RC-IGBT和续流二极管新结构及特性研究
目录
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目录 (i)
1. 绪论 (1)
1.1. IGBT的发展及现状 (1)
1.2. 续流二极管的发展及现状 (3)
1.3. 逆导型IGBT的发展概述 (6)
1.4. 本论文主要内容 (10)
2. 逆导型IGBT的特性及分析 (13)
2.1. 逆导型IGBT结构 (13)
2.2. 逆导型IGBT静态特性分析 (14)
2.2.1. 转移特性 (14)
2.2.2. 阻断特性 (15)
2.2.3. 导通特性 (16)
2.3. 逆导型IGBT电压折回现象分析及消除条件 (19)
2.3.1. 电压折回现象产生的原因 (19)
2.3.2. 消除电压折回的条件 (22)
2.4. 关键结构参数对导通特性的影响分析 (23)
2.4.1. FS层掺杂浓度 (23)
2.4.2. P+集电极宽度 (24)
2.4.3. N+短路区宽度 (26)
2.5. 逆导型IGBT动态特性分析 (27)
2.5.1. 开关特性 (27)
2.5.2. 反向恢复特性 (29)
2.6. 本章小结 (30)
3. 浮场阻止型RC-IGBT (33)
3.1. 浮场阻止型RC-IGBT结构 (33)
3.2. 浮场阻止型RC-IGBT的静态特性 (34)
3.2.1. 转移特性 (34)
3.2.2. 阻断特性 (35)
3.2.3. 导通特性 (35)
3.2.4. FFS层参数优化 (38)
3.3. 浮场阻止型RC-IGBT的动态特性 (39)
3.3.1. 开关特性 (39)
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西安理工大学博士学位论文
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3.3.2. 反向恢复特性 (40)
3.4. 浮场阻止型RC-IGBT的工艺仿真与分析 (41)
3.5. 本章小结 (43)
4. 集电极隔离型RC-IGBT (45)
4.1. 集电极隔离型RC-IGBT结构参数 (45)
4.2. 集电极隔离型RC-IGBT的静态特性 (46)
4.2.1. 转移特性 (46)
4.2.2. 阻断特性 (47)
4.2.3. 导通特性 (47)
4.2.4. 隔离槽和P阻止层参数优化 (49)
4.3. 集电极隔离型RC-IGBT的动态特性 (50)
4.3.1. 开关特性 (50)
4.3.2. 反向恢复特性 (51)
4.4. 集电极隔离型RC-IGBT的工艺仿真与分析 (52)
4.5. 本章小结 (53)
5. 快速软恢复续流二极管的新结构 (55)
5.1. 结构分析 (55)
5.1.1. 阳极区分析 (55)
5.1.2. 阴极区分析 (57)
5.2. 非对称阳极及阴极抽取型二极管 (59)
5.2.1. 反向恢复特性分析 (60)
5.2.2. 正向导通特性分析 (64)
5.2.3. 击穿特性分析 (67)
5.3. 非对称阳极及阴极抽取型二极管的工艺设计 (69)
5.3.1. 工艺仿真及流程 (69)
5.3.2. 结深及杂质分布 (71)
5.4. 版图设计 (72)
5.5. 本章小结 (72)
6. 非对称阳极及阴极抽取型二极管的流片验证 (75)
6.1. 工艺流片与结果分析 (75)
6.2. 二极管参数测试 (76)
6.2.1. 正向导通压降测试 (76)
6.2.2. 反向击穿电压测试 (78)
6.2.3. 反向漏电流测试 (78)
6.2.4. 反向恢复特性测试 (79)
目录
6.3. 模块测试 (81)
6.3.1. 双脉冲测试原理 (81)
6.3.2. 关断过程 (82)
6.3.3. 开通过程 (84)
6.4. 本章小结 (86)
7. 结论与展望 (87)
7.1. 主要结论 (87)
7.2. 论文创新点 (88)
7.3. 展望 (89)
致谢 (91)
参考文献 (93)
攻读博士学位期间成果 (105)
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