第一章 几何量计量基础知识
计量学基础——几何量计量

标准。它是单值量具,以其两端面之间的距离复现 长度量值。常用的量块是矩形平行六面体。
量块的主要用途是常被用作计量器具的标准。高 等级的量块可用来检定低等级的量块,低等级的量 块还可以直接作为精密的量具使用。
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第三节 几何量计量的传递和校准
一、 长度计量
如便携式光纤干涉测量仪、便携式大量程三 维测量系统等,往往用于解决现场大尺寸的测量 问题。
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第四节 几何量计量的发展
一、 测量尺寸继续向着两个极端发展
4、测试方式向多样化发展 4)虚拟仪器
虚拟仪器是虚拟现实技术在精密测试领域的应用, 国内已有深入的研究。一种是将多种数字化的测试仪器 虚拟成一台以计算机为硬件支撑的数字式的智能化测试 仪器;另一种是研究虚拟制造中的虚拟测量,如虚拟量 块、虚拟螺纹量规、虚拟坐标测量机等。
1、量块 量块的等和级 按制造准确度分可分为0级,1级,2级,3级,4
级共5个级别; 按量块的测量准确度分可分为1等,2等,3等,4
等,5等,6等共6个等级。
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第三节 几何量计量的传递和校准
一、 长度计量
1、量块 量块的性能
1)稳定性,即量块的实际长度随时间变化的程度。 2)耐磨性,量块在工作中经常与其他物体有接触, 所以要求计量面要有足够的耐磨性。 3)研合性,量块与量块经互相推合或贴合而形成一 体的性能。
2
第一节 几何量计量的基本名称与概念
一、 几何量的概念
几何量表征物体的大小、长短、形状和位置,其 基本参量是长度和角度,除此之外,还必须加入一些 工程参量,如:圆度、锥度、粗糙度、渐开线、螺旋 线等。
几何量计量的单位有:长度单位为“米”,单位 符号为“m”,是SI的七个基本单位之一。角度单位 有两个,即平面角单位为“弧度”,单位符号为 “rad”;立体角单位为“球面度”,单位符号为 “sr”。
几何量计量概述

第一节几何量计量概述一、几何量计量简介:几何量计量又称长度计量,是起步比较早,发展比较快,技术比较成熟的一门科学。
主要包括:光波波长、量块、线纹、表面粗糙度、平直度、角度、通用量具(游标类、测微类、指示表类)、工程测量等。
几何量计量的单位有:长度单位“米”。
角度单位有两个,即平面角单位为“弧度”,单位符号为“rad”;立体角单位为“球面度”,单位符号为“sr”。
二、几何量测量的基础知识:1、测量的基本要素:任何一项测量过程都必须有被测的对象和所采用的计量单位,此外还两者怎样进行比较和比较所得结果的准确度如何的问题,即测量方法和测量准确度问题。
这四个部分称为测量的四个基本要素。
1.1 测量对象:是指被测定物理量的实体。
而被测量则是指某一被测的物理量或被测对象的某一被测参数。
测量对象可能包含有多个被测的量。
1.2 计量单位:是在定量评定物理量时,作为标准并用以与被测量进行比较的同类物理量的量值。
计量单位的定义是:有明确定义和名称并命其数值为1的一个固定值。
如长度的单位有米、毫米、微米等。
1.3 测量方法:是指参与测量过程的各组成因素和测量条件的总称。
一般可从获得测量结果的方式、测量的接触形式、被测参数的多少等方面进行分类。
大致可分为:直接测量和间接测量;绝对测量和相对测量;接触测量和非接触测量;综合测量与单项测量;组合测量与独立测量;静态测量与动态测量;被动测量与主动测量等。
测量方法虽然有以上多种分类,但从测量本质来说,又可归结为直接测量、间接测量和组合测量三大类。
还必须指出,对于某一个具体的测量方法,他可能是直接测量,又可能是绝对测量。
计量人员可根据不同的测量对象和测量参数选择不同的方法。
1.4 测量结果的准确度:是指测量结果的正确可靠程度。
2、测量方法的误差因素:对测量方法的各种误差因素进行认真分析,以估计它们对测量结果的影响,是设计测量方法或评定测量结果准确度的一个重要工作。
在一般精确度的测量中,测量方法的主要误差因素包括计量器具误差、标准件误差、瞄准误差、读数误差、定位误差。
几何量测量基础

测量器具的分类(3)
3、计量仪器 是能将被测几何量的量值转换成可直接观测 的示值或等效信息的一类计量器具。计量仪器按 原始信号转换原理可分为以下几种: 机械量仪、光学量仪 、电动量仪 、气动量仪 4、计量装置 是指为确定被测几何量量值所必需的计量器 具和辅助设备(如检验夹具)的总体。它能够测 量同一工件上较多的几何量和形状比较复杂的工 件,有助于实现检测自动化或半自动化,如齿轮 综合精度检查仪、发动机缸体孔的几何精度综合 测量仪等。
y
1
2
e
2 2 2
y 概率密度;
标准偏差; 随机误差
测量误差和数据处理(3)
2、测量误差分类 根据测量误差的性质、出现的规律和特点, 可分为三大类,即系统误差、随机误差和粗大 误差。 粗大误差 :这种显著歪曲测得值的粗大误差 应尽量避免,且在一系列测得值中按一定的判 别准则予以剔除。
互换性与技术测量
本讲基本内容
‴ 概述 ‴ 长度量值的传递 ‴ 计量器具和测量方法
‴ 重点:测量技术基本概念
§2-1 测量技术基本概念
与测量相关的概念 测量四要素
概念(1)
1、测量 :是把被测的量与具有计量单位的 标准量进行比较,从而确定被测 量量值的过程。 若令
被测量为──── L 长度单位为─── u 比值为───── q
测量四要素
1、测量对象 2、测量单位 3、测量方法 4、测量精度
被测对象
本课程研究的是几何量的测量,被测对象 包括:长度、角度、形状和位置误差、表面粗糙 度以及单键和花键、螺纹和齿轮等典型零件的各 项几何参数的测量。
测量单位
测量单位(简称计量单位):是以定量表示同种量的 量值而约定采用的特定量。我国规定采用以国际单位 制(SI)为基础的“法定计量单位制”。它是由一组 选定的基本单位和由定义公式与比例因数确定的导出 单位所组成的。如“米” 为长度基本单位,机械工程 中 常用的长度单位 “毫米”、“微米” 和“纳米” 均为 “米”的分数导出单位。角度单位有度(°)、分(′)、 秒(″); 在测量过程中,测量单位必须以物质形式来体现,能 体现长度计量单位和标准量的物质形式有:光波波长、 精密量块、线纹尺、各种圆分度盘等。
几何量测量基本知识

实物基准
尺寸传递系统: 尺寸传递系统:
主基准(副基准) 主基准(副基准) 工作器具 工作基准 被测对象
基准谱线 光波干涉仪 国家基准米尺 基准组量块 光波干涉仪 一等量块 工作基准米尺 超级光较仪 二等量块 一等线纹尺 接触式干涉仪 三等量块 接触式干涉仪 二、三等线纹尺 四等量块 光学比较仪 五等量块 工程用刻线尺 工件
刻 线 量 具
端 面 量 具 尺寸精度: 中心长度精度 平面平行精度: 平面平行精度:量块两侧面上任意点的垂 直距离对其中心长度之差的最大绝对值 研合性: 研合性:通过分子吸引力的粘合能力
量块的
“级”:制造精度 偏差 长度变动量 级 “等”:检定精度 测量的不确定度 长度变动
研究对象: 机械零部件的几何精度设计和检测原理。 研究对象:★机械零部件的几何精度设计和检测原理。 目的任务: 掌握互换性、 目的任务:★掌握互换性、标准化的基本概念及与零部 设计有关的术语和定义; 件几何精度设计有关的术语和定义; 几何精度设计有关的术语和定义 基本掌握机械几何精度设计标准的主要内 ★基本掌握机械几何精度设计标准的主要内 特点和应用原则, 容、特点和应用原则,熟练查阅各种标准 规定资料; 规定资料; 初步学会根据机器或零件使用要求, ★初步学会根据机器或零件使用要求,正确 设计几何量公差并正确地标注在图样上; 设计几何量公差并正确地标注在图样上; 了解掌握各种典型的几何量检测方法, ★了解掌握各种典型的几何量检测方法,初 步学会使用常用计量测试工具。 步学会使用常用计量测试工具。 基本理论: 误差理论 基本理论: 理论研究方法:数理统计 理论研究方法:
5.灵敏度( ):计量器具示数装置对被测量变化的 5.灵敏度(k):计量器具示数装置对被测量变化的 灵敏度 反应能力,也成放大比。 反应能力,也成放大比。 k=a/i a—分度值; a 分度值;i—刻度间距 分度值 刻度间距 6.测量力:计量器具与被测表面之间的接触力。 6.测量力:计量器具与被测表面之间的接触力。要求 测量力 稳定、防止变形。 稳定、防止变形。 7.示值误差:计量器具与被测量真值之间的差值。其 7.示值误差:计量器具与被测量真值之间的差值。 示值误差 允许值可从使用说明书或检定规程中查得 8.示值变动性 8.示值变动性 9.回程误差 9.回程误差 10.修正值 10.修正值
计量基础知识(培训教材).pptx

• 量值的准确一致,不仅要有一定的技术能力和技术手段,而且还要有 一定的法律、法规做保障,这是计量的社会性所决定的,特别是关系 到国计民生,对人民生活有直接影响的计量必须有法制来保障,否则 量值传递达不到一致性。
12
第二章:计量学的分类
计量学包括的专业很多,应用十分广泛, 目前大体上分为10大类
高温计量:其范围为(6000~630)℃,用于炼焦、炼铁、轧量:超过6000℃为高温,主要用于国防和科研,如测量炸弹爆
炸、火箭发射时的温度测量等。
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计量学
3、力学计量
力学计量是一个大类,内容极为广泛,它包 括质量计量、容量计量、密度计量、力值计量、 硬度计量、压力计量、真空计量等。其中质量 计量划分为大质量:20kg以上,中质量: 1g~20kg,小质量:1g以下。
量:现象、物体或物质的可以定性区别和定量确定的属性。计量学中的
量都是指可以测量的量;一般意义的量,如长度、温度、电流;特定 的量,如某根木棒的长度通过某条导线的电流。可以直接相互比较并 按大小排序的量称为同种量,若干同种量合在一起可称为同类量,如 功、热能;厚度、周长等
量制:彼此间存在确定关系的一组量。
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计量的分类
➢ 科学计量:科学计量是指基础性、探索性、先行性的计量科学研
究。例如关于计量单位和单位制、计量基准与标准、物理常数、测量 误差、测量不确定度与数据处理等。
➢ 工程计量:也称工业计量,是指各种工程、工业企业中的应用计
量。例如有关能源或材料的消耗、工艺流程的监控以及产品质量与性 能的测试等。
以部分人体、动物的丝毛、植物果实等为基准
➢ 经典计量阶段.ppt
1875年“米制公约”的签订开始,以宏观器具为基准
几何量计量概述

第一节几何量计量概述一、几何量计量简介:几何量计量又称长度计量,是起步比较早,发展比较快,技术比较成熟的一门科学。
主要包括:光波波长、量块、线纹、表面粗糙度、平直度、角度、通用量具(游标类、测微类、指示表类)、工程测量等。
几何量计量的单位有:长度单位“米”。
角度单位有两个,即平面角单位为“弧度”,单位符号为“rad”;立体角单位为“球面度”,单位符号为“sr”。
二、几何量测量的基础知识:1、测量的基本要素:任何一项测量过程都必须有被测的对象和所采用的计量单位,此外还两者怎样进行比较和比较所得结果的准确度如何的问题,即测量方法和测量准确度问题。
这四个部分称为测量的四个基本要素。
1.1 测量对象:是指被测定物理量的实体。
而被测量则是指某一被测的物理量或被测对象的某一被测参数。
测量对象可能包含有多个被测的量。
1.2 计量单位:是在定量评定物理量时,作为标准并用以与被测量进行比较的同类物理量的量值。
计量单位的定义是:有明确定义和名称并命其数值为1的一个固定值。
如长度的单位有米、毫米、微米等。
1.3 测量方法:是指参与测量过程的各组成因素和测量条件的总称。
一般可从获得测量结果的方式、测量的接触形式、被测参数的多少等方面进行分类。
大致可分为:直接测量和间接测量;绝对测量和相对测量;接触测量和非接触测量;综合测量与单项测量;组合测量与独立测量;静态测量与动态测量;被动测量与主动测量等。
测量方法虽然有以上多种分类,但从测量本质来说,又可归结为直接测量、间接测量和组合测量三大类。
还必须指出,对于某一个具体的测量方法,他可能是直接测量,又可能是绝对测量。
计量人员可根据不同的测量对象和测量参数选择不同的方法。
1.4 测量结果的准确度:是指测量结果的正确可靠程度。
2、测量方法的误差因素:对测量方法的各种误差因素进行认真分析,以估计它们对测量结果的影响,是设计测量方法或评定测量结果准确度的一个重要工作。
在一般精确度的测量中,测量方法的主要误差因素包括计量器具误差、标准件误差、瞄准误差、读数误差、定位误差。
计量基础知识(培训教材)ppt课件

计量基础知识(培训教材)ppt课件•计量概述•计量单位与单位制•计量器具与测量方法•计量法规与管理体系目•计量在各个领域的应用•计量技术的发展趋势与展望录01计量概述计量的定义与分类计量的定义计量是实现单位统一、量值准确可靠的活动,是关于测量及其应用的科学。
计量的分类根据测量对象的不同,计量可分为几何量计量、温度计量、力学计量、电磁学计量、光学计量、声学计量、化学计量和电离辐射计量等。
计量的发展历程古代计量古代人们使用各种自然物作为计量标准,如用手、脚等身体部位作为长度单位,用石块、贝壳等作为质量单位。
近代计量随着科学技术的发展,人们开始使用更为精确的测量工具,如游标卡尺、天平、秒表等,并建立了各种计量基准和计量标准。
现代计量现代计量已经发展成为一门综合性的学科,涉及到多个领域的知识和技术,如光学、电子学、计算机科学等。
通过精确的测量和检验,可以确保产品的尺寸、重量、硬度等参数符合设计要求,从而保证产品质量。
保证产品质量国际贸易中需要统一的计量单位和准确的测量结果,以确保公平交易和顺利结算。
促进国际贸易精确的测量结果是科学研究和技术创新的基础,是推动科技发展的重要保障。
推动科技发展计量涉及到社会生活的各个方面,如医疗、环保、安全等,准确的计量结果可以维护社会公正和人民利益。
维护社会公正计量的意义与作用02计量单位与单位制计量单位的概念与分类计量单位的概念计量单位是为定量表示同种量的大小而约定地定义和采用的特定量。
计量单位的分类基本单位和导出单位。
基本单位是根据物理量来定义的,导出单位则是基于基本单位通过公式推导出来的。
国际单位制(SI)的构成国际单位制(SI)的概念国际单位制(SI)是国际上统一的计量单位制,由国际计量大会(CGPM)批准并推荐使用。
国际单位制(SI)的构成SI由7个基本单位和一系列导出单位组成,涵盖了长度、质量、时间、电流、热力学温度、物质的量和发光强度等7个基本物理量。
我国法定计量单位我国法定计量单位的概念我国法定计量单位是国家以法定的形式规定强制使用或允许使用的计量单位。
几何量测量基础ppt课件

稳频激光的波长作为长度基准具有极好的稳
定性和复现性。
计量标准 是指准确度低于计量基准的计量标准器 具,用于检定其它计量标准或工作计量器具
量块
工作计量器具
量值传递 定义:量值传递就是将国家计量基准所
复现的计量单位量值,通过检定(或其它传
递方式)传递给下一级计量标准,并依次逐 级传递到工作计量器具,以保证被测量的量 值准确一致。
2.2.2 量值传递系统
• 长度量值传递系统
长度量值传递系统
量值传递与溯源实例
1.2.3
量块
材料:线膨胀系数小、性能稳 定、耐磨、不易变形
L
上、下测量面 极为光滑、平整,
具有粘合性
实际量块
40
量块的基 本长度
40.001
40
量块的精度等级
① 量块的分级: 按制造精度分为6级: 00, 0, k, 1, 2, 3 级
例:
机械比较仪
③计量装置:指为确定被测几何量的量 值所必须的计量器具和辅助设备的总体.
另: 量规----指没有刻度的专用计量器具.
例:
通 端 止 端
光滑量 规
不合 不合 格 格
通 通 止 端 端 端
通 止 止 端 端 端
测量—获取被测量量值的实验过程。 • 检验—仅判断被验零件合格与否而不获取量 值的过程。
D
直接测量
用千分尺测直径
b R
h 8h 2
2
先测b与h,再代入 公式计算R的值
弓高弦长法测圆弧半径
间接测量
2.按示值是否为被测几何量的量值分类
<1>绝对测量:指计量器具显示的示值即为被测几 何量的量值.
<2>相对测量:指计量器具显示出被测几何量相对 于已知标准量的偏差,被测几何量量值为已知标准量 与该偏差的代数和.
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测量方法和计量器具,测量准确度; 观测者进行测量的能力以及计量法制和管理等; 也研究物理常数和标准物质,材料特性的准确测定。
计量学所表现的具体方式:测量、测试、检验、检定等, 主要表现方式是测量 。 问1.你认为测量、测试、检验、检定、比对这5个概念有 何不同?
形状和位臵误差是零件制造误差的组成部分,可以影响到零
件的功能和装配互换性。 按形位公差的国家标准,形状误差包括直线度、平直度、圆 度、圆柱度、线轮廓度、表轮廓度6个项目。位臵误差包含 平形度、垂直度、倾斜度、同轴度、对称度、位臵度、圆 跳动和全跳动8个项目。 螺纹的测量:单项、综合 其他几何尺寸的测量:内外尺寸、交点尺寸、光滑极限量
2.测量:是指为确定被测对象的量值而进行实验的过程。
3.测试:是指具有试验性质的测量。也可以理解为试验和测量 的全过程。 通常不一定要求测出具体值。检验的主要对象是工件。
4.检验:是判断被测物理量是否合格(在规定范围内)的过程,
5ห้องสมุดไป่ตู้检定:为评定计量器具的计量性能(准确度、稳定度、灵敏
度等),并确定其是否合格所进行的全部工作。检定的主要 对象是计量器具。
它的测量效率高,对环境条件要求不高,适宜在车间使用,但其示值 范围小,阻碍了它的发展。
(4)应用电学原理测长是在20世纪30年代初期发展起来的。
首先出现的是应用电感原理的测微仪。后来由于电子技术的发展,电 学原理的测长技术发展很快。它可以把微小误差放大到100万倍,并且电子 线路还能实现各种演算和自动测量。
和线纹的码基准尺作为长度基准。1789年法国提出建立米制,1799
年制成阿希夫米尺。 在机械制造业中最早应用的是机械原理的测长技术。1631年发明游
标细分原理。18世纪中叶,人们已应用螺纹放大原理进行长度测量。
机械测长技术迄今仍是工业测量中的基本测量技术之一,它能达到很 高的精确度。
2.计量器具的发展历史:
这些空间坐标值既可以是一维的,也可以是二维和三维的坐标 值。 几何量量仪 几何量仪器是利用机械、光学、电学、气动或其他原理将被 测量转换为可直接观测的指示值或等效信息的器具。
按原理可以分为机械量仪、光学量仪、气动量仪、电动量仪。 任何一台量仪仪器都包含一个重要部件既基准部件,它是决定 几何量仪仪器准确度的主要环节,如精密丝杠、光栅尺、度盘、 激光器等。
3.高速度:
因为加工机械的运动速度已经提高到1m/s以上.20世纪80年代以前
开发研制的仪器已经赶不上需要。如惠普公司的干涉仪市场被英国雷尼 绍公司抢占的比例很大,就是因为后者的速度达到1m/s。
4.测量方式向多样化发展
(1)多传感器融合技术在制造现场中的应用。 (2)积木式、组合式测量方法。 (3)便携式测量仪器。 (4)虚拟仪器。 (5)智能结构。
基本的测量方法
直接测量和间接测量(大油罐): 绝对测量和相对测量(量块): 接触测量和非接触测量(棉线) 单项测量和综合测量(曲轴)
手动测量和自动测量
工序测量(现场、机床自测)和终结测量 主动测量(也叫在线测量)和被动测量。
基本的测量方法
直接测量和间接测量(大油罐):
直接测量是将被测长度与已知长度直接比较,从而得出 所需的测量结果,是常用的测量方法。
间接测量的测量结果是通过测量与被测长度有一定函数
长度量值的传递体系
米定义
?
自 然 基 准
实 物 基 准
国际单位制和长度单位米
1889
1960
1983
四、几何量计量内容: 光波波长、量块、线纹、平直度、表面粗糙 度、角度、通用量具、工程测量、齿轮测量、 座标测量、几何量量仪、经纬仪类仪器
工程测量
工程测量也可称为精密测量,包含的内容较多,主要有形状 和位臵误差的测量、螺纹的测量、其他几何尺寸的测量。
和定位。
五、发展简史:
1.长度单位发展史
在古代,人类为了测量田地等就已经进行长度测量,最初是 以人的手、足等作为长度的单位。 但人的手、足大小不一,在商品交换中遇到了困难,于是便 出现了以物体作为测量单位,如公元前2400年出现的古埃及 腕尺,中国商朝出现的象牙尺和公元九年制造的新莽铜卡尺 等;以较稳定的自然物作为测量单位,如我国汉代的“黑 黍”,英国1305年用麦粒。 长度单位经历了多次演变后,1496年和1760年,英国开始采 用端面和线纹的码基准尺作为长度基准。1789年法国提出建 立米制,1799年制成阿希夫米尺。 (4)三个米定义
§1—1几何量计量简介
一、什么是几何量计量:
几何量计量又称长度计量,是对各种物体的几何尺寸和几何 形状的测量,以及为使几何量量值的准确和统一而必须进行
的计量工作。
任何一个物体都是由若干个实际表面所形成的几何实体,几 何量是表征物体的大小、长短、形状和位置等几何特征的量。
二、几何量计量的地位和作业:
6.比对:在规定条件下,对相同准确度等级的同类基准、标准
或工作用计量器具之间的量值进行比较的过程。
二、测量过程
1.测量的基本方程式 测量就是将被测量与一个作为测量单位的标准量进行比较, 以求其比值的过程。可用一个基本公式来表示,即 L=Ku 式中 L—被测长度(被测量);
u—长度单位(标准量);
本节主要内容
一、与测量有关的几个基本概念
1、计量学及其研究的内容 2、计量的具体表现方式:
二、测量过程
1、测量的基本方程式
2.测量过程四要素: 测量对象和被测量
测量单位和标准量
测量方法 测量精度
一、与测量有关的几个基本概念
1.计量学:研究测量,保证量值统一和准确的一门科学。 计量学研究的内容:
三、几何量计量的任务:
1、研究确定长度单位的定义
2、研究建立、保存长度的基准和标准:
定义的复现与实物化
3、组织长度量值传递,开展计量器具检定、修理,确保量 值准确、一致。 过程:从单位-产品 渠道:量传; 载体:计量器具;
内容:检定、修理;
密测试。
从发展的角度和工程的角度看
目的:
4、研究新的计量测试方法、新的计量器具、开展几何量精
K—比值。 上式称为测量的基本方程式。
这里所指的长度是广义的,这个“长度”包括长度值(线 值)、角度,以及被测几何形体表面的形状、位臵和粗糙 度等各种形式的几何量。
2.测量过程四要素 一个完整的测量过程包括四要素:测量对象和被测量、测 量单位和标准量、测量方法、测量精度。 (1)测量对象和被测量 A.对象:测量所指向的具体物体。多种多样,如:工件、器 具、标准器等。 B.被测量:通常为几何量。 a.不同的被测对象有不同的被测量。(如图) b.同一被测对象其被测量可能是多种的。 c.复杂零件还有复合的被测量,如滚刀的螺旋线误差。 C.被测对象和被测量的特征是设计测量方法的主要依据。 在被测量和标准量的比较过程中,对被测量的分析研究是非 常重要的。
(1)在机械制造业中最早应用的是机械原理的测长技术。
如公元前1400年,中国出现象牙尺; 公元9年,中国制出新莽卡尺;1631年发明游标细分原理;
18世纪中叶,人们已应用螺纹放大原理进行长度测量。
1848年,法国的帕尔默发明外径千分尺。 1890年,美国的艾姆斯制成百分表和千分表。
机械测长技术迄今仍是工业测量中的基本测量技术之一,它能达到很高 的精确度。
(2)测量单位和标准量
常用的长度单位和角度单位; 体现形式:在测量过程中,测量单位必需以物质形式来体现。 能体现测量单位和标准量的物质形式有光波波长、精密量块、 线纹尺、各种圆分度盘等。
(3)测量方法 完成测量任务所用的方法、量具或器具,及测量条件 (含标准器、接触方式、定位方法、环境条件等)的总和。
(2)应用光学原理的测长技术也出现较早。
19世纪末出现立式测长仪,20世纪20年代前后已应用自准直、望远镜、 显微镜和光波干涉等原理测长,使工业测量进入不接触测量领域,解决了 一些小型复杂形状工件,例如螺纹的几何参数、样板的轮廓尺寸和大型工 件的直线度、同轴度等形状和位臵误差的测量问题。
(3)气动原理的测长技术是20世纪20年代后期发展起来的。
龙门式机床的测量
百分比较仪 千分比较仪
双面百分表
杠杆百(千)分表
数显百(千)分表
经纬仪类仪器
纬仪可用来测量空间两个或两个以上目标之间的水平
角,也可测量空间目标至水平面之间的垂直角。
经纬仪类仪器是在大地测量、工程测量、矿山测量工 作中广泛使用的精密仪器,测绘部门使用最广,在军工
生产或机械制造部门,通常用于大型工件、设备的安装
(1)新型塞曼双折射双频激光器的发明极大地提高了双频干涉仪的测量 速度; (2)基于He-Ne激光腔镜移动中两偏振光相互竞争原理实现自定标位移传 感器等。 (3)视觉测试技术应用
2.高精度:
如微电子工业中要求10nm量级的定位精度,同时晶片尺寸还在增大, 达到300mm ,这意味着测量定位系统的精度要优于3×10-8,相应的激 光稳频精度应该是1×(10-8~10-9)数量级。
周节和周节累计误差等,通过对测量结果的分析,可反映出引
起误差的工艺因数。 综合误差是指单面啮合综合测量和双面啮合综合测量,可以高 效率地评定齿轮传动的工作质量。 整体测量是将每个齿的齿形误差以及各齿的相互位臵误差用 整体误差曲线图形反映出来,可确切分析各单项误差的影响
坐标测量
坐标测量是一种用于测量零件或部件的几何尺寸、形状和相 互位臵的测量方法,通过测量空间任意的点、线、面以及相互 位臵,获得被测量几何型面上各测点的几何坐标尺寸,再由这 些点的坐标值经过数学运算求出被测零部件的几何尺寸和形 状位臵误差。
纳米测量
5.高灵敏、高分辨率、小型化、集成化。 如,将光谱仪集成到一块电路板上。 6.标准化 7.测量尺寸继续向着两个极端发展 8.实现各种溯源的要求 (1)自标定、自校准 (2)现场直接标定