分子泵简介及应用
分子泵 真空泵
分子泵真空泵分子泵和真空泵是现代科学研究和工业生产中常用的真空设备。
本文将分别介绍分子泵和真空泵的原理、结构和应用。
一、分子泵分子泵是一种利用分子撞击和吸附原理将气体排出的高真空泵。
其主要由转子、静子和泵体组成。
1. 原理分子泵的工作原理是通过转子的高速旋转，将气体分子从入口端吸入泵体，然后在转子和静子之间的空间中发生多次碰撞。
由于气体分子之间的碰撞力很小，碰撞后会改变运动方向，最终被挤向泵体的出口端，从而实现气体的排除。
2. 结构分子泵的转子通常由许多叶片组成，叶片之间呈螺旋状排列。
在高速旋转的同时，转子上的叶片会与静子之间的壁面形成一个狭窄的通道，气体分子只能通过这个通道进入泵体。
静子通常是一个环形的结构，其内部有许多小孔，用于吸附气体分子。
3. 应用分子泵广泛应用于半导体制造、真空冷冻、航天科研等领域。
由于其高真空度和高抽气速度，能够有效排除气体中的杂质，保证真空环境的洁净度。
二、真空泵真空泵是一种将气体抽出封闭容器的设备，常用于实验室、化工、制药等领域。
根据工作原理的不同，真空泵可分为机械泵、扩散泵、栅极离子泵等多种类型。
1. 机械泵机械泵是一种利用机械运动将气体排出的真空泵。
其结构简单，由主泵和辅助泵组成。
主泵通常是离心泵或旋片泵，通过转子的旋转将气体抽出。
辅助泵主要用于增加真空泵的抽气速度。
2. 扩散泵扩散泵是一种利用气体分子的扩散运动将气体排出的真空泵。
其结构复杂，由扩散器、冷凝器和泵体组成。
扩散器通常是一个环形的结构，内部有许多小通道，气体分子通过这些通道扩散到冷凝器中被冷凝。
3. 栅极离子泵栅极离子泵是一种利用离子撞击气体分子将气体排出的真空泵。
其结构由栅极、阳极和泵体组成。
离子通过栅极加速后与气体分子碰撞，将其排出。
栅极离子泵具有高真空度和高抽气速度的特点。
真空泵的应用非常广泛，既可用于实验室的真空抽取，又可用于工业生产中的真空处理。
在高真空环境下，真空泵能够有效地排除气体，保证实验和生产的顺利进行。
分子泵介绍
分子泵介绍一、分子泵是什么呢？嘿呀，小伙伴们！今天咱们来唠唠分子泵这个超有趣的东西。
分子泵呀，就像是一个超级厉害的小助手，在很多高科技的领域里都发挥着大作用呢。
你可以把它想象成一个超级吸力器，不过它吸的可不是咱们平常能看到的东西哦。
它专门对那些分子级别的东西有强大的“掌控力”。
分子泵在真空技术里可是个明星呢，就像在一个微观的世界里当大英雄。
二、分子泵的工作原理这分子泵的工作原理可有点像一场精心编排的舞蹈。
它主要是利用高速旋转的叶片或者其他特殊的结构，让那些分子按照它的节奏动起来。
就好比是在一个超级小的舞池里，分子泵是领舞的，分子们就得跟着它的步伐走。
分子泵通过这种巧妙的方式，把那些原本在一个空间里乱蹦跶的分子给有序地“请”出去，这样就能达到制造真空或者维持真空环境的目的啦。
三、分子泵的种类1. 牵引分子泵这种分子泵就像是一个温柔的引导者。
它的结构和工作方式相对来说比较简单直接。
它就像用一根无形的绳子，一点点地把分子拉到它想要的地方去。
在一些对真空度要求不是超级高的场合，牵引分子泵就可以大显身手啦。
2. 涡轮分子泵涡轮分子泵可就像是一个超级精密的机械战士。
它有很多层像小风扇一样的叶片，这些叶片高速旋转起来，就像一阵超级旋风，分子们在这阵旋风里就只能乖乖听话了。
涡轮分子泵能够达到很高的真空度，在那些对真空环境要求极高的科学研究或者高端制造业里，那可是必不可少的。
四、分子泵的应用领域1. 半导体制造在半导体制造这个超级高科技的领域里，分子泵可是个大功臣。
大家都知道，半导体芯片的制造那可是容不得一点杂质的。
分子泵制造的真空环境，就像给芯片制造提供了一个超级纯净的空间，让那些微小的电路能够精确地被制造出来。
要是没有分子泵，我们现在的手机、电脑可能就不会这么先进啦。
2. 科学研究在实验室里，科学家们研究微观世界的时候，也离不开分子泵。
比如说在研究原子、分子的结构和性质的时候，需要一个非常稳定的真空环境，分子泵就能很好地满足这个要求。
分子泵简介及应用
分子泵简介及应用分子泵起源分子真空泵是在1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。
因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。
但同于它自身的弱点：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。
分子泵抽气原理分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 分子泵必须在分子流状态下工作。
因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。
在常压下空气分子的平均自由程只有0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。
而在1.3Pa 时，分子间平均自由程可达4.4mm 。
在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。
当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。
2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。
具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。
分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。
实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。
例：H2 在空气中含量甚徽，但由于H2 分子具有很大的运动速度( 最大速度为1557m /s) ，所以分子泵对 H2 的抽吸困难。
通过对极限真空中残余气体的分析，可发现氢气比重可达85 ％，而分子量较大，而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。
这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高，抽吸效果好的原因。
分子泵简介讲义
管道连接
正确连接进气口、出气 口和其他相关管道，确
保密封良好。
校准与调试
按照厂家要求进行校准 和调试，确保分子泵正
常工作。
分子泵的日常维护保养
定期清洁
定期清洁分子泵的外部和内部 部件，保持其良好的工作状态
。
检查密封件
定期检查密封件是否老化或损 坏，及时更换。
润滑与保养
按照厂家要求进行润滑和保养 ，确保分子泵正常运行。
测试与验证
维修完成后进行测试和验证， 确保分子泵性能达标。
06
分子泵的发展趋势与展望
分子泵的发展趋势
高真空应用
随着科技的发展，高真空应用领域不断扩大，分子泵作为 高真空系统中的核心设备，其市场需求将持续增长。
节能环保
随着环保意识的提高，节能环保成为分子泵发展的重要趋 势。研发高效、低能耗的分子泵产品将成为行业发展的重 点。
分子泵简介讲义
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目录
• 分子泵概述 • 分子泵的基本原理 • 分子泵的种类与结构 • 分子泵的性能参数与评价 • 分子泵的安装与维护 • 分子泵的发展趋势与展望
01
分子泵概述
定义与特点
定义
分子泵是一种利用分子之间的相互作用来传递能量的机械，其工作原理是通过 高速旋转的叶片或刷子将气体分子从入口加速到出口，从而实现气体压缩和排 放。
分子泵的种类与结构
分子泵的种类
干式真空泵
蒸汽喷射泵
利用机械方式直接将气体分子从真空 室中抽走，如旋片式真空泵、爪式真 空泵等。
利用高温蒸汽将气体分子从真空室中 抽走，如蒸汽喷射式真空泵等。
液环真空泵
利用液体在泵内形成液环，通过液环 与气体分子相互作用，将气体分子从 真空室中抽走，如水环式真空泵等。
分子泵技术
分子泵技术一、引言分子泵是一种常用的真空技术装置，广泛应用于科研实验、半导体制造、光学薄膜镀膜等领域。
本文将介绍分子泵技术的原理、结构和应用。
二、分子泵的原理分子泵利用分子间碰撞的动量传递来实现气体的抽取。
其原理主要包括静态效应和动态效应。
静态效应是指在泵内建立高速旋转的转子，使气体分子在转子叶片间碰撞，从而获得动量传递。
动态效应是指在转子叶片上形成的高速分子束，将气体分子从泵内抽出。
三、分子泵的结构分子泵主要由转子、定子和泵壳组成。
转子是分子泵的核心部件，由多个叶片构成，通过电机驱动高速旋转。
定子是转子的外包层，起到支撑和保护的作用。
泵壳则是整个分子泵的外壳，具有密封和连接作用。
四、分子泵的工作过程分子泵的工作过程可以分为启动阶段、抽气阶段和吸附阶段。
启动阶段是指通过电机将转子高速旋转，使转子叶片间形成高速分子束。
抽气阶段是指利用分子束将气体分子从泵内抽出。
吸附阶段是指在抽气过程中，少量气体分子未被抽出而被吸附在泵的表面。
五、分子泵的应用分子泵广泛应用于实验室科研、半导体制造和光学薄膜镀膜等领域。
在科研实验中，分子泵常用于真空环境的创建，以便进行高精度的测量和分析。
在半导体制造中，分子泵用于去除制造过程中产生的杂质气体，以保证半导体器件的质量。
在光学薄膜镀膜中，分子泵则用于创建纯净的真空环境，以保证薄膜的质量和光学性能。
六、分子泵的发展趋势随着科技的不断进步，分子泵技术也在不断发展。
目前，分子泵技术已经实现了小型化和智能化，使得分子泵更加便于使用和控制。
同时，随着材料科学和表面工程的发展，分子泵的材料和结构也在不断优化，以提高抽气速度和抽气效率。
七、总结分子泵技术是一种重要的真空技术装置，具有广泛的应用前景。
通过分子间碰撞的动量传递，分子泵可以实现对气体的抽取，广泛应用于科研实验、半导体制造和光学薄膜镀膜等领域。
随着技术的不断发展，分子泵将会更加小型化和智能化，为各个领域带来更多的便利和进步。
分子泵技术
分子泵技术一、引言分子泵是一种高真空泵，可用于实验室、半导体制造、航空航天等领域。
它通过利用分子流动的动力学原理将气体从一个区域抽到另一个区域，从而实现真空度的提高。
本文将介绍分子泵技术的原理、结构和应用。
二、原理分子泵的工作原理基于气体分子的运动规律。
当气体分子进入分子泵时，分子泵内部有一系列高速旋转的叶片或转子，通过与气体分子碰撞，将其动能转换为旋转动能，从而驱动气体分子沿着泵的轴向运动。
由于分子泵内部的压力较低，分子之间的碰撞概率相对较小，因此气体分子可以以较快的速度运动，从而被抽出系统。
三、结构分子泵由分子泵头和控制器两部分组成。
分子泵头是实现真空抽取的关键部分，通常由转子、定子和扩散泵组成。
转子和定子之间的间隙非常小，以保证气体分子只能沿轴向运动，而不能逃逸。
扩散泵用于将抽出来的气体排出系统。
控制器负责对分子泵进行电子控制和监测，以确保其正常运行。
四、应用1. 实验室研究：分子泵广泛应用于实验室的真空系统中，用于抽取空气、水蒸汽等气体，以提供高真空环境，保证实验的准确性和可靠性。
2. 半导体制造：在半导体制造过程中，需要在清洁室环境下进行，以避免杂质对芯片质量的影响。
分子泵通过抽取空气中的杂质气体，确保清洁室内的真空度，从而保证半导体芯片的质量。
3. 航空航天：在航空航天领域，分子泵被广泛应用于航天器的真空测试、推进系统和舱内环境控制等方面。
它可以提供高真空环境，确保航天器的正常运行。
五、发展趋势随着科技的不断进步，分子泵技术也在不断发展。
目前，磁悬浮分子泵、速度调节分子泵等新型分子泵正在逐渐取代传统的离心分子泵。
这些新型分子泵具有更高的抽取速度、更低的振动和噪音，以及更好的可靠性和可控性。
六、总结分子泵技术作为一种重要的真空技术，在科研和工业生产中发挥着关键作用。
通过利用分子的运动规律，分子泵可以有效地抽取气体，提供高真空环境。
随着技术的发展，新型分子泵不断涌现，为科学研究和工业生产提供更好的真空解决方案。
分子泵真空系统
分子泵真空系统
分子泵真空系统是一种用于产生高真空环境的设备，广泛应用于科研实验、半导体制造、光学薄膜涂覆等领域。
它通过利用分子流的动力学效应，将气体分子从系统中抽出，从而实现高真空的状态。
本文将从介绍分子泵的工作原理、优势和应用领域等方面进行阐述。
分子泵真空系统的工作原理主要基于分子流的动力学效应。
当气体分子与高速旋转的转子碰撞时，会发生弹跳和散射。
由于转子的高速旋转和分子之间的碰撞频率非常高，分子在碰撞后被抛出系统的概率远远大于重新进入系统的概率，从而实现气体分子的抽出。
与传统的机械泵相比，分子泵具有许多优势。
首先，分子泵可以实现更高的真空度。
由于其工作原理的特殊性，分子泵能够将气体分子抽出系统，从而形成更高的真空环境。
其次，分子泵的体积相对较小，占地面积小，适合安装在较小的空间内。
此外，分子泵还具有运行稳定、噪音低等特点，可以为实验提供良好的工作环境。
分子泵真空系统在许多领域都有广泛的应用。
在科研实验中，分子泵可以为实验提供高真空环境，确保实验结果的准确性和可靠性。
在半导体制造中，分子泵可以清除系统中的杂质气体，保证半导体器件的质量和性能。
在光学薄膜涂覆中，分子泵可以去除沉积在薄膜表面的气体分子，提高薄膜的质量和光学性能。
分子泵真空系统是一种重要的设备，可以实现高真空环境。
它的工
作原理基于分子流的动力学效应，具有高真空度、体积小、运行稳定等优势。
在科研实验、半导体制造、光学薄膜涂覆等领域都有广泛的应用。
通过使用分子泵真空系统，我们可以为各种实验和制造过程提供稳定、高质量的工作环境，推动科学技术的发展。
分子泵工业应用
10
分子泵简介
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分子泵简介
12
分子泵简介
制灯性太阳能电池设备
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分子泵简介
科研装备
15
分子泵简介
光盘生产线
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分子泵简介
LOW-E生产线
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分子泵简介
装饰镀
18
二、分子泵在工业应用中的注意事项 1、安装前
19
安装前
800 700 600
10
10
抽速(L/s)
20
安装前
• 总体安装注意
1 安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。 2 打开泵高真空端法兰盖板，检查转子转动是否正常。 3 首次运转前，确认已装入润滑油。
21
安装前
• 进出口法兰、冷却水安装
a. 泵入口： 对正、附件、 对称拧紧 泵出口：防止错位 冷却水： 无漏水 入口水压0.2MPa 水温20±５℃ 水质
分子泵工业应用
齐 义
北京中科科仪技术发展有限责任公司
KYKY TECHNOLOGY DEVELOPMENT LTD.
一、分子泵简介 二、KYKY分子泵在工业应用中的注意事项 1、安装前 2、应用中
2
一、分子泵简介
3
分子泵简介
• 分子泵是动量传输真空泵。 抽气原理： 在分子流区域内依靠高速运动的刚体表面来 携带气体分子或传递动量给气体分子，使气 体分子产生定向运动，逐级压缩，从而实现 抽气目的。
高真空口对称均 高真空口对 匀拧紧 称均匀拧紧
b. c.
前极拧紧无泄 漏
循环水 不滴漏
22
安装前
• 电缆安装
a. 对正槽口插入 防止插针变形 b. 用螺母拧紧 边插边拧 c. 检查到位
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分子泵起源•分子真空泵是在1911 年由德国人盖德(w · Gaede) 首先发明的，这种分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量，使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动，从而达到抽气的目的。
通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子，并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。
因此，人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
牵引分子泵的优点是起动时间短，在分子流态下有很高的压缩比，能抽除各种气体和蒸汽，特别适于抽除较重的气体。
但同于它自身的弱点：抽速小，密封间隙太小，工作可靠性较差，易出机械故障等，因此除特殊需要外，实际上很少应用。
分子泵抽气原理•分子泵输送气体应满足二个必要条件：1). 分子泵必须在分子流状态下工作。
•因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。
在常压下空气分子的平均自由程只有0.06 μm ，即平均看一个气体分子只要在空间运动0.06 μm ，就可能与第二个气体分子相碰。
而在1.3Pa 时，分子间平均自由程可达4.4mm 。
在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。
当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。
•2). 分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。
具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。
分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。
实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。
•例：H<sub>2 在空气中含量甚徽，但由于H<sub>2 分子具有很大的运动速度( 最大速度为1557m /s) ，所以分子泵对 H<sub>2 的抽吸困难。
通过对极限真空中残余气体的分析，可发现氢气比重可达85 ％，而分子量较大，而运动速度慢的油分子所占的比重几乎为零。
这就是分子泵对油蒸气等高分子量的气体的压缩比很高，抽吸效果好的原因。
涡轮分子泵•涡轮分子泵是由一系列的动、静相间的叶轮相互配合组成。
每个叶轮上的叶片与叶轮水平面倾斜成一定角度。
动片与定片倾角方向相反。
主轴带动叶轮在静止的定叶片之问高速旋转，高速旋转的叶轮将动量传递给气体分子使其产生定向运动。
从而实现抽气目的。
优点：由于涡轮转子叶片大大增加了抽气面积，放宽了工作间隙，压缩比和抽速有显著的提高•1) 卧式涡轮分子泵卧式涡轮分子泵特点是其转子主轴水平布置。
•这种结构的分子泵是双轴流的，吸气口在两组抽气单元的中央，气体吸入后，分别被左右两侧的叶列组合抽走。
轴承分别装在各抽气单元的排气侧，•特点是抽气时转子受力均匀，轴承定位、受力状态好，使用寿命长，且轴承更换过程中，转子位置不动，维修方便。
•2) 立式涡轮分子泵•其转子轴垂直安装，只有一组抽气组合叶列。
转子叶轮高速旋转时，被抽气体沿着转子组和定子组自高真空端向低真空端压缩，被驱向前级，由前级泵抽走。
泵由泵壳、涡轮叶列组件和电动机等组成。
现代涡轮分子泵转子和定子之间的间隙较大，通常在lmm 左右，因此泵工作时很安全。
轴承润滑•有油脂润滑、油绳润滑和离心供油润滑等方式。
分子泵轴承润滑油的性能必须具备以下三个条件，才能满足泵的工作要求：a. 高速下具备良好的润滑性能；b. 饱和蒸气压低于前级泵工作液的饱和蒸气压．c. 粘度适当，使之兼有轴承冷却液的作用。
复合式分子泵•复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合。
•在很宽的压力范围内((10-6 ～1Pa) 具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。
法国Alcate 公司生产的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵，可以做到完全无油。
•缩短了系统的抽气时间，并可获得无油污染的清洁真空环境。
分子泵在系统中的应用•随着科学技术的迅速发展，对真空系统也提出了新的要求，特别是对超高真空和无油真空环境的需求，使得过去大量使用的扩散泵抽气系统已不能适应无油清洁超高真空的要求。
•分子泵适用于在要求清洁的高真空和超高真空的仪器及设备上使用。
也可用来作为离子泵、升华泵、低温泵等气体捕集超高真空泵的前级预抽真空泵使用，这将获得更低的极限压力或更清洁的无碳氢化合物的真空环境。
分子泵在应用系统中常用结构•以上结构图是分子泵常用情况，实际的应用需视具体设备而定；•Gate Valve：位于分子泵前端，阀体较大，属闸板阀，开关速度有的可调节，真空异常时，阀的关闭速度是保护分子泵的关键。
生成物较多，会造成关闭不严，而无法起到保护作用。
需定期清洁保养测试。
•Vac test point1：位于被抽单元或GateValve口附近，与Gate Valve构成interlok，分子泵端口极限真空为500mTorr，设定值建议为300mTorr以下。
•Rough Valve：粗抽阀，当CHB真空较低时，绝对不能打开Gate Valve用分子泵抽真空。
在确认Gate Valve 和Foreline Valve关闭的情况下，开启Rough Valve，抽CHB真空到300mTorr以下。
一般Rough Valve & Foreline Valve & Gate Valve相互有 interlok，需测试确认功能是否正常，也需防止误操作（解除interlok情况下，开关不受影响，而不致分子泵损坏）。
•Soft Valve：细（慢）抽阀，防止压差过大而起尘。
CHB大气时，一般先用此阀抽。
•Purge N2：有些制程会产生大量粉尘，因分子泵底部有用于冷却分子泵的冷却盘，会致大量积尘于冷却部分，用N2吹扫可减少这方面的影响，另外也作冷却轴承等用途。
此N2在分子泵运行时开启，停止时延时关闭。
•Protect N2：此N2通常情况下是关闭的。
分子泵高速运转中，突然出现真空或其他方面的异常时，分子泵必须尽快停止运转，充入此N2可尽快让分子泵减速，尽量避免分子泵的损失。
•Foreline Valve：位于分子泵出气口，真空异常时，开闭速度及是否关严是保护分子泵的关键。
同时管径小，易积尘，需定期清洗保养测试。
•Vac test point2：位于Foreline Valve与粗抽泵之间，一般使用的是真空开关（一般真空sensor因振动或热源易损坏）。
与Foreline Valve构成interlok，分子泵排气口极限真空为3Torr，这样压差会较大，设定值建议为500mTorr以下•分子泵叶片损坏致报废主要原因：1.进排气口压差瞬间过大；a进气口压力过大；b排气口压力过大；c单边部分压力过大（如阀关闭不严或部分关闭等）2.异物落入；3.动静片间隙异常；4.转子部轴承异常损坏等。
使用时应注意事项• 1. 定期检查/保养：GATE VALVE & FORELINEVALVE，建议做定期清洗并作漏率测试；• 2. Inter lock测试；• 3. 进气口压力极限压力为500mTorr，排气口极限压力最大为3Torr建议Inter lock使用:(300mTorr/500mTorr)；• 4. 偶尔检查泵运转时的声音；• 5. N2 Purge流量一般为10sccm~30sccm/1Kg/cm2• 6. 冷却水流量正常•7. 油位是否正常，油色是否正常。
油的粘稠度、化学稳定性、冷却效果很重要，只可使用厂商推荐品牌。
磁悬浮式分子泵特点：启动快，抽速大，高压缩比，高气体运送比，磨擦系数小，无油污染等优点。
使用的是磁轴承又称主动磁悬浮轴承，是一种转子与定子之间没有机械接触的新型高性能轴承。
它由机械部件、电控系统、传感器和辅助轴承等构成。
利用电磁力作用将转子悬浮于空间，具有无机械磨损、能耗低、允许转速高、噪声少、寿命长、无润滑介质等优点。
选择磁轴承作为分子泵转子的支承，可以从根本上解决传统轴承润滑带来的润滑油脂的油蒸汽返流对真空室的污染等问题，使磁轴承真空分子泵成为集成电路制造设备首选的超高真空获得设备•磁悬浮分子泵动静片结构示意图：静片动片•正常使用时，动片一般位于中线略上方。
磁悬浮式分子泵的使用注意事项• 1.分子泵经厂家维修返回后，需做动静片间隙调整、确认。
目前我们使用的分子泵为国外品牌，在国内大部分的分子泵，暂时只能做简单维护，一般需送到国外维修。
由于各国使用的电压、频率、使用环境、控制器、甚至电缆长度不一样，而出现在厂家调整正常后，返回时仍不能正常使用的情况。
这是因为分子泵的动片是靠电磁力来支撑的，当以上因素改变时会使分子泵动静片间间距发生变化，而工作在临界或不正常状态。
•2.定期检查后备电池是否满足要求，有更换记录并每年至少更换一次。
-以上情况，看电池使用时间和停机时间而定，并贴标签记录更换时间；-当然定期测量电池电压是一种好的点检方法。
•建议长时间停用的分子泵，控制器开启一段时间，电池充满电后再启动分子泵• 3.分子泵故障或损坏后，建议先判断故障原因，分析并作出最有可能的结论后才重新开启或更换。
-分子泵异常保护，肯定是有原因的，再没确认原因前，任何再开启试用都是危险的，可能造成更大损失（报废）-分子泵已经损坏，不必急于换下，一般需确认原因，做真空方面的检查，找到问题点后再拆下不迟。
盲目换上新的分子泵，可能造成再次故障，风险极大，望三思而后行。
•4.分子泵的送修–原则上需要将分子泵，控制器，电缆线一同送修，同时需注明所使用的气体，如有可能也将使用的电压及频率注明清楚。
–由于将电缆线取下不方便，至少要将分子泵和控制器一同送修。
•5. 作日常点检和定期（周/月/季)检查- 正如前面所述，分子泵使用注意事项一样，对于出现的种种可能需所定期检查，写入SOP，不因人而变，持之以恒；- 日常点检：Gate valve前真空，Foreline valve后真空，冷却水流量，N2流量，油位油色（非磁悬浮）等；--记录的目的是为了观察变化，如记录值有较大变化时，应查找原因并解决。
- 周点检：Gate valve, Foreline valve, Rough valve漏率测试，泵运转声音等监听。
-- 当发现漏率有明显变化或较大时，应停止分子泵的运转并对相关阀体作清洗保养。
安装后仍要再次做漏率测试。
-- 泵运转的声音。
可用一金属杆接触分子泵外壳，听到的应是持续的“嗡嗡”声，有一定的规律，无断续杂音或异响等（这种判断需要一定的经验积累）。
- 月保养或季保养：相关阀体如长时间不保养，会有生成物累积于阀体、管道等部位，影响阀的关断速度，也会影响分子泵的使用寿命，需定期清洗，可视生成物的状况制定相应的保养周期。
-- Gate valve 和Foreline valve是二项重点检查项，着重关注。