电化学机械加工的原理及其主要应用
电解加工技术在精密光学元件制造中的应用研究进展

电解加工技术在精密光学元件制造中的应用研究进展引言:光学元件是光学系统中不可或缺的重要组成部分,其精密制造对于光学系统的性能和品质具有决定性影响。
传统的机械加工方法在光学元件的制造中存在着难以克服的困难,而电解加工技术作为一种高精度、高效率的加工方法,逐渐成为光学元件制造领域的研究热点。
本文将对电解加工技术在精密光学元件制造中的应用研究进展进行探讨。
一、电解加工技术的基本原理电解加工技术是利用电化学原理进行加工的一种方法,其主要原理是在电解液中通过电解作用,利用阳极材料表面的金属离子转化为阳极材料的离子移动来进行加工。
电解加工技术具有高精度、高效率、低损伤等优点,可以用来加工各种形状和材料的工件。
二、电解加工技术在精密光学元件制造中的应用案例1. 晶体管导纳隧道电子显微镜衍射屏幕制备晶体管导纳隧道电子显微镜的衍射屏幕是其关键部件之一,需要具有高精度、平整度和光滑度。
传统的机械加工方法很难满足这一要求,而采用电解加工技术可以得到更好的制备效果。
通过调整电解液的成分和工艺参数,可以控制衍射屏幕的表面形貌,进而提高显微镜的分辨率和对比度。
2. 大口径反射镜的加工大口径反射镜是天文望远镜等光学仪器中不可或缺的元件,其制造难度较高。
传统的机械加工方法会造成加工痕迹和残留应力,影响反射镜的性能。
采用电解加工技术可以实现对反射镜表面的高精度加工,避免了机械加工的缺点。
通过优化电解加工参数,可以得到更好的表面质量和形状精度,提高反射镜的光学性能。
3. 微结构光学元件的制造微结构光学元件在光学传感、光通信等领域有着广泛应用。
传统的制造方法,如光刻和激光加工,存在着加工难度高和效率低的问题。
而采用电解加工技术可以实现对微结构的高精度加工,能够制造出复杂的微型光学元件。
通过优化电解液的组成和工艺参数,可以制备出不同形状的微结构,满足不同应用领域的需求。
三、电解加工技术在精密光学元件制造中面临的挑战与发展方向1. 加工效率的提高目前电解加工技术在精密光学元件制造中的应用还存在着加工效率低的问题,限制了其在工业化生产中的应用。
电化学加工的基本原理及分类

电化学加工的基本原理及分类
▪ 电化学加工过程
电化学加工的基本原理及分类
▪ 电解质溶液 ▪ 凡溶于水后能导电的物质就叫做电解质,如硫酸、氢氧化钠、
氢氧化氨、硝酸钠、氯酸钠等酸、碱、盐都是电解质。电解质与水 形成的溶液为电解质溶液,简称为电解液。电解液中所含电解质的 多少即为电解液的质量分数。
阳极溶解来进行加工,主要有电解加工、电解抛光等;第二类是利 用电化学阴极沉积、涂覆进行加工,主要有电镀、涂镀、电铸等; 第三类是利用电化学加工与其他加工方法相结合的电化学复合加工 工艺,目前主要有电化学加工与机械加工相结合。
模具制造化
当有电流通过时,电极的平衡状态遭到破坏,使阳极的电极电 位向正移、阴极的电极电位向负移,这种现象称为极化。极化后的 电极电位与平衡电位的差值称为超电位,随着电流密度的增加,超 电位也增加。
电化学加工的基本原理及分类
▪ 金属的钝化和活化
▪
在电解加工过程中还有一种叫饨化的现象,它使金属阳极溶
解过程的超电位升高,使电解速度减慢。例如铁基合金在硝酸钠电
解液中电解时,电流密度增加到一定值后,铁的溶解速度在大电流
密度下维持一段时间后反而急剧下降,使铁成稳定状态不再溶解。
电解过程中的这种现象称阳极饨化,简称钝化
电化学加工的基本原理及分类
▪ 电化学加工的分类 ▪ 电化学加工按其作用原理可分为 3 大类。第一类是利用电化学
电化学加工的基本原理及分类
▪ 电极电位 因为金属原子都是由外层带负电荷的自由电子和带正电荷的金
属阳离子所组成的。即使没有外接电源,当金属和它的盐溶液接触 时,经常发生把电子交给溶液中的离子,或从后者得到电子的现象。 这样,当金属上有多余的电子而带负电时,溶液中靠近金属表面很 薄的一层则有多余的金属离子而带正电。
机械加工中电化学加工过程的可控性分析

使复合工具旋转 , 而磨去钝化膜 , 使电解加工进 步进行 。具体加工过程如 图 1 示。 所
一
图 l线性复合工具 电化 学机械 加工过程示意 图
由于工件 表面在 微观上 是凹 凸不 平的 , 因 此 突出的地方 的钝化膜 首先被磨去 ,同时也首 先 被 电解 , 凹下 的地方反 之 , 因此 , 能够 获得 比 较 好的表面质量 和加工 精度 ,该工艺可用于金 属 零件的抛光和切割 。工件 与工具间 的间 隙是 电解 加工过程 中核心 的工艺参数 ,直接影响加 工效率和加工质量 。在 线型复合工具加_ T过程 中 ,加工间隙实 际上是决定 于磨粒的高度 。因 此 ,还可以通过调整磨粒 的尺寸来进一步优 化 加 工工艺。 2线型复合工具的研制 线 型复合工具是 由芯部 的金属丝干外 围螺 ¨ 旋 的绝缘磨料层组成 。芯部的金属 可 以是铜 丝、 钼丝 、 丝等适 合 电学 化加 工的 电极材料 。 钢 外 围螺旋 的磨料需要保 证其绝缘 ,根据制作 工 艺 的不同 ,可 以采用不 同的使 其实现绝缘 的方 法 。我们制作线 型复合电极的方 法主要 有三种: 第 一种使用树脂粘结 剂 , 粒为氮化硼 , 环 磨 通过 氧树脂将氮化硼 颗粒螺旋粘结在金属 丝上 。用 此方法做 出的线 型复合 电极 的优点 , 制作过 程 比较简单 , 环氧树脂 能粘结 金属和非金属 材料 , 表面绝缘 胜能 良好 , 价格 比较便宜 , 以在 而且 可 常温下固化。 缺点是在实际的加工实验 中, 料 磨 层容易剥落 ,磨料层 与金属丝基体的结合强 度
高 新 技 术
CnNw e noea o: ha eT h li nPd t i c ogs d rus c
机械 加工 中 电化学 加工过程 的可控 性 分析
电解加工原理

电解加工原理
电解加工是一种利用电化学原理进行加工的方法,其原理是通过在电解液中将阳极和阴极连接到直流电源上,使阳极上的金属工件溶解并在阴极上重新析出。
这种方法可以在微观上改变金属工件的形状和尺寸,实现高精度的加工。
在电解加工中,阳极上的金属工件被称为阳极工件,阴极上的材料通常是不溶于电解液的材料,如铜或铝。
当电流通过电解液流动时,金属阳极上的金属离子会从阳极脱离,并在阴极上重新析出,从而形成新的金属工件。
这种溶解和析出的过程被称为金属离子的电化和电解。
电解加工的原理是利用阳极工件上的金属溶解,使阳极工件上的材料脱离,同时阴极上的材料通过电化反应在阳极工件上析出。
这个过程实际上是一个放电过程,在阳极工件和阴极之间的电解液中,电解质通过电解反应形成的正负离子迁移,从而在阳极工件上形成孔洞并在阴极上重新填充材料。
电解加工的优点是可以实现高精度的加工,无论是形状复杂还是尺寸小的工件都可以通过该方法进行加工。
同时,电解加工还可以实现无接触加工,避免了传统机械加工中可能引起的磨损和变形。
此外,电解加工还可以加工高硬度的材料,如硬质合金等。
然而,电解加工也存在一些限制。
首先,电解加工只适用于导电的材料,对于非导电材料无法进行加工。
其次,电解加工过程中会产生大量的废液,对环境造成污染。
此外,电解加工还
需要较高的电流密度和电流稳定性,加工效率较低。
总之,电解加工通过利用电化学原理在电解液中对金属工件进行溶解和析出,实现高精度的加工。
尽管存在一些限制,但电解加工仍然在一些特殊领域中得到广泛应用。
第四章电化学加工

4.2 电解加工 一、电解加工过程及其特点 电解加工(electrochemical machining,ECM)是利用金属在电解液中发生阳极溶解反应而去除工件上
多余的材料、将零件加工成形的一种方法。
1-直流电源 2-工具阴
极 3-工件阳极
4-电解液泵
5-电
解液
加工时,工件接电源正极(阳极),按一定形状要求制成的工具接负极(阴极),工具电极向工件缓慢进给,并 使两极之间保持较小的间隙(通常为0.02~0.7mm),利用电解液泵在间隙中间通以高速(5~50m/s)流动 的电解液。
时水(H2O)离解为氢氧根负离子OH-和氢正离子H+,CuCl2离解为两个氯负离子2Cl-和二价铜正离子Cu2+。 当两个铜片接上直流电形成导电通路时,导线和溶液中均有电流流过,在金属片(电极)和溶液的界面上就会 有交换电子的反应,即电化学反应。溶液中的离子将作定向移动,Cu2+正离子移向阴极,在阴极上得到电子 而进行还原反应,沉积出铜。
在工件及工具之间施加一定电压,阳极工件的金属被逐渐电解蚀除,电解产物被电解液带走,直至工件表面形成 与工具表面基本相似的形状为止。
图中的细竖线表示通过阳极(工件)和阴极(工具)间的电流。竖线的疏密程度表示电流密度的大小加工开始时, 工件阳极及工具阴极的形状不同,工件表面上的各点至工具表面的距离不等,因而各点的电流密度不等。
3) 电解液系统 组成有泵、电解液槽、过滤装置、管道和阀。
七、电解加工工艺及其应用
1 深孔扩孔加工 深径比大于5的深孔,用传统切削加工方法加工,刀具磨损严重,表面质量差,加工效率低。目前采用电
解加工方法加工φ4×2000mm、φ100×8000mm的深孔,加工精度高,表面粗糙度低,生产率高。电 解加工深孔,按工具阴极的运动方式可分为固定式和移动式两种。
电化学加工特点

电化学加工特点电化学加工是一种基础性的加工技术,它在微纳加工领域中有着非常重要的地位。
作为一种新型的加工技术,它的发展将给我们的社会带来极大的福音。
本文将从电化学原理及特点入手,对电化学加工进行详细的介绍。
电化学加工的原理是利用电解质的电荷的极化而在工件表面形成的腐蚀反应,用以削减工件的表面粗糙度以及体积形貌的变化。
电化学加工分为电极加工和非电极加工两大类,在电极加工中,电极受极化而产生电荷,直接起到腐蚀作用。
而非电极加工中,可以利用半导体的电势,将电荷移动到工件表面,而起到腐蚀作用。
电化学加工具有若干特点:首先,电化学加工具有准确的精度特性,可以控制微米级的精度,精确完成复杂细节的加工。
其次,电化学加工是一种无损加工,完全不影响工件原有的结构,是一种安全可靠的加工方式。
此外,电化学加工抗腐蚀性极强,可以抗腐蚀多种金属材料,有较低的加工损耗。
电化学加工具有它特有的优势和特点,已被广泛应用于微电子制造、微加工、精密机械加工等行业。
它非常适用于多孔结构的加工,可以实现工件表面孔径的精确控制,其加工效率比传统加工技术更高,可以有效提高产品质量,减少投入成本,是当今微加工领域中非常重要的技术之一。
因此,电化学加工将为我们的现代社会带来无限的发展可能性,它将为微纳加工技术的发展提供新的思路,更能有效提高生产效率、降低成本并实现精密加工的要求。
由此可见,电化学加工的发明和发展,将给我们的社会带来福音,将使现代社会的生产力能够得以实现,使人类可以更好的提高生活水平,也让我们更早地实现社会公平和经济发展。
总之,电化学加工是一种重要的加工技术,具有准确性、无损性、抗腐蚀性及高效率的特点,可以有效的提高生产质量,降低投入成本,是当今微加工领域中非常重要的技术之一。
电化学加工
阴极片
分度
空心水套管
叶片 阴极片
电解加工整体叶轮
电化学加工 4)电解倒棱去毛刺
电化学加工 5)电解刻字
电化学加工 6)电解抛光 电解抛光也是利用金属在电解液中的电化学阳极溶解 对工件表面进行腐蚀抛光的,它只是一种表面光整加工方 法,用于改善工件的表面粗糙度和表面物理力学性能,而
不用于对工件形状和尺寸加工。它和电解加工的主要区别
电化学加工
表2 直流电源的特点及应用
分 类 特 1.可靠性、稳定性好; 2.调节灵敏度较低; 3.稳压精度不高 1.灵敏度高,稳压精度高; 2.效率高,节省金属材料; 3.稳定性、可靠性较差 点 应用场合 国内生产现场占一定比例
硅整流电源
晶闸管电源 可控硅电源
国外生产中普遍采用,也占 相当比例
电化学加工 2) 机床 电解加工机床的任务是安装夹具、工件和阴极工具,
电化学加工 4) 恒温控制系统
电铸时间很长,所以必须设置恒温控制设备。它包括加 热设备 ( 加热玻璃管、电炉等 )和冷却设备 ( 冷水或冷冻机等 )。
3.电铸加工的工艺过程
原模表面处理
电铸至规定尺寸
衬背处理
成品
清洗干燥
脱模
电化学加工 4.电铸的应用 电铸具有极高的复制精度和良好的机械性能,已在航空、 仪器仪表、精密机械、模具制造等方面发挥日益重要的作用。
电化学加工 (5) 电铸时,金属沉积速度缓慢,制造周期长。如电 铸镍,一般需要一周左右。
(6) 电铸层厚度不易均匀,且厚度较薄,仅为 4 ~ 8
mm左右。电铸层一般都具有较大的应力,所以大型电铸 件变形显著,且不易承受大的冲击载荷。这样,就使电铸 成型的应用受到一定的限制。 2.电铸设备 电铸设备(如图3-1所示)主要包括电铸槽、直流电源、 搅拌和循环过滤系统、恒温控制系统等。
半导体ecp工艺
半导体ecp工艺半导体ECP工艺是一种重要的微纳加工技术,被广泛应用于半导体器件制造中。
ECP,即电化学机械平面化,是一种结合了电化学腐蚀和机械研磨的工艺,能够实现高效、高精度的平面化处理。
本文将从原理、应用和优势等方面探讨半导体ECP工艺的相关内容。
一、ECP工艺的原理半导体ECP工艺的原理主要基于电化学和机械研磨的相互作用。
在ECP工艺中,通过电解液中的电化学反应,如阳极溶解和阴极析出,实现对半导体表面的腐蚀和平面化。
同时,结合机械作用,如搅拌、旋转和压力等,可以加速电化学反应的进行,提高平面化效果。
二、ECP工艺的应用半导体ECP工艺广泛应用于半导体器件的制造过程中。
其中,最主要的应用是在制造金属互连线和填充孔洞方面。
在金属互连线的制造中,ECP工艺可以实现高效的填充和平面化,提高金属线的质量和可靠性。
而在填充孔洞的过程中,ECP工艺可以将金属填充到微小孔洞中,实现电路的连接和封装。
三、ECP工艺的优势相比传统的化学机械抛光(CMP)工艺,半导体ECP工艺具有以下优势:1. 高效性:ECP工艺能够在较短的时间内完成平面化和填充过程,提高生产效率。
2. 高精度:ECP工艺可以实现纳米级的平面化和填充,提高器件的性能和可靠性。
3. 低损伤:ECP工艺中的电化学反应对器件的损伤较小,减少了材料的消耗和损失。
4. 环保性:ECP工艺中使用的电解液可以循环利用,减少了对环境的污染。
四、ECP工艺的挑战与展望尽管半导体ECP工艺具有许多优势,但也面临着一些挑战。
首先,ECP工艺对电解液的选择和控制要求较高,需要针对不同材料和工艺进行优化。
其次,ECP工艺中的机械作用可能会引起器件的机械应力和变形,需要合理设计和控制工艺参数。
此外,ECP工艺还需要与其他工艺步骤相结合,形成完整的制造流程。
展望未来,随着半导体器件的不断发展和微纳加工技术的进步,ECP工艺将继续发挥重要作用。
同时,还需要进一步研究和改进ECP工艺,提高其效率和精度,满足日益增长的器件制造需求。
电解加工的原理和应用范围
电解加工的原理和应用范围1. 什么是电解加工?电解加工是一种利用电解现象进行金属加工的方法。
它基于金属在电解液中受到电化学反应的影响而进行加工,通过电解液对金属的溶解和析出作用,实现对金属材料的切削、腐蚀、抛光等加工操作。
电解加工具有高效、精度高、表面平整等优点,广泛应用于工业生产中。
2. 电解加工的原理电解加工的原理基于电解液对金属的溶解和析出作用。
在电解加工过程中,将工件和加工电极作为电解槽的阳极和阴极,通过施加电压和控制电流,使得电解液中的离子在阳极处溶解,同时在阴极处析出。
电解加工的原理主要包括以下几个方面:2.1 阳极溶解在电解加工过程中,将金属工件作为阳极,通过施加电压使其与电解液发生反应。
在阳极处,金属发生氧化反应,阴极则发生还原反应。
这种反应过程导致金属工件的阳极溶解,使其表面发生腐蚀。
2.2 阴极析出在电解加工中,阴极产生的电子在电解液中进行还原反应,从而使电解液中的离子发生析出,沉积在金属工件的表面。
阴极析出过程可以用来控制金属工件表面的形状、尺寸和光洁度。
2.3 电流密度分布电解加工中,电流密度分布对加工结果具有重要影响。
电解加工过程中,工件的几何形状决定了电流密度分布的不均匀性。
因此,在电解加工中,需要通过设计阴极形状和控制电流密度,以实现对金属工件的准确加工。
3. 电解加工的应用范围电解加工在工业生产中有着广泛的应用范围,下面列举了几个常见的应用领域:3.1 制造业电解加工在制造业中具有重要地位。
它可以应用于各种金属材料的切削、抛光、粗加工和精细加工等工艺。
例如,在模具制造中,电解加工可以用于模具的修复和维护,提高模具的寿命和加工精度。
此外,电解加工还可以用于珠宝和手表制造中,用于制作精细的花纹和纹理。
3.2 集成电路制造电解加工在集成电路制造中起着重要作用。
它可以用于半导体芯片的刻蚀和电镀过程。
在半导体制造中,电解加工可以实现对电路结构的精确加工,提高芯片的性能和稳定性。
电解加工(课件)讲解学习
1.NaCl电解液——蚀除速度高,但杂散腐蚀也严重,故 复制精度较差。浓度为20%以内,一般为14%~18% 。电解液温度为25~35°C。 2.NaNO3电解液——钝化型电解液。NaNO3电解液在浓 度为30%以下时,有较好的非线形性能,成形精度高, 而且对机床腐蚀性小,价格也不高。主要缺点是电流效 率低,生产率也低,另外加工时阴极有氨气析出,所以 NaNO3会被消耗。 3.NaClO3电解液——散蚀能力小,加工精度高;具有 很高的溶解度;导电能力强,可达到与NaCl相近的生 产率;腐蚀作用小。缺点:价格较贵,强氧化剂,使用 时注意安全防火。
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3.改进电解液——钝化型电解液、复合电解液 、低质量分数的电解液 4.混气电解加工——将一定压力的气体(主要 是压缩空气)用混气装置使它与电解液混合在 一起,使电解液成分包含无数气泡的气液混合 物,然后送入加工区进行电解加工
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3.电解加工的基本设备
1.直流电源——为提高电解加工精度,生产中 采用脉冲电源加工。 2.机床 ——要求:足够的刚性;进给速度的稳 定性;防腐绝缘;安全措施。 3.电解液系统——主要由泵、电解液槽、过滤 装置、管道和阀组成。
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电化学反应示意图
电解质溶液 溶于水能导电的物质叫做电解质 。例如:NaCl——Na++Cl- 强电解质;氨水 、醋酸等为弱电解质 电极电位 产生在金属和它的盐溶液之间的电 位差称为金属的电极电位。“双电层” “平 衡电极电位” 电极的极化 金属的钝化和活化
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电解加工示意图
电解加工的特点:
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《精密与特种加工》
课程大作业
院 系: 授课老师:
学 号: 姓 名:
分数(百分制): 完成时间: 年 月 日
题目: 电化学机械加工的原理及其主要应用
电化学加工是利用电化学反应对金属材料进行加工的方法。
与机械加工相比,电化学加工不受材料硬度、韧性的限制,
已广泛用于工业生产中。常用的电化学加工有电解磨削、电
化学抛光、电镀、电刻蚀和电解冶炼等。
电化学加工的原理是:利用电极在电解液中发生的电化
学作用对金属材料进行成形加工。其中电流的形成包括金属
中自由电子的定向移动,溶液中的正负离子的定向移动。优
点:可以加工复杂的三维曲面且不留下条纹痕迹。其特点有
无应力加工、无毛刺加工、工具和工件不接触,工具无磨损。
缺点:不能加工非导电材料以及有尖锐内角(r<0.2)、电化
学加工设备容易腐蚀和生锈。已经广泛应用于涡轮、齿轮、
异型孔等复杂型面、型孔的加工以及炮管内膛线加工和去毛
刺等工艺过程。
电化学加工有三种不同类型。第一类是利用电化学反应
中的阳极溶解:包括电解加工和电解抛光等;第二类是利用
电化学反应中的阴极沉积:包括电镀、电铸、涂镀等;第三
类是利用电化学加工和其他加工方法相结合的电化学复合
加工工艺:包括电解磨削等。
1.电解抛光
原理:它是一种表面光整加工方法,利用金属在电解液
中的电化学阳极溶解作用使阳极凸起部分发生选择性溶解
以形成平滑表面的方法。电解抛光可以提高表面耐磨性和耐
腐蚀性,不产生新的变质层、残余应力,不改变工件形状和
尺寸,只降低工件的表面粗糙度和改善表面物理机械性能。
电解抛光的加工原理与电解加工相比:(1)加工间隙大(2)
去除表面材料较均匀(3)加工在钝化区间进行。
应用:电解抛光主要应用于不锈钢制品的自行车配件、
门窗、五金配件、复合管、医疗器械、水处理设备等,特别
是对于异形件,机械抛光无法操作的工件。
2.电化学机械抛光
原理:将电化学预抛光和机械精抛光有机的结合在一
起,发挥了电化学和机械抛光的优点。它不受材料硬度和韧
性的限制,可抛光各种复杂形状的工件,与电解磨削类似。
导电抛光工具使用金钢石导电锉或石墨油石,接到电源的阴
极,被抛光的工件(如模具)接到电源的阳极。
应用:去除不锈钢、耐热合金、复杂形状或薄壁零件机
械加工后残剩的毛刺,并将其锐边倒平,提高表面光洁度。
3.电解磨削
原理:阳极为工件,与直流电源正极相连;阴极为导电
磨轮,与直流电源负极相连。磨削时,两者间保持一定磨削
压力,凸出于磨轮表面的非导电性磨料使工件表面和磨轮基
体间形成0.02-0.05mm的电解间隙,同时间隙中供给电解液。
在直流电作用下工件表面被电解并被磨轮刮除,新的工件表
面露出,达到磨削的目的。
应用:电解磨削可磨削各种硬质合金刀具、塞规、耐磨
衬套、模具平面和不锈钢注射针头等。磨削各种高强度、高
硬度的金属材料如不锈钢,钛合金等等。
4.电铸
原理:利用金属的电解沉积精确复制形状复杂的工件,
是电镀的特殊应用。阳极:金属失去电子溶解;阴极:得到
电子还原为金属沉积在阴极。把原模型作为阴极,电铸材料
作阳极,置于与阳极材料相同的金属盐溶液中,在电解作用
下,原模型表面沉积出电铸层,达到所需厚度取出,电铸层
与原模分离,获得与原模形状相对应的复制件。
应用:精确复制较复杂和某些难于用其他方法加工的特
殊形状模具及工件,如:玩具、邮票的印刷板、手机按键、
数码按键、汽车车灯等。
参考文献:
(1)徐家文《电化学加工技术原理工艺及应用》国防工业
出版社 2008.5
(2)韦瑶,杜高昌;电化学抛光工艺的研究及应用[J];表面技
术;2001年01期
(2)韦瑶,杜高昌;电化学抛光工艺的研究及应用[J];表面技
术;2001年01期
(2)韦瑶,杜高昌;电化学抛光工艺的研究及应用[J];表面技
术;2001年01期 (2)韦瑶,杜高昌;电化学抛光工艺的研
究及应用[J];表面技术;2001年01期