4)材料综合利用率是传统泡生法的1.2倍以上；5)在引晶和放肩阶段引入提拉机制，并通过合理的温场设计与工艺控制，保证在熔体冷心处引晶，克服了传统泡生法只能生长大直径，但高度较小的不足；6)在降温过程中，晶体可以实现原位退火，即可降低氧缺位，并可简化程序、节省能源。采用SAPMAC法生长出的蓝宝石单晶尺寸达φ240 mm × 210 mm[24]图6。
浅析蓝宝石晶体生长工艺及设备
浅析蓝宝石晶体生长工艺及设备蓝宝石是贵重材料，作为人工合成晶体中的一种，其机械以及光学层面的性能极优，所以应用极广。
近年半导体照明行业规模急剧膨胀，使得对蓝宝石衬底材料需求越来越大，尤其是MOCVD外延衬底方面，超过整体产量的80%。
半导体照明产业规模不断的扩张，使得其对蓝宝石的需求与日俱增，此种情况下，相关行业面临极大的发展机遇，产品具有极高的效益，市场空间比较大，使得资金源源不断的进入该行业。
本文对蓝宝石单晶所具有的性质和使用进行充分说明，尤其是单晶生长工艺方面，一种为泡生法，另一种为VHGF 法，同时分析了其制备设备，探求相关发展大势。
标签：蓝宝石；单晶；生长；工艺；设备1 蓝宝石的性质及用途蓝宝石本质是纯净氧化铝所存在的单晶形态，由Al2O3组成。
其莫氏硬度可以达到9，排名在金刚石其后。
在25℃温度的时候，其电阻率具体为1×1011Ω·cm，同时其具有极好的电绝缘性能。
其光透性极好，在机械层面的性能极好，同时具有极好的热传导性。
应用广泛，在耐磨元件以及窗口材料方面用处极大，同时在电子器件方面应用价值极高。
从电子层面来看，主要在GaN基蓝绿光LED有着极大的应用，除此之外就是射频器件，后者面向手机智造产业（主要涉及技术为蓝宝石上硅SOS）。
在2009年的时候，蓝宝石衬底约为900万片，一年后达到惊人的2700万片。
2 蓝宝石单晶生长工艺及设备2.1 焰熔法维尔纳叶（Verneuil）作为法国闻名遐迩的研究人员，在1902年提出改法，向世人展示，可以视其为蓝宝石单晶工业生长的开端。
原料选用纯净度极高的Al2O3粉末，加热使用氢氧焰，将Al2O3粉末由上到下散落，经过氢氧焰处理，被熔融，然后掉在籽晶顶部，形成蓝宝石晶体。
改法对设备的要求不高，生长极快，不过在完整性方面存在比较大的问题，应力比较大，晶体通常位错密度范围从105一直到106cm2。
适用于制造价格便宜的仪表轴承或者耐磨元件。
2.2.13 蓝宝石晶体的生长
蓝宝石晶体的生长1蓝宝石晶体简介蓝宝石（Sapphire）的主要成分是氧化铝（Al2O3），是由三个氧原子和两个铝原子以共价键形式结合而成，其晶体结构为六方晶格结构。
它常被应用的切面有A-plane，C-plane及R-plane。
由于蓝宝石的光学穿透带很宽，从近紫外光（190nm）到中红外线都具有很好的透光性，因此被大量用在光学元件、红外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上。
它具有高声速、高耐温、抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045℃）等特点，虽然它是一种相当难加工的材料，但常被用来作为光电元件的材料。
目前超高亮度白/蓝光LED的品质取决于氮化镓磊晶（GaN）的材料品质，而氮化镓磊晶品质则于所使用的蓝宝石衬底基板表面加工品质息息相关，蓝宝石（单晶Al2O3）C面与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN磊晶制程中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键材料。
2蓝宝石晶体生长方法晶体原则上可以由固态、液态（熔体或溶液）或气态生长而得。
实际上人工晶体多半由熔体达到一定的过冷或溶液达到一定的过饱和而得。
晶体生长是用一定的方法和技术，使单晶体由液态或气态结晶成长。
由液态结晶又可以分成熔体生长和溶液生长两大类。
2.1 熔体生长法这类方法是最常用的，主要有焰熔法Verneuil（flame fusion）、泡生法(Kyropoulos)、提拉法Czochralski（CZ）、坩埚下降法、区熔法等。
2.1.1 焰熔法（维尔纳叶法）最早是1885年由弗雷米（E. Fremy）、弗尔（E. Feil）和乌泽（Wyse）一起，利用氢氧火焰熔化天然的红宝石粉末与重铬酸钾而制成了当时轰动一时的“ 日内瓦红宝石”。
后来于1902年弗雷米的助手法国的化学家维尔纳叶（Verneuil）改进并发展这一技术使之能进行商业化生产。
因此，这种方法又被称为维尔纳叶法。
1）基本原理焰熔法是从熔体中生长单晶体的方法。
泡生法蓝宝石不同生长阶段热应力的数值模拟研究_杨琳
为了求解上述热应力方程，需对整体蓝 宝 石 炉 进 行 数 值
模拟，得到蓝宝石晶体中各点的温 度分 布。本 实 验 采 用 晶 体
生长专业模拟软件 ＣＧＳｉｍ，而该软件用于泡生法 蓝宝 石单晶 的生长模拟和实验 验 证 已 被 大 量 文 献 报 道 。 ［１０—１２］ 蓝 宝 石 炉
的数学模型采用 二 维 柱 坐 标 模 型，模 拟 计 算 中 考 虑 了 晶 体、
关键词 泡生法 蓝宝石单晶 数值模拟 固液界面 热应力 中 图 分 类 号 ：Ｏ７８２ 文 献 标 识 码 ：Ａ
Ｓｔｕｄｙ ｏｎ Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ Ｓｉｍｕｌａｔｉｏｎ ｏｆ Ｔｈｅｒｍａｌ Ｓｔｒｅｓｓ ａｔ Ｄｉｆｆｅｒｅｎｔ Ｓｔａｇｅｓ ｉｎ Ｋｙｒｏｐｏｕｌｏｓ Ｓａｐｐｈｉｒｅ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｇｒｏｗｔｈ
泡生法生长蓝宝石单晶的热场改进与模拟优化
人工晶体学报第４０卷管理想的衬底材料¨。
从熔体中生长蓝宝石单晶的方法主要有提拉法、导模法、坩埚下降法、泡生法等，其中泡生法是生长大尺寸蓝宝石单晶最常用的方法。
其主要特点是晶体向熔体内生长，可以一直长到距坩埚壁１０—３０ｉＴｉｍ的位置，在整个生长过程中晶体不被提拉出坩埚。
晶体内温差小，从而有效地减小了残余应力，防止晶体开裂，并降低了位错密度旧Ｊ。
由于蓝宝石生长过程不可视，无法对生长过程进行实时观测，给晶体质量控制带来了障碍。
利用计算机数值模拟可以方便、快捷地对晶体生长过程进行优化仿真，并提供无法通过观察和测量得到的信息，大大降低了实验成本和周期。
本文采用数值模拟和对比分析的方法，对泡生法生长蓝宝石单晶的热场进行改进和优化。
目的是通过优化泡生炉内的热场，减小结晶前沿的温度梯度，降低晶体内部由于温度梯度过大而产生的缺陷，并减小加热器功耗，从而获得更高的产率和更好的晶体质量。
２模型简化与边界设定２．１物理模型和数学描述本文采用常用的坩埚外径为２５０ｌｌｌｍ的泡生法单晶炉［４】。
物理模型采用简化的二维轴对称模型，如图１。
数值模拟采用俄罗斯ＳＴＲ公司开发的晶体生长专业模拟软件ＣＧＳｉｍ，该软件用于泡生法蓝宝石单晶的生长模拟和实验验证已被大量文献所报道＂引。
模拟过程考虑了晶体、熔体和坩埚内的能量守恒，高温熔体内的湍流流动，以及半透明晶体内的镜面辐射热交换。
由于长晶过程十分缓慢，故模拟过程设为稳态。
长晶过程由以下守恒方程决定：熔体内的连续性方程：Ｘ７·ＰⅡ＝０图１炉体结构简图Ｆｉｇ．１Ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｏｆｆｕｒｎａｃｅ（１）熔体内的动量守恒方程：‘ｐ面ｄｕ＝一Ｖｐ＋Ｖ·（２９。
行专）＋ｐ归（ｒｏ—ｒ＞ｇ（２）晶体和熔体内的能量守恒方程：ｐｑｉｄＴ＝Ｖ·（Ａ甜Ｖｒ）一Ｖ·’ｑ。
其它固体区域的热平衡方程：Ｖ·（ＡＶＴ）一ｑ＝０固体表面问的辐射换热：ｇ≯‘＝Ｅｋ盯Ｚ＋（１一占。
蓝宝石长晶
一、蓝宝石生长1.1 蓝宝石生长方法1.1.1 焰熔法Verneuil (flame fusion)最早是1885年由弗雷米（E. Fremy）、弗尔（E. Feil）和乌泽（Wyse）一起，利用氢氧火焰熔化天然的红宝石粉末与重铬酸钾而制成了当时轰动一时的“ 日内瓦红宝石”。
后来于1902年弗雷米的助手法国的化学家维尔纳叶（Verneuil）改进并发展这一技术使之能进行商业化生产。
因此，这种方法又被称为维尔纳叶法。
1）基本原理焰熔法是从熔体中生长单晶体的方法。
其原料的粉末在通过高温的氢氧火焰后熔化，熔滴在下落过程中冷却并在种晶上固结逐渐生长形成晶体。
2）合成装置与条件、过程焰熔法的粗略的说是利用氢及氧气在燃烧过程中产生高温，使一种疏松的原料粉末通过氢氧焰撒下焰融，并落在一个冷却的结晶杆上结成单晶。
下图是焰熔生长原料及设备简图。
这个方法可以简述如下。
图中锤打机构的小锤7按一定频率敲打料筒，产生振动，使料筒中疏松的粉料不断通过筛网6，同时，由进气口送进的氧气，也帮助往下送粉料。
氢经入口流进，在喷口和氧气一起混合燃烧。
粉料在经过高温火焰被熔融而落在一个温度较低的结晶杆2上结成晶体了。
炉体4设有观察窗。
可由望远镜8观看结晶状况。
为保持晶体的结晶层在炉内先后维持同一水平，在生长较长晶体的结晶过程中，同时设置下降机构1，把结晶杆2缓缓下移。
焰熔法合成装置由供料系统、燃烧系统和生长系统组成，合成过程是在维尔纳叶炉中进行的。
A.供料系统原料：成分因合成品的不同而变化。
原料的粉末经过充分拌匀，放入料筒。
如果合成红宝石，则需要Al2O粉末和少量的 Cr2O3参杂，Cr2O3用作致色剂，添加量为 1-3%。
三氧化3二铝可由铝铵矾加热获得。
料筒：圆筒，用来装原料，底部有筛孔。
料筒中部贯通有一根震动装置使粉末少量、等量、周期性地从筛孔漏出。
震荡器：驱动震动棒震动，使料筒不断抖动，以便原料的粉末能从筛孔漏出。
B.燃烧系统氧气管：从料筒一侧释放，与原料粉末一同下降；氢气管：在火焰上方喷嘴处与氧气混合燃烧。
蓝宝石晶体生长技术回顾
蓝宝石晶体生长技术回顾引言不少群众提出意见，博主说了这多不行的，能不能告诉广大投身蓝宝石长晶事业的什么设备行？说实话，这真的是为难我了！怎么讲？举个例子吧，Ky技术设备在Mono手里还真的是Ky，但到了你手里可能就是YY了。
可能你觉得受打击了，可是没有办法啊，事实如此啊，实话听起来往往比较刺耳！本博主前面发表的《从缺陷的角度谈谈蓝宝石生长方向的选择》博文，迄今为止只有寥寥无几群众真正看出精髓所在..................................不服气群众可以留言谈谈自己了解了什么？古人云“博古通今”、“温故知新”，我觉得很有道理，技术之道也是如此。
如果没有对以往技术的熟练掌握、熟知精髓所在，没有对以往技术的总结提炼，你就不可能对一个新技术真正的掌握。
任何新技术新设备到你手里，充其量你只是一个熟练操作工而已。
还觉得不信的话，我就在这篇博文里用大家认为最古老的火焰法宝石生长的经验理论总结来给大家进行目前流行的衬底级蓝宝石晶体生长进行理论指导。
蓝宝石晶体生长技术简介焰熔法（flame fusion technique ）&维尔纳叶法（Verneuil technique ）1885年由弗雷米（E. Fremy ）、弗尔（E. Feil ）和乌泽（Wyse ）一起，利用氢氧火焰熔化天然的红宝石粉末与重铬酸钾而制成了当时轰动一时的“ 日内瓦红宝石”。
后来于1902年弗雷米的助手法国的化学家维尔纳叶（Verneuil ）改进并发展这一技术使之能进行商业化生产。
因此，这种方法又被称为维尔纳叶法。
弗雷米（E. Fremy）、弗尔（E. Feil）和乌泽（Wyse）这几个哥们实际上就是做假珠宝的，一群有创新精神的专业人士。
博主对两类造假者比较佩服，一类是以人造珠宝以假乱真的，一类是造假文物的。
首先、他们具有很高的专业素养；其次、他们也无关民生大计；还有利于社会财富的再分配。
至于火焰法简单的描述我就不啰嗦了，我讲讲一些你所不知道的火焰法长宝石的一些前人总结；这些总结和经验对今天的任何一种新方法长蓝宝石单晶都是有借鉴意义的。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
人 ! 工 ! 晶 ! 体 ! 学 ! 报!
-./0(12 .3 45(67869: :0546124
! ! ! ! ! ! ! $%&’ "#! (%’ # ! ! ! ! ! ! ! ! ! .;<%=>?， )**+ !
万方数据 ! ! 晶体内的能量输运方程：
# #, - # , / / + [% + #+ ( #+ ) #. ]
) )
（%）
$ !"#
人 工 晶 体 学 报$ $ $ $ $ $
第 %& 卷
!" $ $ 熔液内的能量输运方程：
[
( ’ # #$ % # $ ’ ) # ( # ## ## #&
(
)
（ :>G<>? H%? :%IJ%KL<> AM<>?LM&K，7M?=LG 9GK<L<N<> %H 6>;OG%&%PQ，7M?=LG ,#***, ，:OLGM） （ >%?%*@%A ,# 0)B )**+ ）
*;,’2&5’： 6O> 41@A1:（ KMJJOL?> P?%R<O <>;OGLSN> RL<O IL;?%DJN&&LGP MGT KO%N&T>? M< ;%%&>T ;>G<>? ） J?%;>KK OMK LGU>K<LPM<>T =Q GNI>?L;M& KLIN&M<L%G I><O%T’ 6O> ;OM?M;<>?LK<L;K %H K>U>?M& TLHH>?>G< ;?QK<M& <>IJ>?M<N?> P?MTL>G< <>;OGLSN> P?%R<O K<MP>K OMU> =>>G MGM&QV>T MGT ;%IJM?>T RL<O :V%;O?M&KWL I><O%T ， MGT =?LTPIMG <>;OGLSN> ><;’ XMK> %G <O> ?>KN&<K %H KLIN&M<L%G MGT <>;OGLSN>K %H TLHH>?>G< ;?QK<M& P?%R<O K<MP>K，<O> KQK<>I MGT ;%G<?%& <>;OGLSN>K %H ;?QK<M& P?%R<O R>?> LIJ?%U>T ；<O> ;%GU>G<L%GM& 41@A1: HN?GM;> RMK I%TLHL>T RL<O <O> O>M< TLKKLJM<L%G JM?MI><>?K LG;?>MK>T ，<O> O>M<LGP <>IJ>?M<N?> T>;?>MK>T ， <O> <>IJ>?M<N?> HM&&LGP ;N?U> LIJ?%U>T ，<O> MTTL<L%GM& MYLM& MGT ?MTLM& <>IJ>?M<N?> P?MTL>G< MTZNK<>T ，K% <O> G>;WLGPDT%RG， KO%N&T>?D>Y<>GTLGP， LK%DTLMI><>? MGT <ML&LGP J?%;>KK %H <O> ;?QK<M& P?%R<O ;MG => ;%G<?%&&>T’ 6O> >YJ>?LI>G< ?>KN&<K <>K<LHL>T <OM< <O> P?%RG ;?QK<M& OMK =><<>? SNM&L<Q MGT &M?P>? KLV> =Q <O> LIJ?%U>T KQK<>I %H ;?QK<M& P?%R<O MGT ;%G<?%& <>;OGLSN>K’ <.+ 4(2=,： ;?QK<M& P?%R<O ；GNI>?L;M& KLIN&M<L%G；KMJJOL?>；41@A1: I><O%T
! . "# 边界条件 籽晶与热交换器接触处的对流换热条件： . !" $ $ 对称中心轴处： #$ ’ ) ## $ $ 结晶区的换热边界条件： . !" $ $ 熔区的换热边界条件： . !, #$ $ ’ /（ ’ $ . $’ ） ## . !, #$ ’ /（ ’ $ . $’ ） #& （#） #$ $ ’ /（ ’ $ . $’ ） #& . !" #$ ’ /（ ’ $ . $’ ） ## （"） （J） #$ ’ /（ - $ . $- ） ## （&）
［ 1］ 。 体工业最为理想的衬底材料
近年来随着集成电路、 铁电薄膜和红外技术的迅速发展， 对蓝宝石单晶材料提出了新的要求， 即尺寸大、 质量高和成本低， 这就需要先进生长技术与之相适应。目前仅有热交换法、 温梯法和泡生法等有限的几种方
［ "］ 法能生长光学级的大尺寸蓝宝石晶体 。热交换法生长的蓝宝石晶体尺寸大， 质量较好， 但是需要大量氦 ［ ,］ 气作冷却剂， 成本高 。温梯法是我国上海光机所晶体研究室发明的一种生长高温晶体的方法， 此方法生
生长， 整个结晶过程晶向遗传特性良好； 微量提拉， 减少了温场扰动， 使温场更均匀； 晶体直径可以一直长到 距坩埚壁 % : +64 的位置而不与坩埚壁接触， 在整个生长过程中晶体不被提拉出坩埚， 晶体内温差小， 能够 有效的减小热应力； 选用水作为热交换器内的工作流体， 晶体可以实现原位退火。较其它方法更易保证晶体 质量， 缩短实验周期、 降低成本。但由于系统的不可视， 无法对晶体生长过程进行实时观测， 给实验研究带来 了不可逾越的障碍。随着数值模拟方法的重要性和有效性被晶体生长者的广泛认识和应用， 对如坩埚下降
冷心放肩微量提拉法大尺寸蓝宝石单晶 生长过程的模拟分析
许承海， 左洪波， 孟松鹤， 姚! 泰， 汪桂根， 李长青， 张明福
（ 哈尔滨工业大学复合材料研究与结构所， 哈尔滨 ,#***, ）
摘要： 利用数值模拟方法计算了冷心放肩微量提拉法 （ 41@A1: ） 蓝宝石晶体生长过程。结合晶体直径变化、 裂纹 出现位置与延续方向、 晶体透明性等实验现象， 通过与提拉法、 温梯法、 坩埚移动法等相对比， 分析了冷心放肩微量 提拉法晶体生长各阶段的工艺特点， 并根据模拟计算结果对晶体生长系统和晶体生长控制工艺进行了改进。分别 利用增大热交换器的散热参数、 降低加热温度、 改进降温曲线、 调节外加轴向和径向温度梯度的方式来实现对晶体 生长的引晶、 放肩、 等径和收尾控制。通过实验比较证明了改进后的晶体生长系统和晶体生长控制工艺能够生长 出性能较好的大尺寸蓝宝石晶体。 关键词： 晶体生长； 数值模拟； 蓝宝石； 冷心放肩微量提拉法 中图分类号： .BC ! ! 文献标识码： 1 ! ! 文章编号： ,***DEC#F （ )**+ ） *#D*EB+D*C
能， 良好的机械性能， 优良的热传导性和电气绝缘性。因其具有独特优异的力学、 光学性能， 适合在恶劣条件
［ )， +］ 下工作， 被广泛的应用于各种光学元件和红外军事装置、 卫星空间技术、 高强度激光的窗口材料 。蓝宝
石与氮化镓具有相似的结构， 高完整性、 低缺陷 6 面取向的蓝宝石是实际应用的 789 和 79 发光二极管半导
长的蓝宝石晶体质量可与热交换法的产品相媲美， 但晶体坯料需要分别进行高温氧化、 还原气氛的退火处
［ $］ ［ 2］ 理， 坯料的后续处理工艺比较复杂 。冷心放肩微量提拉法是本实验室在对泡生法 和提拉法改进基础上 ［ #］ 发展而来的用于生长大尺寸蓝宝石晶体的方法 。此方法主要特点是： 通过冷心放肩， 保证了大尺寸晶体
$ $ 固液界面处的温度和能量平衡边界条件： $ ’ $, $ . ! " 0（ （ 1 $$） " . !2 0 1 $$） 2 ’ 3 （!） / - —热交换器的对流换热系数， $ 4 —坩埚外壁的环境温度， $ - —热 $ $ 式中 / 4 —加热系统的辐射换热系数， 交换器内冷却流体的温度， 下标 2 和 " 分别表示熔液和固体相。 计算中采用的模型参数见表 ’ 。表 ’ 中列出的坩埚、 晶体、 籽晶尺寸是本实验室在晶体生长工艺过程中 ［ ’( ， ’% ］ 万方数据 。 所选用的实际尺寸； 其它参数则是根据具体的实验工艺直接测量或测量相关量并通过计算获得
图 ’$ 冷心放肩微量提拉法系统简图 +,-. ’$ /012345,0 6,4-743 89 07:;54< -78=51 >: /?@A?B 325186