连续半导体泵浦YAG激光器技术及其应用系统操作说明书

连续半导体泵浦YAG激光器技术及其应用系统操作说明书一、设备构成

设备型号：DPLM-2

生产单位：武汉华中科技大学激光加工国家工程研究中心

图1 连续半导体泵浦YAG激光器应用系统装置结构图

图1为连续半导体泵浦YAG激光器应用系统装置结构图，图中黑线表示电源线，棕色线表示控制信号线。

连续半导体泵浦YAG激光器应用系统包括：

（1）连续半导体泵浦声光调Q YAG倍频激光器

（2）振镜系统：X－Y振镜和F-θ透镜

（3）振镜加工工作台

（4）振镜控制电源

（5）激光电源

（6）声光调Q电源

（7）PC机

（8）净化电源

（9）冷却温控循环水箱。

测量装置包括：功率计。

二、使用环境

连续半导体泵浦YAG激光器技术及其应用系统必须置于干净整洁的环境中，须配备双致式空调。

环境温度：24℃±1℃

环境湿度：<50%

三、技术参数

a)自由振荡YAG 1064纳米输出功率大于50瓦

b)激光波长：1064纳米/532纳米。

c)激光模式：低阶模。

d)激光重复频率：200Hz-5KHz。

e)振镜光路工作幅面：100mm×100mm。

f)冷却方式：纯净水闭路循环。

g)供电方式：交流220V/50Hz

h)耗电功率：2KW。

四、操作步骤

4.1 开系统前准备

4.1.1 确认振镜控制线分别与调Q电源和计算机的控制接口连接，PC机箱接上了相应的加密狗；

4.1.2确认光路上没有阻挡激光和其起振的物品等，如果要进行实验六，请卸下F-θ镜的盖子，将激光引导至振镜系统加工台。

4.2开激光器

开激光器请严格按照4.2.1、4.2.2、4.2.3、4.2.4顺序步骤进行。

4.2.1打开总电源，打开冷却温控水箱电源后部的空气开关。

请确认冷却水在循环，此时水箱面板PV显示面板显示当前水温，SV显示面板显示设定水温。

如果当前水温高于设定水温，水泵运行后约3~5分钟后压缩机和风机运行，压缩机制冷降低水温。请在压缩机工作后再开启激光电源！

4.2.2 开启净化电源。

4.2.3 开启激光电源。

图2 激光电源面板图

先观察激光电源面板（如图2所示），“外控/内控”键拨到“内控”，“输出电压/输出电流”键拨到“输出电流”；然后打开开关，“运行”绿灯亮。按下“启动/停止”按钮，绿灯亮，旋转输出“电流调节”旋钮，观察输出电流显示的数字。

电流加至10A左右，打开调Q电源的Power开关，调整调Q电源的面板使激光处于长出光状态，会有绿色激光输出，缓慢地增加输出电流，输出绿光亮度会增强，根据实验指导书进行相应的实验。调Q电源的面板调整见4.2.4。

注意：调节输出电流不要超过20A。。

4.2.4 调整调Q电源面板状态。

图3 声光调Q电源面板图

如图3所示，调Q电源面板上有a）T-on/T-off/RUN开关b）M1/M2/M3开关c）INNER/OUTER开关d）200-5KHz/5K-50KHz和e）频率调节旋钮以及f）LED显示当前频率。在不同的工作状态下，这些旋钮处于不同的位置。

4.2.4.1激光处于长出光状态

此时是实验一至实验五中需要用到声光电源的时候的状态。

面板上开关的位置分别是a）T-on b）M1 c）INNER d）200-5KHz。调节频率调节旋钮可以调整调Q重复频率，LED上显示重复频率。

4.2.4.2实验六中的M1状态

此时用于标记二值黑白图和文字，或者进行激光切割。

面板上开关的位置分别是a）RUN b）M1 c）INNER d）200-5KHz。调节频率调节旋钮可以调整调Q重复频率，LED上显示重复频率。

4.2.4.3实验六中的M2状态

此时用于标记带有灰度的图像。

面板上开关的位置分别是a）RUN b）M2 c）OUTER d）200-5KHz。调节频率调节旋钮不可以调整调Q重复频率，LED上显示重复频率为0。

注意：开启激光器一定要先开冷却温控水箱电源，后开激光电源和声光电源！！

将开关拨至RUN状态表示系统处于加工工作状态。在计算机没有发出工作指令前，是没有激光输出的。计算机发出工作指令后，激光是根据标记图形的脉冲出光。

在激光进行长出光状态进行实验时，如果需要激光器暂时不出光，可将面板上的开关拨到T-off状态，此时声光调Q晶体处于关断状态，因此没有绿光输出。拨到T-on状态，声光调Q晶体处于打开状态，有绿色激光输出。

4.3关激光器

关激光器请严格按照4.3.1、4.3.2、4.3.3、4.3.4、4.3.5顺序步骤进行。

4.3.1旋转激光电源的输出电流调节旋钮，将输出电流降至0A，等待20秒钟后，按下“启动/停止”按钮，绿灯熄灭，最后关闭开关。

4.3.2关闭声光电源的power开关。（绿灯熄灭）

4.3.3关闭净化电源

4.3.4关闭冷却温控水箱电源。

4.3.5关闭总电源。

注意：关闭激光器一定要先关激光电源和声光电源，后关冷却温控水箱电源！！

五、注意事项

1．开启激光器一定是先开温控冷却水箱电源，后开激光电源。

关闭激光器一定是先关激光电源，后关温控冷却水箱电源。

2．不要轻易更改设定的水温和重复频率。

3. 最高输出电流一般不超过20A。调节输出电流时，请缓慢增加或者降低。

4. 如果在实验过程中出现突然断电的现象，要按照关激光器的顺序操作一遍。一定要逆时针方向调节激光电源的输出电流旋钮至最小位置，将激光电源的输出电流降为零。下次开机时请先确认一遍。

5. 循环冷却水采用纯净水，不能使用矿泉水和自来水。定期更换循环水（建议每个月更换一次循环水）。

6.不使用系统时，请将裸露在外面的光学镜片罩住，以免灰尘污染。使用前，

先要将光路上的罩子除去，以免不出光或者发生其他事故。

7.请不要擅自打开控制柜的后盖，如需要拆卸电源，请先联系我们，在正确的

指导下进行，以免损伤人身，危及系统设备安全。

8.激光系统为Class 4激光产品，千万不要将眼睛和皮肤暴露于激光直射、反射

和散射的范围内。请配备激光防护眼镜，操作和观察时请佩戴激光防护眼镜。

实验室内在激光光路上不要设置镜面类的反光物体，操作人员请不要佩戴金属饰品。

9．打开激光电源和声光电源前，请确认各个开关是否拨到正确的位置，例如：激光不出光，可能是声光电源开关拨到“T－off”状态。