微机电系统工程毕业论文文献综述
机电一体化文献综述
机电一体化文献综述第一篇：机电一体化文献综述机电一体化系统设计文献综述摘要：机电一体化是一种复合技术,是机械技术与微电子技术、信息技术互相渗透的产物,是现代科学技术发展的必然结果。
作为发展中国家，我国与发达国家相比工业技术水平存在一定差距，但有广阔的机电一体化应用空间。
纵观国内外机电一体化的发展现状和高新技术的发展动向,机电一体化集机械、电子、光学、控制、计算机和信息等多学科的交叉融合于一体，其发展和进步依赖并促进相关技术的发展和进步。
机电一体化技术是多学科技术领域综合交叉，用以解决综合性工程问题的技术，能设计出更好的机电一体化系统或设备。
机电一体化产品具有高的功能水平和附加值，给开发生产者和用户带来社会经济效益。
关键词：机电一体化发展技术一、机电一体化涵义机电一体化是机械技术、微电子技术和信息技术等相关技术有机结合的一种新形式，是微电子技术向机械技术领域渗透的过程中逐渐形成的一个新概念。
“机电一体化”含有“技术”与“产品”两个方面内容：首先是“机电一体化技术”，主要是指其技术原理，即使机电一体化系统（产品）得以实现、使用和发展的技术。
其次是“机电一体化产品”，该“产品”主要是机械系统（或部件）与微电子系统（与部件）用相关软件有机结合而构成的新的“系统”，且赋予其新的功能和性能的新一代产品。
[1]二、机电一体化发展阶段机电一体化技术的发展大体上可分为三个阶段：20世纪60年代以前为第一阶段，也可称为“萌芽阶段”。
在这一阶段，由于电子技术的迅速发展，人们自觉不自觉地利用电子技术的初步成果来完善机械产品的性能。
特别是在第二次世界大战期间，战争刺激了机械产品与电子技术的结合，这些机电结合的军用技术，战后转为民用，对战后经济的恢复起了积极的作用。
那时研制和开发从总体上看还处于自发状态。
由于当时电子技术的发展尚未达到一定水平，机械技术与电子技术的结合还不可能广泛和深入发展，已经开发的产品也无法大量推广。
[2]20世纪70至80年代为第二阶段，可称为“蓬勃发展阶段”。
微机电系统文献综述
基于Galerkin法分析微梁的动态响应一、课题研究背景1.MEMS的概念MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System)的英文缩写，是指将微结构的传感技术、致动技术和微电子控制技术集成于一体，形成同时具有“传感－计算(控制)－执行”功能的智能微型装置或微型系统[1]。
随着技术的兴起和发展，MEMS已成为继微电子技术之后在微尺度研究领域中的又一次革命。
MEMS通过力、电、磁等能量的转换来实现自身的特有功能，涉及多种物理场的互相耦合，因此它是一个多能量域耦合作用的极其复杂的系统。
2.MEMS的特点一般地说MEMS具有以下几个非约束性的特征：（1）MEMS器件体积小、重量轻、耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。
尺寸在毫米到微米范围之内，区别于一般宏(Macro)，即传统的、大于1cm 尺度的“机械”，并非进入物理上的微观层次。
（2）以硅为主要材料，机械电器性能优良：硅的强度、硬度和杨氏模量与铁相当，密度类似于铝，热传导率接近钼和钨。
基于(但不限于)硅微加工技术制造。
（3）批量生产大大降低了MEMS 产品成本。
用硅微加工工艺在一片硅片上同时可制造出成百上千个微型机电装置或完整的MEMS，批量生产使性能价格比比之传统“机械”制造技术大幅度地提高。
（4）集成化。
可以把不同功能、不同敏感方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能器件集成在一起，形成复杂的微系统。
微传感器、微执行器和微电子器件集成在一起可制造成可靠性、稳定性很高的MEMS。
3.MEMS的研究领域作为一门交叉学科，MEMS的研究和开发更是为了在微观领域探索新原理、开发新功能、制造新器件。
由于MEMS具有体系小、重量轻、能耗低、集成度高和智能化程度高等一系列优点，MEMS的研究领域不仅与微电子学密切相关，而且还广泛涉及到机械、材料、光学、流体、化学、热学、声学、磁学、自动控制、仿真学等学科，技术影响遍及包括各种传感器件、医疗、生物芯片、通信、机器人、能源、武器、航空航天等领域[2-5]，所以MEMS技术是一门多学科的综合技术。
电机文献综述
电机文献综述（08级）学生姓名金其超学号 ******** 院系工学院机电系专业自动化 082填写日期2010-09-27电机行业综述前言电机行业是一个传统的行业。
经过200多年的发展，它已经成为现代生产、生活中不可或缺的核心、基础，是国民经济中重要的一环。
作为劳动密集型产业，我国发展电机制造业有着得天独厚的优势。
到目前为止，我国的电机制造业已经具有一定规模。
据全国电工行业统计，2006年全国交流电机产量达到15000万kw，同比增16％；汽轮发电机9583万kw，同比增长21.64％，水轮发电机组1922万kw，同比增长49.57％。
在经过了2006年下半年的低速发展之后，2007年到现在，我国电机制造行业保持高速发展态势。
电机出口市场的需求还将在相当一个时期趋于稳定，交流电动机的国际市场需求也十分可观，并将持续处于高速增长阶段。
随着电机产品国外市场的进一步拓宽，中小型电机在出口数量、品种、产品档次、创汇额上将会有重大突破。
未来出口电机产量增长主要外部原因在于世界经济稳定增长，促进了行业贸易产量的增长。
内因是国内出口退税率改革导致企业加快出口步伐，及国内外资企业规模的不断扩大和数量的快速增加，产品竞争提高，在国内形成巨大的效益，也刺激了出口上升。
随着生产现代化程度的不断提高和人们对家用电器、汽车等消费的不断增加，市场对电机的需求也将越来越大。
预计到2010年，全国发电装机容量将达到6.6亿千瓦左右，平均每年将投产发电装机容量3700万千瓦以上，年均增长7.8%左右。
而电动机的需求与发电设备的需求呈1∶3.51的正比关系，据此分析，大型、中小型交流电动机产品在国内市场的有效需求会保持稳定增长。
正文电机的起源和发展电机工作基本原理是利用带电导体和磁场间的相互作用而把电能变为机械能。
电动机结构主要包括两部分：转子和定子。
转子为电动机的旋转部分，由转轴座组成，导体绕组的排列方式决定电动机的类型及其特性。
机电专业文献总结
机电专业文献总结引言机电工程是一门集机械、电气、自动控制等学科知识于一体的综合性学科，应用广泛。
本文总结了几篇与机电专业相关的文献，包括机电耦合系统设计、电机故障诊断、机器人运动控制等方面的研究内容。
通过对这些文献的阅读和总结，可以更好地了解机电专业领域的最新研究动态，为今后的研究和实践提供参考。
机电耦合系统设计机电耦合系统设计是机电工程领域的一个重要研究方向。
一篇文献[1]中介绍了一种新型的机电耦合系统设计方法，该方法采用混合的控制策略，结合了机械模型和电气模型。
通过建立数学模型和仿真分析，研究人员提出了一种改善系统性能的控制算法。
实验结果表明，该方法可以显著提高系统响应速度和控制精度。
电机故障诊断电机故障诊断是机电工程中一个重要的研究课题。
一篇文献[2]中介绍了一种基于振动信号的电机故障诊断方法。
该方法通过采集电机振动信号并进行信号处理和分析，识别出电机的故障类型和严重程度。
研究人员采用了小波变换、能量谱分析等方法进行信号处理，并设计了一种分类算法进行故障诊断。
实验结果表明，该方法可以准确地进行电机故障诊断并提供相应的维修建议。
机器人运动控制机器人运动控制是机电工程领域的一个重要研究方向。
一篇文献[3]中介绍了一种自适应控制方法用于机器人运动控制。
该方法通过分析机器人的动力学模型和运动规划算法，设计了一种适用于不同工况的自适应控制策略。
实验结果表明，该方法可以显著提高机器人的运动控制精度和鲁棒性。
结论通过对以上几篇机电专业相关文献的阅读和总结，可以看出机电工程领域的研究内容广泛，涉及机械、电气、自动控制等多个学科。
机电耦合系统设计、电机故障诊断、机器人运动控制等方面的研究在提高系统性能、诊断故障和提高机器人运动控制精度等方面取得了重要的研究成果。
这些研究成果对于促进机电工程领域的发展和应用具有重要意义，并为今后的研究和实践提供了有益的参考。
参考文献[1] 作者1, 作者2. 机电耦合系统设计方法研究[J]. 机械工程学报, 2018, 45(10): 100-105.[2] 作者3, 作者4. 基于振动信号的电机故障诊断方法研究[J]. 电机与控制工程, 2019, 30(5): 50-55.[3] 作者5, 作者6. 自适应控制方法在机器人运动控制中的应用研究[J]. 自动化学报, 2020, 38(4): 80-85.。
机电专业毕业论文
机电专业毕业论文机电专业毕业论文范文机电专业培养具有必备基础理论知识、专门知识和较强的从事本专业领域实际工作的能力,适应生产建设、管理、服务第一线需要的,德、智、体、美等方面全面发展的人才，下面为大家分享了机电专业毕业论文，欢迎借鉴！摘要：社会发展是不断科学化的过程，机电一体化系统已经在许多领域得到应用，且其中的科学技术不断更新，传感器技术作为其基本支撑技术之一也在逐渐扩大应用范围和程度。
本文中通过文献综述详细说明机电一体化技术的定义，描述传感器技术在机电一体化系统中的应用情况，并对今后的发展趋势进行了展望，希望对传感器技术在机电一体化系统中的快速发展有所裨益。
关键词：机电一体化系统传感器技术发展趋势自动检测信息电子化时代使得科学技术愈加先进，相关统计表明全球传感器市场营业额达到200亿美元以上，且年增长率达到80%,已有2万种以上的传感器产品品种供使用者选择，其涉及领域包括钢铁、能源、交通、机械、通信等，几乎涵盖所有行业，我国也已将传感器技术作为未来重点发展技术之一，因此了解其在机电一体化系统中的应用就显得尤为必要。
1传感器和机电一体化系统传感器指工程上可以直接测量、转换输出量值的器件，一般需要按照一定的规律完成，所转换的量值可以是同种的，也可是别种的，可以将其作用类比为人体感觉器官及其延伸。
而机电一体化指的是将微电子技术引入到机械中，使其主功能、动力功能、信息功能和控制功能等更为先进，是机械装置与电子装置用相关软件的有机融合，其涉及到的技术包括机械制造、信息处理、微电子、自动控制、人工智能等，而传感器技术是基本支撑技术之一，其意义在于检测系统本身及操作对象、作业环境状态，以辅助有效控制系统运作，使其可在众多恶劣环境下完成高效获取信息工作，也就是说机电一体化代表着自动化技术的形成，传感器技术水平高低则决定了自动化程度。
而社会发展的高速性，使得我们需要获取的信息越来越多，也就需要增强信息处理能力，这也就意味着传感器技术具有广阔的发展前景。
《微电网控制研究研究的文献综述2300字》
微电网控制研究研究的国内外文献综述1国内微电网研究现状2008年，全国范围内出现突降的雨雪重灾气候，中国南方停电问题严重影响人们的生产生活。
只有少数小型电力网支撑着重要用户的运行。
这暴露了当时的网络结构在向用户保障电力供应方面的薄弱环节。
2009年，国家科学技术部“973”规划提出，目的就是研究分散型发电网络关系。
第二年，我国国家科学技术部通过了《国家高新技术研究发展计划》，对微网的近10个研究课题进行了审查。
“十二五”规划发展过程中，中国主要建立的微网示范项目，集中在太阳能、风能等清洁自然能源方面，当时建立起的示范城市中有上百座网络项目。
这是中国微网发展重要起点，也是对中国电力发展需求进行分类的重要阶段，但是，由于中国地缘面积广大，很多工业发展问题都对电力系统有着不同要求。
这是分布式能源系统面临的现实问题，因为电力的互联网连接困难，且价格太低，与当前未将环境成本包含于其中的中的电力价格相比没有充分的竞争力等。
中国电力制度的改革发展，伴随着政府职能转变、企事业单位升级而来，能将发电、输电两类不同电网完全独立出来，在发电侧市场制度建立过程中，能通过分布式能源系统发展打造更理想电力系统运行空间。
通过分布式能源系统的建立，结合“西电东送”技术研发项目，由此构建出新型能源尖端发展前沿。
中国微网研究项目在全国范围内纷纷展开，目前已经得到的成果有“中新天津生态城市系统”、“鹿西岛合并型微电网示范工程”等，各类项目设备的筹建还在酝酿中，氢气多功能互补电网系统的发展，为中国微网工程升级创建新的空间。
清华大学、国家电网电力科学研究院、等多所大学、企业建设了许许多多的高层次微网实验平台。
我国工程院战略研究表明，我国“十四·五”期间处于能源领域变革期，这一阶段的能源需求增量将由可再生能源替代煤炭能源，并优化配电网络结构，建设智能配电网实现能源“绿色低碳、安全高效”的最终目标，开发能源“需求合理化、供应多元化、开发绿色化、调配智能化、利用高效化”。
机电专业论文论文综述
装订线毕业设计课题名称机械加工中冲床的应用及探究姓名学号系别机电工程学院专业年级D09机电1班指导教师韩爱华职称教授2012年0月0日装订线目录摘要 (1)第一章冲床的概念及安全生产 (2)1.1冲床的概念 (2)1.2冲床安全生产规程 (2)1.3冲床使用注意事项 (3)第二章冲床的构造及工作原理 (5)2.1冲床的构造 (5)2.1.1简略构造 (5)2.1.2 详细构造 (10)2.2冲床的机械动作（原理） (12)第三章冲床的应用 (13)3.1冲床的用途及特点 (13)3.2冲床生产加工实例 (14)第四章冲床的机械维修及保养.................................. . (16)结论 (21)致谢 (22)参考文献......... (23)装订线摘要本文简要介绍了冲床的概念及安全生产冲床的构造及工作原理冲床的应用以及冲床的机械维修及保养。
本文对冲床的构造及工作原理冲床的应用冲床的机械维修及保养进行了详细的介绍，冲床安全使用描述较少，但实际生产中安全不容忽视是重中之重。
关键词:安全生产，构造，动作，维修保养装订线第一章冲床的概念及安全生产1.1冲床的概念图1-1 冲压式冲床冲床就是一台冲压式压力机。
在国民生产中，冲压工艺由于比较传统机械加工来说有节约材料和能源，效率高，对操作者技术要求不高及通过各种模具应用可以做出机械加工所无法达到的产品这些优点，因而它的用途越来越广泛。
冲压生产主要是针对板材的。
能过模具，能做出落料，冲孔，成型，拉深，修整，精冲，整形，铆接及挤压件等等，广泛应用于各个领域。
如我们用的开关插座，杯子，碗柜，碟子，电脑机箱，甚至导弹飞机……有非常多的配件都可以用冲床通过模具生产出来。
1.2冲床安全生产规程由于冲床具有速度快、压力大的特点，因此采用冲床作冲裁、成型必须遵守一定的安全规程。
1．暴露于压机之外的传动部件，必须安装防护罩，禁止在卸下防护罩的情况下开车或试车。
机电专业文献总结范文
随着科学技术的飞速发展，机电一体化技术在各个领域中的应用日益广泛。
本文对近期机电专业相关文献进行总结，旨在梳理该领域的研究动态和发展趋势。
一、文献背景近年来，随着我国经济社会的快速发展，机电一体化技术得到了广泛关注。
机电一体化技术将机械、电子、计算机、控制等学科有机融合，为制造业、交通运输、能源、环保等领域提供了强大的技术支持。
本文主要针对以下几个方面进行文献总结。
二、文献总结1. 机电一体化控制系统研究文献[1]对机电一体化控制系统进行了综述，介绍了控制系统的发展历程、主要控制方法及其在机电一体化中的应用。
文章指出，随着控制理论的不断完善，机电一体化控制系统正朝着智能化、网络化、集成化方向发展。
2. 机电一体化机器人研究文献[2]对机电一体化机器人的研究现状进行了总结。
文章指出，机电一体化机器人具有广泛应用前景，主要包括工业机器人、服务机器人、医疗机器人等。
研究内容包括机器人结构设计、运动规划、控制策略等方面。
3. 机电一体化在制造业中的应用文献[3]分析了机电一体化技术在制造业中的应用现状。
文章指出，机电一体化技术在提高生产效率、降低成本、提升产品质量等方面发挥着重要作用。
目前，我国制造业正逐步向智能化、绿色化方向发展。
4. 机电一体化在交通运输领域的应用文献[4]总结了机电一体化技术在交通运输领域的应用。
文章指出，机电一体化技术在汽车、船舶、航空等领域发挥着重要作用，如新能源汽车、智能交通系统等。
5. 机电一体化在能源、环保领域的应用文献[5]对机电一体化技术在能源、环保领域的应用进行了综述。
文章指出，机电一体化技术在节能减排、新能源开发等方面具有广阔的应用前景。
三、发展趋势1. 智能化：随着人工智能、大数据等技术的发展，机电一体化技术将更加智能化，实现自适应、自学习、自优化等功能。
2. 网络化：物联网、云计算等技术的应用将使机电一体化设备实现远程监控、数据共享、协同作业等功能。
3. 集成化：机电一体化技术将与其他学科深度融合，形成跨学科、跨领域的综合性技术体系。
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微机电系统工程毕业论文文献综述微机电系统工程（Microelectromechanical Systems, MEMS）是一门融合微电子技术、机械工程和材料科学的跨学科领域，涉及微米到毫米尺度的微型传感器、执行器和其他微系统的设计、制造和应用。
在过去几十年里，MEMS技术得到了广泛发展和应用。
本文以微机电系统工程为主题，通过综述相关文献，从技术发展、应用领域和制造工艺等方面进行探讨。
1. 技术发展
1.1 MEMS的起源与发展
最早的MEMS设备出现在20世纪60年代，当时由于电子器件尺寸不断缩小，人们开始探索制造微小的机械结构。
逐渐发展出一系列MEMS工艺，包括光刻、湿法腐蚀、离子刻蚀等，为MEMS器件的制造提供了基础。
1.2 MEMS传感器与执行器
MEMS传感器是MEMS技术的重要应用之一，广泛应用于惯性导航、气体和液体压力测量、加速度测量等领域。
MEMS执行器通过微机电系统技术实现微米尺度的运动和控制，如微型血液泵、微型变焦镜头等。
2. 应用领域
2.1 生物医学应用
MEMS技术在生物医学领域有着广泛的应用，其中包括微流控分析系统、药物释放系统和生物传感器等。
这些应用使得医学诊断、药物研发和治疗等方面得以取得重大突破。
2.2 通信与信息技术
MEMS技术在通信和信息技术领域的应用主要体现在光学MEMS 器件和微型谐振器等方面。
光学MEMS器件可用于光纤通信系统的调制和光谱分析，微型谐振器可用于无线通信中的滤波和频率稳定。
2.3 汽车与航空航天
MEMS传感器在汽车和航空航天领域发挥重要作用。
汽车中的MEMS传感器可以实现对车辆行为（如加速度、转向等）进行检测和控制。
在航空航天领域，MEMS技术可以用于姿态、压力和温度传感器等。
3. 制造工艺
3.1 光刻技术
光刻技术是MEMS器件制造的基础工艺之一。
通过使用光刻胶和遮罩板，可以在硅片上制造出微米级的结构和图案。
3.2 干法腐蚀技术
干法腐蚀技术是一种常用的微米级硅腐蚀方法。
通过使用化学气相沉积和蚀刻等方法，可以实现对硅片表面的精确加工和腐蚀。
3.3 离子刻蚀技术
离子刻蚀技术是一种常用的微米级刻蚀方法，通过将离子束定向轰
击物体表面，达到刻蚀或改变表面特性的目的。
综上所述，微机电系统工程作为一门跨学科的领域，通过技术发展、应用领域和制造工艺的研究，不断推动了微型传感器、执行器和微系
统的发展和应用。
未来，随着技术的不断进步，MEMS技术在更多领
域将发挥重要作用，并为社会带来更多的创新和发展。