扫描电镜的成像过程
扫描电镜工作原理
扫描电镜工作原理扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种常用的高分辨率显微镜，它利用电子束代替光束进行成像，可以观察到物质的表面形貌和微观结构。
下面将详细介绍扫描电镜的工作原理。
一、电子源扫描电镜的电子源通常采用热阴极电子枪，利用热电子发射原理产生高能电子束。
热阴极电子枪由电子发射体、聚焦极和加速极组成。
当电子发射体受到加热后，产生的热电子经过聚焦极的聚焦作用，形成一个细束电子束。
二、电子束的聚焦和加速经过电子源产生的电子束，会经过一系列的透镜系统进行聚焦和加速。
透镜系统由一组磁透镜和电透镜组成，它们分别通过调节磁场和电场来控制电子束的聚焦和加速。
通过透镜系统的调节，可以使电子束变得更加细致和聚焦，从而提高成像的分辨率。
三、样品的准备和固定在进行扫描电镜观察之前，需要对样品进行准备和固定。
通常情况下，样品需要经过化学固定、脱水、金属浸渍等处理步骤，以保持样品的形态结构和细节，并提高电子束的透射性。
四、样品的扫描和成像在样品固定后，将样品放置在扫描电镜的样品台上。
电子束从电子源发射出来后，经过透镜系统的聚焦和加速后，进入扫描线圈系统。
扫描线圈系统通过控制电子束的扫描范围和速度，使电子束在样品表面进行扫描。
扫描过程中，电子束与样品表面相互作用，产生多种信号。
五、信号的检测和处理样品与电子束相互作用后，会产生多种信号，包括二次电子、反射电子、背散射电子、X射线等。
这些信号被检测器接收到后，会转换成电信号，并经过放大和处理。
最终，通过将信号转换为图像，可以观察到样品表面的形貌和微观结构。
六、图像的显示和分析通过信号的检测和处理后，得到的图像可以通过显示器进行观察。
扫描电镜图像通常呈现出高对比度和高分辨率的特点，可以清晰地显示样品表面的细节和结构。
同时，还可以利用图像处理软件对图像进行后期处理和分析，如测量样品表面的尺寸、形状等。
总结：扫描电镜通过利用电子束代替光束进行成像，能够观察到物质的表面形貌和微观结构。
扫描电镜工作原理科普
扫描电镜工作原理科普扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束来观察材料表面形貌和获得微观结构图像的仪器。
与传统的光学显微镜相比，扫描电镜能够提供更高的分辨率和更大的放大倍数，因此在材料科学、生物学、纳米技术等领域被广泛应用。
下面将从工作原理、构成和应用角度对扫描电镜进行科普。
一、工作原理：扫描电镜的工作原理主要是利用电子的特性来实现高分辨率成像。
其基本原理可以概括为以下几个步骤：1.电子束的产生：扫描电镜中使用的是电子束而非光线，电子束通过热发射、场致发射等方式产生。
2.电子束的聚焦：电子束通过聚焦系统进行聚焦，使其能够更准确地照射到样品表面。
3.电子束的扫描：电子束通过扫描系统进行规律的扫描，以便覆盖样品表面的各个区域。
4.电子束与样品的相互作用：电子束照射到样品表面时，会与样品中的电子、原子发生相互作用，产生散射、透射、反射等现象。
5.信号的采集：根据与样品相互作用产生的信号，通过相应的探测器进行采集。
6.图像的生成：通过采集到的信号，经过信号处理和图像重构，最终生成样品的形貌图像。
二、构成：扫描电镜由以下几部分组成：1.电子枪：用于产生电子束的装置，通常采用热阴极或场致发射阴极。
2.聚焦系统：用于将电子束进行准确的聚焦，以便更好地照射到样品表面。
3.扫描系统：用于对样品表面进行规律的扫描，以便获取样品的整体形貌图像。
4.样品台：用于固定和导热样品，通常具有多种移动方式，以适应不同样品的观察需要。
5.检测器：用于采集样品与电子束相互作用所产生的信号，常用的检测器有二次电子检测器和反射电子检测器等。
6.显示和控制系统：用于显示图像、实时调节仪器参数以及采集和处理数据等。
三、应用：扫描电镜在科学研究、工业材料分析和教学实验等领域具有广泛的应用。
其主要应用如下：1.材料科学：扫描电镜可以用于研究材料的表面形貌、结构和成分，对于纳米材料、金属和非金属材料等的表面缺陷、晶体结构以及纳米结构等进行观察和分析。
扫描电镜成像原理
扫描电镜成像原理
扫描电镜是一种高分辨率成像技术，它利用电子束扫描样品表面，将样品表面的形貌和结构信息转换为电子信号，再通过电子透镜和探测器进行放大和捕捉，最终形成高分辨率的图像。
扫描电镜成像原理基于电子束与样品的相互作用。
电子束从电子枪中发出，经过聚焦透镜的聚焦和加速后，击中样品表面，并与样品中的原子和分子发生相互作用，从而产生多种信号。
扫描电子显微镜主要利用两种信号，即二次电子信号和反向散射电子信号。
二次电子信号是由于电子束与样品表面相互作用而产生的电子信号，其强度与样品表面形貌和组成有关。
反向散射电子信号是由于电子束与样品表面原子和分子的相互作用而发生的电子散射，其强度与样品表面元素的原子序数和密度有关。
扫描电镜成像过程中，控制电子束的扫描方式和扫描速度，将样品表面的形貌和结构信息转化为电子信号。
电子信号经过透镜系统的放大和聚焦后，通过敏感探测器转化为数字信号，并通过计算机图像处理技术处理和重构，最终形成高分辨率的扫描电镜图像。
扫描电镜成像原理的发展，为研究微观世界提供了有力的工具，其高分辨率的成像能力已广泛应用于材料科学、生物学、医学等领域。
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扫描电镜成像原理
扫描电镜成像原理：用聚焦电子束在试样表面逐点扫描成像。
成像信号可以是二次电子、背散射电子或吸收电子。
其中二次电子是最主要的成像信号。
由电子枪发射的电子，经过二级聚光镜及物镜的缩小形成具有一定能量、一定束流强度和束斑直径的微细电子束，在扫描线圈驱动下，于试样表面按一定时间、空间顺序作栅网式扫描。
聚焦电子束与试样相互作用，产生二次电子发射（以及其他物理信号），二次电子发射量随试样表面形貌而变化。
二次电子信号被探测器收集转换成电信号，经视频放大后输入到显像管栅极，调制与入射电子同步扫描的显像管亮度，得到反映试样表面形貌的二次电子像。
四、色质联用技术优点：结合了色谱分离和定量以及质谱定性分析的优点。
近乎通用的响应，低检出限，化合物结构测定。
1、气相色谱质谱联用气质联用仪是分析仪器中较早实现联用技术的仪器。
在所有联用技术中气质联用GC-MS）发展最完善，应用最广泛。
目前从事有机物分析的实验室几乎够把GCMS作为主要的定性确认手段之一。
气质联用与气相色谱的区别•GC-MS方法的定性参数增加，定性可靠。
•GC-MS检测灵敏度远高于气相的其他检测器。
•GC-MS可采用选择离子分离气相上不能分离的化合物，降低噪音提高信噪比。
•一般经验来说质谱仪器定量不如气相色谱。
但是采用同位素稀释和内标等技术GC-MS可以达到较高精度的定量分析。
谱库检索技术随着计算机的发展，人们将标准电离条件下（EI源，70eV）大量纯化合物的标准质谱图存在计算机内生成质谱谱库。
实际工作中得到的未知物的质谱图可以和谱库中的质谱图按照一定的程序进行比较，将相似度高化合物检出。
这大大优化和减少了人工的工作量。
2、液相色谱质谱联用•真空度匹配：现有商品化的液质联用仪器都设计增加了真空泵的抽速，并采用分段多级抽真空的方法来满足质谱的要求。
•接口技术：HPLC的质量流量比常规质谱所能处理的流量高2-3个数量级如何在不分解的情况下蒸发非挥发性及热不稳定性的物质3、色质联用技术的应用气质联用（GC-MS）的应用领域：气质联用已经成为有机化合物常规检测中的必备工具。
扫描电镜的成像原理
扫描电镜的成像原理扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束成像的显微镜。
与传统光学显微镜不同，SEM使用电子束取代了光束，使其能够获得更高的分辨率和更大的放大倍数。
SEM的成像原理主要包括以下几个步骤：电子发射、电子束聚焦、电子束转换、排序和检测。
首先，SEM通过一个热丝发射电子。
这种方法通常通过加热丝使其发出电子，这些电子受到引力吸引到下方的电子透镜。
电子束通过发射针和折射电镜来聚集。
通常，SEM使用热阴极（发射丝）作为电子源。
其次，电子束从热阴极放射出来然后经过几个电子透镜进行聚焦。
这些透镜包括减速电场、主透镜和聚束透镜。
通过调整这些透镜的电场，可以调节电子束的方向和聚焦度，以便在样品表面形成一个尖锐且高度聚焦的电子束。
接下来，电子束扫描在样品上以产生显微图像。
电子束沿着样品表面扫描采集散射电子的信息。
扫描可以沿着两个轴进行：水平和垂直。
扫描过程以重复的方式在样品表面上移动，通过在每个扫描点测量所产生的散射电子数来生成显微图像。
扫描速度较快，可以在短时间内生成高分辨率的显微图像。
最后，检测获得的信号并转换为图像。
通过采集散射电子的数量来计算RGB值，经过数字化后形成图像。
接收到的散射电子信号被电子透镜转换为电压信号，然后经过放大和处理，形成图像。
SEM通常采取反应图像的形式，其中样品被扫描的电子束激发并产生信号。
图像可以通过监视器进行实时观察，也可以以数字形式存储和处理。
总而言之，扫描电子显微镜通过使用电子束而不是光束来观察样品表面的微观结构。
它通过电子的发射、聚焦、能量转换、扫描和检测来实现成像。
这使得SEM能够提供比传统光学显微镜更高的分辨率和更大的放大倍数，是一种非常强大的显微镜工具。
sem扫描电镜工作原理
sem扫描电镜工作原理
SEM（扫描电子显微镜）工作原理是利用电子束扫描样品表
面并测量反射或散射的电子信号。
1. 准备样品：待观察的样品通常需要被先行处理，如固定、切片、涂覆导电涂层等，以便在SEM中获得良好的成像效果。
2. 电子发射和聚焦：SEM中的电子枪产生以高速发射的电子束。
该电子束经过电子透镜的聚焦作用，使得其具有很高的空间分辨率。
3. 样品扫描：样品被固定在一个电子透明的托座上，电子束扫描轨迹由扫描线圈控制。
电子束沿着一系列水平和垂直线扫描，从而覆盖整个样品表面。
4. 相互作用检测：当电子束与样品表面相互作用时，会发生多种现象，包括电子的散射、透射以及次级电子、反射电子的发射等。
这些信号会被探测器捕捉。
5. 信号放大和处理：SEM中的探测器接收到的信号被放大和
处理。
不同的探测器可以检测不同类型的信号，如次级电子探测器可用于成像表面形貌，而反射电子探测器可用于分析样品的晶体结构。
6. 生成图像：SEM内部的计算机将处理后的信号转换为图像，形成类似于电视图像的黑白或彩色显示。
根据扫描的样品区域，可获得高分辨率的二维或三维表面形貌图像。
SEM的工作原理基于电子的波粒二象性，电子具有很短的波长（通常比可见光短得多），因此SEM可以提供更高的空间分辨率，达到纳米级甚至更高级别的成像精度。
扫描电镜成像原理
扫描电镜成像原理扫描成像原理如下图所示，电子枪1（钨丝枪或LaB6枪或场发射枪等）发射一束电子，这就是电子源，其最少截面的直径为d0，对钨丝枪而言大约为20～50μm （场发射枪大约为10～20nm ) ，这个小束斑经3 和5 两级聚光镜进一步缩小几百倍，最后再经物镜缩小并聚焦在样品面上，这时束斑10 直径最小可到3～6nm （约小于扫描电镜的分辨本领），电子束打在样品上，就产生上节所述的各种信号。
二次电子和背散射电子信号是最常用的两种信号，尤其是二次电子。
信号由接收器取出，经光电倍增器和电子放大器放大后，作为视频信号去调制高分辨显示器的亮度，因此显示器上这一点的亮度与电子束打在样品上那一点的二次电子发射强度相对应。
由于样品上各点形貌等各异，其二次电子发射强度不同，因此显示器屏上对应的点的亮度也不同。
用同一个扫描发生器产生帧扫和行扫信号，同时去控制显示的偏转器和镜筒中的电子束扫描偏转器，使电子束在样品表面上与显示器中电子束在荧光屏上同步进行帧扫和行扫，产生相似于电视机上的扫描光栅。
这两个光栅的尺寸比就是扫描电镜的放倍数。
在显示器屏幕光栅上的图像就是电子束在样品上所扫描区域的放大形貌像。
图像中亮点对应于样品表面上突起部分，暗点表示凹的部分或背向接收器的阴影部分。
由于显示器屏幕上扫描尺寸是固定的，如14in(1in= 25.4mm）显示器的扫描面积是267×200mm2，在放大倍数为十万倍时样品面上的扫描面积为2.67×2 μm2如放大倍数为20 倍时，则为13.35×10mm2。
因此改变电子束扫描偏转器的电流大小，就可改变电子束在样品上的扫描尺寸，从而改变扫描电镜的放大倍数。
扫描电镜的分辨本领一般指的是二次电子像的空间分辨本领，它是在高放大倍数下，人们能从照片中分清两相邻物像的最小距离。
通常是用两物像边缘的最小距离来计算。
但照片放大近十万倍后，边缘轮廓往往不十分清晰敏锐，难以测量准确。
扫描电镜成像原理
扫描电镜成像原理随着科技的发展，现代人们对于物质的深度探索达到了前所未有的高峰。
扫描电镜作为一种高级的成像手段，可以在纳米尺度下观测物质，已成为各个领域研究的必备工具。
那么，扫描电镜成像原理究竟是怎样的呢？1. 扫描电镜成像的基本原理扫描电镜在成像时采用的是高分辨率物理成像技术，其基本原理是将电子束发射并聚束照射在样品表面，打在样品表面后的电子会被样品表面的原子壳层吸收，部分能量将激发样品表面原子的电子由原子壳层底层向外跃迁，这样便形成了像样品原子表面外部共振层的信号，这种信号可以被扫描电镜所接收到。
2. 扫描电镜的分类扫描电镜主要分为三种：场发射扫描电镜(FESEM)、透射扫描电镜(TEM)和原子力显微镜(AFM)。
场发射扫描电镜(FESEM)是在把样品处理好后，利用场致发射钨丝发射出的电子产生高清晰度电磁场，对样品进行成像；透射扫描电镜(TEM)是在把样品处理好后，通过样品中的电子运动方式来生成高分辨率的成像；原子力显微镜(AFM)则是通过扫描样品表面，收集样品表面的反向力，进而实现成像。
3. 扫描电镜成像的影响因素扫描电镜成像的影响因素包括工作距离、倍率、电子束的加速电压以及用于对扫描电镜进行校准和校正的固有噪声等因素。
4. 扫描电镜在生物领域的应用扫描电镜的高分辨率成像技术，在生物领域的应用也是十分广泛的。
例如，可以利用扫描电镜观测细胞表面的微小结构，对霉菌、细菌、寄生虫等微小生物进行研究；通过样品修复技术，也可以观察到生物细胞内部结构的情况，从而有助于研究细胞的生物学化学性质等。
5. 扫描电镜的应用前景随着国家经济的不断进步和科技的不断发展，扫描电镜在各个领域中的应用也将会越来越广泛。
尤其是在新材料领域、新能源领域、生物科学领域和病毒方面的研究中，扫描电镜的应用前景更是十分广阔。
总之，扫描电镜是一项十分基础的物质探测技术，通过高分辨率物理成像技术的应用，我们可以在纳米尺度下观察世界，深入研究其中体现的相互作用机制，让我们更好地掌握物质本质规律，促进科技发展与社会进步。
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δ总=δB+δBSη
3.与样品倾斜的关系 二次电子系数与电子束的入射方向有明显关系： 入射方向与试样表面法线方向一致，图像亮度最小 入射方向与试样表面法线方向成一定角度时，图像亮度增大
（） 0sec 0 cos
θ指电子束与样品表面
法线的夹角
试样表面有着不同程度的起伏，对应着电子束与样品表面法线不 同的夹角，二次电子数量不同，荧光屏上的图像将呈现与试样起伏程 度相对应的亮度差异，得到试样的形貌衬度，是二次电子像最重要的 衬度内容。
象素
“象素”或“象元”尺寸是扫描电镜中与放大倍率有关的一个重要概念。象素 是 电子束在样品上获得信息的区域，从这个区域产生的信息被传送给CRT上的某个 光点成像。象素的面积越小，图像的分辨率越高，可提供的信息越丰富。象素与 放大倍率有关。在供照相用的高分辨率CRT上，最小的光点直径通常是0.1mm。 在样品上相应的象素直径与放大倍率有关，可以用下面的公式计算： 象素直径
S 2 S1 2 1 C S2 2
a.η随Z（化合物时为平均原子序数）单调增加，所以样品中 平均原子序数高的区域比原子序数低的区域亮 b.原子序数相差小的两元素产生的反差低，原子序数差别较 大的两元素的反差要大得多。如AL和Si的反差为0.067， Al和Au的反差为0.69 c.对元素周期表中的各相邻两元素来说，当原子序数增加时， 原子序数反差减少，这是由于η和Z的关系曲线的斜率随Z 的增加而下降所致。如AL－ Si的反差为0.067， Au和Pt 的反差则降低到0.041。 二次电子信号成分反差不明显，因二次电子系数不随原 子序数而显著变化。
散射是由于电子束与样品的原子和电子相互作用而产生 的电子束路径或能量的变化，或者两者同时发生。 截面或散射事件的几率：Ｑ＝Ｎ/ｎｔｎｉ （ｃｍ２） Ｎ为单位体积中发生散射事件的数目 ｎｔ为单位体积中靶位的数目 ｎｉ为单位面积中的入射粒子数 ｃｍ２理解为一个原子在给定的相互作用中的有效面积
电子在两个特定散射事件中穿行的平均自由程或平均距离： λ＝Ａ/ＮoρＱ(cm) A为原子量No为阿伏伽德罗常数Ｑ为截面
2.特征X射线
高能束电子与原子相互作用引起内壳层电子发射，在随后的去激发过程中 产生特征X射线。具有足够能量的束电子可驱出内层（K、L、M）的电子，使原 子处于电离或激发态。原子在电离后约10-12s内复原到基态，在复原过程中，电 子从某一壳层跃迁到另一壳层。这些跃迁导致某些可能的结果。激发态原子的多 余能量将以电磁辐射光子的形式释放出来，该光子的能量等于在跃迁过程中有关 壳层间的能量差。对于内层的电子的跃迁，该光子的能量正好处于X射线电磁波 的谱段内。 由辐射跃迁而发射的X射线称为特征X射线。它的特定能量表示了某个被激 发元素的特征，壳层的能级随原子序数不同而变化，即使相邻原子序数的原子其 壳层间的能量也有显著的变化。 K层电离后，L层、M层电子都能产生跃迁 去填补这个空位： Kα X射线是L层跃迁 Kβ X射线是M层跃迁 L层电离后M层、N层电子可产生跃迁 Lα ____M层跃迁 Lβ ____N层跃迁
阴极荧光探测器
样品电流探测器
§4-3 反差
反差定义为：C=（Smax-Smin）/Smax Smax、Smin代表扫描光栅中任意两点上被检测到的信号。 C为正数 0≤C≤1 反差代表与样品性质有关信号中的信息，这些性质是我们要测定的。 在电子束与样品的相互作用过程中，样品的形貌、成分、晶体取向、导 电等性质，产生的信号强度不同，电子图像上出现不同的亮度差别，这 就是图像的反差（衬度）。 1.成分反差（背散射电子信号） 利用背散射电子信号能够得到样品中不同区域内平均原子序数的相 对差别，这种反差称为“成分反差”。检测信号S∝η
图像的构成
SEM的信息：1.X-Y空间的扫描位置 2.对应的电子-样品相互作用的强度。 线扫描：电子束在样品上沿着某一 条线进行扫描，接收的信号又被用 于CRT的扫描成像。
面扫描：电子束在样品上作X-Y栅 格扫描，CRT上也以相同的X-Y方 式扫描，形成我们所熟悉的图像。
放大倍率
SEM图像的放大倍率是通过调整样品与CRT上图像的比例来实现的。 样品空间长度l的直线上的信息被成像到CRT空间的长度L上线性放大倍率 M=L/l CRT长度L是固定的，减少样品上扫描面积的边长l就能增加放大倍率。样 品上取样面积的大小是放大倍率的函数。 扫描电镜的放大倍率仅与扫描线圈的激励有关，与物镜的激励无关，后者 用来确定电子束的聚焦。
散射可分为：弹性散射和非弹性散射 １.弹性散射：电子能量无损失，散射角比较大 2 Z 20 2 0 弹性散射截面可以用卢瑟福公式描述： Q 0 1.62 10 ct g 2
E 2
在高原子序数和低电子能量的情况下易发生弹性散射。 ２.非弹性散射：电子将能量交换给靶的电子和原子，一次散射角比较小。 非弹性散射过程和扫描电镜有关的有： a.等离子激发 激发“自由电子气”以波的形式出现 b.二次电子 激发导带中松散结合的电子，出射能量为0-50ev c.内壳层电离 激发内壳层电子，在激发过程中发出特征X射线 d.韧致辐射 在靶的库伦场中减速，发出连续谱X射线 e.声子激发 引起样品温度升高（晶格振动） 单个过程的截面获得困难，可以用能量损失关系来讨论 低原子序数易发生非弹性散射
BSE电子信号区域
二次电子
二次电子是指从样品中出射的能量小于50ev的电子 二次电子系数
n SE nB
1.范围和取样深度：取样深度较浅，计算出最大发射深度 约为5λ，横向扩散也相同。λ对金属约为1nm，非金属约 为10nm 二次电子的信息深度约为背散射电子的百分之一 2.与样品成分的关系：二次电子系数对样品成分的变化相 当不敏感，但是发射的二次电子中含有背散射电子激发的 二次电子，在特殊情况下也可以得到一点成分信息
2.固体探测器
利用高能电子在半导体中产生的电子空穴对研制出的固 体探测器。 固体探测器主要特点： 1）固体探测器一般为平整的薄片，尺寸各异。 2）可以靠近样品放置，提供高效几何效率。 3）对高能背散射电子灵敏，对二次电子不灵敏。
3.其他探测器
样品电流探测器、阴极荧光探测器、CCD相机、EBSD采集等等
在PMMA中能量沉 积是位置的函数，蒙特 卡罗模拟计算和腐蚀法 实验测定的结果如图
相互作用区的线性体积a.随原子序数的增加而减小； b.随电子束能量的增加而增加；c.电子束与样品的 角度关系是倾斜角增加时，相互作用区变小
对于电子在固体中的穿行距离，即所谓的“电子范 围”有两种常用的模型来考虑： 蒙特卡罗电子轨迹模拟图 1.Bethe范围
BSE电子图像
BSE电子图像
二次电子图像
背散射电子象中成分象 和形貌象的分离
COMPO象-成分象
TOP象-形貌象
2.形貌反差 背散射电子和二次电子的产生与电子束和样品之间的入 射角有关，入射角因样品表面的形貌起伏而变化，这就形成 了样品的形貌反差。在普通的扫描电子显微技术中形貌反差 是最重要的反差。 对形貌反差有贡献的几种效应： a.总的背散射系数，随样品的倾斜成单调函数增加 b.背散射电子的角度分布于样品的倾斜角有关。在垂直入射 θ=00时，分布遵循余弦定律，而在θ>00时，这个分布在向 前散射的方向上趋于一个明显的峰。 c.总的二次电子系数随表面的倾斜角而变化，近似为 δ∝δ secθ =δ 0/cosθ ,因此倾斜表面产生的二次电子比垂 直电子束表面的多。
0.2mm 0.2mm WD D M M R
M为放大倍率，ＷＤ为工作距离，Ｒ为末级光 阑半径 a=R/WD
§4-2 探测器
1.电子探测器
从样品出射的电子可以分为两大类： a.二次电子 ——平均能量为3-5ev b.背散射电子——从样品出射时有一个能量分布，0≤E≤E0 E0为入射电子束能量，对中高原子序数的材料，背散射电子能 量分布的峰值在08-0.9 E0处。 E-T探测器：该探测器由Everhart-Thornley于1960年研制 成功。 工作模式：一个高能电子轰击闪烁体 材料，这一电子产生许多光子，通过 一个光管将它们导入光电倍增管中。 由于该信号是光信号，所以它可以通 过一个石英窗进入与扫描电镜的真空 始终隔绝的光电倍增管，可产生一个 增益为105-106的输出脉冲，且噪音 小、频带宽。闪烁体上覆盖着一层铝， 偏置+10v电压，用于加速收集的二 次电子。
二次电子信号
X射线
1.X射线的产生：在束电子发射非弹性散射的过程中，可观 察到能量正好处于X射线电磁波的谱段内辐射，X射线以两种 不同的过程形成。 a)束电子在原子实（原子核与紧密束缚的电子组成）的库伦 场中减速形成能量连续的X射线谱（韧致辐射） b)束电子与内壳层电子相互作用，驱出束缚电子，原子处于 激发态，电子壳层留出一个空位，在随后的去激过程，某个 外层电子发生跃迁填充这个空位，这个跃迁过程伴随着能量 变化，原子以发射X射线的形式释放能量。发射的X射线的能 量与原子中确定能级间的能量有关。这种X射线称为特征X射 线。
三：电子束与样品的相互作用
SEM能显示各种图像的信息是由于电子束与样品的相互 作用而产生的各种信号。选择参数合适的电子束照射到样品 上，形成图像的信息来源于样品上电子束照射的部位，理想 情况是信息取样面积应该等于电子束的直径，但是实际上并 非如此。 １.散射 ２.相互作用区 ３.背散射电子 ４.二次电子 ５.特征Ｘ射线
E-T探测器的特点： 1.电子信号可以放的很大，引入的噪音小、频带宽，和电视 扫描频率兼容。 2.二次电子和背散射电子都可以检测。 3.在收集二次电子时也包含有背散射电子。二次电子的收集 效率为50%；背散射电子收集效率为1%——10%。 TTL探测器
二次电子在透镜磁场中做螺旋 运动通过透镜到达探测器，基本排 除了背散射电子，收集到的是束电 子产生的二次电子和背散射电子激 发的二次电子，大大提高了分辨率。
K线系
L线系
小结
样品的成分、加速电压都影响相互作用区，一般情 况下，相互作用区比束斑大，每种信号从固体发出的空 间范围，是决定扫描图像空间分辨能力的重要因素。