爱德华分子泵控制器
分子泵工作原理
分子泵工作原理
分子泵工作原理是基于分子的喷射和阱捕捉原理。
它主要由一个离心式转子和静心式假体构成。
离心式转子内置了多个直径较小的偶极子，通过高速旋转产生超高真空。
静心式假体则是一个由多个喷嘴和阱组成的结构。
在工作过程中，气体首先通过喷嘴从气压较高的一侧进入分子泵。
然后，在离心式转子的旋转下，气体会被强制向外喷射，并造成一种类似于分子束的效果。
当分子束到达静心式假体时，它们会被假体内的阱捕获。
静心式假体内的阱有多个结构，如圆环、螺旋或其他形状，用于捕获分子。
这些阱通常被加热以提高效率。
被捕获的分子在阱内不断碰撞和扩散，最终会降低其动能并以固体或液体的形式沉积在阱的壁上。
分子泵工作原理的关键在于离心式转子的高速旋转和静心式假体的捕获和降温效应。
通过这种原理，分子泵能够实现非常低的气压，甚至到达超高真空范围。
分子泵广泛应用于高科技领域，例如半导体制造、材料科学、航天工程等。
爱德华干式真空泵操作规程-概述说明以及解释
爱德华干式真空泵操作规程-概述说明以及解释1.引言1.1 概述爱德华干式真空泵是一种常用于真空工艺的设备，其主要作用是将工作室内的气体抽出，创造真空环境。
相较于传统涡轮分子泵或离心泵，爱德华干式真空泵具有更高的抽真空速度和更低的维护成本，因此在许多领域得到广泛应用。
本文将介绍爱德华干式真空泵的基本原理和结构，以及操作规程，帮助操作人员正确、安全地操作设备，保证设备的正常运行。
同时，操作规程的落实对于设备的寿命和性能也具有重要意义，因此了解并严格执行操作规程是至关重要的。
1.2文章结构1.2 文章结构本文主要分为引言、正文和结论三个部分。
在引言部分中，将概述爱德华干式真空泵的基本情况，并介绍文章的结构和目的。
在正文部分，将详细介绍爱德华干式真空泵的基本原理和结构，以及操作步骤。
最后，在结论部分将总结文章的内容，并强调操作规程对于正确操作干式真空泵的重要性。
通过本文的阐述，读者能够全面了解爱德华干式真空泵的操作规程，为实际操作提供参考。
1.3 目的：本操作规程的目的在于指导操作者正确、安全地操作爱德华干式真空泵，保证设备的高效运行和长久稳定性。
通过学习和遵守本规程，操作者能够了解干式真空泵的基本原理和结构，掌握正确的操作步骤，并且意识到操作规程的重要性。
操作者在使用干式真空泵时应遵循本规程，确保设备的正常运行，并且保障设备和人员的安全。
只有严格按照规程要求进行操作，才能最大程度地提高设备的效率和使用寿命，确保设备在工作过程中能够稳定可靠地运行。
2.正文2.1 爱德华干式真空泵的基本原理和结构：爱德华干式真空泵是一种常用于工业和实验室等领域的真空设备，其主要原理是通过机械方式将气体抽出，从而形成真空环境。
该干式真空泵不需要使用润滑油，因此可以避免油污染和润滑油蒸汽对真空系统造成的影响。
爱德华干式真空泵的主要结构包括：电机、叶片、排气室和进气室。
电机通过传动装置驱动叶片高速旋转，叶片在运转过程中不断推动气体向排气室运动，最终将气体排出系统，形成真空环境。
edward分子泵
edward分子泵
Edward分子泵是一种高真空泵，常用于科研、半导体制造、电子器件制造公司以及其他需要高真空环境的领域。
这种分子泵利用分子撞击和蒸发来产生气体流动，从而实现真空抽取。
它可以将气体从大气压下的几个毫巴抽取到超高真空下的
10^-9毫巴。
Edward分子泵的工作原理是将气体分子通过电场加速，使其获得足够的动能撞击到泵壁，从而将气体分子排入真空室。
这样就能实现高效的气体抽取和排出。
Edward分子泵的优点包括抽取速度快、抽取效率高、可靠性强等。
它能处理大量气体，并且在长时间运行时保持高真空，适用于各种气体组合。
此外，Edward分子泵的结构紧凑，安装方便，占用空间小。
总之，Edward分子泵是一种先进的高真空抽取设备，广泛应用于需要高真空环境的领域，并在科研和工业生产中发挥着重要作用。
激光分子束外延系统LMBE
激光分子束外延系统（LMBE）1主要技术参数与要求(1) 主腔体：1. 腔体材料采用优质304不锈钢，全金属密封连接，腔体直径16英寸（圆柱形设计）；2. 观察窗采取保护措施（加装含铅玻璃）以防止辐射，腔体预留仪器升级窗口；3. 真空系统采用德国普发分子泵（Hipace700），分子泵需配有数据接口以实现软件控制，抽速为650L/s，并配合使用爱德华涡旋式干泵（dry pump，减少返油污染），抽速5.4 m3/hr，本底极限真空度优于5×10-9mbar （烘烤后）。
分子泵与腔体之间采用软连接（配有Damper），以减小分子泵震动对RHEED的影响。
4. 主腔体配备两套不同的真空计，一套组合pirani/Bayard-Alpert（真空计类型）真空计，量程5×10-10 mbar 到1 bar，用于测量真空度；★5. 另外配置一套精确的Baratron（真空计类型）真空计，量程10-4到1 mbar，专门用于精确控制生长时的工艺压力。
(2) 快速进样室：1. 进样室配备单独的分子泵（普发Hipace80），可软件控制，抽速为70L/s，配前级隔膜泵，本底真空优于5×10-5 mbar；2. 能够通过磁力杆方便地传递样品以及靶材，与主腔体之间采用DN100CF插板阀隔离；2. 配备Pirani/capacitive（真空计类型）真空计，量程5×10-5 mbar 到1bar；3. 进样室配有观察窗；(3) 加热系统：1. 电阻式加热器，最高加热温度900°C，温度稳定性 1°C，容纳样品尺寸1英寸，对于1英寸的加热区域温度均匀性为3%；★2．加热器为插拔式设计，即整个加热器（包括加热丝）可通过磁力杆完全取出，方便检修与更换；2. 配备5维样品架，样品可在X/Y/Z方向移动，并且可以倾斜和面内旋转。
X/Y方向位移行程为±12.5 mm，Z方向为100 mm（即样品与靶之间距离的可调范围）。
中科科仪分子泵说明书
企业通过ISO 9001质量管理体系认证分子泵全系列 使用说明书¾分子泵安全使用说明在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。
¾安全警示说明危险：表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项；警告：表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项；小心：表示为了使泵的使用效果最佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项。
¾保修说明凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。
凡属下列情况之一的，不予保修：1)用户未经授权对产品私自拆卸；2)用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）；3)属于用户其他原因造成的损坏。
¾免责声明当用户严格遵照本说明书中的规定安装和使用时，KYKY分子泵是安全、方便和有效的。
泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。
由于用户没有仔细阅读说明书、或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY将不负担任何责任。
本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。
如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有最终解释权。
由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属KYKY所有。
1概述1.1 分类与特点本说明书所列分子泵，按口径不同，从100mm到400mm（对应抽速从110l/s到3500l/s）共5个系列，12种泵。
分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成的复合型分子泵。
复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资。
根据分子泵轴承润滑方式不同，分子泵有油润滑、脂润滑两种。
一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/110可以水平安装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。
分子泵控制器原理
分子泵控制器原理
分子泵控制器是用于控制和监测分子泵操作的设备，它起到调节分子泵运行状态和保护泵系统的作用。
其工作原理如下：
1.传感器监测：分子泵控制器内部配备了各种传感器来监测
分子泵的运行状况。
常见的传感器包括压力传感器、温度
传感器和流量传感器等。
2.数据处理：传感器会实时收集到分子泵运行状态的相关数
据，并将数据传输给分子泵控制器的处理器进行分析和处
理。
处理器根据预设的设定值和控制参数，对数据进行判
断和计算。
3.控制信号输出：分子泵控制器根据处理器的计算结果，向
分子泵发送控制信号，调节泵的转速、加热功率等参数。
4.过程监控与保护：分子泵控制器会不断监测分子泵的运行
过程，比如监测泵的压力、温度和流量等变化。
若监测到
异常情况（如超压、过热等），则会触发保护机制，自动
停止分子泵的运行，保护泵系统不受损害。
5.人机界面：分子泵控制器通常还会配备人机界面，如液晶
显示屏和按钮面板等，用于操作员监测和配置控制参数。
操作员可以通过界面上的设置功能，对分子泵的运行模式、报警设置等进行调整。
综上所述，分子泵控制器通过传感器实时监测分子泵运行状态，并根据处理器的分析结果，输出相应的控制信号，实现分子泵
的自动调节和保护。
这些功能帮助优化分子泵的运行效果和可靠性，保障设备的正常运行。
分子泵自动停机的原因
分子泵自动停机的原因1. 引言1.1 分子泵的作用分子泵是一种主要用于真空技术领域的设备，其作用是通过运行机械或分子运动来实现真空抽取和排气。
分子泵可以将气体从一个相对较高的压力抽取到一个更低的压力，使得系统内气体的压力达到所需的真空度。
这对于许多科学实验、制造过程和其他应用来说都非常重要。
通过分子泵，可以实现对真空系统的精确控制，以保证实验或生产过程中所需的环境压力。
在科学研究中，例如在材料科学、化学、物理等领域，通常需要在低压力环境下进行实验以减少气体干扰或实现特定反应条件。
而在半导体制造或光学设备制造等领域，分子泵则能够保证设备内部的洁净度和稳定性，确保产品质量和性能。
分子泵在不同领域中都发挥着重要的作用，为各种实验、制造过程提供了必要的真空环境。
保证分子泵正常运行，确保其自动停机的原因及时排查并解决，对于保障实验和生产的顺利进行至关重要。
1.2 分子泵自动停机的重要性分子泵的作用是通过抽真空的方式将容器内的气体抽出，从而创造出一个低压的环境，适用于各种实验和生产工艺中。
而分子泵自动停机的重要性不容忽视，它直接关系到设备的稳定运行和工作效率。
分子泵是实验室和生产线上必不可少的设备之一，一旦分子泵出现问题导致停机，将会导致整个实验或生产过程中断，影响工作进度。
分子泵运行过程中如果出现问题不及时停机，可能会造成设备损坏，导致更严重的后果。
分子泵自动停机也是保护设备和操作人员的一种重要手段，及时发现问题并停机可以避免可能的安全事故发生。
为了确保分子泵的正常运行和设备的安全可靠性，及时排查分子泵自动停机的原因并解决问题是十分重要的。
只有这样，我们才能保证分子泵能够稳定运行，为实验和生产提供持续稳定的支持。
2. 正文2.1 供电故障导致停机供电故障是导致分子泵自动停机的常见原因之一。
当分子泵所连接的电源供电故障时，泵无法正常运转，导致停机。
供电故障可能是由于电源线路故障、电源变压器故障、电源开关故障等原因造成的。
VD真空精炼技术与装备的发展
VD真空精炼技术与装备的发展刘晓峰（重庆钢铁股份有限公司炼钢厂重庆 401258）摘要：介绍了VD真空精炼技术的发展，指出VD功能多元化应是今后发展的主要趋势，提出重点研究开发氧脱碳（碳脱氧）、深脱硫、深脱气技术是实现VD功能多元化的关键。
在此基础上，介绍了高效化生产装备和干式机械泵系统应用于VD真空精炼的情况，指出干式机械泵系统应用于真空精炼是一种可行的选择。
关键词：VD；氧脱碳（碳脱氧）；深脱硫；深脱气；生产装备；干式机械泵系统；发展。
The development of vacuum Degassing technology andequipmentXiaofeng-Liu（Chongqing Iron and Steel Co., Steel Plant Chongqing 401258）Abstract :Introduced the VD vacuum refining technology development, pointed out that the VD diversity function should be the future development trend, to focus on the research and development of oxygen decarburization (Carbon deoxidized), deep desulfurization, deep degassing technology is to realize VD plurality of function key. On this basis, introduced the high efficient production equipment and dry mechanical pump system used in VD vacuum refining situation, pointed out that the dry mechanical pump system used in vacuum refining is a viable option.Key words :Vacuum Degassing；Oxygen decarburization（Carbon deoxidized）；Deep desulfurization；Deep gas；Production equipment；Dry mechanical pump system；Development。
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TIC 仪表控制器 TIC 仪表控制器 6- 压力表 TIC 仪表控制器 6- 压力表电容器压力计 TIC Turbo 控制器 100 W TIC Turbo 控制器 200 W
TIC Turbo 与仪表控制器 100 W
TIC Turbo 与仪表控制器 200 W
D397-00-000 D397-01-000 D397-02-000 D397-11-000 D397-12-000 D397-21-000 D397-22-000
使用手册
仪表控制器
D397-21-846 版本 G
说明 TIC 仪表控制器
项目编号 D397-00-000
一致性声明
我们， Edwards, Manor Royal, Crawley, West Sussex, RH10 9LW, UK
在此负责任地声明，作为制造商和个人在欧盟授权范围内编写技术文件，此声明中涉及的产品
操作 ............................................................................................... 17
前面板说明 ............................................................................................................... 17 菜单结构 .................................................................................................................. 18 菜单导航 .................................................................................................................. 19 视图屏幕 .................................................................................................................. 19 打开 / 关闭压力表和继电器 ............................................................................................19 更改列表项 ............................................................................................................... 20 更改数字值 ............................................................................................................... 20 输入负指数 （如 5.00E-03） ...........................................................................................21 压力表设置 ............................................................................................................... 21 默认设置选项 （所有压力表） ......................................................................................... 22 压力表状态消息 .........................................................................................................22 有源皮拉尼压力表 (APG) ...............................................................................................22 有源线性皮拉尼压力表 (APGX) ........................................................................................ 23 有源热电偶压力表 (ATC-E) 控制 ...................................................................................... 24 有源应变压力表 (ASG) 控制 ............................................................................................25 有源倒磁控管 (AIM) 压力表控制 ....................................................................................... 26 有源离子压力表 (AIGX-S) 控制 ........................................................................................ 27 宽范围压力表 (WRG) ....................................................................................................28 警报 ....................................................................................................................... 30 主菜单 .................................................................................................................... 30 链接压力表 ............................................................................................................... 30 参数 / 单位 ............................................................................................................... 31 屏幕选项 .................................................................................................................. 31 组织视图屏幕上的压力表 ..............................................................................................32
注意： 本声明涵盖其签署日起的所有产品系列。
P200-03-146 Issue B
Mr L Marini, 技术经理
9 December 2009 日期和地点
本产品的生产系统已通过 ISO9001 质量认证
目录
D397-21-846 版本 G
目录
节
1
1.1 1.2
2
2.1 2.2 2.3 2.4 2.4.1 2.4.2 2.4.3 2.4.4
技术数据 ........................................................................................... 3
电气数据 ................................................................................................................... 3 操作与存储数据 .......................................................................................................... 3 机械数据 ................................................................................................................... 3 连接 ........................................................................................................................ 3 有源压力表接头 .......................................................................................................... 3 逻辑接口 ................................................................................................................... 4 串行通信 ................................................................................................................... 5 模拟输出 ................................................................................................................... 6