1号液清洗原理
清洗机原理及设备结构介绍ppt课件
共有4个传感器：入口、出口、中间两侧。
4
DWT抽检
（1）水平传送部分：通过电机减速机带动大滚轮转动，水平传送与预湿 机连接处设有小滚轮过渡。
（2）翻转部分：通过左右端2个汽缸带动齿条直线运动来带动齿轮转动， 从而带动机架翻转73°，（翻转架子上装有2个光电传感器检测玻 璃），架子下部设有2个缓冲器。
5
预湿机及DWT抽检示意图
二次投入传感器
玻璃输出
大滚轮
输出传感器 抽检传感器
抽检玻璃 输出投入
玻璃输入
进入传感器 过渡小滚轮
翻转架 对射光电传感器
6
预湿机抽检传送流程
预湿机抽检传送动作流程： 玻璃通过预湿机需要抽检时，经过入口磁性传感
器传送带开始减速，当玻璃经过中间一侧的磁性 传感器时，传送滚轮停止，同时气缸带动机架上 升20mm停止，垂直传送滚轮开始运行，此传感 器检测到玻璃离开后，机架开始下降，回到原位， 水平传送带又开始水平输送玻璃。
15
二流体一清洗（CLE5）
二流体清洗介绍： （1）二流体组成: 洁净压缩空气（CDA）和纯水（DI Water）的混合体。 （2）CDA过滤器0.01um、DI Water过滤器1.2um。 （3）上下各1个二流体喷淋体，长度830mm，二流体喷体上进入处有5个
孔，分别通入CDA和DI Water ，喷口处为0.1mm液刀口。 （4）玻璃通过二流体清洗后，有喷淋管对玻璃进行清洗，上面有4排喷水
产生共振效果
除去表面液体
28
清洗能动性能指标
用水要求：①18MΩ（电导率）超纯水； ②TOC（有机碳总和）：
100PPb （十亿分之一）； ③SiO2：50PPb。
CDA：①温度：25+5℃， ②露点：-50℃不凝水， ③Particle：0.3um，30ea/cm2。
乳化油
通过专用设备进行乳化
通常所说的乳化油是将燃油(汽油、柴油或重油)70%～90％加水近30%～10％(质量乳化油
比，下同)，再加添加剂0.5％～1％，而后通过专用设备进行乳化。使油液成为油包水型分子基团，该分子基团的颗粒一般为0.5～10 μm，颗粒越小、越均匀，乳化油的稳定期越长，一般1～6个月，乳化油的油水分离即破乳，破乳后将失去其性能。
水在其中起到的“媒介”作用
前面谈到的微爆也好，水煤气反应也好，都离不开水，水在其中起到的作用被称为“媒介”作用。在上述过程中水不会消耗，也不会增加，它的综合作用是使碳粒子得到充分燃烧，抑制NOx的生成。这是否意味着掺水越多越好呢?不然，许多实验证明，掺水量增加，柴油打火难度也增加，甚至打不着火；掺水量增加，柴油机动力性能下降。另外，在燃烧过程中，大量的潜热与显热被蒸气带走，增加了排烟热损失，降低了热效率。因此，掺水量的多少十分重要，适量掺水既节能又降污，掺水量过大反而达不到预期效果。这也是符合辩证法的。掺水量的多少有个“度”，众多实验认为这个度为10%～30％(30%时打火启动比较容易)。水在起媒介作用的同时，高温、高压的水蒸气，在膨胀过程中也要做功(即蒸汽机原理)，这部分功同油燃烧做功一样被利用。这是水的第2个作用。
生产工艺
把油、水、添加剂放在一起使之混合，并形成油包水型粒子，直径在μm数量级，稳定期3个月乃至半年，制造起来是有一定难度的。 首先是添加剂的选择。添加剂和燃油的热值、闪点、稳定期等因素均有关系。此外，还要考虑燃油的经济性。添加剂性能很好，但若不经济，制成的乳化油比柴油或汽油还要昂贵，显然是没有市场的，因而也是没有前途的。我们的许多研究，不能走向市场，这恐怕是一个重要原因。因此，添加剂的选取需要做大量的实验，从中优化出理想的添加剂配方，这个配方视应用对象不同而有不同。 乳化油的制取可用机械的方法把按比例配好的油、水、添加剂进行搅拌、剪切、混合、雾化等使粒子直径达到要求。 报道中也有用机械进行初混而后通过超声的办法促使油、水、添加剂乳化的。超声用于化学反应称为声化学，在声化学中超声乳化可加速化学反应过程，提高反应产率，避免某些副反应，降低反应条件等。超声波在液体媒质中传播时会出现机械的、热的及空化等作用机制，对传声媒质产生一系列的效应。超声乳化的主要优点是不用或少用表面活性剂。超声发生器通过换能器将能量传递给油液。现已出现10 kW/h处理几千升设备。 近年来也有把磁化技术用于燃油乳化的报道。
电刷镀原理
表 3-2-8 不同基体金属电净、活化、预镀工艺
序号
基体 金属
电净 规范
活化
工序
预镀层
规范
表面状态 间处理 溶液
规范
说明
1 号液，反接，
正接，12～ 8～14V，10～
低碳钢，普
银灰色，无
1
18V，5～ 60s，或 2 号
通合金钢
花斑
60s 液，反接，6～
12V，5～30s
水洗
15V， 工作层为铜时，
钢
60s
18V，30～
均匀 灰黑色
均匀的 银灰色
90s
水洗
水洗后用 特殊镍 预镀液擦
试
15V
为减小氢脆，电
15m/min 净时间应尽量
2μm
短。
铸铁：2 号液，
反接，6～
12V，5～30s
8～12V
活化水洗后，
铸钢：3 号液， 黑灰色
正接，12～ 反接，8～
3 铸铁、铸钢 18V，30～ 14V，10～
15m/min 可用任一预镀
特殊镍或
2μm 层。工作层为镍
碱性铜 8～12V， 并受较大应力
15m/min 时，要用特殊镍 2μm 预镀层，此时先
－6－
郑州鼎正电子科技有限公司
不通电，擦拭
2～5s，能提高
镀层附着力
同上
中碳钢、高 正接，10～
再用 3 号液，
2 碳钢、淬火 15V，15～
反接，25～
－5－
郑州鼎正电子科技有限公司
活化是根据零件的不同材料，选用相应的活化液和工艺，通过电化学
和机械摩擦的作用，去除基体金属表面的氧化物和其它不利于镀层结合
液压油和乳化油
（一）液压油的分类与牌号划分：液压油的种类繁多,分类方法各异,长期以来,习惯以用途进行分类,也有根据油品类型、化学组分或可燃性分类的。
这些分类方法只反映了油品的挣注,但缺乏系统性,也难以了解油品间的相互关系和发展。
1982年ISO提出了《润滑剂、工业润滑油和有关产品---第四部分H组》分类,即ISO 6743/4一1982,该系统分类较全面地反映了液压油间的相互关系及其发展。
GB 7631.2一87等效采用ⅠS0 6743/4的规定。
液压油采用统一的命名方式,其一般形式如下: 类—品种数字L Hv 22 其中：L--类别(润滑剂及有关产品,GB7631.1) HV--品种(低温抗磨) 22--牌号(粘度级,GB3141) 液压油的粘度牌号由GB 3141做出了规定,等效采用ISO的粘度分类法,以40'C运动粘度的中心值来划分牌号。
（二）液压油的规格、性能及应用：在GB/T7631.2一87分类中的HH、HL、HM、HR、HⅤ、HG液压油均属矿油型液压油,这类油的品种多,使用量约占液压油总量的85%以上,汽车与工程机械液压系统常用的液压油也多属这类。
以下分别介绍其规格、性能及其应用。
l.HH 液压油按GB 7631.2一87分类,HH液压油是一种不含任何添加剂的矿物油。
这种油虽己列入分类之中,但在液压系统中己不使用。
因为这种油安定性差、易起泡,在液压设备中使用寿命短。
2.HL液压油(也称通用型机床工业用润滑油) l)规格HL液压油是由精制深度较高的中性基础油,加抗氧和防锈添加剂制成的。
HL液压油按40C运动粘度可分为15、22、32、46、68、100六个牌号。
2)用途HL液压油主要用于对润滑油无特殊要求,环境温度在O‟C 以上的各类机床的轴承箱、齿轮箱、低压循环系统或类似机械设备循环系统的润滑。
它的使用时间比机械油可延长一倍以上。
该产品具有较好的橡胶密封适应性,其最高使用温度为80‟C。
半导体制造清洗工艺概述
3.3 清洗方法概况
添加氯化物可抑制光照的影响，但少量的氯化物离子由于在Cu2+/ Cu+反应中的催化作用增加了Cu的沉积，而大量的氯化物离子添加 后形成可溶性的高亚铜氯化物合成体抑制了铜离子的沉积。优化 的HF/HCl混合物可有效预防溶液中金属外镀，增长溶液使用时间。 第三步是使用最佳的臭氧化混合物，如氯化氘及臭氧，可在较低p H环境下使硅表面产生亲水性，以保证干燥时不产生干燥斑点或水 印，同时避免金属污染的再次发生。在最后冲洗过程中增加了HN O3的浓度可减少表面Ca的污染。
3.3 清洗方法概况
3.3.2 稀释RCA清洗 现行的RCA清洗方法存在不少问题：步骤多，消耗超纯水和化
学试剂多，成本高；使用强酸强碱和强氧化剂，操作危险；试剂易 分解、挥发，有刺激性气味，使用时必须通风，从而增加了超净间 的持续费用；存在较严重的环保问题；硅片干燥慢，干燥不良可能 造成前功尽弃，且与其后的真空系统不能匹配。其中的很多问题是 RCA本身无法克服的。
3.2 污染物杂质的分类
3.2.2 有机残余物 有机物杂质在IC制程中以多种形式存在，如人的皮肤油脂、净
化室空气、机械油、硅树脂、光刻胶、清洗溶剂等，残留的光刻胶 是IC工艺中有机沾污的主要来源。每种污染物对IC 制程都有不同程 度的影响，通常会在晶圆表面形成有机物薄膜阻止清洗液到达晶圆 表面，会使硅片表面无法得到彻底的清洗。因此有机残余物的去除 常常在清洗工序的第一步进行。
3.3 清洗方法概况
表3-3 硅片湿法清洗化学品
表3-3 硅片湿法清洗化学品
3.3 清洗方法概况
3.3.1 RCA清洗 工业中标准的湿法清洗工艺称为RCA清洗工艺，是由美国无线
电公司（RCA）的W．Kern和D．Puotinen于1970年提出的，主要由 过氧化氢和碱组成的1号标准清洗液（SC⁃1）以及由过氧化氢和酸组 成的2号标准清洗液（SC⁃2）进行一系列有序的清洗。RCA清洗工艺 技术的特点在于按照应该被清除的污染物种类选用相应的清洗药水， 按照顺序进行不同的药水的清洗工艺，就可以清除掉所有附着在硅 圆片上的各种污染物。需要注意的是，每次使用化学品后都要在超 纯水（UPW）中彻底清洗，去除残余成分，以免污染下一步清洗工 序。典型的硅片湿法清洗流程如图3⁃1所示。实际的顺序有一些变化， 应根据实际情况做相应调整以及增加某些HF/H2O（DHF）去氧化层 步骤。
rca清洗液1号液工作原理
rca清洗液1号液工作原理
rca清洗液1号液的工作原理是由两种成分构成的，一种是由聚乙烯醇和香精调配而成的清洗液，另外一种是由二醋酸纤维素和香精调配而成的清洗液。
两种清洗液各有其优缺点，1号液适合于比较顽固的污渍，2号液则适合于较轻的污渍。
rca清洗液1号液工作原理：
1.1号清洗液主剂是聚乙烯醇和香精调配而成，在清洁和消毒的同时能抑制细菌生长，1号液和2号液的区别在于聚乙烯醇添加量不同。
1号液主剂是聚乙烯醇，在1号液主剂中聚乙烯醇含量为40%左右，而2号液主剂中聚乙烯醇含量为50%左右。
2号液不仅能有效杀灭细菌而且对人体无害，在1号液主剂中添加香精使得清洗后的手不会出现刺痛感。
2号液主剂主要由水、乙醇和甘油组成，1号液主剂主要由水和甘油组成。
2.1、3和4、5都是由2和4混合而成，1号液为聚乙烯醇加香精混合而成。
—— 1 —1 —。
EDI超纯水系统操作说明书
XX责任有限公司10T/H二级反渗透+EDI超纯水系统操作说明书目录一、概述1、产水用途：生产用超纯水；2、设备产水能力：反渗透系统：一级RO产水量≥15m3/h（原水在25℃时）；二级RO产水量≥10m3/h（原水在25℃时）；EDI系统：EDI产水量≥10m3/h（原水在25℃时）；抛光混床系统：产水量≥10m3/h（原水在25℃时）；3、设备产水水质指标：终端产水水质≥18.0MΩ.cm（水温25℃、95%时间）二、工艺流程示意图三、预处理系统（一）原水箱原水箱作为储水装置，调节系统进水量与原水泵抽送量之间的不平衡，避免原水泵启停过於频繁，箱内设置液位，原水进水阀根据液位高低进行自动补水，原水泵根据水池液位情况自动启停。
材质：PE材质数量：1台外形尺寸： 2050×H3050mm体积：10m3操作：原水箱顶部设置手动及自动电动进水阀，可进行手动及自动补水；手动补水时不受液位控制，只能手动控制。
自动补水阀补水时受液位控制，当水箱液位降到设定中液位时，自动阀开启自动补水；当水箱液位达到设定高液位时，自动阀关闭停止补水，从而达到自动的性能。
（二）原水泵型号：CHLF20-40流量：Q=20m3/h扬程：H=41.5米材质：不锈钢304功率：4.4Kw数量：1台供应商：杭州南方泵业作用：原水泵将原水增压後输送到下道工序，保证多介质筛检程式、活性炭过滤的操作压力及运行流量。
操作：原水泵可分手动和自动操作，自动运行时，原水泵将与原水箱液位联动，原水箱液位低时原水泵停止运行，中水位时重新启动；手动操作时除原水箱液位液位不与原水泵连锁外，其他和自动一样；其他有关说明及注意事项详见水泵说明书。
（三）多介质筛检程式数量： 1套型式：立式直径： 1500mm高度： 3300mm流量：≥20m3/h流速： 8-12m/h填料：石英砂粒径：0.5-16mm石英砂高度：1800mm石英砂体积：3600L作用：在水质预处理系统中，多介质筛检程式压力容器内不同粒径的石英砂按一定级配装填，经絮凝的原水在一定压力下自上而下通过滤料层，从而使水中的悬浮物得以截留去除，多介质筛检程式能够有效去除原水中悬浮物、细小颗粒、全价铁及胶体、菌藻类和有机物。
电池1号和2号用途一样吗
电池1号和2号用途一样吗电池1号和2号在原理上和用途上有一些相似之处，但也存在一些差异。
首先，电池1号和2号的原理都是通过化学反应将化学能转化为电能。
电池1号采用了碱性电解液，而电池2号采用了酸性电解液。
这意味着电池1号使用氢氧化钾（KOH）作为电解液，而电池2号使用硫酸（H2SO4）作为电解液。
这两种电解液在化学反应中起到了不同的作用，因此两种电池在使用时可能会有一些差异。
其次，电池1号和2号的用途在某些方面是相似的。
它们都可以用于给小型电子设备如手提电脑、手机等供电。
这些电池通常有较小的体积和较高的能量密度，适合用于便携式设备。
此外，电池1号和2号也常用于给玩具、遥控器、闹钟等低功耗的电子设备供电。
因为这些设备在工作时消耗的能量相对较小，所以电池1号和2号能够提供足够长时间的使用寿命。
然而，电池1号和2号在一些应用中可能会有一些差异。
由于电池1号使用碱性电解液，相比电池2号具有较高的电流输出能力，因此更适用于一些高功耗的设备，如相机闪光灯、蓝牙音箱等。
而电池2号由于酸性电解液的关系，输出的电流相对较小，适用于低功耗设备。
此外，由于电池1号的工作温度范围更广，所以在一些极端环境下，如极寒或极热的条件下，电池1号的性能可能更为出色。
另外，电池1号和2号在价格上也存在一些差异。
一般来说，电池1号的价格要高于电池2号。
这是因为电池1号使用了较为先进的技术和材料，所以成本相应也较高。
而电池2号则相对简单和常见，成本更低廉。
综上所述，电池1号和2号在原理上和用途上存在一些相似之处，都是通过将化学能转化为电能来供电给各种电子设备。
然而，它们在电解液的选择、电流输出能力以及适用环境等方面存在一些差异。
因此，在选择使用哪种电池时，需要根据具体的应用需求来做出决定。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
1号液清洗原理
1号液（SC-1）清洗液是一种常用的半导体清洗剂，主要用于去除硅片表面的有机物、金属和颗粒等污染物。
其清洗原理主要包括氧化、腐蚀和排斥三个过程。
1号液中的过氧化氢（H2O2）会在硅片表面发生氧化作用，生成约6nm厚的亲水性氧化膜。
该氧化膜的形成可以防止后续的腐蚀对硅片表面的损伤，同时也可以增加粒子与硅片表面的接触角，减少粒子在硅片表面的吸附。
1号液中的氨水（NH4OH）会与硅片表面的氧化膜发生腐蚀作用，将氧化膜腐蚀掉一部分。
由于腐蚀过程中产生的氢气会形成气泡，从而将附着在硅片表面的颗粒和金属也随着腐蚀层落入清洗液内。
因此，粒子的去除率与硅片表面的腐蚀量有关，为了有效去除粒子，需要进行一定量的腐蚀。
在清洗液中，由于硅片表面的电位为负，与大部分粒子间都存在排斥力，可以防止粒子向硅片表面吸附。
此外，由于腐蚀后的硅片表面具有亲水性，而大部分粒子是疏水性的，因此粒子会被清洗液中的水分子包围并悬浮在水中，从而实现了对粒子的去除。
1号液清洗液主要通过氧化、腐蚀和排斥三个过程来去除硅片表面的污染物。
其中，氧化和腐蚀过程可以有效地去除有机物污染、各种金属和颗粒；而排斥过程则可以防止粒子再次沉积到
硅片表面。
这些过程相互配合，使得1号液成为一种非常有效的半导体清洗剂。