真空压力开关.
GS40
具有压力开关功能的数字式压力表（0～10bar）
ZSP1
用于ZX真空发生器 适用于小口径吸管（Φ0.3～Φ1.2），吸取数mm厚的芯片部品
压力开关 PSE
采用密闭腔使压力传感器与介质完全隔离
压力开关 PSE
PSE5 2 1 - 01
Pressure range 0 High pressure (0 to 1MPa) Piping specification
New version
ZS（IS）40
Characteristics: 1. High precision and high resolution 2. Compound pressure (-100.0+100.0kPa) is added. 3. Auto shift function is added. (Either 2 outputs + auto shift function or 2 outputs + analog output.)
应用
ZSE（ISE）电子式压力开关
一般空气用（旋钮调节）： ZSE（ISE）1 用于ZM真空发生器 ZSM1-115 用于ZM真空发生器 ZSE（ISE）2 用于ZX、ZR真空发生器 一般空气用（按钮调节）： ZSE（ISE）3 用于ZX真空发生器，自诊断机能，故障预知机能，LCD ZSE（ISE）4 用于ZL真空发生器，自诊断机能，LCD ZSE（ISE）4B 用于ZL真空发生器，自诊断机能，LCD，背景灯 ZSE（ISE）4E 用于ZL真空发生器，自诊断机能，自动预设机能，LED ZSE（ISE）4□D 防尘、防滴型（IP66） 多种流体适用： ZSE（ISE）5B PT ZSE（ISE）6B URJ、TSJ（半导体装置使用的接头，泄漏极低）
* 1 Vacuum (0 to -101KPa)
01
02
R(PT)1/8,M50.8
R(PT)1/4,M50.8
T01 NPTF1/8,M50.8 T02 NPTF1/4,M50.8
压力开关 PSE521
型号 适用压力范围
最大压力
* PSE5210 to -0.1MPa
0.5M Pa
not corrosive to SUS304, SUS630
介质
输出信号
温度范围
o
温度பைடு நூலகம்性
C
analog output : 1 to 5V (load impedance : min 10k） -10 to 70oC(point dew) within 1% F.S. within 5.5% F.S. within ±0.3% F.S IP65
(standard 25o C) -10 to 70 oC 重复精度 防护等级
自动预调机能
通过数次吸着和未吸着，能自动选出最合适的设定值。
自诊断机能
当开关工作在额定电压和额定电流以上的场合，或有其他错误 信息，均可以显示出来。 过电流检知机能、过电压检知机能、数据错误
故障预知机能
真空发生器系统的消音器孔眼堵塞、吸盘龟裂、配管泄漏等原 因，致使真空度下降的场合，能快速检测出异常并输出信号， 使系统停止工作。 系统系统的设定压力值P1和P2，再设定压力值P3（真空度较高） 和故障预知次数，当产生真空时，真空值仍低于P3，计数器便 计录，达到故障预知次数时发出信号；当产生的真空值达到或 高于P3，计数器便清零。
电子式压力传感器
硅扩散型半导体压力传感器（干燥空气和惰性气体用） 压力传感器硅膜片上的四个扩散电阻组成一个桥电路，当压力 使硅膜片变形，由于压电效应引起桥电路的不平衡，产生的电 流与被测压力成正比。 由于无可动部件，压力传感器为半永久寿命，正常使用的前提 下，发生故障的可能性极小。 不锈钢膜片式压力传感器（湿空气、水或油用） 不锈钢膜片上的四个扩散电阻组成一个桥电路，其他同上。 与流体接触的管接头部位使用SUS304，传感器的膜片使用了 SUS630，这两种不锈钢的抗腐蚀性能几乎一样。
自动移位机能
自动移位机能表示，输入此信号时刻的压力值为基准，进行开 关动作。 1）吸着确认的场合，当供应压力变化，在非吸着时输入自动移 位信号，就可以对确认吸着的设定值进行换算，从而可靠地进 行开关。 2）气罐泄漏试验时，不管充入压力的高低，都能确认气罐的泄 漏是否合适。
通道选择机能
通道选择机能适用于更换吸管或更换吸着工件的场合。两个输 出通道的压力开关相当于有4个输出点。
ZSE（ISE）电子式压力开关
ZSE1
ZSE2
ZSE（ISE）电子式压力开关
<ZSE1, New version>
SET HYS
<ZSE1, Existing version>
15
15
L
H L
H
H
H SET L
23
<ZSE2, New version>
SET
<ZSE2, Existing version>
15
15
L
H
H
20
The new model can be judged from indication (red dot) marked on label of the packing box.
L
20
L
23
'HYS
ZSE（ISE）4B
副标题
ZSE（ISE）5B
ZS（IS）40
Existing version
模拟量输出
电压信号在远距离传送时，由于导线的电阻，电压会下降，信 号减弱。若为此减小电流，则会受到外部设备的电气噪声的影 响。SMC的模拟量输出，大都为电压输出，在10M以内使用。 电流输出与传送距离无关，但因为在前端要把电压信号转换成 电流信号，在末端要把电流信号转换成电压信号，成本较高、 尺寸较大。
输出模式
迟滞型 为了消除压力脉动的影响，防止开振荡，设定两个压力值，其 差值即为迟滞。 上下限比较型 用于一定范围内供应压力的管理；迟滞为固定值
PS1000/1100
小型，轻量的电子式压力开关 两线制，接线方便 PS1000 正压用，现在压力≥设定压力时 ON PS1100 负压及残压用，现在压力≤设定压力时 ON
电子式压力开关＆机械式压力开关
机械式（有触点开关） 根据机械接触和非接触进行开或者关，如继电器、微动开关等。 电子式（无触点开关） 根据晶体管的开路或断路进行开或者关。 当负载短路时，过电流会瞬时破坏开关； 开关对误配线没有考虑保护措施，特别要注意电源线和输出线 不能接错，否则会破坏开关； 过电压（Surge)发生装置如电磁式升降机、高频感应炉、电机 等在开关周围，则会使开关内部元件劣化、寿命降低，应该采 取过电压抑制措施，并避免导线混合排布。
众泰芝麻e30真空泵压力开关接线说明
众泰芝麻e30真空泵压力开关接线说明
一、众泰芝麻e30真空泵压力开关的接线说明
1、在接线前请将所有电线都切断
2、工作用电不能超过所要求的电流/电压，超负荷使用第1次就会损坏开关。
3、所有电线必须符合国.家和当地的电子标准。
推荐使用的大电线尺寸为14AWG。
4、在外壳的左侧边缘有一个M18*1.5的电气接口。
打开外盖，将电线从这个电气接口接入，在外壳里有一个接线端子。
接线端子上标有1、2、3数字，其中：①代表公共端、②代表常开触点、③代表常闭触点，根据需要，接不同的接线端子。
二、压力开关的安装技巧
1、不能带电操作。
工作用电不能超过开关铭牌所注等级,开关（上的电流/电压）的超负荷使用第1次就会损坏开关。
2、焊接取压管，取压管上好有截止阀门。
留出与开关对应的连接螺纹，以备在维修的时候可以方便的将开关卸下。
3、将开关安装在震动、温度变动幅度小的地方。
合适的安装位置能防止湿气浸入外壳。
如果开关将被安装在恶劣工况下时，必须以垂直（压力连接器向下方）的方式安装。
请不要将其安装在超过规定温度范围之外的环境中。
4、请勿直接转动外壳固定开关，请用扳手拧下面的连接六方。
真空发生器及气动基本工作原理教案资料
真空吸盘（二）
焊装在机器人抓手上面用的最多的就是这种扁平吸盘 圆形
椭圆形
11
真空吸盘（三）
圆形
椭圆形
12
真空吸盘（四）
13
常用气缸工作原理 （一）
下面有几种常见的运动气缸类型： 气动\无杆气缸.exe 气动\CM with sensor.exe 气动\CKZR.avi 气动\齒輪式旋轉氣缸.exe
operation
0
1
破坏真空
0
0
真空产生
1
1
真空破坏
1
0
关闭进气
5
真空发生器工作原理 （五）
真空发生器的动作过程
左图为真空发生器工作的四个阶段： 等待→吸气→真空保持→吹气 其动作与下图压力开关设定密切相关
6
真空发生器工作原理 （六）
PLC或者机器人如何判断工件拾取力度够够不够？
脱离是否到位不是由这个压力检测开关来管控的：工件脱离或者抓取到 位与否由工件传感器来判断
7
真空发生器工作原理 （七）
信号输出设置
Output 1，是为了给真空发生器吸气电磁阀一个信号。可以根据通道1的（H1\H1-h1) 设 定值来调整真空发生器在何时产生真空或在何时停止产生真空，从而达到一个节气的目 的 Output 2，是为了给外部机械手一个信号（H2/H2-h2)表示机械手已经抓紧了工件，这时 候机械手可以运动了
H1或H2是上限值 ：当真空度达到时，传感器就输出高电平（相应通道LED亮）
h1或h2是差值：通过调节h1或h2来调节两个通道的下限值，该下限值为H-h(H1-h1/H2h2)， 当真空传感器检测到真空压力低于该下限值时，真空传感器停止输出高电平。
SMC真空压力表 使用手册.pdf
Z/ISE30A 系列压力开关设定说明设定顺序：通电—测量模式—零点校正—功能设定—测量模式产品通电后，自动进入压力测量模式，第一次使用时，请按如下顺序操作。
1、零点校正：产品第一次使用时，通电且不施加气压时，如果显示值不为零，和键同时按住1s 以上，显示值归零。
2、基本功能设定：测量模式下按住键2s 以上，压力开关进入功能设定模式,显示屏显示为。
按和键选择对应功能后按进入详细功能设置。
备注：部分功能为可选功能，根据型号而定。
特定型号下如果不包含某可选功能，对应位置显示。
全部功能列表：项目出厂设置F0：单位选择功能 ISE-Mpa,ZSE-KPa,Option P-psi F1：OUT1规格设定 迟滞模式，常开F2：OUT2规格设定 迟滞模式，常开 F3：响应时间设定 2.5 ms F4：显示精度设定 1/1000 F5：自动预设功能设定 手动模式F6：显示值校正 0% F7：省电模式选择 OFF F8：密码锁设定OFF1）F0-单位选择功能可选功能，部分型号无此功能。
单位不同，显示屏开显示的数值范围不同。
操作方法：按和键选择对应单位，按键确认。
测量模式按住键2s 以上功 能 选 择 模 式功能设定2）F1-OUT1输出规格设定方法：此部分可设置输出类别（迟滞型/比较型）和输出模式（常开/常闭）设定。
按键进入单位选择模式按和键选择对应单位交替显示按键完成设定返回到功能选择模式，屏幕显示F0F0-单位选择功能设定完成输出模式常开型 出厂时默认设置常闭型迟滞模式（出厂时默认设置） 压力输出迟滞（H-1）压力输出压力输出迟滞（H-1）压力输出比较模式（也称窗口比较模式） 迟滞模式（出厂时默认设置） 比较模式（也称窗口比较模式） 迟滞（H1） 迟滞（H1）迟滞（H1） 迟滞（H1）功能选择模式下按和至屏幕显示，然后按进入OUT1规格设定。
压力设定状态：此状态下设定压力开关输出的ON/OFF 点。
以迟滞型为例：输出方法：当压力超过设定值时，开关输出变为ON 。
真空压力开关解读
2) NPN 集电极开路输出 2 channels + 自动移位输入
3) PNP 集电极开路输出 2 channels + 模拟量输出 4) PNP 集电极开路输出 2 channels + 自动移位输入
4. Enclosure IP65
介质
输出信号
温度范围
o
温度特性
C
analog output : 1 to 5V (load impedance : min 10k） -10 to 70oC(point dew) within 1% F.S. within 5.5% F.S. within ±0.3% F.S IP65
(standard 25o C) -10 to 70 oC 重复精度 防护等级
GS40
具有压力开关功能的数字式压力表（0～10bar）
ZSP1
用于ZX真空发生器 适用于小口径吸管（Φ0.3～Φ1.2），吸取数mm厚的芯片部品
压力开关 PSE
采用密闭腔使压力传感器与介质完全隔离
压力开关 PSE
PSE5 2 1 - 01
Pressure range 0 High pressure (0 to 1MPa) Piping specification
* 1 Vacuum (0 to -101KPa)
01
02
R(PT)1/8,M50.8
R(PT)1/4,M50.8
T01 NPTF1/8,M50.8 T02 NPTF1/4,M50.8
压力开关 PSE521
型号 适用压力范围
最大压力
* PSE5210 to -0.1MPa
SMC-ZSE_ISE30中文手册.
¥˚电源接通状态下，不要拔插压力传感器（插头），以免 开关输出误动作。
配管
¥˚垂直切管 ¥˚握住软管，小心地插入到快换接头中，并插到底端。
软管
快换接头
警告
调节压力范围和额定压力范围
在额定压力范围内设定压力。
调节压力范围为在设定中可能的压力范围。 额定压力范围为满足传感器规格（精度、线性等）的压力范围。 虽然压力值可设置在额定压力范围外，但即使压力值在调节压力范围内，不能保证规格。
38
压力开关/共同注意事项①
设计·选用
警告
1 请使用规定的电压。
使用规格以外的电压会产生误动作、损坏开关、或触电与失火。
2 请绝对不要超过最大负载容量。
否则会损坏开关，只到初期寿命。 3 请不要使用发生脉冲电压的负载。
开关的输出部分，未使用脉冲电压保护同路，故反复受到脉冲 电压，开关有可能损坏。直接驱动继电器、电磁阀等会发生脉 冲电压的负载时，请选用带有内置吸收脉冲电压的形式。 4 各产品能使用的流体是不同的，必须加以确认。 开关为非防爆结构，请勿使用可燃性气体及液体，否则会引起 火灾。 5 必须在设定压力范围及最高使用压力以下使用，超过压力 范围使用会引起故障。而且，超过最高使用压力会破坏 开关。
型号 ZS-27-A ZS-27-B ZS-27-C ZS-27-D
备注 导线长2m 带安装小螺钉(M3×5L 2个) 带M3×8L (2个) 带M3×8L (2个)
可选项 2
无记号
无
托架
A
面板安装 B
面板安装 + 前面保护盖
D
单位规格
无记号 M
注1)带单位切换功能 注2)SI单位固定
注1)依据新计量法，在日本国内，带
真空基本知识
碰撞于固体表面的分子它们飞离表面的方向与原入射方向无关，并按 与表面法线方向所成角度的余弦进行分布。
一个分子离开固体表面时，处于立体角 d 中的几率为：
dp d cos
θ为出射方向与法线所成的角度
余弦定律的重要意义：
它揭示了固体表面对气体分子作用的另一个方面，即 分子原有的方向性彻底“消除”，均按余弦定律散射。
工作原理：
涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形 状，在它以20000～30000r/min的高速 旋转时，叶片将动量传给气体分子，同 时，涡轮分子泵中装有很多级叶片，上 一级叶片输送过来的气体分子又会受到 下一级叶片的作用而被进一步压缩至更 下一级。像油扩散泵一样，也是靠对气 体分子施加作用力，并使气体分子向特 定的方向运动的原理来工作的。
真空度差个10倍（10－３Pa），杂质含量相当于10～20％，真空度提高 10倍（10－５Pa），杂质含量为0.1～0.2％。
真空度越高，所得到的薄膜质量越好，纯度越高； 但真空度越高，抽取真空所需费用也越高，设备越贵！
12
第13页/共41页
2、真空获得
☞真空系统
•真空室 •泵 •管路 •阀门 •真空测量
4. 阀门—控制真空系统的连接情况
5. 真空系统中真空的测量
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第16页/共41页
2、真空获得
真空泵 •真空泵是吸入口形成负压，排气口直通大气，两端压力比很大抽出气体的机械
右图是运用真空泵的典型真 空回路
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第17页/共41页
2 真空获得
☞ 机械泵
Rotary Vane Pumps
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第18页/共41页
组成：真空发生器由先收缩后扩张的拉瓦尔喷管、负压腔和接收管等组成。有供气口、
SMC真空压力表 使用手册
Z/ISE30A 系列压力开关设定说明设定顺序：通电—测量模式—零点校正—功能设定—测量模式产品通电后，自动进入压力测量模式，第一次使用时，请按如下顺序操作。
1、零点校正：产品第一次使用时，通电且不施加气压时，如果显示值不为零，和键同时按住1s 以上，显示值归零。
2、基本功能设定：测量模式下按住键2s 以上，压力开关进入功能设定模式,显示屏显示为。
按和键选择对应功能后按进入详细功能设置。
备注：部分功能为可选功能，根据型号而定。
特定型号下如果不包含某可选功能，对应位置显示。
全部功能列表：项目出厂设置F0：单位选择功能 ISE-Mpa,ZSE-KPa,Option P-psi F1：OUT1规格设定 迟滞模式，常开F2：OUT2规格设定 迟滞模式，常开 F3：响应时间设定 2.5 ms F4：显示精度设定 1/1000 F5：自动预设功能设定 手动模式F6：显示值校正 0% F7：省电模式选择 OFF F8：密码锁设定OFF1）F0-单位选择功能可选功能，部分型号无此功能。
单位不同，显示屏开显示的数值范围不同。
操作方法：按和键选择对应单位，按键确认。
测量模式按住键2s 以上功 能 选 择 模 式功能设定2）F1-OUT1输出规格设定方法：此部分可设置输出类别（迟滞型/比较型）和输出模式（常开/常闭）设定。
按键进入单位选择模式按和键选择对应单位交替显示按键完成设定返回到功能选择模式，屏幕显示F0F0-单位选择功能设定完成输出模式常开型 出厂时默认设置常闭型迟滞模式（出厂时默认设置） 压力输出迟滞（H-1）压力输出压力输出迟滞（H-1）压力输出比较模式（也称窗口比较模式） 迟滞模式（出厂时默认设置） 比较模式（也称窗口比较模式） 迟滞（H1） 迟滞（H1）迟滞（H1） 迟滞（H1）功能选择模式下按和至屏幕显示，然后按进入OUT1规格设定。
压力设定状态：此状态下设定压力开关输出的ON/OFF 点。
以迟滞型为例：输出方法：当压力超过设定值时，开关输出变为ON 。
smc真空压力表 说明书ZSE30-ISE30A CN.
但，即使在保证期限内，因使用真空吸盘导致的磨损或橡胶材质劣化等情况不在保证范围内。
『适合用途的条件』
出口海外时，请务必遵守经济产业省规定的法令(外国汇兑及外国贸易法、手续｡
注意
我公司产品不能作为法定计量仪器使用。
我公司制造、销售的产品没有进行各国[计量法]所指定机关的认证申请，并不是取得计量法相关型式认证试验和检定的计量器、计测器。
·请切断供给电源
·请在确认已切断供给气源、并把配管中的压缩空气排放到大气后再进行维修保养。
可能会造成人员受伤。
注意
■通电中请勿触碰端子、连接器
若在通电中碰触端子和连接器，可能会发生触电、设备误动作、开关破损。
禁止接触
■维修保养后，进行适当的功能检查、泄漏检查
当设备无法正常作动、发生泄露等异常情况时，请停止运转。
※2
全法规外，这些内容也请务必遵守｡
※1 ISO 4414: Pneumatic fluid power -- General rules relating to systems
ISO 4413: Hydraulic fluid power -- General rules relating to systems
・请勿在有电涌发生源的场所使用。
在压力开关的附近有发生电涌的装置设备(电磁式升降机・高周波诱导炉・电机等时，可能会导致压力开关内部回路元件发生劣化或破损，因此请在考虑发生源电涌对策的同时避免线路的混触。
No.PS※※-OML0002式/系列/型号
ZSE30A(F ISE30A
安全注意事项
2 8 10 11 14 14 17 18 21 21 24 24 24 26 27 30 30 31 32 34 35 36 37 37 39 41 43 44 47 48 49 56 56 58
真空压力开关ppt课件
5
自动移机能
自动移位机能表示，输入此信号时刻的压力值为基准，进行开 关动作。
1）吸着确认的场合，当供应压力变化，在非吸着时输入自动移 位信号，就可以对确认吸着的设定值进行换算，从而可靠地进 行开关。
ZSM1-121 磁性舌簧开关、膜片式负压传感器、可用于ZM
IS1000 磁性舌簧开关、活塞式正压开关
IS3000 微动开关、活塞式正压开关
ISG
微动开关、波纹管正压（负压）开关、多种流体适用
ZSM1-*21 (Reed switch) Although the catalog indicates only 100VAC for supply voltage, both 100VAC and 100VDC or less are applicable to the reed switch
New version
ZSE/ISE40 series
0.1 kPa
1
kPa
0.1 kPa
2.5 msec
0.2 %F.S.
IP65
24
ZS（IS）40
Z / ISE40 -
-
-
cable length
日本/海外规格 option
压力设定范围 接管口径 I/O规格
25
机械式压力传感器
触点：磁性舌簧开关、微动开关 压力传感器：膜片式（低压）、波纹管式和活塞式（高压）
迟滞为固定值10ps10001100ps10001100小型轻量的电子式压力开关两线制接线方便ps1000正压用现在压力设定压力时onps1100负压及残压用现在压力设定压力时on11gs40gs40具有压力开关功能的数字式压力表010bar12zsp1zsp1用于zx真空发生器适用于小口径吸管0312吸取数mm厚的芯片部品13压力开关压力开关psepse采用密闭腔使压力传感器不介质完全隔离pressurerangehighpressure101kpapipingspecification01rpt18m50802rpt14m508t01nptf18m508t02nptf14m508压力开关压力开关psepse15型号pse521适用压力范围01mpa最大压力05mpa介质sus304sus630输出信号analogoutput5vloadimpedancemin10k温度范围10cpointdew温度特性standard2570within1fs
SMC真空压力开关说明
产品名称：SMC真空压力开关说明
真空的含义是指在给定的空间内低于一个大气压力的气体状态，是一种物理现象。
在“虚空”中，声音因为没有介质而无法传递，但电磁波的传递却不受真空的影响。
事实上，在真空技术里，真空系针对大气而言，一特定空间内部之部份物质被排出，使其压力小于一个标准大气压，则我们通称此空间为真空或真空状态。
真空常用帕斯卡（Pascal）或托尔（Torr）做为压力的单位。
在自然环境里，只有外太空堪称最接近真空的空间。
1641年意大利数学家托里拆利在一根长管子内加满水银，然后很缓慢的将管口倒转在一个盛满水银的盆内，管子内水银柱的末端是76厘米高。
这时玻璃管最上方无水银地带是真空状态。
这一实验为“托里拆利实验”，完成实验的玻璃管为“托里拆利管”。
爱因斯坦在用场论观点研究引力现象时，已经认识到空无一物的真空观念是有问题的，他曾提出真空是引力场的某种特殊状态的想法。
首先给予真空崭新物理内容的是P.A.M.狄拉克。
狄拉克于1930年为了摆脱狄拉克方程负能解的困境，提出真空是充满了负能态的电子海。