工艺真空系统培训介绍PV系统工艺流程及设备
聚苯乙烯的重点设备、危险因素及防范措施
聚苯乙烯的重点设备、危险因素及防范措施一、重点部位及设备(一)重点部位1．反应系统由于聚合物在此系统中发生剧烈反应，因此控制该系统操作平稳非常重要，假设反应失控会造成暴聚，影响产品质量，甚至会造成装置停车。
2．脱挥发及真空系统该系统主要靠瞬间加热闪蒸使未反应单体从聚合物中分开出来，假设温度太低或真空度太低则闪蒸效果不好，易产生稀料。
进而影响产品质量，甚至造成停车及火灾事故。
3．挤出和造粒系统高温熔融状态聚合物从该系统挤出，不易操作。
挥发性物质从模头排出，易造成火灾爆炸事故。
(二)重点设备1．反应器是发生聚合反应的地方，制造非常精密，内部有搅拌，搅拌桨叶假设变形则造成局部温度失控，设备损坏。
2．切粒机切粒机基本由轴承和能转动的拉辊组成，假设传动部分故障，会造成聚合物无法正常挤出成型，装置被迫降负荷或满釜停车。
最终反应器出口进聚合物加热器之间的管线上安装了一个压力调节阀，通过该调节阀对反应系统压力的调节，使整个反应系统实现平稳，反应温度、物料流速都能得到优良的控制。
假设该调节阀失灵，则整个系统的反应就会失控，造成停车事故，甚至导致火灾、爆炸事故的发生。
三、危险因素及其防范措施(一)装置生产过程中的特点及不安全因素生产聚苯乙烯的原料多为易燃、易爆、有毒化学晶，由其工艺生产路线和原料特性决定了以下一些特点及不安全因素：1．在一定温度下苯乙烯单体能自聚、甚至爆聚，从而可能导致整个生产系统出现失控现象，其后果轻者出次品，重者整个系统停车，甚至更严重。
2．多数原料易燃、易爆、有毒，因此它们的泄漏(或蒸气放出)都可能对人、环境产生不良影响，同时引起火灾和爆炸。
3．物料输送过程中可能产生静电，如处理不好，可能会产生爆炸或火灾。
；4．装置传动设备较多，一旦主要传动设备故障处理不好，可能会造成系统停车或更严重后果。
(二)安全措施装置在安全生产方面主要采用了以下手段：1．选择高精度的集散控制型DCS系统，对整个生产系统执行计算机监控、并能迅速准确的对工艺参数进行检索、跟踪处理及应急反应，以保证安全生产。
PVD各设备跑片流程-
PVD Mo线跑片流程-20170602为规范PVD Mo线设备的跑片操作，特制作此流程，请严格遵循。
1.Mo线设备结构如下：2.操作流程如下：（1）跑片前，检查Mo和Si工艺腔室及进出片室底压，底压要求≤1E-3Pa；打开Si靶旋转和增压泵，打开Mo靶旋转；开启自动运行模式。
（2）基片架上料，进入进片室；抽真空，当分子泵开启时开始计时，抽20min；计时结束后，要求底压必须≤3E-3Pa；如底压不能达到要求，则片子不能进入下一个腔室。
（3）Si腔室无片时抽底压至≤3E-3Pa，在进片室分子泵抽气时间和底压满足要求后，打开Si腔室和进片室的插板阀，片子进入Si腔室；关闭插板阀，继续抽真空至底压≤3E-3Pa。
达到底压后，布气5min，开启靶材溅射，设置工艺次数，进行工艺。
（4）待Si腔室工艺完成后，关闭靶材溅射，关闭布气，抽真空至底压≤3E-3Pa。
（5）Mo腔室在无片时抽底压至≤1.5E-3Pa，打开Si腔室和Mo腔室之间的插板阀，片子进入Mo腔室；关闭插板阀，Mo腔室抽底压至≤1.5E-3Pa后，布气5min，开启靶材溅射，设置工艺次数，进行工艺。
（6）待Mo腔室工艺完成后，关闭靶材溅射，关闭布气，抽真空至底压≤1.5E-3Pa。
待出片室开启分子泵抽气20min且底压≤3E-3Pa时，开启Mo腔室与出片室之间的插板阀，将片子自动传入出片室，关闭插板阀。
随后进行自动出片、回架及再次上料等动作。
（7）注意：如腔室的真空计损坏或示数不准确，应及时处理，保证腔室的真空度显示准确；对于真空规管损坏频繁的进、出片位置，建议更换为更加耐用的压力计。
PVD CIGS线跑片流程-20170602为规范PVD CIGS线设备的跑片操作，特制作此流程，请严格遵循。
1.CIGS线设备结构如下：2.操作流程如下：（1）跑片前，检查CIGS工艺腔室和进出片室底压，底压要求≤1E-3Pa；打开CIGS靶平移；布工艺气体；烧靶；开启自动运行模式。
PV系统培训资料
PV系统架构
FAB 1F PV真空泵区
PV系统架构
PV 真空泵
PV系统架构
PV 控制电盘
PV系统架构
FAB 2F PV主管及Submain图
PV真空泵的性能参数及所需动力源
• PV真空泵性能参数： - 抽气量：9000L/min/台 - Hookup take-off点设计真空度：–700 mmHg • 真空泵运行所需主要动力源包括PCW（工艺冷却水）和排气（酸排气），其中 对于PCW的供应有严格要求： - 送水压力: 2-4 bar - 送水流量: 大于12 L/min/台
3. 酸排气系统出现异常时（如末端负压下降等），也会引起真空泵的热继电器 保护跳机。
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PV系统培训资料
2011年11月
PV系统架构
• PV系统也称工艺真空或制程真空系统，是为FAB里生产机台提供用于吸附硅片 的动力源。 PV的制程发生装置位于FAB 1F东侧F5-F7/11-12之间（靠近5#楼梯），包括有 以下主要设备： 真空泵 13台 缓冲罐 2个 电控盘 1组 PV真空集管等 PV系统以目前10K产能，日常情况下运行3台真空泵，其余为后续产能扩充做 预留
• •
PV系统架构
PV 系统工作流程：
→ → → → → → FAB内生产机台 / 实验室机台等的PV工艺接口 Hookup管道 FAB 2F各PV Submain FAB 2F东西两侧PV主管（西侧200A，东侧150A） FAB 1F PV集管 FAB 1F PV真空泵
注：另外有一路主管专供3F CMP区域使用以及另一路共供1F实验室和3F南支持区 使用
PV真空泵的性能参数及所需动力源
排气
PCW
PVD设备及工艺简介
溅射源
靶
溅射源 一、一般术语: 1. 靶材: 在真空溅射中用来溅射的镀膜材料. 2. 靶: 用粒子轰击的面,标准中靶的含义就是: 溅射装置中由溅射材料所组成的电极. 二、磁控溅射通常使用的靶材分类 1、矩形平面靶； 2、圆柱靶.
抽空系统 2. 技术要求: 2.1 品种规格及性能: （见右表） . 热偶计测量的是各种蒸汽 和永久气体的总压力,而麦化 计只能测出永久气体占的分 压力. . 几何抽速是根据几何尺寸 算出的抽速在大气压力时,实 际抽速与几何抽速基本相符 合,在各种不同的压力时,抽 速有一定下降. . 温升是指泵温稳定后,在 排气阀门处的油的温度与室 温之差.
抽空系统
图三 2X系列真空泵原理图
抽空系统 二.ZJP-300罗茨泵
1. 概述: 1.1 应用: 罗茨真空泵也称机械增压泵,它是快速抽除密封容器中气体的一种较为理想的真空获 得设备.它不能直接从大气压下抽气,须与各类前级泵(如旋片泵、液环泵、滑阀泵等) 配套组成真空系统.广泛应用于冶金、化工、电子、轻纺等领域。
抽空系统
1. 皮带轮 6. 进气嘴 11. 低转子 16. 手柄 21. 挡板
2. 键 7. 密封圈 12. 弹簧 17. 放油塞 22. 视镜
3. 前端板 8. 排气罩 13. 低转片 18. 纸垫 23. 镜框
4. 高转子 9. 过滤网 14. 后端板 19. 阀座 24定位销钉
5. 高转片 10. 泵体 15. 密封圈 20. 阀片
抽空系统
1. 进气嘴 6. 高转片 11. 弹簧 16. 泵体 21. 键 27. 掺气阀 表示真空气格.
PV工艺流程及设备
PV工艺流程及设备PV（Photovoltaic，光电）工艺流程是指将光能转化为电能的制造过程，它涉及到各种工艺步骤和设备。
下面将介绍PV工艺流程及设备。
1.多晶硅生产：PV工艺的第一步是生产多晶硅。
多晶硅是PV电池的主要材料，它通过将矿石（如石英）加热至高温（约1500℃）熔化，然后以适当的方式冷却来制得。
多晶硅生产设备主要包括电炉、电渣炉和冷却设备。
2.多晶硅切割：多晶硅产生后，需要通过切割成合适尺寸的硅片。
多晶硅切割设备主要有线切割机、钻孔机和砂轮切割机等。
3.硅片清洗：切割后的硅片需要进行清洗以去除表面的污染物。
硅片清洗设备主要有超声波清洗机和离子净化设备。
4.硅片扩散：在硅片上形成p-n结是实现光电转换的关键步骤。
硅片扩散设备主要有扩散炉和氧化炉。
5. 沉积抗反射膜：在硅片上沉积抗反射膜可以提高光吸收效率。
沉积抗反射膜设备主要有PECVD（Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积）设备和热氧化炉。
6.电极制备：在硅片上制备电极是传导电流的关键。
电极制备设备主要有喷雾烧结设备和蒸镀设备。
7.封装：封装是保护和连接硅片的重要步骤。
封装设备主要有打线机、焊锡炉和丝印机等。
8.组件检测：组件检测用于检查组件的质量和性能。
组件检测设备主要有太阳模拟器、光伏测试台和电池测试台等。
9.组件组装：组件组装将多个光电池片连接并安装在支架上。
组件组装设备主要有排列机、焊接机和校正机等。
以上就是PV工艺流程及设备的大致介绍，总结涉及到多晶硅的制备、切割和清洗，硅片的扩散、沉积抗反射膜和电极制备，以及组件的封装、检测和组装等关键步骤。
这些工艺流程和设备共同完成了将光能转化为电能的整个过程。
VIP-真空导入成型工艺介绍
真空导入工艺的应用介绍摘要：真空导入是最近兴起的复合材料加工方法，本文介绍了真空导入工艺的原理，并与其他工艺在力学性能上做了对比，阐述由真空导入工艺所制作的产品的优势，同时对生产工艺过程作了扼要的介绍。
真空导入树脂玻璃钢玻璃纤维在目前的材料中，复合材料因其质轻高强而被广泛应用。
针对复合材料的制造工艺也在不断的提高和创新。
由起初的手糊，发展到机械化的喷射，拉挤，模压等工艺，到现在兴起的真空导入工艺，与真空导入相关的工艺还有树脂传递模塑（RTM)，真空辅助RTM(VARTM)，真空袋压， SCRIMP,SRIM(Structural Reaction Molding),RTI(resin filminfusion)。
但都有一些差别，很多文章中都介绍过，这里就不赘述了。
1. 真空导入工艺（Vacuum infusion process,VIP)真空导入工艺，简称VIP，在模具上铺增强材料（玻璃纤维，碳纤维，夹心材料等，有别于真空袋工艺），然后铺真空袋，并抽出体系中的空气，在模具型腔中形成一个负压，利用真空产生的压力把不饱和树脂通过预铺的管路压入纤维层中，让树脂浸润增强材料最后充满整个模具，制品固化后，揭去真空袋材料，从模具上得到所需的制品。
VIP采用单面模具（就象通常的手糊和喷射模具）建立一个闭合系统。
真空导入工艺公诸于世很久了，这个工艺在1950 年出现了专利记录。
然而，直到近几年才得到了发展。
由于这种工艺是从国外引入，所以在命名上有多种称呼，真空导入，真空灌注，真空注射等。
2．理论真空导入工艺能被广泛的应用，有其理论基础的，这就是达西定律：Darcy’s Law）t =? 2h/(2 kDP )，t 是导入时间，由四个参数来决定；h-树脂粘度。
从公式上可以看出所用树脂的粘度越低，则所需导入时间就越短，因此真空导入所用的树脂粘度一般不能太高。
这样可以使树脂能够快速的充满整个模具。
?-注射长度，指的树脂进料口与到达出料口的之间的距离，距离长当然所需的时间亦长。
真空设备使用操作规程(3篇)
第1篇一、概述真空设备是一种能够将设备内部气体抽出，使内部压力降低至一定范围的设备。
广泛应用于化工、食品、医药、电子等行业。
为确保真空设备的安全、有效运行，特制定本操作规程。
二、操作前的准备1. 检查设备外观：确保设备无损坏、变形，连接部件紧固可靠。
2. 检查电源：确认电源电压符合设备要求，接地良好。
3. 检查真空泵：确保真空泵油位正常，油质清洁，启动真空泵进行试运转，观察泵的运行情况。
4. 检查管道、阀门：确保管道无泄漏，阀门开关灵活，密封良好。
5. 检查真空表：确保真空表指针指向正常，量程符合要求。
三、启动真空设备1. 打开真空泵电源，启动真空泵，观察泵的运行情况，确保真空泵正常工作。
2. 打开被抽真空设备的进气阀门，逐渐关闭排气阀门，使设备内部气体排出。
3. 观察真空表，当真空度达到预定要求时，关闭进气阀门。
4. 关闭真空泵电源，关闭被抽真空设备的进气阀门。
四、操作中的注意事项1. 操作过程中，密切关注真空泵的运行情况，如发现异常，立即停机检查。
2. 避免长时间在高真空度下运行，以免设备内部发生冷凝、腐蚀等现象。
3. 操作过程中，严禁触摸高温部件，防止烫伤。
4. 定期检查真空泵油位，保持油质清洁，定期更换油品。
5. 定期检查管道、阀门，确保其密封良好，无泄漏现象。
五、操作结束后的处理1. 关闭真空泵电源，关闭被抽真空设备的进气阀门。
2. 打开排气阀门，使设备内部气体排出，降低内部压力。
3. 关闭排气阀门，关闭被抽真空设备的进气阀门。
4. 检查设备内外部，确保无损坏、泄漏等现象。
5. 对设备进行清洁、保养，为下次使用做好准备。
六、安全注意事项1. 操作人员必须熟悉真空设备的基本原理、操作规程和安全知识。
2. 操作过程中，严格遵守操作规程，确保人身和设备安全。
3. 操作人员应佩戴适当的防护用品，如手套、眼镜等。
4. 禁止在设备运行过程中进行维修、保养等操作。
5. 禁止无关人员进入操作区域。
本规程适用于真空设备的使用操作，操作人员应严格按照规程执行，确保设备安全、有效运行。
PV工艺流程及设备
三、PV系统的布置与供应情况
4B-1F PV
Go 2F-SL区域
系
供应2F：CELL
供应2F：CF
统 布
区域工艺及搬 运设备Leabharlann 区域工艺及 搬运设备置
图
Form PV1站房
Form PV2站房
三、PV系统的布置与供应情况
4B-2F PV
Form 1F-CELL区域
系
统
布
置
供应2F：SL区域工
图
艺及搬运设备
真空泵基本参数 台数
供应区域
PV1 1F:1/14-15,S-U轴
3台 2F:1-25,K-U轴区域工艺设备
PV2
1F:4-1/4,A-C轴
油润滑变频螺杆 真空泵
3台+1个 空位
2F:1-25,A-K轴区域工艺设备
PV3 3F:13-1/13,S-U轴 名义抽速：730m³/h 3台 4F:1-25,K-U轴区域工艺设备
GHS730 VSD+w
序号
项目
单位
额定技术参数
1 极限真空
mbar（a） 0.35
2 抽速
M³/h
74~730
3 流量调节范围
%
10.13~100%
4 噪音
dB（A） 51~73
5 排气出口温度
℃
环境温度+60
冷却类型
/
水冷
6 冷却水量 温升
t/h
0.6
℃
10
进水压力
MPa
0.25~0.5
四、PV系统工艺设备介绍
清扫真空（House Vacuum）系统
• 该系统属于负压型的集尘系统，真空度仅为低真空，操 作压力（真空度）介于排气系统与工艺真空之间，G8.6 项目无清扫真空系统。
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监控的主要数据：
真空泵运行主要参数： • 1.泵启停状态； • 2.故障报警； • 3.泵运行时间，累积运行20d后，顺序切换备用泵； • 4.泵运行温度，泵运行温度达到100℃，发出报警；
系统真空度： • 1.真空储罐和系统管路最远端的压力参数； • 2.当压力大于-80KPa时，增加泵运行频率或增加泵运行台数； • 3.当压力小于-90KPa时，减小泵运行频率或减少泵运行台数。
为什么变频调速真空泵更高效？ 变频螺杆真空泵采用先进的变频直驱技术，通过入口压力传感器反馈，控 制器对压力波动趋势以及其他运行状态参数作出分析，给变频器调速指令，快 速响应精确地保持入口真空压力，是真空泵的抽速和能耗贴合用户实际需求。
横坐标为时间，蓝色区域为需求，红线为工频泵的运行曲线，黄线为变频泵的运行曲线， 黑色区域为浪费的能耗，可见变频泵节约了绝大部分因为需求波动所带来的能耗浪费。
满足洁净厂房生产设备
-600mmHg以上真空度的 需求，以稳定固定基板。
满足 抽速
设备机台快速搬运玻 璃基板的过程中，真 空度在不断迅速恢复。
稳定的抽速，保证设备快 速固定和移动基板，促进 自动化程度，提高效率。
二、PV系统的基本工艺流程
2.1 系统基本流程
MCHWS(13℃) MCHWR(19℃)
机型型号：
GHS730 VSD+w
序号
项目
单位
额定技术参数
1 极限真空
mbar（a） 0.35
2 抽速
M³/h
74~730
3 流量调节范围
%
10.13~100%
4 噪音
dB（A） 51~73
5 排气出口温度
℃
环境温度+60
冷却类型
/
水冷
6 冷却水量 温升
M³/h
0.6
℃
10
进水压力
MPa
0.25~0.5
四、PV系统工艺设备介绍
2.由于无油作为冷却介质，额外的水冷不能彻底冷却机头，只能冷却机 头外围部件，导致机头可能需要频繁大修，给客户造成高昂的后期维修成本。 同时，无油螺杆真空泵设计主要针对10mbar以下具有复杂气体组分的应用, 使 用无油螺杆真空泵,可能”过度投资”。
四、PV系统工艺设备介绍
目录
一、PV系统的功能 二、PV系统的基本工艺流程 三、PV系统的布置与供应情况 四、PV系统工艺设备介绍
一、PV系统的功能
1.1 使用真空系统分类
工艺真空（Process Vacuum）系统
• 使用的PV系统是为制程机台真空设备或机械手提供低真 空。如以真空为原动力，利用机械手臂的真空吸盘吸附 面板等制品进行搬运、翻转等动作，从而实现自动化生 产。
二、PV系统的基本工艺流程
2.4 系统运行方式 系统运行的所有机组全变频的运行方式：全变频无缝衔接
贴紧使用需求。
二、PV系统的基本工艺流程
2.5 自控系统功能 PV系统可实现设备频率根据期望值自行调整、运行台数依负 压范围加减载以宏观调控、设备随运行时间自切换以维保、 设备故障报警自切换以保护等功能。同时，PV系统实现FMCS 进行远程监控。
四、PV系统工艺设备介绍
油润滑变频螺杆真空泵的主要组成结构：
冷却器 进气控制阀
MkV 控制器 电控柜
循环油过滤
进气过滤 排气
油气分离器 机头
油
润
滑
变
频
螺
杆
真
空
泵
的
工
作
进气 油气混合物
进气口
原
油 排气
理
进气过滤器
进气控制阀
油气分离器
机头
油过滤器
油冷却器
循环油泵
四、PV系统工艺设备介绍
油润滑变频螺杆真空泵主要技术参数
6.环网方案，且环网间用旁通相连接，使用点真空度更稳定。
四、PV系统工艺设备介绍
4.1 真空泵
油 润 滑 变 频 螺 杆 真 空 泵
四、PV系统工艺设备介绍
为什么选用油润滑变频螺杆真空泵？
• 可靠 • 高效 • 节能
四、PV系统工艺设备介绍
为什么选择油润滑变频调速真空泵更可靠？
1.工频螺杆真空泵无法贴合不断变化的实际真空需求，在遇到真空需求变 化时，工频泵需要通过开停的方式来适应需求。如下图所示，在开停过程中有 大量的能耗浪费以及形成整个管路系统的压力波动。而变频调速可使系统平稳 可靠运行，不会产生较大的压力波动。
同层供应的两个PV子系统用带自控阀的旁通管相连。当一个子 系统出现动力故障时，可打开连通阀组将另一个环网合并起来， 实现子系统间相互驰援，提高系统稳定性。
冷却方式为水冷，冷却水采用15/22℃的中温冷冻水。相对于风 冷效果更好，有利于系统的稳定性，提高真空泵的使用寿命。
系统的排气统一接入厂房的一般排气系统，由屋顶排出。避免 在站房附近排放导致环境温度升高。
四、PV系统工艺设备介绍
油润滑变频螺杆真空泵主要技术参数
机型型号：
GHS730 VSD+w
序号
项目
单位
额定技术参数
7 马达名义轴功率 KW
118Biblioteka 电压V/HZ380/50
9 马达启动方式
/
VSD start
10 电机转速
Rpm
600~6000
11 重量
KG
510
清扫真空（House Vacuum）系统
• 该系统属于负压型的集尘系统，真空度仅为低真空，操 作压力（真空度）介于排气系统与工艺真空之间
一、PV系统的功能
1.2 PV系统功能
PV 系统
生产 维持
保证产线 运行稳定
满足真 空度
满足制 造工艺
提高生 产效率
稳定而符合要求的真空 供应，可保证设备持续 自动化运行，以促进生 产的稳定性。
排气(VT)
真空泵
真空罐
接环网B
二、PV系统的基本工艺流程
2.2 系统动力需求
电力需求
CDA气源
系统动力需求
中温冷冻水
一般排气
二、PV系统的基本工艺流程
2.3 系统方案
PV系统通过并联的真空泵不断抽取系统环网中的空气，以使管 道环网可以为设备机台提供需求的真空，同时利用真空稳压罐 来缓冲负压波动。
冷却水主要参数：
• 1.冷却水的供回温差，当供回水温差大于15℃，发出报警信号； • 2.冷却水的供回温度，当回水温度大于30℃，发出报警信号； • 3.冷却水的流量，当流量低于2m³/h时发出报警信号。
二、PV系统的基本工艺流程
2.6 系统的优势
1.根据期望负压自动启停泵或升降频率以维持供应稳定； 2.远程监视关键供应品质和设备健康状况，便于及时调整； 3.设备至泵温上限或其他故障，自动切换完好备用泵； 4.根据设备台时自动切换运行，平衡设备使用寿命； 5.真空泵使用U电驱动，不受短时间内突然停电的影响；