模拟版图设计2019最新版
结合晶体管版图效应分析的模拟集成电路设计

结合晶体管版图效应分析的模拟集成电路设计刘博;张金灿;张雷鸣;刘敏【摘要】为了实现模拟集成电路版图设计的自动化,提出一种称为金属-氧化物-半导体场效应晶体管阵列的版图布局方法.90 nm/1.2 V互补式MOS的测试元件组(TEG)芯片被开发用以实验采样,芯片搭载多种导电沟道分割形式的多指栅晶体管,晶体管在电路的版图设计中以不同的布局形态呈现.这些晶体管的电气参数被测试并抽取,用以分析和评价其直流性能.以二级模拟运算放大器为实验电路,分别采用晶体管阵列和全定制方式进行版图设计,从工艺波动性和版图面积两方面进行对比.成品实测结果表明:以晶体管阵列方式实现共源共栅运放电路时,10枚TEG芯片的平均失调电压为4.48 mV,对比手工版图的5.59 mV,抗波动性能约提升了20%,显示了晶体管阵列版图设计方法的有效性.【期刊名称】《河南科技大学学报(自然科学版)》【年(卷),期】2019(040)002【总页数】7页(P50-56)【关键词】模拟集成电路;版图效应;工艺波动;多指栅MOS晶体管【作者】刘博;张金灿;张雷鸣;刘敏【作者单位】河南科技大学电气工程学院,河南洛阳471023;河南科技大学电气工程学院,河南洛阳471023;河南科技大学电气工程学院,河南洛阳471023;河南科技大学电气工程学院,河南洛阳471023【正文语种】中文【中图分类】TN386;TN400 引言模拟集成电路在数模混合片上系统(system on chip,SoC)中扮演着连接自然世界重要接口的角色。
随着半导体器件尺寸的不断缩小,由制造工艺的偏差造成器件电气参数的特性波动更加显著,工艺波动已成为影响模拟集成电路性能的重要因素之一。
从集成电路生产加工的角度,通过优化电路版图并改进工艺技术以消减工艺波动影响的方法,在近期的研究中偶有提出。
文献[1]提出结合可消减工艺波动影响的光学邻近效应校正(optical proximity correction,OPC)方法以实现版图图形的重构,在降低版图复杂度的同时,提升了掩膜版的制造精度。
集成电路设计3-版图设计

N阱
31
集成电路课程设计
余隽, Tel: 84706184,junyu@
基本元器件版图设计;
布局和布线; 版图检验与分析。
硅芯片上的电阻?电容?电感?晶体管?连线?
2019/4/5 junyu@ 3
集成电路课程设计
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CMOS集成电路基本工艺流程
contact N阱 G G S D via
集成电路课程设计
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电感版图设计
平面上的螺旋设计:
单匝线圈
多匝螺旋型线圈
多匝直角型线圈
直角螺旋电感的等效电路 (忽略电阻时)
耦合电容是严重的寄生参量, 高频下可能使电感呈容性。
2019/4/5 junyu@ 20
C P+
B N+ N阱
E P+ VPNP 垂直PNP
25
P型衬底
集成电路课程设计
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三极管的设计
LPNP 横向PNP
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集成电路课程设计
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集成电路课程设计
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• CMOS N阱工艺中二极管结构有两种,一是psub-nwell,另 一个是sp-nwell
psub-nwell Diode 直接做在 衬底上
N P+ P型端为 衬底电位 (vss/gnd) N+ P P+ N+ sp-nwell Diode 做在阱里
(4)MOS电阻(有源电阻) 利用MOS管的沟道电阻。所占的芯片面积要比其他电阻小 的多,但它是一个非线性的电阻(电阻大小与端电压有关)。
Unity

技术支持
技术支持
Unity提供技术支持服务,通过线上问答、项目分析、现场培训等形式 为中国开发者解决技术难题,企业 级服务支持游戏上线。 Unity企业技术支持团队还提供各种定制服务,包括开放大世界解决方案、游戏代码加 密方案、UPR性能优化、技术美术支持等服务。
Unity总部位于美国加利福尼亚州旧金山,并在丹麦、比利时、立陶宛、哥伦比亚 、加拿大、中国、芬兰、 瑞典、德国、法国、日本、英国、爱尔兰、韩国和新加坡设有办公室。 创作者分布在全球190个国家和地区。
Unity自2004年成立以来 ,Unity获得长足发展。截止2020年6月30日,Unity在全球拥有3,379名全职员 工。 2019年,Unity营收达到5.41亿美元 。2020年9月18日 ,Unity在纽约证券交易所上市。 在美国《快 公司》发布的2019年最具创新力的50家公司榜单,企业板块排名中位列第一, 整体创新能力排名第18。
全世界所有VR和AR内容中60%均为Unity驱动 。Unity实时渲染技术可以被应用到汽车的设计、制造人员培 训、制造流水线的实际操作、无人驾驶模拟训练、市场推广展示等各个环节。 Unity最新的实时光线追踪技术 可以创造出更加逼真的可交互虚拟环境 ,让参与者身临其境 ,感受虚拟现实的真实体验。 Unity针对ATM领 域的工业解决方案包括: INTERACT工业VR/AR场景开发工具、Prespective数字孪生软件等等。
集成电路版图课程设计

从 版 图 设 计 到 仿 真, 进 行 了 系 统 的 学 习。 例 如, 引 入
2“线上线下”混合教学
“同步降压式单片 DC-DC 电源芯片”工程案例,学生从
为了兼顾教师的教学效果和学生的学习效果,结合 原理图设计到仿真、从版图设计到仿真,进行了系统的
大量线上教学经验,集成电路版图设计采取线上与线下 学习。将工程案例进入课程中,理论与实际相联系,利
进的教学模式。如果只采用传统的教学模式,不能实时 看回放视频和录播视频。
掌握学生对知识的掌握情况,会忽略学生对课程的兴趣,
2.3 线下教学
导致课堂效率低。如果过多依赖线上教学模式,师生间
2.3.1 课堂教学
缺乏互动,出现学生不认真听课现象。因此,教师要合
教学中学以致用,将实际工程案例引入线下课堂,
理分配线上、线下教学内容及时间。
对基础知识不解的困惑,如果不及时答疑,会阻碍学生 验的内容。在此基础上,鼓励学生积极参加各类学科竞
学习进程。教师采取线上直播的形式,以班级为单位组 赛和创新实践活动,部分同学参加全国集成电路创新创
织线上授课(钉钉直播),实现师生双向互动。线上课 业大赛、大学生课外科技活动,并获得相应奖项。通过
堂,教师讲授相应的课程内容。另外,在线上教学过程 参与竞赛活动,能够发现教学不足,促进课程的优化,
随着信息技术和互联网技术的快速发展,信息化技 术被广泛地应用于各个领域。在疫情防控期间,传统教 学已不适用目前高校教学,为保证“停课不停教,停课 不停学”[1],教育部鼓励各地高校充分利用信息技术和 互联网技术为学生提供学习支持,有序地开展高校相关 教学工作 [2]。越来越多教学工作者开始关注“线上线下” 混合式教学,对单一的传统教学进行改革。线上教学最 初源于网络上公开的教学视频,可以实现教学资源的共 享,但是缺乏师生间的互动 [3]。为了加强师生间的互动, 中国大学 MOOC 诞生了,该线上平台不仅实现教学资源 的共享,还能随时进行课堂测试,实现教师与学生间的 互动。中国大学 MOOC 的兴起,有效地推动了其他线 上教学平台发展,例如对分易平台、雨课堂平台、超星 平台、智慧树平台、腾讯课堂等。如果采取纯线上教学, 学生学习缺乏积极性,需要对学生提出较高的自我管理 要求,而大学生自我管理能力较差,因此不能采取纯线 上教学。王艳 [4] 等人通过案例结合对分易课堂传感器技 术课程进行教学改革,充分调动了学生的学习主动性, 有效地提高教学质量。申继伟 [5] 等人提出数字化教学资 源建设,将建立的数字化资源运用于模拟电子线路课程 中,进而推动移动式教学改革。边心田 [6] 等人提出基于 OBE 理念的教学模式,并运用于应用光学课程中,取得 了较好的教学成果。如何有效地将线上教学与线下教学 相结合,提高教学质量,这是每位高校教师值得认真思 考的问题。本文以集成电路版图设计课程为例,对“线
模拟版图的艺术知识点总结

模拟版图的艺术知识点总结一、模拟版图的定义模拟版图是指一种以仿真的手法所绘制的图案,它能够复制自然界或工业界中出现的各种图案。
这些图案可以是动植物、风景或是抽象的几何图案等,都可以通过模拟版图的方式加以复制和表现。
二、模拟版图的历史模拟版图的历史可以追溯至古代文明时期。
早在古埃及时期,人们就开始利用木刻版的形式来复制图案和文字。
后来在中国唐代,木刻版技术进一步发展,人们开始利用木刻版来印制书籍和绘制画作。
而在欧洲文艺复兴时期,模拟版图的技术得到进一步的发展,版画艺术也逐渐成为主流的艺术表现形式。
三、模拟版图的制作过程1. 图案设计:在制作模拟版图之前,首先需要设计出所要表现的图案。
这个过程可以通过手绘、数码设计软件等方式进行。
2. 制版:在图案设计完成后,需要将图案转移到版面上。
这个过程可以通过雕刻、刻画或是拓印的方式来完成。
3. 墨料准备:制版完成后,需要准备合适的墨料来印制图案。
墨料的配制需要考虑颜色、浓度等因素。
4. 印刷:将制版完成的图案通过印刷工艺转移到纸张或其他材料上。
5. 后处理:印刷完成后,可能需要进行一定的后处理工艺,如上色、裁切等。
四、模拟版图的艺术表现形式模拟版图可以呈现出丰富多彩的艺术表现形式,包括但不限于以下几种:1. 木刻版画:以木刻版为工具,通过雕刻的手法来表现图案。
这种技术在中国历史上有着悠久的传统,常常用于印制书籍、绘制画作等。
2. 铜版画:以铜版为工具,通过化学蚀刻的方式来表现图案。
这种技术在欧洲文艺复兴时期得到了广泛的应用,被认为是版画艺术的高级形式。
3. 丝网印刷:通过丝网来印制图案,是一种常见的模拟版图技术之一。
这种技术可以用来印制 T 恤、海报等,被广泛用于产品包装和宣传宣传活动中。
4. 染色技术:一些特殊的染色技术也可以被看作是模拟版图的一种表现形式。
比如,蜡染、印花等技术可以将图案印制到织物上,用来制作服装、家居用品等。
五、模拟版图的艺术价值模拟版图作为一种艺术表现形式,具有独特的艺术价值。
Visio_2019_教程-最新最全版本 共34页

前期 主体
后期 主体
滞后
“空白” 技术应用流程
问 题:
其他 Microsoft Office 程序,例如,Word和 PowerPoint,也可以帮助您制作图表。但是,这 些程序在创建图表时不会像 Visio 那样为您提供 大量空间。这些程序也不具有用于图表的许多高 级选项。如果您需要一个标注详细的大图表时, Visio 将是您的最好选择。不过,如果您只需要 草草地制作一个普通图表,请使用您喜欢的其他 Office 程序。
通过拖曳“ 组织结构图 形状” 模板的方法,可 在财务部经理的图形下 建立相关“职位”
灵感触发图
灵感触发图可以帮助您记录和制 定任何相关的想法或信息,例如: 新业务战略、图书提纲、会议纪 要或旅行计划等。
有两种方式可以创建这种图表: 1.通过将形状拖放就位,您可以 直观地创建图表。 2.通过在大纲窗口中键入大纲, 您可以自动创建图表。
HTML XML
6 常见图表类型
业务流程图
组织结构图
项目管理图
因果图
灵感激发图
统计、营销 图表
业务流程图
创建类似这个示例的图表非常容 易。各种形状已为您制作完毕 (在本示例中为流程图中的矩 形)。您要做的全部工作就是将 它们拖放就位,键入一些文本, 然后对其大小稍做调整。 其他需要说明的是:连接各个形 状的线条被称为“连接符”。连 接符可以方便地“粘附”到这些 形状上。当移动某个形状时,连 接符也会移动。
Visio 2019 教程
前言
信息化的时代,各项工作都需要有专 业工具的配合,或许您仍仅在使用 Word、 Excel、PowerPoint 等软件制作各种图表, 然而,在 Office 家族系列应用软件里,每 一个成员可是各司其职、各领风骚的。只 有将各种工作结合起来使用,才能快速制 作出优质又专业的各类文件。
DESIGN COMPILER 可测性的设计基础可测性的设计工具 85页PPT

…. reference
INV U2(.A(BUS0),.Z(INV0));
….
cell
pin
endmodule
2019/8/31
共84页
13
主要内容
逻辑综合基本概念 逻辑综合工具--Design Compiler
可测性设计基础 可测性设计工具
2019/8/31
共84页
2019/8/31
共84页
11
DC常见术语—库
库:一组逻辑单元的集合。
库包括库申明、库属性、库应用环境和每个单 元的功能描述、时间延时、面积、功耗存等放路。径
逻辑综A合stro库布局包布线含库两种格式:
1.自由文件L格VS式文件.文li本b(文件任,何da文tas本hee编t, 辑han器db都ook可以打开) 2. synopsys应用程序可可测性标使矢准用量单的压元缩版格文图式件.db(不可查看)
共84页
4
逻辑综合基本概念
什么是逻辑综合? 时间路径 时序:setup/hold 常见术语
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共84页
5
什么是逻辑综合?
综合就是把HDL 代码转换为门级电路的过程, 用公式表示 就是: 综合= 翻译 + 优化 + 映射 ( Synthesis = Translation + Optimization + Mapping )
不满足 Calibre
后仿真
满足 参数提取
流片、封装、测试
流片、封装、测试
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共84页
Matlab Spectre Virtuoso, laker
3
主要内容
第三章 版图的设计

Keep your eyes open for opportunity.
3.8 指状晶体管版图
P50 P156
接触孔的总电阻
P139
2、光刻六:引线孔光刻。
第七步:光刻金属互 连线
1、采用蒸发或者溅射 工艺在晶片表面淀积 金属化层
2、光刻七:互连线光 刻。按照电路连接要 求,生成互连线,完 成管芯的制作。
第八步:光刻钝化孔
与通常集成电路一样,为了保护 管芯表面,提高使用可靠性,生 成管芯后,在表面再淀积一层保 护层,又称为钝化层
tr t f
peq neq
设 n 3 p
采用0.8um双阱CMOS工艺设计一位二进制全 加器电路
求和信号和进位信号的传输延时<1.2ns(最坏 情况)
求和信号和进位信号的总转换延时<1.2ns(最 坏情况)
电路面积<1500um2
VDD=5V,fMAX=20Mhz时的动态功耗<1mW
C ox
ox
tox
同理, P器件的线性电阻
Rp
1
p (VG
VTp
)
p
pCox
(W L
)
CG CoxAG
C ox
ox
tox
有一个宽长比=4 的nFET。为了构造一
个与nFET具有相同电阻的pFET,pFET
的宽长比=?已知
n 2 .4 p
n p
nCox(W L)npCox(W L)p
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电路图
Symbol 图
第二部分:版图设计基础
4. 电路图编辑器
5) virtuoso编辑器--建立SYMBOL 操作
第二部分:版图设计基础
4. 电路图编辑器 6) virtuoso编辑器--CDL输出操作
第二部分:版图设计基础
4. 电路图编辑器
7) virtuoso编辑器--CDL输出
第二部分:版图设计基础
第二部分:版图设计基础
4. 电路图编辑器 2) virtuoso编辑器 --电路器件及属性
第二部分:版图设计基础
4. 电路图编辑器
3) virtuoso编辑器-- 电路添加线名、端口及移动 窗口
第二部分:版图设计基础
4. 电路图编辑器 4) virtuoso编辑器-- 建立SYMBOL VIEW
第四部分:版图的艺术
1. 模拟版图和数字版图的首要目标 2. 首先考虑的三个问题 3. 匹配 4. 寄生效应 5. 噪声 6. 布局规划 7. ESD 8. 封装
IC模拟版图设计
第一部分:了解版图
1. 版图的定义 2. 版图的意义 3. 版图的工具 4. 版图的设计流程
第一部分:了解版图
1. 版图的定义:版图是在掩膜制造产品上实现 电路功能且满足电路功耗、性能等,从版图上 减少工艺制造对电路的偏差,提高芯片的精准 性。
✓CMOS N阱 1P4M工艺剖面图
连线与孔之间的连接
第二部分:版图设计基础
3. 版图编辑器
1) virtuoso编辑器 建立LIBRARY
CIW窗口
第二部分:版图设计基础
3. 版图编辑器
2) virtuoso编辑器--Library manager
第二部分:版图设计基础
3. 版图编辑器
3) virtuoso编辑器-- 建立
第二部分:版图设计基础
2.1 器件
2.1.1 MOS管
NMOS工艺层立体图
NMOS版图
第二部分:版图设计基础
2.1 器件
2.1.1 MOS管 1) NMOS管
✓ 以TSMC,CMOS,N单阱工艺 为例
✓ NMOS管,做在P衬底上,沟道 为P型,源漏为N型
2) 包括层次:
✓ NIMP,N+注入 ✓ DIFF,有源区 ✓ Poly,栅 ✓ M1,金属 ✓ CONT,过孔
第一部分:了解版图
3. 版图的工具:
– Cadence
✓ Virtuoso ✓ Dracula ✓ Assura ✓ Diva
– Mentor
✓ calibre
– Spring soft
✓ laker
第一部分:了解版图
4. 版图的设计流程
熟悉所需文件 对电路的了解 版图布局布线
工艺厂商提 供:.tf .display Design rule 、DRC LVS 文件、 PDK、ESD文件、金属阻
第二部分:版图设计基础
2.1器件
2.1.2 电阻 选择合适的类型,由电阻阻值、方块电阻值,确
定 W、L;R=L/W*R0
电阻类型
电阻版图
第二部分:版图设计基础
2.1器件 2.1.3 电容
1) 电容值计算C=L*W*C0 2) 电容分类:
✓ poly电容 ✓ MIM电容
基于单位面积电容值 ✓ MOS电容
第四部分:版图设计艺术
3. 匹配 3.1 中心思想:
1)使所有的东西尽量理想,使要匹配的器件被相同 的 因 素以相同的方式影响。
2)把器件围绕一个公共点中心放置为共心布置。甚 至把器件在一条直线上对称放置也可以看作是共心 技术。
2.1)共心技术对减少在集成电路中存在的热或工艺的线性梯 度影响非常有效。
第四部分:版图设计艺术
1. 模拟电路和数字电路的首要目标
✓模拟电路关注的是功能
1) 电路性能、匹配、速度等 2) 没有EDA软件能全自动实现,所以需要手工处理
✓数字电路关注的是面积
1) 什么都是最小化 2) Astro、appollo等自动布局布线工具
第四部分:版图设计艺术
2.首先考虑的三个问题
第四部分:版图设计艺术
3. 匹配 3.2 匹配问题
3.2.1 差分对、电流镜…… 3.2.2 误差 3.2.3 工艺导致不匹配
1)不统一的扩散 2)不统一的注入 3)CMP后的不完美平面
3.2.4 片上变化导致不匹配
1)温度梯度 2)电压变化
第四部分:版图设计艺术
3. 匹配 3.3 如何匹配
1)需要匹配的器件尽量彼此挨近
4. LVS文件
4.6 DefinedDevices:
右图定义器 件端口及器件逻辑 运算。
第三部分:版图的准备
4. LVS文件
4.7 Check tolerance: 右图定义检查器
件属性的误差率,一 般调为1%。
第三部分:版图的准备
4. LVS文件
4.8 LVS电路与版图对比
电路图
版图
第三部分:版图的准备
工艺
✓ N阱 ✓ DIFF ✓ Poly ✓ Metal ✓ Cont ✓ Via ✓ ……
2.3 最小宽度 2.4 最小间距 2.4 最小覆盖等等
第三部分:版图的准备
2. 设计规则 1) PMOS的形成
第三部分:版图的准备
2. 设计规则
2) 调用PCELL
第三部分:版图的准备
2. 设计规则
3) Design Rule
4. LVS文件
4.3 Environment
setting:
1) 将决定你用几层的 金属,选择一些你 所需要的验证检查。
2) 选择用命令界面运 行LVS,定义查看 LVS报告文件及LVS 报错个数。
定义金 属层数
关闭ERC 检查
用命令跑 LVS的方式
LVS COMPARE CASE NAMES
SOURCE CASE YES LAYOUT CASE YES
第三部分:版图的准备
1. 必要文件
✓ PDK
✓ *.tf ✓ display.drf
✓ DRC ✓ LVS ✓ cds.lib ✓ .cdsenv ✓ .cdsinit
版图设计基础——设计规则
2. 设计规则
2.1 版图设计规则——工艺技术要求 2.2 0.35um,0.25um,0.18um,0.13um,不同的
源漏接地,基于栅电容, C=W*L*Cox
MIM电容版图
MOS电容版图
第二部分:版图设计基础
2.2互连
2.2.1金属(第一层金属,第二层金属……)
1) 金属连线 ✓ M1,M2,M3,M4……
2.2.2 通孔 2)过孔
✓ Via1,Via2,Via3……
第二部分:版图设计基础
2.2互连
1) 典型工艺
IC模拟版图设计
目录
第一部分:了解版图
1. 版图的定义 2. 版图的意义 3. 版图的工具 4. 版图的设计流程
第二部分:版图设计基础
1. 认识版图 2. 版图组成两大部件 3. 版图编辑器 4. 电路图编辑器 5. 了解工艺厂商
目录
第三部分:版图的准备
1. 必要文件 2. 设计规则 3. DRC文件 4. LVS文件
3) MOS管的:版图设计基础
2.1 器件
反向器
器件剖面图及俯视图
器件版 图
第二部分:版图设计基础
2.1 器件
2.1.1 MOS管 1)反向器
VDD
3u/0.18u
IN
OUT
1u/0.18u
2)NMOS,PMOS
3)金属连线
GND
4)关于Butting Contact部分
✓ 芯片不同 的地方工作环境不同,如温度
2)需要匹配的器件方向应相同
✓ 工艺刻蚀各向异性 ✓ 如对MOS器件的影响
3)选择单位器件做匹配
✓ 如电阻电容,选一个中间值作为单位电阻(电容),串并得到其它电 阻(电容)
✓ 单位电阻电容彼此靠近方向相同放置,相对匹配精度较好
4)叉指型结构匹配 5)虚拟器件
✓ 使器件的中间部位与边缘部位所处环境相同 ✓ 刻蚀时不会使器件自身不同部位不匹配
3. DRC文件
3.3 举例说 明 nwell 的 DRC文 件
NW DRC
第三部分:版图的准备
4. LVS文件
4.1 LVS: layout versus schematic, 版图与电路图对照。
4.2 LVS工具不仅能检 查器件和布线,而 且还能确认器件的 值和类型是否正确。
第三部分:版图的准备
2.1器件
2.1.1 MOS管 2.1.2 电阻 2.1.3 电容 2.1.4 三极管(省略) 2.1.5 二极管(省略) 2.1.6 电感(省略)
2.2互连
2.2.1金属(第一层金属,第二层金属……) 2.2.2通孔
第二部分:版图设计基础
2.1 器件
2.1.1 MOS管
NMOS
PMOS
MOS管剖面图
第二部分:版图设计基础
3. 版图编辑器 7) virtuoso编辑器 --显示窗口
第二部分:版图设计基础
3. 版图编辑器 8) virtuoso编辑器 --版图显示
第二部分:版图设计基础
3. 版图编辑器 9) virtuoso编辑器--数据流格式版图输出
第二部分:版图设计基础
4. 电路图编辑器 1) virtuoso编辑器--电路图显示
VDD
3u/0.18u
IN
OUT
1u/0.18u
GND
电路图
版图
第一部分:了解版图
2. 版图的意义:
1)集成电路掩膜版图设计师实现集成电路制造所必不可 少的设计环节,它不仅关系到集成电路的功能是否正 确,而且也会极大程度地影响集成电路的性能、成本 与功耗。