中科科仪分子泵说明书
分子泵说明书-2012
FF-160/750 FF-160/750Z LF160 CF160
金属密封CF接口专用 在分子泵的前级口上
胶圈密封LF接口专用 FF-160/750中LF接口分子泵 FF-200/1200中LF接口分子泵 FB-250/1600中LF接口分子泵 FB-400/4200
10
卡钳（LF专用）
个
5 6 10
4.4 分子泵选购件 表 3 选购配件表
序号
名 称
单位
规格
数量
备
4.2 分子泵适配电源 每种型号分子泵必须配用其专用电源，否则可能造成分子泵损坏。若由此引起的 损失本公司概不负责。适配电源见表1。 表1 分子泵适配电源表 序号 分子泵型号 适配电源 1 FF-160/620、FF-160/620F FK-620 2 FF-160/750、FF-160/750Z FK-750 3 FF-200/1200 FK-1200 4 FB-250/1600、FF-250/1600 FK-1600 5 FB-400/4200 FK-4200
14
XC
系列分子泵使用说明书
图 12、FB-400/4200 安装简图
15
XC
系列分子泵使用说明书
5.5 分子泵排气口简图
图 13 KF40 接口
图 14 KF50 接口
图 15 LF100 接口
16
XC
系列分子泵使用说明书
6.安装
分子泵控制器FD
4、使用方法： ......................................................................................................................................16
5、故障代码 ..........................................................................................................................................17
6、常见故障处理 ..................................................................................................................................17
KYKY MODBUS 通信手册 ......................................................................................................................19
2、产品简介 ............................................................................................................................................6
2.1 产品型号及铭牌 ............................................................................................................................6 2.2 产品一览表 ....................................................................................................................................6 2.3 产品外观 ........................................................................................................................................6 2.4 FD 系列控制器与分子泵型号匹配表 ..........................................................................................8 2.5 性能指标 ........................................................................................................................................8
分子泵说明书2.2
F-100/110
F-100/150
110
110
150
N2：108； H2：5×102
≤6×10-6 (DN100 LF)
≤6×10-8①；≤6×10-7②(DN100 CF)
KF25(DN25 ISO-KF)
LF100(DN100 ISO-K)、CF100
陶瓷轴承
普通轴承
42300
＜2
≤0.1
脂润滑 任意角度
29
① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；
② 此极限为水冷条件下的测试结果；
③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）
3-孔M8×20
图 2-9 FF-200/1200、FF-200/1200C 安装简图
图 2-10 FF-200/1200N 安装简图
150
脂润滑
安装方式
竖直±5°
任意角度
竖直±5°
任意角度
重量（kg）
29
19
① 此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；此极限为水冷条件下的测试结果； ② 此极限为水冷条件下的测试结果； ③ 动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）
图 2-4 FF-160/500F 安装简图
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）
水嘴
泵腿 前级接口
KF40
控制器接口
图 2-12 F-250/1500 安装简图
图 2-13 F-250/1500N安装简图
图 2-14 FF-250/1600安装简图
图 2-15 FF-250/1800安装简图
中科科仪氦简陋仪使用手册
第四部分 常见故障及处理.............................4-1
附录 A ZQJ-530 氦质谱检漏仪的工作原理................A-1
A.1 质谱原理.................................................A-1 A.2 真空系统原理.............................................A-2 A.3 电子学线路的原理.........................................A-4
1.2.3 电气系统............................................1-7 1.2.3.1 开关电源.......................................1-7 1.2.3.2 主板................. ........................ 1-8 1.2.3.3 离子源板................. .................... 1-8 1.2.3.4 显示板................. ........... ...........1-8
分子泵培训
4
产品的生产与制造过程
KYKY执行严格的生产流程，保证产品的高品质
设 计
加 加 工 工
装 配
入 库
检 测
平衡 调试
5
主要内容
一． 二． 三．
29
三、分子泵的应用、维护
分子泵安装使用前 泵与电源的型号必须匹配 确认防护网已经安装 电源输入电压220/110v〒10% 打开泵高真空端法兰盖板，带上干净手套，盘动分子泵叶片， 观察转动是否正常 采用油润滑方式的泵，除110型外必须竖直安装，最好不要吊装
（3500型分子泵必须安装在水平基面上）
分子泵系列
冷却方式
风冷 风水两用泵 水冷 普通泵
功能
防腐蚀泵
FF-160/700
三、分子泵应用及选型
分子泵的应用
一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。
广泛应用于： 1. 工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空
炉排气）
2. 仪器、设备 3. 科研、军工装备 4. 半导体工业
复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速
可获得清洁的真空
9
一、分子泵结构、特点
分子泵特点
1．脂润滑分子泵： ① 可任意角度安装——有利于真空系统设计。 ② 有更小的油蒸汽返流率，与油润滑分子泵相比较，可得到 更清洁的高真空。 ③ ① ② ③ ④ 免维护。 陶瓷球硬度高，更抗磨损。 重量轻，高速运转下离心力小，轨道应力小。 摩擦小，运转更轻便。寿命更长。 热稳定性、化学稳定性好。轴承游隙精确。
分子泵工业应用
10
分子泵简介
11
分子泵简介
12
分子泵简介
制灯性太阳能电池设备
14
分子泵简介
科研装备
15
分子泵简介
光盘生产线
16
分子泵简介
LOW-E生产线
17
分子泵简介
装饰镀
18
二、分子泵在工业应用中的注意事项 1、安装前
19
安装前
800 700 600
10
10
抽速(L/s)
20
安装前
• 总体安装注意
1 安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。 2 打开泵高真空端法兰盖板，检查转子转动是否正常。 3 首次运转前，确认已装入润滑油。
21
安装前
• 进出口法兰、冷却水安装
a. 泵入口： 对正、附件、 对称拧紧 泵出口：防止错位 冷却水： 无漏水 入口水压0.2MPa 水温20±５℃ 水质
分子泵工业应用
齐 义
北京中科科仪技术发展有限责任公司
KYKY TECHNOLOGY DEVELOPMENT LTD.
一、分子泵简介 二、KYKY分子泵在工业应用中的注意事项 1、安装前 2、应用中
2
一、分子泵简介
3
分子泵简介
• 分子泵是动量传输真空泵。 抽气原理： 在分子流区域内依靠高速运动的刚体表面来 携带气体分子或传递动量给气体分子，使气 体分子产生定向运动，逐级压缩，从而实现 抽气目的。
高真空口对称均 高真空口对 匀拧紧 称均匀拧紧
b. c.
前极拧紧无泄 漏
循环水 不滴漏
22
安装前
• 电缆安装
a. 对正槽口插入 防止插针变形 b. 用螺母拧紧 边插边拧 c. 检查到位
中科水泵3000使用说明
中科水泵3000使用说明一、通电前的准备工作，先检查变频器的接线和配线。
a、检查进出线主电源连接是否正确、可靠。
电源电压的等级是否符合变频器使用说明的要求，连接是否牢固。
绝缘层有无破损。
仔细检查端子排有无松脱，是否存在短路等隐性故障。
接地是否良好。
b、检查变频柜内控制回路的进线连接和电压等级是否符合变频柜的应用要求。
各连接线连接是否牢固，绝缘层有无破损，各电路板连接插头接插是否牢固。
c、清理变频柜内部杂物，再次确认主电源进线、控制回路线路、接地线、零线的连接有无不当之处.保持变频器周围的环境清洁、干燥，严禁在变频器附近放置杂物。
认真检查有无遗漏的螺丝及导线等，防止小金属物品造成变频器短路事故。
二、咨询用户的系统控制要求及管中国压力设定要求，记录下来。
三、如果变频柜控制的是潜水泵，咨询用户明确潜水泵的电机相关参数：额定功率、额定转速、额定电流等，确认后记录下来。
如果控制的是离心泵或风机就将电动机铭牌上的参数记录下来，以便在进行变频器的程序设定时能将电动机的参数准确输入，从而实现变频器保护的准确和控制的精确。
四、检查用户的管中国安装连接是否符合我们的安装图如果用户未按照我们的图纸安装施工，特别要注意的是单流阀和检测仪表的安装位置。
我们要向用户陈述让其明白不当安装的利害关系。
如果控制的是深井潜水泵，不安装单流阀在停泵的时候，管道中的水会往井内倒流这样不仅造成了电能的白白浪费。
又因潜水电泵是禁止反转运行的而水在回流的过程中会引起潜水电泵的反向运转，常期会造成潜水电泵内的紧固件松动，发生机械故障。
其次，因为我们的供水管道是个全密闭的系统，管道中的水在往井内回流的过程中，会在管道内部形成近似真空的状态，而我们安装在管道上的压力检测仪表会因为管道内的真空负压反吸而造成损坏，进而造成我们的设备因检测仪表的失灵而无法启动。
检查压力检测仪表与变频器的接线是否牢固，连接是否正确。
我们的压力检测仪表的接线规则：屏蔽线的红色线接仪表内的红色引出线、屏蔽线的黄色线接仪表内的黄色引出线、屏蔽线的绿色线线接仪表内的蓝色引出线。
南京中科通仪科技有限公司M-Blot快速转膜仪TY-201-01产品手册说明书
PAGE 11
南京中科通仪科技有限公司
M-Blot 全自动 WB 孵育工作站 (TY-201-03)
M-Blot 全自动 WB 孵育工作站可以全自动完成 Western Blot 过程中的封闭、孵育及洗涤过程，只需一次性将膜与试 剂加入仪器中，设置、启动程序即可等待孵育工作完成，省 心省力，简化操作，缩短耗时。
丰富功能：
全新界面更易操作 实时的电压、电流监控 运行日志功能，全程记录实验数据 泵控制升级，液体控制更加得心应手 网络功能升级，在线更新程序，收集 转膜、染色大数据分析，实时改进
技术参数：
产品名称 型号 尺寸（长 × 宽 × 高） 重量 输出电压（直流） 凝胶兼容性 膜兼容性 凝胶通量
M-Blot 快速转膜仪 TY-201-01 390×390×210（mm） 5kg 12~45V Mini 胶，厚度 0.75~1.5mm NC 膜和 PVDF 膜 可同时进行两片 Mini PAGE 凝胶转膜或染色
PAGE 18
PAGE 19
南京中科通仪科技有限公司
单通道分液平台（单道注射泵）(TY-102-01)
本产品采用高精度注射泵将液体分装到各种适配容器中。 配合强大的控制运行软件，实现界面运行简单、高精度、微 量分液。可以对 384 孔板、96 孔板、酶标板、PCR 系列等 试剂进行分装、各类冻存管等试剂分装、客户定制等功能
M-blot 自动梯度混合仪是 M-Blot 梯度混合仪的升级版 本，配合两轴运动机构，实现针头自动定位胶板开口，自动 跟随凝胶液面上升等功能；特殊设计的夹具工装，能同时固 定十块胶板，连续进行十块凝胶的灌装。
产品特点：
• 可固定最多十块胶板的夹具工装，批量自动灌胶 • 两轴运动机构，精准定位胶板开口 • 智能算法，针头自动跟随胶液液面上升，保证层结
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
企业通过ISO 9001质量管理体系认证分子泵全系列 使用说明书¾分子泵安全使用说明在安装与使用分子泵前，泵的安装与操作人员都应仔细阅读本使用说明书，并按照说明书中规定的条款安装与操作，以免造成人员伤害与设备损坏。
¾安全警示说明危险：表示为了防止危及人身安全，需要引起高度注意且必须遵守的事项；警告：表示为了防止损伤或损坏泵，需要引起中度注意且必须遵守的事项；小心：表示为了使泵的使用效果最佳，需要引起轻度注意且需要遵守的事项。
¾保修说明凡购买我公司生产的分子泵，从发货之日起，用户凭保修单可保修一年。
凡属下列情况之一的，不予保修：1)用户未经授权对产品私自拆卸；2)用户保管或使用不当（如撞击、强放射性环境、强磁场环境等）；3)属于用户其他原因造成的损坏。
¾免责声明当用户严格遵照本说明书中的规定安装和使用时，KYKY分子泵是安全、方便和有效的。
泵的操作人员必须仔细阅读并严格遵守本说明书中的条款。
由于用户没有仔细阅读说明书、或未按照使用说明书的要求操作而造成的任何伤害和损失，KYKY将不负担任何责任。
本说明书仅作为信息使用，如遇改版，恕不另行通知。
如本说明书与实际产品有所出入，本公司拥有最终解释权。
由本说明书引起、产生和包含的知识产权均属KYKY所有。
1概述1.1 分类与特点本说明书所列分子泵，按口径不同，从100mm到400mm（对应抽速从110l/s到3500l/s）共5个系列，12种泵。
分子泵一般有两种结构形式，一种是由动静叶列组成的涡轮分子泵，一种是由涡轮级加牵引级构成的复合型分子泵。
复合型分子泵的特点是使得分子泵高压强区的抽速有所提高，另一特点是使得出口耐压得到提高，因此可以适当减小前级泵的规格，可使用户节省投资。
根据分子泵轴承润滑方式不同，分子泵有油润滑、脂润滑两种。
一般情况下，油润滑分子泵需竖直安装（F-100/110可以水平安装），脂润滑分子泵可以任意角度安装。
1.2 主要用途及应用领域分子泵是用于对一个封闭的真空腔在分子流及接近分子流区域内抽真空，不使用冷阱或挡板，也可以得到一个较高的真空。
它广泛的应用于表面分析、加速器技术、等离子体技术、电真空器件的制造以及真空技术的各个领域。
1.3 型号组成及含意-□/□□特征代号2额定抽速（l/s）高真空接口口径特征代号1说明：特征代号1： “F”，表示涡轮分子泵；“FF”，表示复合分子泵。
特征代号2： “F”，表示可以采用风冷的泵，区别于水冷；“N”，表示耐腐蚀泵；“C”等其他字母，表示产品或性能的改进相关性能参见各系列的技术说明。
1.4 工作条件分子泵只在分子流区域（涡轮泵、复合泵）或接近于分子流区域（复合泵）有抽速（涡轮分子泵连续工作入口压强要求小于等于1Pa，复合分子泵连续工作入口压强要求小于等于5Pa），且要求前级排气口压强保持在10Pa以下，因此必须配置合理的前级泵，并使用与之相匹配的KYKY分子泵控制器。
图 1-1分子泵的应用（真空系统原理图）1.5 装箱单在打开包装箱后，请仔细核对箱内分子泵及其附件。
表 1-1 装箱单序 号 名 称 单位 数 量备 注1 分子泵 台 12 防护网 个 13 使用说明书 份 14 检验合格证 份 15 保修卡 份 16 CF 铜垫圈 个 2 CF 接口专用7 保护气体接口KF16盲板、卡箍 套 1 耐腐蚀泵专用 8 分子泵润滑油 瓶 1 油润滑泵专用 9O 圈支架（包括O圈）套1 LF 接口专用3100系列、160系列、200系列中LF 接口分子泵6 250系列 10 卡钳（LF 专用） 个9400系列1.6 配件选购配件是指安装分子泵时，在需要的情况下需由用户另外购买的配件： 表 1-2 选购配件表序号名称 单位规格数量备注 100系列160系列 1*分子泵泵体加热器套1200系列100系列中CF100高真空接口 M8×5516160系列中CF150高真空接口 2螺栓、螺母、垫圈套M8×6024 200系列中CF200高真空接口﹡在需要的情况下是指：要获得超高及以上真空，泵壳必须烘烤的情况等。
2技术说明2.1 100系列涡轮分子泵技术说明100系列涡轮分子泵包括F-100/110、F-100/150两种。
表 2-1 100系列涡轮分子泵技术参数表型号 F-100/110 F-100/150 抽气速率（l/s） 110150压缩比 N2：108； H2：5×102≤6×10-6 (DN100 LF)极限压强（Pa）≤6×10-8①；≤6×10-7②(DN100 CF)排气口法兰 KF25(DN25 ISO-KF)进气口法兰 LF100(DN100 ISO-K)、CF100轴承 普通轴承额定转速（rpm） 42300启动时间（min） ＜2振动值（(μm)） ≤0.1建议前级泵（l/s） 2充油量(ml) 2×6安装方式 垂直或水平冷却方式 环境温度5—32℃时，风冷；5—40℃时，水冷；冷却水温度（℃） ≤25泵体烘烤温度（℃）≤100环境温度（℃） 5—40重量（kg） 8①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果。
图 2-1 F-100/110安装简图图 2-2 F-100/150安装简图2.2 160系列复合分子泵技术说明160系列复合分子泵包括FF-160/500F、FF-160/620C、FF-160/620CN、FF-160/700四种泵。
表 2-2 160系列复合分子泵技术参数表型号 FF-160/500F FF-160/620CN③FF-160/620C FF-160/700抽气速率（l/s） 500 600 700 压缩比 N2：109；H2：6×103N2：109；H2：6×104N2：109；H2：6×106≤6×10-6 (DN160 LF)≤6×10-7 (DN160 LF) 极限压强（Pa）≤6×10-8①；≤6×10-7② (DN160 CF)≤6×10-8① (DN160 CF)额定转速（rpm） 24000 27000 36000启动时间（min） ＜5 ＜6 ＜4 轴承 普通轴承 陶瓷轴承（耐腐蚀泵需通保护气体） 排气口法兰 KF40(DN40 ISO-KF)进气口法兰 LF160(DN160 ISO-K)、CF160振动值（(μm)） ≤0.1建议前级泵（l/s）4-8冷却水温度（℃）≤25泵体烘烤温度（℃）≤100环境温度（℃） 5-40℃( FF-160/500F 可在5-32℃时风冷) 充油量(ml) 150 脂润滑 安装方式 竖直±5° 任意角度 重量（kg） 29 19①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；此极限为水冷条件下的测试结果；②此极限为水冷条件下的测试结果；③动静叶片做耐腐蚀处理、润滑油采用耐腐蚀润滑油。
北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）图 2-3 FF-160/500F安装简图图 2-4 FF-160/620C安装简图图 2-5 FF-160/620CN安装简图图 2-6 FF-160/700安装简图2.3 200系列复合分子泵技术说明200系列复合分子泵包括：FF-200/1200C、FF-200/1300两种泵。
表 2-3 200系列复合分子泵技术参数表型号 FF-200/1200C FF-200/1300 抽气速率（l/s） 1200 1300 压缩比 N2：109；H2：6×103≤1×10-6 （DN200 LF） ≤6×10-6 （DN200 LF） 极限压强（Pa）≤1×10-7（DN200 CF）≤6×10-8①； ≤6×10-7② （DN200 CF） 额定转速（rpm） 27000 24000启动时间（min） ＜6轴承 陶瓷轴承排气口法兰 KF40(DN40 ISO-KF)进气口法兰 LF200(DN200 ISO-K)、CF200振动值（(μm)） ≤0.1建议前级泵（l/s） 15冷却水温度（℃） ≤25泵体烘烤温度（℃）≤100环境温度（℃） 5-40充油量(ml) 150 脂润滑安装方式 竖直±5° 任意角度重量（kg） 39 29①此极限为前级泵采用二级旋片泵加扩散泵或涡轮分子泵得出；②此极限为水冷条件下的测试结果；北京中科科仪技术发展有限责任公司（KYKY）图 2-7 FF-200/1200C安装简图图2-8 FF-200/1300安装简图2.4 250系列分子泵技术说明250系列分子泵包括F-250/1500、FF-250/1600、FF-250/1800三种。
表 2-4 250系列分子泵技术参数表型号 F-250/1500 FF-250/1600 FF-250/1800①抽气速率（l/s）1500 1600 1800 压缩比 N2：108；H2：5×103极限压强(Pa) ≤6×10-6≤1×10-6额定转速（rpm）21000 27000启动时间（min）＜8轴承 普通轴承 陶瓷轴承 排气口法兰 KF50(DN50 ISO-KF) KF40(DN40 ISO-KF) 进气口法兰 LF250(DN250 ISO-K)振动值（(μm)） ≤0.1建议前级泵15冷却水温度（℃）≤25泵体烘烤温度≤100环境温度（℃） 5-40充油量(ml) 150 脂润滑安装方式 竖直±5° 任意角度重量（kg） 60 47 42①充气口：KF10(DN10 ISO-KF) 放气口Ф1。
图 2-9 F-250/1500安装简图图 2-10 FF-250/1600安装简图图 2-11 FF-250/1800安装简图2.5 400系列涡轮分子泵技术说明400系列涡轮分子泵包括F-400/3500涡轮分子泵。
表 2-5 400系列涡轮分子泵技术参数表型号 F-400/3500抽气速率（l/s）3500振动值（(μm)） ≤0.5 压缩比 N 2：108；H 2：5×102建议前级泵（l/s）30 极限压强（Pa） ≤6×10-6冷却水温度（℃）≤25 排气口法兰 LF100(DN100 ISO-K)泵体烘烤温度（℃）≤80 进气口法兰 LF400(DN400 ISO-K)环境温度（℃） 5-40 轴承 陶瓷轴承 充油量(ml) 150 启动时间（min） ＜18 安装方式 竖直±5° 额定转速（rpm）13500重量（kg）136196图 2-12 F-400/3500安装简图2.6 与分子泵匹配的控制器表 2-6 分子泵与控制器对照表分 子 泵 型 号 配用控制器F-100/110、F-100/150FD-110AFD-ⅠFF-160/500F FD-Ⅱ 500K FF-160/620C FD-Ⅱ 600H FF-160/620CN FD-Ⅱ 600K FF-160/700 FD-Ⅱ 700K FF-200/1200C FD-Ⅱ 1200H FF-200/1300 FD-Ⅱ 1300K F-250/1500 FD-Ⅱ 1500K FF-250/1600 FD-Ⅱ 1600H FF-250/1800FD-Ⅱ 1800KF-400/3500 FD-3500K FD-Ⅲ3运输与保存3.1 运输分子泵出厂时，包装在包装箱里。