利用激光进行玻璃切割的研究
《飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术研究》
《飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术研究》一、引言随着微纳制造技术的飞速发展，飞秒激光刻蚀技术在石英玻璃微加工领域的应用日益广泛。
该技术以其高精度、高效率、低损伤等优点，在光学、光电子学、微机械等领域展现出了巨大的应用潜力。
本文将就飞秒激光刻蚀石英玻璃微加工技术的研究现状、原理、实验方法、结果以及展望等方面进行详细介绍。
二、飞秒激光刻蚀技术原理飞秒激光刻蚀技术是一种利用飞秒激光器产生的高能量、高精度的激光脉冲对材料进行微纳加工的技术。
其原理是利用激光的超高能量和超快脉冲宽度，使石英玻璃材料在极短时间内发生非线性吸收、多光子电离等物理过程，从而达到局部快速熔化、汽化、烧蚀的效果，实现材料的高精度微加工。
三、石英玻璃微加工技术研究现状石英玻璃作为一种重要的光学材料，具有优良的物理化学性能和光学性能，广泛应用于光学仪器、光电子器件、传感器等领域。
然而，石英玻璃硬度高、脆性大，传统的机械加工方法难以实现高精度、低损伤的加工。
因此，飞秒激光刻蚀技术在石英玻璃微加工领域的应用成为了研究热点。
目前，国内外学者在飞秒激光刻蚀石英玻璃的加工工艺、加工质量、加工效率等方面进行了大量研究，取得了一系列重要成果。
四、实验方法与步骤1. 实验材料与设备：选用高纯度石英玻璃作为实验材料，采用飞秒激光器作为加工设备。
2. 实验设计：根据实际需求，设计合理的激光参数（如激光脉冲能量、频率、扫描速度等）和加工路径。
3. 实验步骤：将设计好的加工路径导入飞秒激光器控制系统，启动激光器进行加工。
通过观察和记录实验过程中的现象和数据，分析飞秒激光刻蚀石英玻璃的加工特性。
五、实验结果与分析1. 加工质量：飞秒激光刻蚀石英玻璃具有高精度、低损伤的特点，可实现微米级别的加工精度。
通过优化激光参数和加工路径，可以提高加工质量，降低表面粗糙度。
2. 加工效率：飞秒激光刻蚀技术具有高效率的优点，可以在短时间内完成复杂的微纳加工任务。
然而，过高的激光能量可能导致加工速度降低，需根据实际需求合理调整激光参数。
玻璃激光切割的应用和领域
玻璃激光切割的应用和领域以玻璃激光切割的应用和领域为题，我们将探讨玻璃激光切割技术的相关应用和领域。
玻璃激光切割是一种高精度的加工技术，可以在玻璃表面产生高能量的激光束，通过激光束的照射和热量的作用，将玻璃材料切割成所需的形状和尺寸。
玻璃激光切割技术具有高精度、高效率、无接触、无污染等优点，因此在许多领域有着广泛的应用。
玻璃激光切割在建筑和室内装饰领域有着重要的应用。
玻璃作为一种常见的建筑材料，常常需要被切割成各种形状的窗户、玻璃门、隔断等。
激光切割技术可以实现对玻璃的高精度切割，使得窗户和门的尺寸更加准确，整体装饰效果更加美观。
玻璃激光切割在汽车行业也有重要的应用。
汽车前挡风玻璃和侧窗玻璃常常需要被切割成复杂的弧形或曲线形状，以适应车身外观设计。
激光切割技术可以实现对玻璃的高精度切割，使得汽车玻璃的形状更加符合设计要求，提高了汽车整体的外观质量。
玻璃激光切割在电子产品制造领域也有着广泛的应用。
例如，智能手机的触摸屏和显示屏常常需要使用玻璃作为基底材料，而这些玻璃材料需要被切割成适当的尺寸和形状。
激光切割技术可以实现对玻璃的高精度切割，使得手机的屏幕尺寸更加准确，提高了手机的显示效果和用户体验。
除了以上应用领域，玻璃激光切割还可以在玻璃工艺品制造、光学器件加工、玻璃器皿制造等领域发挥重要作用。
例如，玻璃工艺品常常需要被切割成各种复杂的形状和花纹，以达到艺术效果。
激光切割技术可以实现对玻璃的高精度切割，使得工艺品的形状更加精细，提高了工艺品的观赏价值。
玻璃激光切割技术在建筑、汽车、电子产品制造以及玻璃工艺品制造等领域都有着广泛的应用。
其高精度、高效率的特点使得它成为一种重要的玻璃加工技术。
随着科技的不断发展和创新，相信玻璃激光切割技术将在更多领域发挥出更大的作用。
激光切割玻璃的原理
激光切割玻璃的原理激光切割玻璃是一种常见的切割工艺，它利用激光束对玻璃材料进行加工。
这种切割方式因其高精度、高效率和无接触性而被广泛应用于工业生产和科学研究领域。
那么，激光切割玻璃的原理是什么呢？激光切割玻璃的原理基于激光与玻璃材料之间的相互作用。
激光是由高能量光子组成的，它具有高度聚焦和高能量密度的特点。
当激光束照射到玻璃表面时，光子与玻璃原子发生相互作用。
在激光照射下，玻璃表面的原子和分子开始受到激发。
激光束的能量被吸收并转化为热能，使得玻璃局部区域的温度急剧升高。
当温度达到一定程度时，玻璃发生热膨胀，内部应力超过了材料的强度极限，导致玻璃断裂形成切割线。
激光切割玻璃的过程可以分为几个关键步骤。
首先，激光束通过透镜进行聚焦，使得光斑尺寸变小，能量密度增加。
其次，高能量激光束照射到玻璃表面，吸收并转化为热能。
然后，局部区域的温度迅速升高，玻璃发生热膨胀。
最后，超过玻璃强度极限的应力导致玻璃断裂，形成切割线。
激光切割玻璃的原理还受到玻璃材料的特性和激光参数的影响。
首先，不同类型的玻璃对激光的吸收能力不同。
例如，普通玻璃对CO2激光的吸收能力较弱，而对红外激光的吸收能力较强。
其次，激光的能量密度和作用时间也会影响切割效果。
适当调整激光的功率、脉冲频率和扫描速度，可以实现不同厚度和形状的玻璃的切割。
激光切割玻璃的原理使得可以实现高精度和复杂形状的切割。
与传统的机械切割方式相比，激光切割具有很多优势。
首先，激光切割无需接触玻璃表面，避免了机械切割可能引起的损伤和污染。
其次，激光切割的热影响区域较小，减少了因热变形而导致的切割误差。
此外，激光切割还可以实现非常细小的切割线宽度，满足对高精度加工的需求。
激光切割玻璃是一种基于激光与玻璃材料相互作用的切割工艺。
通过激光束的高能量聚焦和热能转化，可以使玻璃局部区域温度升高并发生热膨胀，最终导致玻璃断裂形成切割线。
激光切割玻璃具有高精度、高效率和无接触性的优势，被广泛应用于工业生产和科学研究领域。
玻璃的激光切割技术
用下完成的。拉边轮的轮缘有一周小齿， 随着拉边
机的转动， 通过这些小齿对玻璃液的咬合， 使得玻
璃液被不断向前推进 ， 同时也在玻璃左右端面上各
自形成了一排啮合的咬痕。为了除去咬痕， 玻璃经
过退火窑冷端时， 需要进行纵向切割， 然后直到掰
边的阶段才能真正的除去这些不平整的边缘。掰边
是通过掰边轮以撞击的方式进行的。对于厚度较大
备应用于实际生产， 如为德国 “ｐｅｒｆｅｃｔａ－ ｆｅｎｓｔｅｒ”公
司研制的切割高硼硅玻管的激光设备。应用传统工
艺切割高硼硅玻管难度很大， 而激光切割技术则具
有很高的效益。Ｇｒｅｎｚｅｂａｃｈ 公司研制的激光切割设
８
光机电信息
Ｍａｒ ． ２００８
图 ６ 利用 Ｇｒｅｎｚｅｂａｃｈ 公司研制的激光切割设备进行玻管 切割
可用于激光切割， 但其切割原理不同于 ＣＯ２ 激光器。 从图 １ 中可以看出， 厚度为 ３．８８ ｍｍ 的超白玻璃对
于波长约为 １ μｍ 的激光透过率约为 ８０％ ， 吸收不
足 ２０％ ； 而绿玻璃的吸收率要高得多， 约有 ８０％。
玻 璃 对 波 长 约 为 １ μｍ 的 激 光 的 吸 收 属 于 体 吸 收 。
现在用于玻璃激光切割的激光器大多采用封离 型 ＣＯ２ 激光器， 输出功率在 １００～５００ Ｗ 之间。这个 功率区间的 ＣＯ２ 激光器技术已经非常成熟， 可以选 择的产品很多。例如， Ｃｏｈｅｒｅｎｔ 公司的 Ｋ－ １５０ 型激 光器， 外型尺寸只有 ９９ ｍｍ×２０ ｍｍ×１６．５ ｍｍ， 重量 只有 ９４ ｋｇ， 使用寿命超过 １０ ０００ ｈ， 集成简单， 操 作方便， 使用起来就象高功率灯泡一样简单。板条 放电的封离型 ＣＯ２ 激光器有 ２ 个适于此应用的重要 特点。首先， 这种激光器光束质量好， 聚焦特性高， 可以被聚焦到很小的点， 从而显著地提高加工效率 和切割质量； 更重要的是， 板条放电技术 ＣＯ２ 激光 器的输出绝对灵活可控， 输出的脉冲能量、脉宽以 及重复频率等都可被实时控制， 而不影响光束的聚 焦。这个优点对于实际的玻璃切割来说非常重要， 它意味着激光加工的参数可以根据不同种类、不同 厚度的玻璃的温度特性进行实时优化。
CO2激光用于切割玻璃
CO2激光用于切割玻璃简介现代高新技术的发展影响着玻璃加工工业的加工过程和最终产品的应用。
传统的玻璃和玻璃制品的切割方式是使用金刚石砂轮和高硬度金属轮的机械加工方法。
在这篇文章中，介绍一种使用激光器进行加工的新方法。
激光加工使用范围广，加工质量优秀，加工边缘强度高，并可在一步内完成全部的加工任务。
背景传统的机械切割法的最大的缺点是需要对加工后的边缘进行再处理，及其所带来的产量低下问题。
在机械切割中，用砂轮或机械轮在玻璃上进行刻划，产生沿着切割方向的切向张力，从而使玻璃沿着划痕裂开。
这种方法所切割的边缘不平滑、有微小裂痕，材料上残存不对称边缘应力，及残留碎屑等。
对于很多应用，碎屑和局部应力所造成的微小裂痕将造成器件的失灵，所以必须进行切后边缘打磨并且/或者抛光，甚至进行热处理，以强化边缘。
另外，机械轮加工中还需要辅助剂辅助切割，辅助剂也有可能粘在成品边缘，需要过水清洗或超声波清洗等后续处理。
后续处理工序以及低成品率（发生不确定的裂痕）等都将增加成品玻璃制品的造价。
激光应用于切割和焊接薄金属板已有30年了，通过聚焦光束局部地加热材料。
这种方法灵活性好，经济效益高，在很多工业应用领域大放异彩。
其实玻璃有比金属更低的热传导，所以激光应该可以顺理成章地应用于玻璃的切割。
事实上，一些公司早在70年代即开始发展成套系统，当时使用的是千瓦输出功率水平的CO2 激光器。
但是，因为功率水平高，对玻璃造成不容忽视的热影响，以致融化局部材料，所以当时的激光切割技术难以保证整齐、平滑的切割边缘，在许多应用场合中，仍然需要打磨切割边缘。
同时，当时CO2 激光器的价格非常昂贵，令人生畏。
激光引致分离近来，一些工程人员和学者发现了应用较低功率的激光器使玻璃分离，同时不对玻璃造成融化等热影响的玻璃切割方法。
这种方法说来复杂，涉及细节技术很多，其基本原理是利用激光引致的应力使玻璃"分离"。
期间，得益于封离型CO2激光器技术的发展和成熟，激光切割玻璃技术更显得经济、实用。
激光切割玻璃技术研究
激光切割玻璃技术研究本文介绍了三种激光切割玻璃技术，并对在技术实践中对这三种技术具体如何使用并技术演化进行了梳理，并对两种技术的主要应用进行了介绍。
标签：玻璃；脆性材料；激光；切割随着近年移动显示设备的飞速发展，越来越多的超薄玻璃被更广泛的使用，对高强度超薄液晶保护玻璃进行高效率低成本高质量的切割加工是急需解决的一个问题。
传统的机械切割法是使用机械切割刀轮、金刚石及球形铣刀等对材料施加压力，使刀轮或铣刀旋转并沿着切割方向运动，进而达到切割的目的。
在使用传统的机械切割方法对液晶玻璃进行切割时，切割裂缝往往具有与刀具刀尖尺寸大小接近的裂缝宽度，且切割端面较为粗糙，沿切割路径存在细小的微裂纹，通常在加工后还需要对其切割边缘进行打磨、抛光等二次处理。
使用传统的切割方法切割液晶保护玻璃，其切割的良品率较低，切割边缘存在不同程度的毛刺，需要进行二次打磨，切割效率第且磨损刀头，加工成本较高。
玻璃是脆性材料的一种，脆性材料是在外力作用下（如拉伸、冲击等）仅产生很小的变形即破坏断裂的材料。
在精密仪、电子产品及日常生活中，脆性材料如玻璃、陶瓷、硅片、蓝宝石等有着非常广泛的应用。
采用激光切割玻璃有三种方法，分别是：熔断法切割、隐形切割（简称隐切）、激光成丝法。
熔斷法切割，是利用高能激光束沿着被切割玻璃的表面进行定向扫描，在切割路径上产生局部高温，当该温度达到或超过玻璃的软化点温度，则会在玻璃的表面产生融化的沟槽，当沟槽的深度较大时，对玻璃施加一定方向的外力便可以使其分离。
而利用该方法分割玻璃也存在一定的缺陷，由于局部的温度梯度较高，因此会产生较高的热应力以及残余应力，同时在切割边缘会产生大量的无规则微裂纹，且在其断裂面上残留有一定的熔融残渣，仍然需要对切割边缘进行打磨、清洗等后续加工工序。
其残余应力也使得二次加工良品率降低。
隐形切割，是将高能激光束聚焦到被切割玻璃的内部进行沿既定切割线进行定向扫描，在切割路径上产生局部高温，当该温度达到或超过玻璃的汽化温度，则使玻璃在其内部产生汽化的沟槽，当沟槽的深度足够大时，对玻璃施加一定方向的外力便可以使其分离。
激光切割玻璃工艺
激光切割玻璃工艺激光切割玻璃工艺是一种高精度、高效率的玻璃加工方法，广泛应用于玻璃制造和装饰行业。
它通过将激光束聚焦在玻璃表面，使玻璃受热到临界温度，然后利用高能激光束对玻璃进行切割。
激光切割玻璃工艺具有精度高、速度快、无需接触等优点，因此在玻璃加工领域得到了广泛应用。
激光切割玻璃工艺具有高精度的特点。
激光束的焦点可以调整，使得切割线条更加细致，切割出的玻璃边缘更加光滑。
这对于一些需要精确尺寸的玻璃制品来说非常重要，比如玻璃面板、玻璃器皿等。
激光切割玻璃工艺可以确保产品质量和尺寸的一致性，满足客户的个性化需求。
激光切割玻璃工艺具有高效率的优势。
激光切割速度快，可以快速完成复杂形状的切割任务。
相比传统的机械切割方法，激光切割玻璃工艺不需要进行模具制作，减少了生产周期和成本。
同时，激光切割过程中没有接触物体，不会对玻璃表面造成任何损伤，提高了玻璃的利用率。
激光切割玻璃工艺还具有灵活性强的特点。
激光束的焦点可以根据需要进行调整，可以切割出各种形状的玻璃，如直线、曲线、圆形等。
而且，激光切割玻璃工艺适用于各种类型的玻璃材料，包括普通玻璃、钢化玻璃、夹层玻璃等。
不同种类的玻璃可以使用相同的激光切割设备进行加工，提高了生产的灵活性和效率。
激光切割玻璃工艺还具有环保的特点。
激光切割过程中没有任何化学物质的排放，不会对环境造成污染。
而且，激光切割玻璃工艺可以最大限度地减少玻璃的浪费，提高了资源利用率。
这符合当今社会对于环保和可持续发展的要求。
然而，激光切割玻璃工艺也存在一些挑战和限制。
首先，激光切割玻璃需要较高的设备投入和技术支持。
激光设备价格较高，操作人员需要接受专业培训，才能熟练操作设备。
其次，激光切割玻璃过程中会产生高温，需要进行冷却处理，以防止玻璃破裂。
此外，激光切割玻璃对于玻璃的厚度也有一定要求，过于厚重的玻璃可能无法切割。
总结起来，激光切割玻璃工艺是一种高精度、高效率、灵活性强的玻璃加工方法。
它在玻璃制造和装饰行业中发挥着重要作用。
贝塞尔光束切割玻璃
贝塞尔光束切割玻璃玻璃切割是一项常见的工艺，广泛应用于建筑、家居、汽车等领域。
而近年来，贝塞尔光束切割技术的出现，为玻璃切割带来了全新的解决方案。
贝塞尔光束切割利用高能激光束对玻璃进行精确切割，具有高效、精准、灵活等优势。
贝塞尔光束切割技术是一种基于激光的切割方法，采用激光束对玻璃进行加工。
与传统的机械切割相比，贝塞尔光束切割无需直接接触玻璃表面，避免了切割过程中对玻璃的损伤。
同时，贝塞尔光束切割具有非常高的精度，可以实现对玻璃进行微米级别的切割。
这使得贝塞尔光束切割在玻璃加工领域具有广阔的应用前景。
贝塞尔光束切割的原理是利用激光束的热效应对玻璃进行切割。
激光束在经过透明介质时，会被吸收并转化为热能，从而使得介质受热膨胀。
利用这一原理，贝塞尔光束切割通过控制激光束的能量和位置，使得玻璃在局部区域受热膨胀，从而实现切割的目的。
贝塞尔光束切割具有很高的灵活性，可以实现各种复杂形状的切割。
传统的玻璃切割方法通常需要制作模具，而贝塞尔光束切割可以根据设计要求直接控制激光束的路径，从而实现任意形状的切割。
这为玻璃加工带来了更大的设计空间，可以实现更加个性化的产品。
贝塞尔光束切割的优势不仅在于切割形状的灵活性，还在于切割速度的提高。
由于激光束的高能量密度和局部加热效应，贝塞尔光束切割可以实现对玻璃的快速切割。
与传统的机械切割相比，贝塞尔光束切割不需要进行预热和冷却，省去了时间和能源的浪费，提高了生产效率。
贝塞尔光束切割在玻璃加工领域具有广泛的应用前景。
首先，贝塞尔光束切割可以应用于玻璃制品的生产，如玻璃器皿、玻璃工艺品等。
其次，贝塞尔光束切割还可以应用于建筑领域，用于切割玻璃幕墙、玻璃隔断等。
此外，贝塞尔光束切割还可以应用于汽车制造领域，用于切割汽车玻璃。
可以说，贝塞尔光束切割技术为玻璃加工带来了更多的可能性。
然而，贝塞尔光束切割技术也存在一些挑战和限制。
首先，贝塞尔光束切割对设备和技术的要求较高，需要专业的设备和人员进行操作。
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利用激光进行玻璃切割的研究
一 引言
玻璃作为一种脆性材料，质地均匀、透明度好、表面光滑、耐腐蚀，因此在科学研究与工农业生产中得到了广泛的应用。
尤其是近年来，随着IT产业的迅速发展，液晶显示器和等离子体显示器等高科技电子产品应运而生，对玻璃制品切割质量的要求越来越高。
玻璃的应用已经非常广泛，而切割玻璃又是其中比较关键的技术，由于激光激光束具有高亮度、高方向性、高单色性和高相干性，利用激光来切割玻璃相对传统方法具有无可比拟的优势，因此，激光在玻璃切割中将会扮演非常重要的角色。
二 激光切割玻璃的主要原理
激光切割玻璃的方法从原理上可以分为两种：一种是熔融（蒸发）切割法，另一种是裂纹控制法。
熔融切割法就是利用玻璃处在软化的温度下具有较好的塑性和延展性，用聚焦的 CO激光或者紫外激光照射到软化的玻璃表面，激光具有的较高的能量密度会导致玻璃融化，然后用气流吹走熔融的玻璃，产生沟槽，从而实现玻璃的熔融切割，如图2-1所示。
图 2-1 熔融切割法的切割原理图
裂纹控制法切割玻璃是玻璃工业上的一种常用的激光切割方法，这种方法进行玻璃切割的原理如图2-2。
第一步，对玻璃表面进行激光加热，较高的能量会使该处的温度急剧升高，表面产生较大的压应力，但该压应力不会使玻璃产生破裂; 第二步，对该区域进行急剧的冷却，一般采用冷却气体或者冷却液，急剧的降温会使玻璃表面产生较大的温度梯度和较大的拉应力，这个拉应力会使玻璃表面沿着预定划线的方向开始破裂，实现玻璃的切割。
图 2-2 裂纹控制法的切割原理图
三 激光切割玻璃的国内外发展情况
由于激光激光束具有高亮度、高方向性、高单色性和高相干性，激光在其产生之日起就被各行业给予较大期望，用于切割的激光方面的研究也比较早，激光切割玻璃的工艺经历了熔融法、裂纹控制法的研究发展，经历了单光束到多光束的发展，下面简单介绍一下。
熔融切割法提出比较早，上世纪60年代Hafner采用几个固定的激光束以一定的角度入射到预热玻璃上，熔化玻璃，然后用辅助气流嘴吹走粘在热玻璃上的熔融玻璃从而产生斜切口，但切口比较粗糙。
Chul在他的专利中主张用聚集激光束并把玻璃预热到540-680℃范围内的办法来切割板材玻璃，并详细介绍了熔融玻璃条的切割情况，他发现，用CO激光器切割处于这个温度范围内的玻璃可以避免裂纹的产生，这种方案对功率的要求比较高，若要提高切割速度，应该增大激光器的功率，但是要切厚玻璃，功率就得按厚度的平方增加。
后来Finaueane和Blaek用一台600w的CO激光器和一台MF400CNC激光器切割机对彩色玻璃进行了切割，研究了激光参数对切割质量的影响。
据发现，250W的脉冲激光器可以提供最佳的综合结果，切割速度可达
6mm/s。
在 19 世纪 70 年代，Lumley等人率先提出了应用激光诱导张应力控制裂纹扩展技术分离脆性材料的思想。
他们利用 CO激光作用区由于快速加热和冷却而产生的张应力，成功地用 30W 激光器以 20mm/s 的速度切割了一个厚度为 1mm 的显微幻灯片。
1997 年，Kondrateko等人通过在激光照射后对材料表面喷射冷水加以急速冷却，以达到加快裂纹扩展速度、改善切割质量的目的，进一步改进了切割工艺。
2007 年，台湾的 Yen-Liang Kuo 和 Jehnming Lin使用了一个由CO线形激光和 Nd-YAG 脉冲激光构成的多束激光系统来切割钠钙玻璃板。
先用CO线形激光预热玻璃板然后用 Nd-YAG 脉冲激光加热在玻璃板上产生混合应力状态。
通过分析玻璃板被切割的应力分布并用有限元法
进行热弹性分析得出结果：裂纹区的应力场由复杂的应力状态所导致并且裂缝的状态受脉冲激光的影响很大。
通过使用脉冲激光照射玻璃板在切割方向形成大的剪切应力可以得到好的切割质量。
在国内，也有一些大学和研究机构进行了裂纹控制法切割的研究，2006 年，华中科技大学的许国良、李迎霞等人采用双光束CO激光的玻璃切割技术对平板显示器进行了切割（如图3-1），分析了产生较大热应力的区域，建立了玻璃的激光切割数学模型，并对单、双光束激光的玻璃切割过程进行了热应力数值模拟。
最后得出结论，采用双光束CO激光切割方法使热影响区的温度场更加均匀，温度梯度减小，应力减小，从而可以避免产生不可控裂纹。
图3-1采用双光束CO激光的玻璃切割过程
2009年哈尔滨工业大学的王杨、蔡娜等利用YAG激光进行了控制裂纹法的玻璃切割，YAG 激光切割的玻璃切口平直光滑、无碎屑毛刺、无显微裂纹，质量明显好于机械法和金刚石砂轮切割得到的切口质量，虽然提出了 YAG 激光切割过程中的两种轨迹偏移，得出了产生轨迹偏移的原因并提出了相应的改善方式，但还没有找到消除轨迹偏移的具体措施。
四 激光切割玻璃存在的主要问题
对于熔融法来说，其主要缺陷在于如果不能很好的控制玻璃的温度就会在切口断面形成热裂纹，使材料强度大大降低，表面容易有熔渣残
留，并且由于激光烧蚀作用产生的重凝物会污染基片。
就目前来看，裂纹控制法主要分为基于CO激光的切割和基于YAG激光的切割，二者的激光吸收机制不同，玻璃对CO激光的吸收是表面吸收，波长为10.6 μm 的CO激光易在玻璃表面被全部吸收。
因此，利用CO激光切割玻璃时，裂纹从表面开始扩展,切口质量差，切割玻璃的厚度有限，且不能切割多层玻璃，切割时裂纹不好控制，主要用来切割直线型或曲率半径较大的玻璃材料。
而波长为1064 nm 的YAG 激光可穿透玻璃，玻璃对激光能量的吸收是体吸收形式，玻璃的开裂是均匀通透的，基于体吸收的YAG激光切割玻璃方法不仅可得到更好的切割质量，而且还可切割多层玻璃、夹层玻璃和玻璃管，此种方法也不能进行曲率较小图形的切割，其最大缺陷是效率低下，由于玻璃对YAG激光的吸收不到10%，所以切割时需要的功率相对就比较大，并且切割速度也非常慢，与一般CO激光切割相比，其切割速度不到10mm/s，而CO激光切割速度一般都在200mm/s以上。
五 本人的研究情况
本人课题研究的一部分是利用紫外激光进行薄玻璃的切割，下面做一下简单介绍。
紫外激光相对于其他激光具有光斑小（10-50um）、光束质量好等优点，在精细加工中具有一定的优势，我们实验室现有的美国OPTOWAVE(光波)公司的AWave355系列355nm三倍频全固态调Q紫外激光器，具有波长短、玻璃的吸收高、光束直径小等优点，非常适合较薄玻璃板的熔融法切割，目前本人利用此台激光器进行了1mm以下的薄玻璃的切割实验，切割结果主要受激光功率、加工速度、激光频率、光斑大小的影响，以0.5mm厚的普通玻璃的切割为例，本人找到的最佳切割参数为功率6W，速度100mm/s、频率100Khz、光斑直径0.01mm。
在此参数下得到的结果相对较好，边缘的微裂纹较少，切口较平滑，为进一步减少微裂纹的产生，本人设计了利用加热板将玻璃加热到一定温度再进行切割的方案，加热后玻璃整体温度升高，应力减小，利用熔融法切割，
本人试验得到的结果较加热前有相当的改善。
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