微悬臂梁传感器研究报告
传感器调研报告
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那么什么样的报告才是有效的呢？以下是小编帮大家整理的传感器调研报告，欢迎大家分享。
传感器调研报告1纤传感器的分类光纤传感器具有多种分类方式，根据传感原理可分为功能型传感器和非功能型传感器。
功能型光纤传感器也叫传感型光纤传感器，光纤直接作为敏感元件；非功能型光纤传感器也叫传光型光纤传感器，光纤只作为传输光信号的媒介，需要利用其它的光敏元件来感知外界环境的变化。
纤传感技术的发展型光纤传感器当环境介质的折射率发生变化（如振动或温度变化等引起），传感光纤经过此处时的光波相位会发生变化。
对传感光纤中的相干光进行相位调制，检测段处就可以观察到外界环境变化带来的干涉结果的变化，这就是干涉型光纤传感器的工作原理。
目前最常用的干涉型光纤传感器有：迈克尔逊（Michelson）干涉型光纤传感器、马赫-曾德（Mach-Zehnder）干涉型光纤传感器、法布里-珀罗（Fabry-Perot 干涉型光纤传感器、萨格纳克（Sagnac）干涉型光纤传感器。
与传统光纤干涉仪传感器相比，全光纤M-Z干涉x传感器的结构更为简单。
在同一根光纤上制作两个相隔一定距离的光纤结构，使不同模式之间形成干涉，构成光纤内的M-Z干涉仪，因不需要耦合器，具有制作简单，成本低，尺寸小，灵敏度和稳定性高等显著的优点。
Hu Liang等人[一段液体填充的光子晶体光纤熔接到单模光纤上，构成了一种M-Z干涉仪，其温度和力传感的灵敏度分别为m/°C和-nm/N。
Hui Ding等人[过在单模光纤尾端熔接一小段光子晶体光纤，制成一种光纤F-P型温度传感器，在°C范围内温度响应灵敏度达到-/°C。
光纤光栅传感器根据光纤光栅周期的长短，将光栅分为光纤布拉格光栅和长周期光纤光栅。
光纤布拉格光栅的光谱是向前传输的光与反射回来的光，即传输方向相反的模式之间发生耦合。
微悬臂梁传感器在气体检测方面的应用
微悬臂梁传感器在气体检测方面的应用微悬臂梁传感器是一种以微米级薄膜材料制成的微悬臂结构的传感器，具有高灵敏度、高精度、体积小、功耗低等优势。
在气体检测方面，微悬臂梁传感器有着广泛的应用。
微悬臂梁传感器可以用于气体浓度的检测。
传感器的微悬臂上涂覆有特定气体敏感膜材料，当待测气体与薄膜接触时，会发生物理或化学反应，导致薄膜发生形变。
微悬臂梁传感器可以通过测量悬臂的形变来判断气体浓度的变化，从而实现气体浓度的检测。
微悬臂梁传感器可以用于气体组分的分析。
不同气体对敏感膜材料的影响是不同的，当不同气体与薄膜接触时，会导致薄膜发生不同程度的形变。
通过测量悬臂的形变，可以对气体的组分进行分析和鉴别。
这种气体组分的分析方法具有高精度和高灵敏度，在环境监测、安全领域等方面有着重要应用。
微悬臂梁传感器还可以用于气体压力和流速的测量。
在气体流体中，气体的流速和压力变化都会对传感器的微悬臂产生力的影响，从而导致悬臂的形变发生变化。
通过测量悬臂的形变，可以间接地反推出气体的压力和流速信息。
这种方法可以用于气体流量计、气体压力传感器等领域。
微悬臂梁传感器还可以应用于气体检测中的其他领域，如传感器阵列、微流控芯片等。
传感器阵列通过多个微悬臂传感器的测量，可以实现对多种气体的同时检测和分析，提高了检测的多样性和可靠性。
微流控芯片则是利用微悬臂梁传感器对流体压力的敏感性，实现对微流体的精确控制和检测，具有重要的应用价值。
微悬臂梁传感器在气体检测方面具有广泛的应用前景。
随着微纳制造技术和传感器技术的不断发展，微悬臂梁传感器的灵敏度和性能将进一步提升，为气体检测领域带来更加广阔的发展空间。
悬臂梁的振动模态实验报告
实验 等截面悬臂梁模态测试实验一、 实验目的1. 熟悉模态分析原理；2. 掌握悬臂梁的测试过程。
二、 实验原理1. 模态分析基本原理理论上，连续弹性体梁有无限多个自由度，因此需要无限多个连续模型才能描述，但是在实际操作中可以将连续弹性体梁分为n 个集中质量来研究。
简化之后的模型中有n 个集中质量，一般就有n 个自由度，系统的运动方程是n 个二阶互相耦合（联立）的常微分方程。
这就是说梁可以用一种“模态模型”来描述其动态响应。
模态分析的实质，是一种坐标转换。
其目的在于把原在物理坐标系统中描述的响应向量，放到所谓“模态坐标系统”中来描述。
这一坐标系统的每一个基向量恰是振动系统的一个特征向量。
也就是说在这个坐标下，振动方程是一组互无耦合的方程，分别描述振动系统的各阶振动形式，每个坐标均可单独求解，得到系统的某阶结构参数。
多次锤击各点，通过仪器记录传感器与力锤的信号，计算得到第ｉ个激励点与定响应点（例如点2）之间的传递函数H i (ω)，从而得到频率响应函数矩阵中的一行频响函数的任一行包含所有模态参数，而该行的r 阶模态的频响函数 的比值，即为r 阶模态的振型。
2. 激励方法为进行模态分析，首先要测得激振力及相应的响应信号，进行传递函数分析。
传递函数分析实质上就是机械导纳，i 和j 两点之间的传递函数表示在[]∑==Nr iN ri ri r H H H 121...[]Nr r r Nr rr r irk c j m ϕϕϕωωϕ (2112)∑=++-=[]{}[]Tr ir Nr r iN i i Y H H H ϕϕ∑==121...j点作用单位力时，在i点所引起的响应。
要得到i和j点之间的传递导纳，只要在j点加一个频率为ω的正弦的力信号激振，而在i点测量其引起的响应，就可得到计算传递函数曲线上的一个点。
如果ω是连续变化的，分别测得其相应的响应，就可以得到传递函数曲线。
根据模态分析的原理，我们要测得传递函数矩阵中的任一行或任一列，由此可采用不同的测试方法。
传感器试验报告解读
传感器与自动检测技术及实验实验报告院－系：专业：年级：学生姓名：学号：XXXXXXX 工学院实验报告单课程名称 传感器与自动检测技术实验 成绩 实验名称实验一 金属箔式应变片——单臂电桥性能实验日期所在系 自动化 班级 所学专业 电气工程及其自动化学号 姓名 同组人一、实验目的：了解金属箔式应变片的应变效应，单臂电桥工作原理和性能。
二、实验原理：电阻丝在外力作用下发生机械变形时，其电阻值发生变化，这就是电阻应变效应，描述电阻应变效应的关系式为：εK R R =∆/式中R R /∆为电阻丝电阻的相对变化，K 为应变灵敏系数，l l /∆=ε为电阻丝长度相对变化，金属箔式应变片就是通过光刻、腐蚀等工艺制成的应变敏感元件，通过它转换被测部位的受力状态变化，电桥的作用是完成电阻到电压的比例变化，电桥的输出电压反映了相应的受力状态。
单臂电桥输出电压U O14/εEK =。
三、实验仪器和设备：应变式传感器实验模块、应变式传感器、砝码、数显表、±15V 电源、±4V 电源、万用表（自备）。
四、实验内容和步骤：1、根据图1-1应变式传感器已装于应变传感器模块上。
传感器中各应变片已接入模块的左上方的R 1、R2、R3、R 4。
加热丝也接于模块上，可用万用表进行测量判别，R 1= R 2= R 3= R 4=350Ω，加热丝阻值为50Ω左右。
2、接入模块电源±15V （从主控箱引入），检查无误后，合上主控箱电源开关，将实验模块调节增益电位器Rw 3顺时针调节大致到中间位置，再进行差动放大器调零，方法为将差放的正、负输入端与地短接，输出端Vo2与主控箱面板上的数显表电压输入端Vi 相连，调节实验模块上调零电位器Rw 4，使数显表显示为零（数显表的切换开关打到2V 档）。
关闭主控箱电源。
3、将应变式传感器的其中一个应变片R 1（即模块左上方的R 1）接入电桥作为一个桥臂与R 5、R 6、R 7接成直流电桥（R 5、R 6、R 7模块内已连接好），接好电桥调零电位器Rw 1，接上桥路电源±4V （从主控箱引入）如图1-2所示。
传感器调研报告范文模板
传感器调研报告范文模板一、引言传感器是现代信息技术与物理学相结合的产物，被广泛应用于各个领域。
本报告旨在对传感器的概念、工作原理、应用领域以及发展趋势进行深入调研，并提供一个模板供后续类似调研报告的撰写参考。
二、传感器的概念传感器是一种能够感知和测量环境信息的装置，一般由感知元件、信号变换电路和输出电路三部分组成。
感知元件负责将环境信息转化为电信号，信号变换电路对电信号进行处理与转换，输出电路将处理后的信号输出给使用者。
三、传感器的工作原理常见的传感器工作原理包括电阻、电容、电感、磁阻、振动、光电等。
以光电传感器为例，其工作原理是通过光敏元件感受光线的强度变化，再通过内部电路转化为电信号，并输出给使用者。
各种传感器根据工作原理的不同，能够感知和测量的信息也不尽相同。
四、传感器的应用领域传感器广泛应用于工业控制、环境监测、医疗健康、智能家居等领域。
在工业控制方面，传感器可以用于测量温度、压力、流量等工艺参数，实现自动化生产与调节。
在环境监测方面，传感器可以用于监测大气污染、水质、土壤湿度等环境指标，为环境保护提供数据支持。
在医疗健康方面，传感器可以用于心率、血压、体温等生理指标的监测，帮助医生判断病情并进行治疗。
在智能家居方面，传感器可以用于人体动作、声音等的感知，实现智能灯光、智能音响等智能化应用。
五、传感器的发展趋势随着物联网、人工智能等新技术的不断发展，传感器也在不断演进和创新。
以下是传感器发展的几个趋势：1. 小型化：传感器逐渐变得更小巧，可以方便地嵌入到各类设备中，实现更多应用。
2. 低功耗：为了延长传感器的使用寿命，降低功耗是一个重要方向。
3. 多功能：传感器不仅能感知一个单一信息，还可以实现多种检测功能的集成，提高使用的灵活性。
4. 网络化：传感器可以通过互联网进行数据传输和远程监控，实现实时掌控和远程操控。
5. 自动化：传感器与机器学习、人工智能等技术相结合，可以实现智能化的感知和决策。
表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟
汪超男, 等: 表面应力敏感型压阻微悬臂梁传感器的模拟
1877
的设计要求与基于末端外力检测时不同, 这一点直 [ 10 ] 到最近几年才得到关注。 R a sm u ssen 等 发现, n 型硅比 p 型硅更适合做表面应力传感器的压阻材 [ 11 ] 料, Choudhu ry 等 进一步指出 n 型硅压阻应安排 在悬臂梁的自由端以获得更高的灵敏度。 尽管这些研究从新的角度提高了测量表面应力 的压阻悬臂梁的灵敏度, 但也有一些问题尚未解决。 在测表面应力时, 压阻悬臂梁的应力分布不仅沿着 梁的长度方向分布, 同时还包括横向应力, 因此应把 梁视为二维结构, 同时考虑横向与纵向的应力分布, 而不应把梁视为一维结构。 因此以下两点对于提高 测表面应力的压阻悬臂梁的灵敏度是非常重要的, 但却被这些研究所忽略。 首先, 压阻宽度对压阻悬臂 梁传感器灵敏度的影响; 其次, 压阻在悬臂梁横向 位置安排对灵敏度的影响。 本文通过对压阻悬臂梁模型的仿真结果, 分析 得到在表面应力作用下不同掺杂类型硅压阻的长 度、 宽度与位置的优化方向。
ISSN 100020054 清华大学学报 ( 自然科学版) 2009 年 第 49 卷 第 11 期 CN 1122223 N . 49, N o. 11 J T singhua U n iv ( Sci & T ech ) , 2009, V o l
33 38 187621879, 1885
图 1 压阻悬臂梁结构图 ( Λ m)
掺杂类型
n型 p型
Π x ( 10
11
Pa
- 1
)
- 11 - 1 Π Pa ) y ( 10
在表面应力的作用下, 悬臂梁内部存在 x 方向 与 y 方向的应力分布, 集成在悬臂梁上的压阻臂具 有压阻特性, 压阻区域的应力分布与电阻值变化量 有对应关系, 通过读出压阻的阻值变化检测出作用
用于痕量胺类同系物检测的谐振式微悬臂梁传感器
基 于 微 机 电 系 统 （ ｃｏ ｌ ｔ Ｍ ｃ ａｉａ Ｍｉｒ Ｅｅ ｒ ｅｈ ｎｃｌ ｃｏ
势 Ｊ ， 但鲜见将谐振式微悬臂梁传感 器用 于胺类
物质 检测 的报 道 。 根据 质 量 型化 学 传感 器 的工 作原 理 ， 质量 型 在 换能 器种 类及规 格 一 定 的情 况下 ， 增 加 敏感 薄膜 若
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用 于痕量 胺类 同系物 检测 的谐振 式硅 微机 械悬 臂梁 使用 电热 激励 、 阻检测 ， 压 激励 和检测 电阻均集
成在 悬臂 梁之 上 ， 长度 、 宽度 和 厚 度 分别月 ０１
传 感 技 术 学 报
Ｃ Ｎ Ｓ ＯＵ ＡＬ ＯＦ Ｓ Ｎ Ｏ ＮＤ ＡＣ ＵＡ ＯＲＳ ＨＩ Ｅ Ｅ Ｊ ＲＮ Ｅ Ｓ ＲＳ Ａ Ｔ Ｔ
Ｖ０ ． ４ Ｎｏ． １２ ９
Ｓ ｐ． ０１ ｅ ２ １
Ｄｅ ｅ ｔ ｎ ｏ ａ ｅＡｍｉ ｅ Ｈｏ ｌｇ ｅ ｔ ｓ ｎ ｎ ｉｒ － ｎ ｉ ｖ ｒ Ｓ ｎ ｏ ｓ ｔ ｃｉ ｆＴｒ ｃ ｏ ｎ ｍｏ ｏ ｕ ｓ ｗｉ Ｒｅ ｏ ａ ｔＭ ｃ ｏ Ｃａ ｔ ｅ ｅ ｅ ｓ ｒ ｈ ｌ
Ｓ Ｍｓ 、 Ａ ） 聚合 物 以及 碳 纳 米 管 等 。但 上 述 敏 感 材 料 在 比表 面积 、 活性 位点 数量 、 稳定性 等方 面存 在一 定
（） ｄ 正面刻蚀 ： 用光刻胶做掩模 ， 使用感应耦合 等离子 体深刻 蚀 （ｎｕｔｅ ｏｐ ｄＰ ｓ ａＤ ｅ Ｉｄｃｖｌ Ｃｕ ｌ ｌ ｍ ｅ ｉ ｙ ｅ ａ ｐ
本文 研究 采用先 将羧 基基 团修 饰 于 Ｓ Ａ一 ５介 Ｂ １ 孔 材料 中 ， 后将 该 功 能化 介 孔材 料 负 载 于 集 成谐 然
悬臂梁传感器工作原理
悬臂梁传感器工作原理
悬臂梁传感器是一种常用的压力传感器，其工作原理基于悬臂梁的弯曲变形原理。
该传感器的结构包括一个悬臂梁和一个测量电桥，当悬臂梁受到外力作用时，会发生弯曲变形，导致电桥中的应变传感器产生一定的电压信号，从而实现对外力大小的测量。
具体来说，当被测物体上存在压力时，悬臂梁会发生一定的弯曲变形，这个变形程度与压力大小成正比。
此时，测量电桥的电阻会发生一定的变化，电桥两端产生的电压信号也会跟随发生变化。
通过检测和分析这个变化，可以得到被测物体所受的压力大小。
悬臂梁传感器的优点是结构简单、测量精度高、可靠性好、响应速度快、功耗低等。
它常用于各种液体、气体、蒸汽等介质的压力测量，应用范围广泛。
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电子科技大学光电信息学院 课程设计论文
课程名称 传感技术
题目名称 微悬臂梁气体传感器研究
学 号 2705105018 姓 名 张 波 指导老师 太 惠 玲 起止时间 2010年5月1日至2010年5月30日
2010年5 月 30 日 电子科技大学光电信息学院 课 程 设 计 任 务 书 一、课程名称 ___ 传感技术_______ ____________ __ 二、课程设计题目_______微悬臂梁气体传感器研究_________________________________ 三、课程设计目的 随着MEMS技术（Micro Electro-Mechanical System）的飞速发展及其在传感器领域的应用，以微悬臂梁为基础构成的生物化学传感器成为传感器领域的一个研究热点与难点。该类型气体传感器的制备与检测涉及材料、半导体工艺与电路等各个学科，因此本课程设计旨在通过对微悬臂梁气体传感器国内外研究现状的考察与分析，充分理解该类型传感器的工作原理，并掌握其制备工艺与测试技术。 四、课程设计要求 本课程设计要求在查阅微悬臂梁气体传感器国内外文献的基础上，掌握该类传感器的传感模式、表面修饰技术、MEMS工艺及检测电路的设计与制备等关键技术，并完成课程设计报告。 五、课程设计任务和内容 材料，机理器件。检测电路 （1）理解微悬臂梁气体传感器的敏感机理； （2）学习微悬臂梁气体传感器的表面修饰技术和MEMS制备工艺； （3）学习微悬臂梁气体传感器后端检测电路的设计； （4）完成课程设计报告。 六、参考文献 [1] J. Zhou, P. Li, Zeolite-modified microcantilever gas sensor for indoor air control, Sensors and Actuators B, 2003, 94(3): 337-342 [2] J. Zhou, P. Li, Self-excited piezoelectric mocrocantilever for gas detection, Microelectronic Engineering, 2003, 69(1): 37-46 [3] G. Zuo, X. X. Li, P. Li, Trace TNT vapor detection with an SAM function piezoresistive SiO2 microcantilever, Ananlytica Chemical Acta, 2006, 580: 123-127 [4] D. Ying, G. Wei, Y. Zheng, Thermally-excited MEMS cantilever resonator for gas sensing, Nanotechnology and Precision Engineering, 2009, 7(2): 119-122 指导教师签名： 太惠玲 日期： 2010 年4月 13日 微悬臂梁气体传感器研究 摘要: 微机械谐振式传感器已经成为微型机电系统(MEMS)领域的研究热点。微悬臂梁传感器以其体积小、成本低、灵敏度高等优点在生物化学领域获得了广泛的研究和初步应用。本文综述了微悬臂梁气体传感器的工作原理及敏感机理、介绍微悬臂梁表面修饰的关键技术、MEMS制备工艺主要方法、后端检测电路的设计和基于微悬臂梁气体传感器领域的研究状况以及对基于微悬臂梁的谐振式气体传感器的发展方向和应用前景的展望。 关键词：敏感机理、表面修饰、MEMS制备工艺、检测电路。 前言： 传感器是一种可以获取有用信息并将其转换成可用信号（光信号、电信号）的特殊装置，它在信息处理系统中占有十分重要的地位，广泛应用于生产、科研和生活的各个领域。气体检测在人们生产生活中的应用十分广泛,特别是在安全生产方面,如,矿井作业、毒气的生产运输。气体传感器直接关系到人们的生命财产安全。微机电系统(MEMS)技术是基于微电子技术的微器件加工制造方法，其中悬臂梁结构是最简单的微结构，利用它可以探测到极小的位移或质量的变化，这使得微悬臂梁成为高精度高灵敏气体传感器的理想选择。随着微加工技术的提高与薄膜技术的发展,近几年微机电系统传感器在气体检测方面受到广泛关注。运用MEMS技术的气体传感器种类很多，根据不同的检测原理可以分为：1)根据气体自身的光声学和光学特性，结合MEMS结构制作的传感器，代表种类有声光光谱法和光谱法；2)采用气体敏感膜的化学吸附机理，代表种类有电导变化型、悬臂梁型和声表面波型；3)针对易燃易爆气体，采用的催化燃烧式检测；4)从离子迁移谱原理改进而来的高场不对称波形离子迁移谱(FAIMS)技术。MEMS气体传感器相对于传统的榆测手段，具有体积小、灵敏度高、响应快、易于阵列集成等多方面优势，是未来气体传感器发展的一个主要方向。由于分子的吸附而导致的微悬臂梁弯曲偏转量的变化主要是由于分子吸附在微悬臂梁表面后，在上下表面产生了不同的应力。分子吸附在悬臂梁表面之前，悬臂梁上表面和下表面的应力处于平衡，产生一个沿着微悬臂梁中间平面的径向力，当分子吸附到微悬臂梁上下表面后，它们对上下表面应力的影响不一样，基于悬臂梁弯曲的测量方法在生物和化学探测中更具有吸引力【1】。 1 微悬臂梁工作原理
敏感机理：微悬臂梁作为气体传感器，在微悬臂梁的表面通常涂镀金属膜或有机聚合物作为化学敏感层，在微悬臂梁吸附了某种气体后，通常会产生两种物理量的变化:共振频率或表面应力。当敏感层吸附气体后，质量产生变化，敏感层将气体浓度的变化转换为微悬臂梁共振频率的频移，频移的大小即反映了吸附气体的多少。微悬臂梁表面应力的变化是由于敏感层分子和吸附分子间力的相互作用，使微悬臂梁产生弯曲。 由此，微悬臂梁有两种不同的工作模式：静态工作模式和谐振工作模式，下面分别进行介绍。 1.1 静态工作模式【2】 如果把待检测的分子吸附在微悬臂梁的一个表面，而另外一个表面不吸附待测分子，由于分子之间的相互作用会在微悬臂梁上下表面引起应力差，从而导致微悬臂梁弯曲。微悬臂梁上下表面的应力差(σ1～σ2)可以通过Stoney 方程[1]来计算。
[1] 式中：L 和t 分别是微悬臂梁的长度和厚度，Δd 是微悬臂梁自由端的位移而E和ν则是所用材料的杨氏模量和泊松比。 由上述方程我们可以看出，Δd与(σ1～σ2)成正比，为了提高微悬臂梁的灵敏度，必须把微悬臂梁的一个表面修饰为对目标分析物不敏感，而另外一个表面修饰为对目标分析物具有高亲合力，以产生大的上下表面应力差。静态工作模式一般结合光学读出方法来读出微悬臂梁的弯曲量，一个典型的例子如图1。
1.2 谐振工作模式 微悬臂梁在气体中或者在真空中工作时可以将其作为弱阻尼的机械振荡器。使用交变电场或磁场激励可以使其振荡。谐振工作模式的常用方法是微悬臂梁吸附待测物引起质量变化，从而导致微悬臂梁谐振频率偏移，通过测量频率偏移量的大小，就可以反映出微悬臂梁吸附待测物的多少。微悬臂梁的谐振行为可以用胡克定律来描述。对矩形微悬臂梁，其弹性系数k 可由公式【2】得到 k=Ewt3/4l3 【2】
其中：w、t、l 分别是微悬臂梁的宽度、厚度和长度，E是构成微悬臂梁的材料的弹性模量。 忽略环境介质的阻尼效应，则微悬臂梁的基频谐振频率f0为：
【3】 其中：m0 是悬臂梁的有效质量。 设悬臂梁吸附了待测生物化学分子之后，发生了质量改变Δm，悬臂梁谐振频率变为f1则由上面公式可以得到：
【4】 1.3 读出技术 微悬臂梁传感器的一个重要组成部分是一套能够将微悬臂梁的有关变化实时输出的读出系统。微悬臂梁的读出方法主要有光学方法和电学方法两类。其中光学方法常用的是光束偏转法，电学方法包括压阻法、压电法和电容法等。 1.3.1光束偏转法 光束偏转法的测量原理如图1 所示，激光二极管发出的激光束打在悬臂梁的自由端，以自由端上的金属层作为反射镜，将入射的激光反射出去，通过位置敏感探测器(PSD)接收反射光，PSD 输出的电信号通过信号处理电路计算出入射在PSD 上光束的位置，从而可以反映微悬臂梁的弯曲变化。 1.3.2压阻法 压阻效应是指半导体材料在应力作用下,禁带宽度发生变化,引起载流子的浓度和迁移率发生变化,从而使材料的电阻率发生变化。 1.3.3压电法 当晶体受到某固定方向外力的作用时,内部就会产生电极化现象,同时在某两个表面上产生符号相反的电荷；当外力撤去后，晶体又恢复到不带电的状态；当外力作用方向改变时，电荷的极性也随之改变；晶体受力所产生的电荷量与外力的大小成正比。 1.3.4电容法 电容法的测量原理是如果改变两块平行板之间的距离，则两块平行板之间的电容就会改变。将悬臂梁作为可动的平行板，则悬臂梁弯曲的变化就可以通过电容的变化来表征。 2 悬臂梁的设计与制造（MEMS简单制备工艺）
2.1 悬臂梁设计考虑因素 设计悬臂梁时，需要重点考虑的参数是灵敏度、噪声、弹性系数、响应频率等。一个高性能的悬臂梁通常需要具有高灵敏度、低噪声、高响应频率和低弹性系数。这些参数取决于悬臂梁的几何形状、材料的机械性质以及制作悬臂梁的工艺条件等。这些要求并不能全部满足，比如降低弹性系数同时会降低响应频率，在设计时要根据使用场合综合考虑【3】。 悬臂梁的设计主要考虑了不同结构的悬臂梁在流体中的稳定性以及悬臂梁光束的质量。悬臂梁使用低压化学（LPCVD）法生长的氮化硅作为结构材料腐蚀掉硅沉底之后，减少悬臂梁的变形化硅的时候必须采取合适的生长条低氮化硅的薄膜应力和应力梯度。氮化硅度是1.5μm,首先使用光刻，然后使用蚀（RIE）在氮化硅薄膜上形成悬臂梁案。在悬臂梁的上表面淀积上一层厚度金膜，在生物和化学探测中可以通过A成的或者生物分子固定在悬臂梁表面。为了达到光学读出所要求的反射率，金属层的厚度一般为50~150 nm。最后腐蚀掉硅衬底，释放得到悬臂梁。悬臂梁制造过程的主要步骤如图2，不同结构的悬臂梁如图3。
图2 悬臂梁制作过程的主要步骤