分子泵说明书2.2

F-100/110
F-100/150
110
110
150
N2：108； H2：5×102
≤6×10-6 (DN100 LF)
≤6×10-8①；≤6×10-7②(DN100 CF)
KF25(DN25 ISO-KF)
LF100(DN100 ISO-K)、CF100
陶瓷轴承
普通轴承
42300
＜2
≤0.1
脂润滑 任意角度
29
① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；
② 此极限为水冷条件下的测试结果；
③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
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3-孔M8×20
图 2-9 FF-200/1200、FF-200/1200C 安装简图
图 2-10 FF-200/1200N 安装简图
150
脂润滑
安装方式
竖直±5°
任意角度
竖直±5°
任意角度
重量（kg）
29
19
① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；此极限为水冷条件下的测试结果； ② 此极限为水冷条件下的测试结果； ③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
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图 2-4 FF-160/500F 安装简图
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水嘴
泵腿 前级接口
KF40
控制器接口
图 2-12 F-250/1500 安装简图
图 2-13 F-250/1500N安装简图
图 2-14 FF-250/1600安装简图
图 2-15 FF-250/1800安装简图
2.5 400 系列涡轮分子泵技术说明 400 系列涡轮分子泵包括 F-400/3500、 F-400/3500N 涡轮分子泵两种。
LF100(DN100 ISO-K)
泵体烘烤温度（℃）
进气口法兰
LF400(DN400 ISO-K)
环境温度（℃）
轴承
陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体） 充油量(ml)
启动时间（min）
＜18
安装方式
额定转速（rpm）
13500
重量（kg）
○1 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
≤0.5 30
表 2-2 160 系列复合分子泵技术参数表
型号
FF-160/500F FF-160/500G FF-160/620 FF-160/620F FF-160/620N③ FF-160/620C
FF-160/700
抽气速率（l/s）
500
600
700
压缩比
N2：109；H2：6×103
N2：109；H2：6×104 N2：109；H2：6×106
FF-250/1800①
抽气速率（l/s） 压缩比
极限压强(Pa) 额定转速（rpm）
1500
≤6×10-6 21000
1600 N2：108；H2：5×103
≤1×10-6 27000
1800
启动时间（min）
＜8
轴承
普通轴承
陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体）
排气口法兰
KF50(DN50 ISO-KF)
¾ 分子泵安全使用说明 在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的
条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。
¾ 安全警示说明
危险：表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项；
警告：表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项；
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2 技术说明 2.1 100 系列分子泵技术说明
100 系列复合分子泵及涡轮分子泵包括 FF-100/110、F-100/110、F-100/150 三种。
图 2-1 FF-100/110 安装简图
图 2-2 F-100/110 安装简图
图 2-3 F-100/150 安装简图
小心：表示为了使泵的使用效果最佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项。
¾ 保修说明 凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。 凡属下列情况之一的，不予保修：
1.用户未经授权对产品私自拆卸； 2.用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）； 3.属于用户其他原因造成的损坏。
表 2-1 100 系列分子泵技术参数表
型号 抽气速率（l/s）
压缩比
极限压强（Pa）
排气口法兰 进气口法兰
轴承 额定转速（rpm） 启动时间（min） 振动值（(μm)） 建议前级泵（l/s）
充油量(ml) 安装方式 冷却方式 冷却水温度（℃） 泵体烘烤温度（℃） 环境温度（℃） 重量（kg）
FF-100/110
≤6×10-6
≤6×10-7
≤1×10-7
≤6×10-8①； ≤6×10-7②
24000
27000
24000
＜6
普通轴承
陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体）
KF40(DN40 ISO-KF)
LF200(DN200 ISO-K)、CF200
≤0.1
15
≤25
≤100
5-40
150
脂润滑
竖直±5°
任意角度
39
-□/□□
特征代号 2 额定抽速（l/s） 高真空接口口径 特征代号 1 说明： 特征代号 1： “F”，表示涡轮分子泵； “FF”，表示复合分子泵。 特征代号 2： “F”，表示可以采用风冷的泵，区别于水冷； “N”，表示耐腐蚀泵； “C”等其他字母，表示产品或性能的改进 相关性能参见各系列的技术说明。 1.4 工作条件 分子泵只在分子流区域（涡轮泵、复合泵）或接近于分子流区域（复合泵）有抽速（涡轮分子泵连 续工作入口压强要求小于等于 1Pa，复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于 5Pa），且要求前级排气 口压强保持在 10Pa 以下，因此必须配置合理的前级泵，并使用与之相匹配的 KYKY 分子泵控制器。
极限压强（Pa）
≤6×10-6 (DN160 LF) ≤6×10-8①；≤6×10-7② (DN160 CF)
≤6×10-7 (DN160 LF) ≤6×10-8① (DN160 CF)
额定转速（rpm） 24000
27000
36000
启动时间（min）
＜5
＜6
＜4
轴承
陶瓷轴承
普通轴承
陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体）
图 2-11 FF-200/1300 安装简图
2.4 250 系列分子泵技术说明
250 系列分子泵包括 F-250/1500、F-250/1500N、FF-250/1600、FF-250/1800 四种。
表 2-4 250 系列分子泵技术参数表
型号
F-250/1500 F-250/1500N○2
FF-250/1600
排气口法兰
KF40(DN40 ISO-KF)
进气口法兰
LF160(DN160 ISO-K)、CF160
振动值（(μm)）
≤0.1
建议前级泵（l/s）
4-8
冷却水温度（℃）
≤25
泵体烘烤温度（℃）
≤100
环境温度（℃）
5-40℃( FF-160/500F 可在 5-32℃时风冷)
充油量(ml)
150
脂润滑
1 概述 1.1 分类与特点
本说明书所列分子泵，按口径不同，从 100mm 到 400mm（对应抽速从 110l/s 到 3500l/s）共 5 个系 列，20 种泵。
分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成 的复合型分子泵。复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐 压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资。根据分子泵轴承润滑方式不同，分 子泵有油润滑、脂润滑两种。一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/110、F-100/150 可以水平安 装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。
套
8
分子泵润滑油
瓶
9
O 圈支架（包括 O 圈）
套
10 卡钳（LF 专用）
个
2
CF 接口专用
1
耐腐蚀泵专用
1 油润滑泵专用（不含 100 系列）
1
LF 接口专用
3
100 系列、160 系列、200 系列 中 LF 接口分子泵
6
250 系列
9
400 系列
1.6 配件
选购配件是指安装分子泵时，在需要的情况下需由用户另外购买的配件： 表 1-2 选购配件表
图 1-1 分子泵的应用（真空系统原理图）
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1.5 装箱单
在打开包装箱后，请仔细核对箱内分子泵及其附件。 表 1-1 装箱单
序号
名称
单位 数 量
备注
1
分子泵
台
1
2
防护网
个
1
3
使用说明书
份
1
4
检验合格证
份
1
5
保修卡
份
1
6
CF 铜垫圈
个
7
保护气体接口 KF16 盲板、卡箍
排气口法兰
进气口法兰
振动值（(μm)）
建议前级泵（l/s）
冷却水温度（℃）
泵体烘烤温度（℃）
环境温度（℃）
充油量(ml)
安装方式
重量（kg）