MEMS加速度传感器的原理与构造
MEMS加速度传感器地原理与构造
MEMS加速度传感器地原理与构造MEMS加速度传感器的工作原理主要基于惯性原理。
它包含一个微小的质量块，称之为“加速度质量块”，该块一般由硅材料制成，并可以在特定方向上进行微小振动。
当物体受到外力作用时，加速度质量块会受到惯性力的作用而产生位移。
位移的大小与受力的大小成正比，可以通过测量位移的变化来确定物体的加速度。
加速度质量块是传感器的核心部分，它一般采用微电子加工技术制造出来，具有非常小的体积和质量。
为了使其能够在特定方向上进行微小振动，通常采用悬臂梁或弹性结构进行支撑，并通过机械刻蚀或电化学腐蚀等方法制备。
支撑结构是用来支持加速度质量块并保持其在特定方向上的运动，以便能够测量加速度。
常见的支撑结构形式包括单悬臂梁、双悬臂梁和簧片等，结构的设计和制备需要考虑到材料的刚度和弹性系数，以及对加速度的测量范围和精度的要求。
振动系统是用来给加速度质量块提供能量，使其能够在特定方向上进行振动。
常见的振动系统包括电容耦合式和震动感应式，其中电容耦合式是最常见的工作原理。
电容耦合式振动系统主要包含两个电极，一个固定在衬底上，另一个通过弹性结构与加速度质量块相连。
当加速度质量块在振动时，两个电极之间的电容将发生变化，可以通过测量电容变化来确定加速度。
检测系统是用来测量振动信号的变化，并将其转换为电信号输出。
常见的检测系统包括电容式、电阻式和压阻式等。
电容式检测系统通过测量电容的变化来获得加速度信息，电阻式检测系统通过测量电阻的变化来获得加速度信息，压阻式检测系统则通过测量压阻的变化来获得加速度信息。
总的来说，MEMS加速度传感器的原理是基于惯性原理，通过测量加速度质量块的位移变化来确定物体的加速度。
其构造主要包括加速度质量块、支撑结构、振动系统和检测系统。
这些组件相互协作，使传感器能够灵敏地测量加速度，并将其转换为电信号输出。
MEMS加速度传感器具有体积小、功耗低、响应快等优点，在汽车、智能手机、运动追踪器等领域有着广泛的应用前景。
MEMS加速度计的原理及应用
MEMS加速度计的原理及应用MEMS加速度计（Microelectromechanical Systems Accelerometer）是一种基于微电子机械系统的加速度测量器件。
它利用微电子技术和微米制造工艺，将加速度的作用转化为电信号的变化，从而实现对物体的加速度测量。
MEMS加速度计的原理是利用微机械结构和微运动质量的特性。
一般来说，MEMS加速度计由微型质量块和弹簧支撑系统组成，当物体发生加速度改变时，弹簧支撑系统会受到力的作用，从而导致微型质量块产生相应的位移。
这个位移可以通过微电子传感器转化为电信号，进而进行处理和分析。
1.手机和消费电子产品：MEMS加速度计被广泛应用在手机和其他消费电子产品中，用于实现自动屏幕旋转、运动感应游戏、姿势识别和手势控制等功能。
2.汽车安全系统：MEMS加速度计可用于汽车安全系统中，如气囊部署系统。
当车辆发生碰撞或急刹车等意外情况时，加速度计可以检测到车辆的加速度变化，并触发相应的安全机制。
3.工业监测：MEMS加速度计可以用于工业监测中，如机械设备的振动监测。
通过检测设备振动的频率和幅度，可以预测设备的健康状况和可能的故障。
4.体感游戏和虚拟现实（VR）设备：MEMS加速度计可以用于体感游戏和虚拟现实设备中，如头戴式显示器。
通过感应用户的头部和身体的运动，可以实现更加真实和沉浸式的游戏和虚拟体验。
5.医疗领域：MEMS加速度计可以用于医疗监测和诊断中，如运动追踪和睡眠监测。
通过监测运动和睡眠的模式和质量，可以帮助医生评估患者的健康状况。
6.运动跟踪器：MEMS加速度计在运动跟踪器中被广泛应用，如智能手环和运动手表。
它可以实时监测用户的步数、距离、卡路里消耗和睡眠质量等信息。
总结起来，MEMS加速度计是一种基于微电子机械系统的加速度测量器件，它通过微机械结构和微运动质量的特性，将加速度的作用转化为电信号的变化。
这种技术在手机、汽车安全系统、工业监测、体感游戏、医疗领域和运动跟踪器等领域有着广泛的应用。
加速度传感器原理结构使用说明校准和参数解释
加速度传感器原理结构使用说明校准和参数解释一、加速度传感器原理：加速度传感器是一种能够测量物体在三个空间维度上的加速度变化的传感器。
其工作原理基于牛顿第二定律，即F=ma，其中F为作用力，m为物体的质量，a为物体的加速度。
传感器通过测量物体上的惯性力来间接测量物体的加速度。
一般情况下，加速度传感器是基于微机械系统（MEMS）技术制造的。
二、加速度传感器结构：加速度传感器的主要结构包括质量块（或称为振动子系统）、阻尼器、感受层以及电子转换装置。
质量块通常是一个微小的振动系统，可以沿多个轴向振动。
当物体受到外力或加速度影响时，质量块的相对位置发生改变，从而产生相应的电信号输出。
三、加速度传感器使用说明：1.安装：加速度传感器通常需要固定在被测物体上，可以使用螺栓、胶水、焊接等方式进行安装。
需要注意的是，传感器的位置和方向应该与被测物体的运动方向保持一致。
2.供电：传感器通常需要外部直流电源供电，供电电压和电流应符合传感器的要求。
3.输出信号：加速度传感器的输出信号通常为模拟信号（如电压或电流），也有一些传感器输出数字信号。
用户在使用传感器时需要根据实际需求来选择合适的信号处理方式。
4.数据处理：传感器的输出信号可以连接到数据采集设备或控制系统中进行进一步处理和分析。
用户可以根据需求选择合适的数据处理方法和算法。
5.维护：加速度传感器通常需要定期检查和维护，包括清洁传感器表面、检查传感器连接是否松动等。
四、加速度传感器校准：为了确保加速度传感器测量结果的准确性和可靠性，通常需要进行校准。
校准可以分为两个步骤：静态校准和动态校准。
1.静态校准：静态校准主要是通过将传感器放置在水平面上并保持静止状态来进行。
根据重力加速度的方向可以计算出传感器在其坐标轴上的零偏差或者非线性误差。
2.动态校准：动态校准主要是通过将传感器连接到知道真实加速度的振动台或运动载体上进行。
通过与已知加速度值进行比较，可以计算出传感器的灵敏度和线性误差。
mems传感器原理
mems传感器原理MEMS传感器原理一、引言MEMS（Micro Electro-Mechanical Systems）传感器是一种微型传感器技术，通过将微机电系统与传感器技术相结合，实现了在微尺度上感知和测量各种物理量的能力。
本文将介绍MEMS传感器的原理和工作方式。
二、MEMS传感器的构成MEMS传感器通常由微机电系统（MEMS）和传感器元件两部分组成。
MEMS部分由微小的机械结构组成，通过微加工工艺制造而成，包括微加速度计、微陀螺仪、微压力传感器等；传感器元件则是通过MEMS部分感知和转换物理量，如加速度、角速度、温度、压力等。
三、MEMS传感器的工作原理1. 加速度传感器原理加速度传感器是MEMS传感器中最常见的一种类型。
它利用微机电系统中的微小质量块和微弹簧构造，通过测量微小弹簧的位移来感知加速度。
当受到外力作用时，微小质量块将发生位移，通过测量位移的变化来计算加速度的大小。
2. 陀螺仪原理陀螺仪是一种用于测量角速度的MEMS传感器。
它利用了旋转物体的角动量守恒原理。
陀螺仪中的微机电系统结构包括一个微小的旋转质量块和微弹簧。
当陀螺仪受到角速度作用时，旋转质量块会产生角动量，通过测量角动量的变化来计算角速度的大小。
3. 压力传感器原理压力传感器利用微机电系统中的微小薄膜结构来感知压力变化。
微小薄膜受到外部压力作用后，会发生微小位移，通过测量位移的变化来计算压力的大小。
薄膜的材料和结构设计对传感器的灵敏度和精度有重要影响。
4. 温度传感器原理温度传感器是一种基于热敏效应的MEMS传感器。
它利用了温度变化对材料电阻或电容的影响。
传感器中的热敏元件受到温度变化的影响，导致电阻或电容发生变化。
通过测量电阻或电容的变化来计算温度的大小。
四、MEMS传感器的应用MEMS传感器在各个领域有广泛的应用。
在汽车行业中，MEMS传感器被用于车辆稳定性控制、空气袋系统和安全气囊等。
在智能手机和可穿戴设备中，MEMS传感器被用于加速度计、陀螺仪和磁力计等。
mems电容式加速度计原理
MEMS电容式加速度计原理一、工作原理MEMS电容式加速度计是一种基于微机械加工技术制成的传感器，用于测量加速度。
其核心部分是可移动的感应质量块和固定电极，它们之间存在微小的间距。
在工作状态下，当被测物体发生加速度时，感应质量块会受到力的作用，从而产生位移。
这个位移量会改变感应质量块与固定电极之间的距离，从而引起电容值的改变。
通过测量电容值的变化，可以推导出物体的加速度。
二、结构设计MEMS电容式加速度计的典型结构包括一个可移动的感应质量块和两个对称的固定电极。
感应质量块通常采用单晶硅材料制成，形状为长方形或圆形，其两端固定在弹性梁上。
弹性梁的材料一般为氮化硅或石英，它们具有良好的弹性性能和稳定的热性能。
固定电极一般采用金属材料制成，与硅衬底形成电容器。
当加速度作用在感应质量块上时，感应质量块会沿着敏感轴方向产生位移，从而改变电容器的电容值。
三、电容变化当感应质量块发生位移时，它与固定电极之间的距离会发生变化，导致电容值的改变。
这个电容变化量可以通过外部电路检测并转换为电压信号输出。
在MEMS电容式加速度计中，通常采用差分电容检测方式来提高检测灵敏度和减小外界干扰的影响。
差分电容检测方式是将两个对称的电容器串联在一起，通过测量两个电容器的电容差值来推导出加速度值。
四、测量范围MEMS电容式加速度计的测量范围取决于其结构设计、制造工艺和材料选择等因素。
一般来说，MEMS电容式加速度计的测量范围在±2g 至±10g之间。
在实际应用中，可以根据需要选择适合测量范围的加速度计。
此外，为了减小测量误差和提高测量的稳定性，可以对加速度计进行温度补偿和线性补偿等处理。
五、方向测量MEMS电容式加速度计一般只能测量单一方向的加速度值，而要实现方向测量则需要使用多个加速度计。
一般来说，将多个MEMS电容式加速度计按不同的方向布置在同一个被测物体上，每个加速度计负责测量一个方向的加速度值。
通过对这些加速度值进行处理和分析，可以获得物体在三维空间中的运动状态和方向信息。
MEMS加速度传感器地原理与构造
MEMS加速度传感器地原理与构造MEMS加速度传感器（Microelectromechanical systems accelerometer）是一种用于测量物体加速度的装置，它基于微电子技术和微机械技术的结合而实现。
MEMS加速度传感器的原理是利用微机电系统技术制造出微小而灵敏的质量悬浮结构，并通过对这些悬浮结构的位移或应力进行测量来确定物体的加速度。
首先是丙烯酸胶悬浮结构，它由一个质量悬浮结构和一个用于固定的结构组成。
质量悬浮结构通常由硅制成，具有非常小的质量并能自由运动。
它的运动会受到物体的加速度影响，从而使得该结构发生位移或应力变化。
接下来是压电传感器，它位于质量悬浮结构上方的盖片上。
压电传感器由压电材料制成，当质量悬浮结构发生位移或应力变化时，会产生相应的压电电荷。
这些电荷会由传感器收集并转化为电压信号。
最后是电路及信号处理部分。
传感器收集到的电荷信号会通过一些电路进一步放大和处理，从而得到一个可以测量的模拟电压信号。
这个电压信号可以转化为数字信号，并通过计算机或其他设备进行进一步分析和处理。
MEMS加速度传感器的工作原理基于牛顿力学中的加速度定义。
当物体受到外力作用导致加速度发生变化时，质量悬浮结构会通过惯性产生位移或应力变化。
这些变化被传感器捕捉并转化为电信号，从而可以测量物体的加速度。
总结来说，MEMS加速度传感器通过微电子和微机械技术，利用质量悬浮结构位移或应力变化来测量物体加速度。
其构造包括丙烯酸胶悬浮结构、压电传感器、电路及信号处理部分等组成。
通过该传感器可以实现物体加速度的测量，并在各种应用领域发挥重要作用。
加速度传感器的工作原理
加速度传感器的工作原理加速度传感器是一种用于测量物体在空间中加速度的设备，广泛应用于汽车、航空航天、工业生产等领域。
它能够准确地检测物体的加速度变化，并将其转化为电信号输出。
本文将介绍加速度传感器的工作原理及其应用。
一、工作原理加速度传感器的工作原理基于质量与力的关系。
通常使用微机电系统（MEMS）技术制造的加速度传感器，它由质量块、弹簧和电容组成。
具体原理如下：1. 弹簧系统加速度传感器的核心是一个微小的质量块，质量块通过弹簧与传感器的外壳相连。
弹簧负责将质量块与外壳保持相对静止状态，使质量块不受环境振动干扰。
2. 加速度作用当物体受到加速度的作用时，质量块与外壳之间产生相对运动。
根据牛顿第二定律，物体所受的力与其质量和加速度成正比。
因此，加速度的增加将导致质量块受到更大的力。
3. 电容变化质量块上安装有一对电极，与外壳上的电极形成电容。
当质量块发生位移时，外壳上相应的电极也会随之移动，导致电容值发生变化。
电容值的变化与质量块的位移量成正比。
4. 电信号输出通过对电容的测量，传感器能够将位移量转化为电信号输出。
通常使用谐振电路或差分电路来测量电容值的变化。
最终，加速度传感器将测得的加速度值输出到外部设备，如数据采集模块或控制系统。
二、应用领域加速度传感器因其高灵敏度和广泛的应用需求，在众多领域中得到了应用。
下面介绍几个常见的应用场景：1. 汽车安全系统在汽车中，加速度传感器被广泛用于安全系统。
例如，车辆碰撞时，传感器可以检测到突发的加速度变化，并触发气囊的部署。
此外，加速度传感器还可以用于检测车辆倾斜角度，以提供车身稳定控制。
2. 航空航天领域在航空航天领域中，加速度传感器被用于飞行器姿态控制和导航系统。
传感器能够测量飞行器在各个方向上的加速度变化，确定姿态角度，从而实现飞行控制和导航定位。
3. 工业生产加速度传感器在工业生产中的应用非常广泛。
它可以用于监测机器的振动和震动情况，判断设备是否正常运行。
mems加速度传感器原理
mems加速度传感器原理加速度传感器是一种常见的MEMS（微机电系统）传感器，用于测量物体在三个轴向上的加速度。
它是由微小的机械结构和敏感器件组成，通过测量物体对这些结构的力的变化来确定加速度大小。
本文将介绍mems加速度传感器的工作原理及其应用。
一、mems加速度传感器的工作原理mems加速度传感器通常由质量块、弹簧和电容等组件构成。
当物体受到加速度作用时，质量块会受到力的作用而发生位移，而弹簧会受到拉伸或压缩。
这些位移和变形将导致电容的改变，从而通过电容变化来测量加速度。
具体来说，mems加速度传感器利用了电容的变化来测量加速度。
传感器中的质量块被固定在一个支撑结构上，并与支撑结构之间通过弹簧连接。
当物体受到加速度作用时，质量块会发生位移，而弹簧则会产生相应的拉伸或压缩。
这种位移和变形将导致质量块与支撑结构之间的电容发生变化。
mems加速度传感器中的电容通常由两个金属板构成，它们分别与质量块和支撑结构相连。
当质量块发生位移时，金属板之间的距离会发生改变，进而改变了电容的值。
这种电容的变化可以通过电路进行测量和分析，从而得到加速度的值。
二、mems加速度传感器的应用mems加速度传感器具有体积小、功耗低、成本低等优点，因此在许多领域得到广泛应用。
1. 汽车安全系统：mems加速度传感器可用于汽车的安全气囊系统和车辆稳定性控制系统。
通过测量车辆的加速度，可以及时触发气囊的放出，以保护乘客的安全。
同时，加速度传感器还可以监测车辆的姿态和动态参数，为车辆稳定性控制提供依据。
2. 手机和智能设备：mems加速度传感器广泛应用于手机和智能设备中，用于实现自动旋转屏幕、晃动动作识别、步数计数等功能。
通过测量设备的加速度，可以实现多种智能交互方式，提升用户体验。
3. 工业监测和控制：mems加速度传感器可用于工业设备的监测和控制。
例如，可以用于测量机械设备的振动和冲击，从而判断设备的工作状态和健康状况，及时进行维护和修理。
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微系统设计与应用加速度传感器的原理与构造班级：2012机自实验班指导教师：xxx小组成员：xxxxx大学机械工程学院二OO五年十一月摘要随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于MEMS技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点,而且因为其加工工艺一定程度上与传统的集成电路工艺兼容,易于实现数字化、智能化以及批量生产,因而从问世起就引起了广泛关注,并且在汽车、医药、导航和控制、生化分析、工业检测等方面得到了较为迅速的应用。
其中加速度传感器就是广泛应用的例子之一。
加速度传感器的原理随其应用而不同，有压阻式，电容式，压电式，谐振式等。
本文着手于不同加速度传感器的原理、制作工艺及应用展开，能够使之更加全面了解加速度传感器。
关键词：加速度传感器，压阻式，电容式，原理，构造目录1 压阻式加速度传感器 (2)1.1 压阻式加速度传感器的组成 (2)1.2 压阻式加速度传感器的原理 (2)1.2.1 敏感原理 (3)1.2.2 压阻系数 (4)1.2.3 悬臂梁分析 (5)1.3 MEMS压阻式加速度传感器制造工艺 (6)1.3.1结构部分 (6)1.3.2 硅帽部分 (7)1.3.3键合、划片 (9)2电容式加速度传感器 (9)2.1电容式加速度传感器原理 (9)2.1.1 电容器加速度传感器力学模型 (9)2.1.2电容式加速度传感器数学模型 (10)2.2电容式加速度传感器的构造 (12)2.2.1机械结构布局的选择与设计 (12)2.3.2材料的选择 (14)2.3.3工艺的选择 (14)2.3.4具体构造及加工工艺 (15)3 其他加速度传感器 (17)3.1 光波导加速度计 (17)3.2微谐振式加速度计 (17)3.3热对流加速度计 (18)3.4压电式加速度计 (18)4 加速度传感器的应用 (19)4.1原理 (19)4.2 功能 (19)参考文献 (20)1 压阻式加速度传感器压阻式器件是最早微型化和商业化的一类加速度传感器。
这类加速度传感器的悬臂梁上制作有压敏电阻，当惯性质量块发生位移时:会引起悬臂梁的伸长或压缩，改变梁上的应力分布，进而影响压敏电阻的阻值.压阻电阻多位于应力变化最明显的部位。
这样，通过两个或四个压敏电阻形成的电桥就可实现加速度的测量。
其特点在于压阻式加速度传感器低频信号好、可测量直流信号、输入阻抗低、且工作温度范围宽，同时它的后处理电路简单、体积小、质量轻，因此在汽车、测振、航天、航空、航船等领域有广泛的应用。
1.1 压阻式加速度传感器的组成MEMS 压阻式加速度传感器的敏感元件由弹性梁、质量块、固定框组成。
压阻式加速度传感器实质上是一个力传感器，他是利用用测量固定质量块在受到加速度作用时产生的力F 来测得加速度a 的。
在目前研究尺度内，可以认为其基本原理仍遵从牛顿第二定律。
也就是说当有加速度a 作用于传感器时，传感器的惯性质量块便会产生一个惯性力:F=ma,此惯性力F 作用于传感器的弹性梁上，便会产生一个正比于F 的应变。
，此时弹性梁上的压敏电阻也会随之产生一个变化量△R ，由压敏电阻组成的惠斯通电桥输出一个与△R 成正比的电压信号V 。
1.2 压阻式加速度传感器的原理本系统的信号检测电路采用压阻全桥来作为信号检测电路。
电桥采用恒压源供电，桥压为e U 。
设2R 、4R 为正应变电阻，1R 、3R 为负应变电阻，则电桥的输出表达式为:()()24131423SC e R R R R U U R R R R -=++我们在电阻布局设计、制造工艺都保证压敏电阻的一致性，因此可以认为有的压敏电阻和压敏电阻的变化量都是相等的，即:1234R R R R R ==== 1234R R R R R∆=∆=∆=∆=∆则电桥输出的表达式变为:SC e R U U R∆=1.2.1 敏感原理本论文采用的是压阻式信号检测原理，其核心是半导体材料的压阻效应.压阻效应是指当材料受到外加机械应力时，材料的体电阻率发生变化的材料性能。
晶体结构的形变破坏了能带结构，从而改变了电子迁移率和载流子密度，使材料的电阻率或电导发生变化。
一根金属电阻丝，在其未受力时，原始电阻值为：L R Sρ= 式中，ρ电阻丝的电阻率;L 电阻丝的长度;S 电阻丝的截面积。
当电阻丝受到拉力F 作用时，将伸长L ∆，横截面积相应减少S ∆,电阻率则因晶格发生变形等因素的影响而改变ρ∆，故引起电阻值变化R ∆。
对全微分，并用相对变化量来表示，则有R L S R L S ρρ∆∆∆∆=-+ 式中的()/L L ε∆=为电阻丝的轴向应变.常用单位()61110/mm mm μεμε-=⨯。
若径向应变为/r r ∆，由材料力学可知()//r r L L μμε∆=-∆=-，式中μ为电阻丝材料的泊松系数，又因为()/2/S S r r ∆=∆，代入式可得()/12/R R μερρ∆=++∆灵敏系数为()1112dR d GF R ρμεερ==++ 对于半导体电阻材料，()/12ρρμε∆+?，即因机械变形引起的电阻变化可以忽略，电阻的变化率主要由/ρρ∆引起，即//R R ρρ∆≈∆可见，压阻式传感器就是基于半导体材料的压阻效应而工作的。
1.2.2 压阻系数最常用的半导体电阻材料有硅和锗，掺入杂质可形成P 型或N 型半导体。
其压阻效应是因在外力作用下，原子点阵排列发生变化，导致载流子迁移率及浓度发生变化而形成的。
由于半导体(如单晶硅)是各向异性材料，因此它的压阻效应不仅与掺杂浓度、温度和材料类型有关，还与晶向有关。
压阻效应的强弱可以用压阻系数π来表征。
压阻系数π被定义为单位应力作用下电阻率的相对变化。
压阻效应有各向异性特征，沿不同的方向施加应力和沿不同方向通过电流，其电阻率变化会不相同。
晶轴坐标系压阻系数的矩阵可写成111212121112121211444444000000000000000000000000ij πππππππππππππ⎡⎤⎢⎥⎢⎥⎢⎥=⎢⎥⎢⎥⎢⎥⎢⎥⎢⎥⎣⎦由此矩阵可以看出，独立的压阻系数分量只有11π、12π、44π三个。
11π称为纵向压阻系数; 12π称为横向压阻系数; 44π称为剪切压阻系数.必须强调一下，11π、12π、44π是相对于晶轴坐标系三个晶轴方向的三个独立分量。
有了晶轴坐标系的压阻系数之后，就可求出任意晶向的纵向压阻系数z π及横向压阻系数h π。
设某晶面的晶向的方向余弦为1l 、1m 、1n ，其某一横向的方向余弦为2l 、2m 、2n ，则可求出:()()()()22222211111244111111222222121112441212122z h l m m n l n l l m m n nππππππππππ=---++=+--++如果单晶体在此晶向上同时有纵向应力h σ的作用，则在此晶向上(必须是电流流过方向)的电阻率相对变化，可按下式求得:/z z h h R R πσπσ∆=+此式说明，在同一晶体上/R R ∆由两部分组成，一部分是由纵向压阻效应引起的，一部分是由横向压阻效应引起的。
下表给出了硅和锗中的独立压阻系数分量的值。
1.2.3 悬臂梁分析悬臂梁根部的横向受力：26z mla bh σ=质量块的质量m ；悬臂梁的宽度和厚度b ，h ；质量块中心至悬臂梁根部的距离l ；加速度a悬臂梁的电阻的相对变化率：4423/z z h h mlR R a bhπσπσπ∆=+=1.3 MEMS压阻式加速度传感器制造工艺为加工出图示的加速度传感器,主要采用下列加工手段来实现。
采用注入、推进、氧化的创新工艺来制作压敏电阻；采用KHO各向异性深腐蚀来形成质量块；并使用AES来释放梁和质量块；最后利用键合工艺来得到所需的“三明治”结构。
（使用的是400μm厚、N型(100)晶向、电阻率p=2-4Ω的双面抛光硅片。
）1.3.1结构部分工艺步骤工艺剖面图初次清洗，热氧化300Å第一次光刻，反应离RIE SiO子刻蚀()2余厚400-800Å硼离子注入去胶硼驱入，具体工艺包括清洗、驱硼、氧化等二次光刻，反应离子SiO刻蚀2去胶浓硼扩散，工艺内容包括清洗、扩散、低温氧化、漂氧化硅、推进、热氧化第三次光刻，反应离SiO子刻蚀2SiO BHF漂正反面2SiO LPCVD23500ÅSi N1200Å34第六次光刻，腐蚀Au/Cr，去胶第七次刻蚀，反应离SiO子刻蚀2刻蚀，ICP刻硅释放结构去胶，去导热硅脂1.3.2硅帽部分1.3.3键合、划片2 电容式加速度传感器电容式加速度传感器，在工业领域有着广泛的应用，例如发动机，数控车床等等。
它具有电路结构简单，频率范围宽约为0～450Hz，线性度小于1%，灵敏度高，输出稳定，温度漂移小，测量误差小，稳态响应，输出阻抗低，输出电量与振动加速度的关系式简单方便易于计算等优点，具有较高的实际应用价值。
2.1电容式加速度传感器原理电容式加速度传感器是基于电容原理的极距变化型的电容传感器，其中一个电极是固定的，另一变化电极是弹性膜片。
弹性膜片在外力(气压、液压等)作用下发生位移，使电容量发生变化。
这种传感器可以测量气流(或液流)的振动速度(或加速度)，还可以进一步测出压力。
2.1.1 电容器加速度传感器力学模型电容式加速度传感器从力学角度可以看成是一个质量—弹簧—阻尼系统，加速度通过质量块形成惯性力作用于系统，如图一所示。
根据牛顿第二定律,对于该力学模型,可以列写出下列二阶微分方程：22n mx cx kx max x x a ζωω++=++=&&&&&&其中 22n ck x m mζωω==& 将上式进行零初始条件下的拉普拉斯变换,得()()()2mxcs k X s mA s ++= 由此可得以加速度作为输入变量a ，质量块相对壳体位移s 为输出变量；传递函数为 ()()22222112n n X s m A s ms cs k s s s ζωω===+++++()()()2212n n X s G s A s s s ξωω==++ 可见,如果将传感器的壳体固定在载体上,只要能把质量块在敏感轴方向相对壳体的位移测出来,便可以把它作为加速度的间接度量。
由上式可见，传感器无阻尼自振角频率为0ω=传感器阻尼比为ζ= 从上式可以看出，当处于常加速度输入下的稳态时，其质量块相对壳体位移趋于如下稳态值：20ma a x k ω== 由上式可见，质量块越大，弹性系数越小，即系统无阻尼自振角频率越低，则电容式加速度传感器灵敏度越高。