涡轮分子泵的原理及特性
分子泵的真空度
分子泵的真空度分子泵是真空技术中常用的一种高效减压设备，因其具有较高的抽气速度，能够实现较高的真空度，因此广泛应用于航空航天、电子工业、光学仪器等领域。
在进行分子泵的操作时，真空度是非常重要的参考参数，本文将围绕“分子泵的真空度”展开阐述。
一、分子泵的工作原理分子泵的工作原理主要是利用离子泵原理，即利用电离技术将分子分解为离子，然后利用电场引力作用将离子吸入分子泵间隙中，并在内部的抽气腔中不断碰撞与回弹，直到分解成较小的气体分子为止。
因此，分子泵的抽气速度与分子碰撞的频率是成正比的。
二、影响分子泵真空度的因素1. 装置本身: 如果设计不当、加工过程实际上每个部件的失效，那么一样会影响分子泵的真空度；2. 待抽气体质量：待抽气体质量越大，对分子泵的抽气阻力越大，真空度也越低；3. 抽气时间: 抽气时间越短，分子泵抽取空气的速度就更慢，因此真空度也会降低；4. 泵的运行状况：如泵内真空润滑油不足或污染导致泵的抽气速度下降，真空度也会降低；三、提高分子泵真空度的方法1. 选择适合的泵型和规格：根据需要选择适合的泵型和规格，避免浪费，选择适当的抽气速度；2. 减少污染源：在进行分子泵抽气过程中，应该减少污染源的进入，防止杂质粉尘破坏油品、影响过滤和加热系统的正常运行；3. 定期维护：对于分子泵设备，在使用一段时间后，应及时清洗并更换新的真空泵油。
为了保持分子泵的完整性和正常运行，应每天检查管道、阀门、压力表、取样瓶等设备的漏气情况。
四、结论分子泵的真空度是衡量分子泵抽气效果的重要参考参数。
只有降低待抽气体质量，保持设备良好的运行状态，同时还要选择适合的泵型和规格，才能保证得到较高的真空度。
在日常检查中，定期检查管道，清洗油品，测量漏气情况等，都是保证分子泵稳定运行，提高真空度的重要措施。
分子泵说明书-2012
FF-160/750 FF-160/750Z LF160 CF160
金属密封CF接口专用 在分子泵的前级口上
胶圈密封LF接口专用 FF-160/750中LF接口分子泵 FF-200/1200中LF接口分子泵 FB-250/1600中LF接口分子泵 FB-400/4200
10
卡钳（LF专用）
个
5 6 10
4.4 分子泵选购件 表 3 选购配件表
序号
名 称
单位
规格
数量
备
4.2 分子泵适配电源 每种型号分子泵必须配用其专用电源，否则可能造成分子泵损坏。若由此引起的 损失本公司概不负责。适配电源见表1。 表1 分子泵适配电源表 序号 分子泵型号 适配电源 1 FF-160/620、FF-160/620F FK-620 2 FF-160/750、FF-160/750Z FK-750 3 FF-200/1200 FK-1200 4 FB-250/1600、FF-250/1600 FK-1600 5 FB-400/4200 FK-4200
14
XC
系列分子泵使用说明书
图 12、FB-400/4200 安装简图
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XC
系列分子泵使用说明书
5.5 分子泵排气口简图
图 13 KF40 接口
图 14 KF50 接口
图 15 LF100 接口
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XC
系列分子泵使用说明书
6.安装
PVD真空设备介绍
, 厚度为t，叶片间距为a，长度为b，叶片可看
①
②
成是彼此平行的长平板。
2、转子叶片将空间分割成空间①和②
3、气体分子从空间①经过叶片进入空间②的几率
为W12，反向几率为W21 4、转子运动速度u
_
密级（请在幻灯片母版主页内修改）--©2017 Hanergy Thin Film Power Group Limited
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二 真空设备原理介绍
2.5罗茨泵工作原理
在泵腔内，有二个“8”字形的转子相 互垂直地安装在一对平行轴上，由传动 比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同 步旋转运动。在转子之间，转子与泵壳 内壁之间，保持有一定的间隙，可以实 现高转速运行。由于转子的不断旋转， 被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之
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三 真空计介绍
3.2真空计分类
•
依量测范围分：
•
(1)粗略真空计量测范围：760 ~ 1Torr
•
•
(2)中度空计量测范围：1 ~ 10－３ Torr
•
(3)高度真空计量测范围：10 -3~ 10－7 Torr •
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二 真空设备原理介绍 2.7分子真空泵(Molecular Pump)
密级（请在幻灯片母版主页内修改）--©2017 Hanergy Thin Film Power Group Limited
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二 真空设备原理介绍 2.8磁悬浮轴承（Magnetic Bearing）
分子泵原理
第3讲真空获得⑴张振厚李云奇3.1 概述3.1.1 真空的获得方法人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。
目前在真空技术中，采用各种不同的方法，已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围。
显然，只用一种真空泵，获得这样宽的低压空间的气体状态，是十分困难的。
在真空获得技术中，目前用以获得真空的技术方法有两种，一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出；另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。
利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多，分类方法各异，但是，最常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。
这一点，我们将在下一节中介绍。
3.1.2 真空泵的分类按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。
为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。
现分述如下：3.1.2.1 气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：1）变容真空泵变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。
气体在排出前被压缩。
这种泵分为往复式及旋转式两种：⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
因此，又称为活塞式真空泵。
⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。
旋转真空泵又有如下几种型式：①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。
分子泵离子泵机组_概述说明以及解释
分子泵离子泵机组概述说明以及解释1. 引言1.1 概述分子泵离子泵机组是一种常用于真空工程领域的设备，主要用于抽取和处理气体。
它由分子泵和离子泵两部分组成，通过联合运行实现更高效的气体抽取和净化。
本文旨在对分子泵离子泵机组进行全面的概述、说明和解释。
1.2 文章结构本文将首先对分子泵离子泵机组进行概述，介绍其工作原理以及机组的各个组成部分。
然后将阐述分子泵离子泵机组在不同应用领域的应用情况，包括半导体制造业、真空冶金以及科学研究等方面。
接着将详细探讨该机组的优点和局限性，包括高真空度和快速抽气能力、低污染和低挥发性气体处理能力，以及高能耗和维护成本较高等方面。
最后，文章将总结以上内容，并展望未来分子泵离子泵机组可能的发展趋势。
1.3 目的本文旨在向读者提供关于分子泵离子泵机组的全面了解。
通过对其工作原理、应用领域、优点和局限性的介绍，读者能够更加清晰地了解该设备在真空工程中的重要性和作用。
同时，本文也旨在启发读者思考分子泵离子泵机组未来的发展方向，以促进相关技术的突破和创新。
2. 分子泵离子泵机组概述2.1 分子泵的工作原理分子泵是一种利用分子流冲击吸附在表面上的气体分子，从而将气体抽出真空容器的高效真空设备。
其工作原理主要包括以下几个步骤：首先，在分子泵内部，通过旋转的转子将气体分子带到排气口，并且在排气口处形成一个密闭区域。
然后，在这个密闭区域内，分子泵内壁上涂有吸附剂，如涂有铯或冷阴极等金属材料。
当气体分子与涂层接触时，它们将被吸附并停留在表面上。
接着，在高速自由径向动能的影响下，排气回流到真空容器的那些吸附在内壁上的气体分子，会再次获得较大能量并溅射到其他表面上。
这样循环进行下去，持续地将气体分子抽出真空容器。
总结来说，分子泵通过使用旋转转子和涂层材料来抽取和重新释放气体分子，并不断循环这个过程，从而达到高效抽气的目的。
2.2 离子泵的工作原理离子泵是一种利用电场加速，通过离子化和阴极反应来抽取气体分子的高真空设备。
涡轮分子泵叶片的结构设计与分析
涡轮分子泵叶片的结构设计与分析涡轮分子泵是一种精密高速旋转机械，在设计过程中对主轴、转子等关键件的设计作科学准确的计算、校核尤为重要。
文章阐述了借助PRO/E、PRO/MECHANICA 软件（试用版）对涡轮分子泵的涡轮叶片进行结构设计、有限元分析（应力分析及位移分析），大大提高了设计的准确率、增强了设计的可靠性及缩短了产品的研发周期。
把CAD、CAE 有效地应用于实际的产品结构设计中，将会对产品的研发起很大的作用。
涡轮分子泵是一种精密高速旋转机械系统，主要用来获得高真空和超高真空。
目前国内外飞速发展的半导体电子产业、半导体照明产业、平板显示产业、太阳能电池产业、光学元器件产业、薄膜产业推动了分子泵的快速发展；与此同时，介于时代及行业的迫切要求，在分子泵的设计过程中，一种“短周期性、高可靠性”的设计理念应运而生，然而分子泵的设计本身就是一个相对比较复杂的过程，要实现“短周期性、高可靠性”的设计理念，单凭传统的设计方法远远做不到，必须借助当今的主流CAD、CAE 软件协作方可实现。
PRO/MECHANICA 是PTC 公司开发的有限元分析软件，该软件与该公司的PRO/E 完全无缝集成，即通过PRO/E 构建的3D 几何模型，可以直接引入PRO/MECHANICA 里做结构或热力学分析，而当3D 几何结构有变更时，PRO/MECHANICA里所建立的结构或热力学分析经过简单的“分析更新”即可方便让分析结果随着更新，完全做到无数据损失，这样，PRO/MECHANICA 就能让结构设计师们将精力集中在设计工作上，在设计初期就能因为结合了分析，实时优化结构，而缩短整个设计周期，从而降低设计成本，这也是其他主流CAE 软件无法比拟的优点。
文章描述了在涡轮分子泵（以本公司研发的FF250- 250/1600 型复合分子泵为例）的设计中，以关重件之一（涡轮转片）为例，巧妙借助PRO/E、PRO/MECHANICA 软件对其进行3D 结构设计及分析，很大程度上缩短了研发周期，提高了产品结构设计的可靠性，真正实现了“短周期性、高可靠性”的设计理念。
油气回收真空泵原理
油气回收真空泵原理引言近年来，环保意识不断增强，对资源的节约和利用成为了重中之重。
在这种背景下，油气回收真空泵作为一种新型的环保设备逐渐受到人们的关注。
本文将通过对油气回收真空泵的原理和工作机制的介绍，来阐述其在环保领域中的重要性和应用价值。
一、油气回收真空泵的定义和作用油气回收真空泵是一种专门用于回收工业设备中浸润于油中的气体的装置。
在工业生产中，通常会有一些机械设备或工艺装置需要使用润滑油或润滑脂，以保证设备的正常运转。
然而，部分润滑油或润滑脂可能会蒸发成为气体，在空气中影响甚广，不利于环境保护，对于人们的健康也可能存在风险。
油气回收真空泵的作用就是将这些浸润于油中的气体回收，减少对环境的污染，实现资源的循环利用。
二、油气回收真空泵的原理油气回收真空泵是一种通过真空泵机械原理和油气回收设备相结合的装置。
其主要包括真空泵、回收系统和控制系统三部分。
1. 真空泵真空泵是油气回收真空泵的核心部件，它通过机械运转将空气中的油蒸汽抽出，从而形成真空。
真空泵通常采用旋片式、旋翼式、涡轮分子泵等不同类型，各有其特点。
（1）旋片式真空泵旋片式真空泵是一种较为常见的真空泵，其工作原理是通过马达带动叶片旋转，叶片在转动的过程中不断将空气抽出，从而形成真空。
（2）旋翼式真空泵旋翼式真空泵是一种高效的真空泵，其工作原理是通过叶轮的旋转将空气抽出，形成真空。
（3）涡轮分子泵涡轮分子泵是一种高精度的真空泵，其工作原理是通过高速旋转的叶轮将空气抽出，形成高真空。
2. 回收系统回收系统是油气回收真空泵中的另一个重要组成部分，它主要由油气分离器、冷凝器、油回收罐等部件组成。
（1）油气分离器油气分离器主要用于将被抽出的油蒸气和空气分离，确保油气回收的纯度。
（2）冷凝器冷凝器主要用于对分离出的油蒸气进行冷凝，将其转化为液态油，以便于后续的油回收和再利用。
（3）油回收罐油回收罐主要用于存储回收的液态油，以便于后续的处理和利用。
3. 控制系统控制系统是油气回收真空泵的智能化部分，它主要通过传感器、控制器等设备进行监测和控制。
半导体设备真空泵工作原理
半导体设备真空泵工作原理
真空泵是半导体设备中用于移除气体和创建高真空环境的重要组件。
其工作原理主要涉及到压缩和排除气体的过程。
真空泵通过机械或物理方法提供动力，使气体从系统中被抽出，从而产生真空。
以下是几种常见的真空泵工作原理：
1. 旋片式真空泵：该泵的主要组成部分是一个离心叶轮和一个偏心旋片。
当泵启动时，离心叶轮旋转，并产生离心力。
离心力使得气体被吸入到泵的进气口，并通过螺旋形的通道被推向排气口。
2. 涡轮分子泵：该泵使用高速旋转的涡轮将气体分子推向排气口。
涡轮内部的连续撞击会使气体分子的能量逐渐增加，从而使气体分子逃逸。
3. 磁悬浮离心泵：该泵通过利用磁力将叶轮悬浮在磁场中，并通过旋转来产生真空。
这种泵无需润滑剂和密封件，避免了润滑剂对真空环境的污染。
4. 根式真空泵：该泵的工作原理是通过两个旋转的螺杆将气体从进气口排出。
螺杆之间形成的密封空间将气体推向排气口。
5. 离心泵：该泵利用离心力将气体推向周围，并通过排气口排出。
离心泵的工作原理类似于离心分离器。
这些真空泵工作原理在不同的应用环境中具有不同的优势和适
用性。
通过选择合适的真空泵，可以满足半导体设备中对于高真空环境的需求。
分子泵培训
4
产品的生产与制造过程
KYKY执行严格的生产流程，保证产品的高品质
设 计
加 加 工 工
装 配
入 库
检 测
平衡 调试
5
主要内容
一． 二． 三．
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三、分子泵的应用、维护
分子泵安装使用前 泵与电源的型号必须匹配 确认防护网已经安装 电源输入电压220/110v〒10% 打开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片， 观察转动是否正常 采用油润滑方式的泵，除110型外必须竖直安装，最好不要吊装
（3500型分子泵必须安装在水平基面上）
分子泵系列
冷却方式
风冷 风水两用泵 水冷 普通泵
功能
防腐蚀泵
FF-160/700
三、分子泵应用及选型
分子泵的应用
一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。
广泛应用于： 1. 工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空
炉排气）
2. 仪器、设备 3. 科研、军工装备 4. 半导体工业
复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速
可获得清洁的真空
9
一、分子泵结构、特点
分子泵特点
1．脂润滑分子泵： ① 可任意角度安装——有利于真空系统设计。 ② 有更小的油蒸汽返流率，与油润滑分子泵相比较，可得到 更清洁的高真空。 ③ ① ② ③ ④ 免维护。 陶瓷球硬度高，更抗磨损。 重量轻，高速运转下离心力小，轨道应力小。 摩擦小，运转更轻便。寿命更长。 热稳定性、化学稳定性好。轴承游隙精确。
分子束外延技术PPT课件
2019/11/3
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分子束外延工艺
在Load-Lock室装入样品后，进行抽气和低 温除气，真空度到达规定时，打开LoadLock室与准备室之间的真空阀，将贴有衬底 的钼托传送到准备室，在一定温度下加热钼 托（一般GaAs不超过400 ℃、InP不超过 300℃） ，使其充分放气。真空度达到要求 后，加热器降温。将除过气的钼托传送到生 长室进行生长。当衬底温度升高到某一特定 温度时，衬底表面氧化物迅速分解，脱离衬 底。该变化可以由RHEED图样的变化观察 到。一般的，认为：GaAs脱氧化物温度为 580 ℃ ，InP脱氧化物温度为540 ℃ 。衬底 的脱氧现象可用来确定生长时衬底实际温度 所对应的表观温度。
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分子束外延原理
外延表面反应过程
2019/11/3
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分子束外延原理
MBE的典型特点：
• （1）从源炉喷出的分子（原子）以“分子束”流形式直线到达 衬底表面，可严格控制生长速率。
• （2）分子束外延的生长速率较慢，大约0.01~1nm/s。可实现单 原子（分子）层外延，具有极好的膜厚可控性。
• （3）通过调节束源和衬底之间的挡板的开闭，可严格控制膜的 成分和杂质浓度，也可实现选择性外延生长。
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所：低维纳米结构和器件的设计、加工、 组装、集成技术为基础
浙江大学硅材料国家重点实验室：从事硅单晶材料及半导体材料的基础科学与应用 基础研究，着重拓展硅外延、太阳能硅材料、硅基光电子材料以及纳米硅材料的研 究;半导体薄膜领域：在坚持ZnO薄膜生长和掺杂特色的基础上，重点开展半导体薄 膜在LED照明领域的应用;
IBM T.J. Watson Research Center： single crystal SrTiO3 grown GeSn heterojunction diodes